CN115542054B - 激光器老化测试装置 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 230000032683 aging Effects 0.000 title claims abstract description 36
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 93
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 7
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 claims description 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/003—Environmental or reliability tests
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
本发明提供一种激光器老化测试装置，涉及半导体技术领域，安装件上设有多个半导体激光器，将安装件与第一驱动组件连接后，可以一次性上料多个半导体激光器，并且在第一驱动组件和第二驱动组件的带动下，能够自动带动多个半导体激光器移动至预设位置，对多个半导体激光器进行批量通电和断电，老化完成后，第一驱动组件能够带动多个半导体激光器批量回到初始位置，以进行下料。该激光器老化测试装置能够批量化进行上料、通电、断电和下料，能够批量化完成半导体激光器的老化测试，并且半导体激光器移动至预设位置可以自动进行，上述因素均能够提高半导体激光器老化测试的效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种激光器老化测试装置。
背景技术
激光器老化测试是激光器生产的重要步骤之一，激光器老化测试工序是检验激光器可靠性的关键手段之一。
现有技术中，在对多个激光器进行老化测试的过程中，激光器老化装置需要分别对每一个激光器加电并记录数据。
然而，每个激光器都需要进行上料、加电、断电和下料的操作，操作费时，导致激光器老化测试的效率较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光器老化测试装置，以解决现有技术中的激光器老化测试效率较低的技术问题。
本发明提供的激光器老化测试装置，包括第一驱动组件、第二驱动组件、加电组件和半导体激光器组件；
所述半导体激光器组件包括安装件和多个半导体激光器；多个半导体激光器均与所述安装件连接；所述安装件与所述第一驱动组件可拆卸地连接，所述第一驱动组件能够带动所述安装件沿第一方向滑动；多个所述半导体激光器均设有第一电连接件；
所述加电组件与所述第二驱动组件连接，所述第二驱动组件能够带动所述加电组件沿第二方向滑动，以使所述加电组件朝向或远离多个所述半导体激光器移动；所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，所述加电组件能够分别与多个所述第一电连接件接触，以对多个所述半导体激光器通电；
沿第二方向，所述第二驱动组件设置在所述第一驱动组件的一侧，且所述第一方向与所述第二方向垂直。
进一步地，所述安装件上设有进液口和出液口，且所述安装件内部设有流道，所述流道的一端与所述进液口连通，所述流道的另一端与所述出液口连通。
进一步地，所述第一驱动组件包括第一滑台和第一驱动装置；
所述第一驱动装置与所述第一滑台连接，所述第一驱动装置能够驱动所述第一滑台沿第一方向滑动；所述第一滑台与所述安装件可拆卸地连接。
进一步地，所述加电组件包括固定件、多个第二电连接件和多个第三电连接件；
所述固定件包括相背设置的第一端面和第二端面，所述第一端面朝向所述第一驱动组件设置；
所述第二电连接件与所述固定件固定连接；
所述第二电连接件包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端伸出所述第一端面，所述第二端伸出所述第二端面；多个所述第二端通过第三电连接件依次串联；
所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，多个所述第一电连接件与多个所述第一端一一对应接触，以对多个所述半导体激光器通电。
进一步地，所述第一端与所述第一电连接件面接触。
进一步地，所述加电组件还包括电源和两个第四电连接件；
位于多个所述第二电连接件两端的第二电连接件的第二端分别与两个第四电连接件一一对应连接，
两个所述第四电连接件分别与电源的正极和负极一一对应连接。
进一步地，所述激光器老化测试装置还包括控制组件；
所述控制组件包括控制器、第一距离检测模块和第二距离检测模块；
所述第一距离检测模块用于检测所述安装件的位置信息；
所述第二距离检测模块用于检测所述加电组件的位置信息；
所述第一距离检测模块和所述第二距离检测模块分别与所述控制器连接，所述控制器能够接收所述安装件的位置信息和所述加电组件的位置信息；且所述控制器能够根据所述安装件的位置信息和所述加电组件的位置信息控制所述第一驱动组件和所述第二驱动组件启停。
进一步地，所述控制组件还包括定时模块；
所述定时模块和所述加电组件分别与所述控制器连接；
所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，所述控制器能够控制所述定时模块启动，所述控制器能够控制所述加电组件对多个所述半导体激光器通电；
所述定时模块关闭后，所述控制器能够控制所述加电组件对多个所述半导体激光器断电，且所述控制器能够控制所述第一驱动组件和所述第二驱动组件移动至初始位置。
进一步地，所述激光器老化测试装置还包括吸光散热件；
沿第二方向，所述吸光散热件设置在所述第一驱动组件远离所述第二驱动组件的一侧，且所述吸光散热件与所述加电组件相对设置。
本发明提供的激光器老化测试装置，包括第一驱动组件、第二驱动组件、加电组件和半导体激光器组件；所述半导体激光器组件包括安装件和多个半导体激光器；多个半导体激光器均与所述安装件连接；所述安装件与所述第一驱动组件可拆卸地连接，所述第一驱动组件能够带动所述安装件沿第一方向滑动；多个所述半导体激光器均设有第一电连接件；所述加电组件与所述第二驱动组件连接，所述第二驱动组件能够带动所述加电组件沿第二方向滑动，以使所述加电组件朝向或远离多个所述半导体激光器移动；所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，所述加电组件能够分别与多个所述第一电连接件接触，以对多个所述半导体激光器通电；沿第二方向，所述第二驱动组件设置在所述第一驱动组件的一侧，且所述第一方向与所述第二方向垂直。安装件上设有多个半导体激光器，将安装件与第一驱动组件连接后，可以一次性上料多个半导体激光器，并且在第一驱动组件和第二驱动组件的带动下，能够自动带动多个半导体激光器移动至预设位置，对多个半导体激光器进行批量通电和断电，老化完成后，第一驱动组件能够带动多个半导体激光器批量回到初始位置，以进行下料。该激光器老化测试装置能够批量化进行上料、通电、断电和下料，能够批量化完成半导体激光器的老化测试，并且半导体激光器移动至预设位置可以自动进行，上述因素均能够提高半导体激光器老化测试的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的激光器老化测试装置的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的激光器老化测试装置的立体图。
图标：1-第一驱动组件；2-第二驱动组件；3-半导体激光器组件；31-安装件；32-半导体激光器；33-第一电连接件；4-加电组件；41-固定件；42-电源；43-第三电连接件；44-第四电连接件；45-第二端；46-第一端；47-第二电连接件；5-吸光散热件；6-备料件。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了一种激光器老化测试装置，下面给出多个实施例对本发明提供的激光器老化测试装置进行详细描述。
本实施例提供的激光器老化测试装置，如图1至图2所示，包括第一驱动组件1、第二驱动组件2、加电组件4和半导体激光器组件3；半导体激光器组件3包括安装件31和多个半导体激光器32；多个半导体激光器32均与安装件31连接；安装件31与第一驱动组件1可拆卸地连接，第一驱动组件1能够带动安装件31沿第一方向滑动；多个半导体激光器32均设有第一电连接件33；加电组件4与第二驱动组件2连接，第二驱动组件2能够带动加电组件4沿第二方向滑动，以使加电组件4朝向或远离多个半导体激光器32移动；加电组件4沿第二方向滑动至预设位置时，加电组件4能够分别与多个第一电连接件33接触，以对多个半导体激光器32通电；沿第二方向，第二驱动组件2设置在第一驱动组件1的一侧，且第一方向与第二方向垂直。
第一方向和第二方向可以分别沿任意适合的方向设置，第一方向与水平面的夹角为A，第二方向与水平面的夹角为B，0°≤A≤180°，0°≤B≤180°,只要第一方向与第二方向垂直即可。在一种实施方式中，第一方向沿水平方向设置，第二方向沿竖直方向设置；在另一种实施方式中，第一方向与水平面的夹角A为10°，第二方向与水平面的夹角B为80°；在又一种实施方式中，第一方向与水平面的夹角A为20°，第二方向与水平面的夹角B为70°。
本实施例中，第一方向和第二方向均沿水平方向设置，第一方向如图1中箭头ab所示的方向，第二方向如图1中箭头cd所示的方向。
在进行老化测试时，将安装件31与第一驱动组件1可拆卸地连接，完成半导体激光器组件3的上料，第一驱动组件1带动安装件31沿第一方向滑动至第一预设位置后，此时多个半导体激光器32与加电组件4相对设置，随后，第二驱动组件2带动加电组件4沿第二方向滑动至预设位置后，加电组件4能够分别与多个第一电连接件33接触，以对多个半导体激光器32通电，使多个半导体激光器32进行老化，多个半导体激光器32老化完成后，第二驱动组件2带动加电组件4回到初始位置，第一驱动组件1带动安装件31回到初始位置，随后将安装件31与第一驱动组件1拆卸，完成半导体激光器组件3的下料。
需要说明的是，安装件31在第一预设位置时，安装件31上的多个半导体激光器32与加电组件4沿第二方向相对间隔设置；加电组件4在预设位置时，加电组件4分别与多个第一电连接件33接触。
本实施例提供的激光器老化测试装置，安装件31上设有多个半导体激光器32，将安装件31与第一驱动组件1连接后，可以一次性上料多个半导体激光器32，并且在第一驱动组件1和第二驱动组件2的带动下，能够自动带动多个半导体激光器32移动至预设位置，对多个半导体激光器32进行批量通电和断电，老化完成后，第一驱动组件1能够带动多个半导体激光器32批量回到初始位置，以进行下料。该激光器老化测试装置能够批量化进行上料、通电、断电和下料，能够批量化完成半导体激光器32的老化测试，并且半导体激光器32移动至预设位置可以自动进行，上述因素均能够提高半导体激光器32老化测试的效率。
其中，安装件31可以为块状，也可以为板状等任意适合的形式。多个半导体激光器32沿第一方向间隔设置在安装件31上。半导体激光器32与安装件31可以固定连接(例如粘接或焊接等)，也可以可拆卸地连接(例如卡接或螺纹连接等)。
较佳地，安装件31上设有进液口和出液口，且安装件31内部设有流道，流道的一端与进液口连通，流道的另一端与出液口连通。
液体通过进液口流入流道，在流道内流动后通过出液口流出流道，从而使液体能够不断在流道内流动，进而对安装件31进行降温冷却。半导体激光器32固定在安装件31上，因此，流道内的液体能够对半导体激光器32进行冷却，增强半导体激光器32的冷却效果。
在流道内不需要设置液体时，可以向流道内通入气体，以吹干流道，防止流道内存留液体造成流道损坏。
其中，液体可以为水，也可以为其他任何适合形式的冷却液体。
进一步地，第一驱动组件1包括第一滑台和第一驱动装置；第一驱动装置与第一滑台连接，第一驱动装置能够驱动第一滑台沿第一方向滑动；第一滑台与安装件31可拆卸地连接。
其中，第一驱动装置可以为气缸，也可以为电动推杆等任意适合的形式，只要第一驱动装置能够驱动第一滑台沿第一方向滑动即可。
此外，第一驱动组件1还可以设置第一滑轨，第一滑轨的延伸方向沿第一方向设置，第一滑台套设在第一滑轨上，第一滑台与第一滑轨滑动连接，第一滑轨能够对第一滑台起到导向的作用，使第一滑台的滑动路径更加精确。
安装件31可以与第一滑台直接连接，也可以通过转接件连接。
本实施例中，第一滑台上设置转接板，安装件31与转接板可拆卸地连接。转接板能够提供较大的安装平台，以方便安装件31与转接板连接。
进一步地，激光器老化测试装置还包括备料件6；多个半导体激光器组件3放置在备料件6上。
其中备料件6可以为块状，也可以为板状等任意适合的形式。待老化的半导体激光器组件3放置在备料件6上。在向第一驱动组件1上料时，可以由备料件6上选取任意一个半导体激光器组件3与第一驱动组件1进行安装。
备料件6能够集中将待老化的半导体激光器组件3放置在一个预设的区域，在每次上料时均从这个预设的区域拿取半导体激光器组件3，能够便于拿取半导体激光器组件3的操作，进一步提高测试效率。
进一步地，加电组件4包括固定件41、多个第二电连接件47和多个第三电连接件43；固定件41包括相背设置的第一端面和第二端面，第一端面朝向第一驱动组件1设置；第二电连接件47与固定件41固定连接；第二电连接件47穿过固定件41，第二电连接件47包括相对设置的第一端46和第二端45，第一端46伸出第一端面，第二端45伸出第二端面；多个第二端45通过第三电连接件43依次串联；加电组件4沿第二方向滑动至预设位置时，多个第一电连接件33与多个第一端46一一对应接触，以对多个半导体激光器32通电。
固定件41可以为板状，也可以为块状等任意适合的形式。
其中，多个第一端46均伸出第一端面，多个第一端46用于与多个第一电连接件33一一对应接触，以对多个半导体激光器32通电。
多个第二端45伸出第二端面，且为了使多个第二电连接件47电连接，多个第二端45通过第三电连接件43连接，从而使多个第二电连接件47串联起来。并且，第三电连接件43设置在第二端面上，能够防止干扰第一端46与第一电连接件33接触。
第二端45可以直接伸出第二端面，也可以在第二端面上设置凹槽，第二端45伸出凹槽的底面，并且将第三电连接件43也设置在凹槽内，凹槽能够对第二端45和第三电连接件43进行保护。
进一步地，第一端46与第一电连接件33面接触。
第一端46与第一电连接件33面接触，可以避免点接触或线接触导致的虚接打火。
一种实施方式中，第一电连接件33为电极片，第二电连接件47为探针，第二电连接件47的第一端46形成面结构，使第一端46与第一电连接件33面接触；另一种实施方式中，第一电连接件33为探针，第一电连接件33朝向第二电连接件47的一端形成面结构，第一端46上设置电极片，使第一端46与第一电连接件33面接触。
进一步地，加电组件4还包括电源42和两个第四电连接件44；位于多个第二电连接件47两端的第二电连接件47的第二端分别与两个第四电连接件44一一对应连接，两个第四电连接件44分别与电源42的正极和负极一一对应连接。
电源42的正极通过一个第四电连接件44与位于多个第二电连接件47中一端的第二电连接件47的第二端45连接；电源42的负极通过另一个第四电连接件44与位于多个第二电连接件47中另一端的第二电连接件47的第二端45连接，从而使位于多个第二电连接件47两端的第二电连接件47的第二端分别与电源42的正极和负极连接，并且多个第二电连接件47通过第三电连接件43依次串联，从而使电源42和多个第二电连接件47形成串联回路，以使电源42能够为半导体激光器32供电进行老化。
进一步地，激光器老化测试装置还包括控制组件；控制组件包括控制器、第一距离检测模块和第二距离检测模块；第一距离检测模块用于检测安装件31的位置信息；第二距离检测模块用于检测加电组件4的位置信息；第一距离检测模块和第二距离检测模块分别与控制器连接，控制器能够接收安装件31的位置信息和加电组件4的位置信息；且控制器能够根据安装件31的位置信息和加电组件4的位置信息控制第一驱动组件1和第二驱动组件2启停。
在半导体激光器组件3与第一驱动组件1连接后，利用第一驱动组件1带动半导体激光器组件3沿第一方向滑动，利用第一距离检测模块和第二距离检测模块不断测量安装件31与加电组件4中固定件41之间沿第一方向的距离，当安装件31与固定件41之间沿第一方向的距离达到预设值后，安装件31停止滑动，安装件31位于第一预设位置，此时触发第二驱动组件2，利用第二驱动组件2带动固定件41沿第二方向滑动，利用第一距离检测模块和第二距离检测模块不断测量安装件31与固定件41之间沿第二方向的距离，当安装件31与固定件41之间沿第二方向的距离达到预设值后，固定件41停止滑动，固定件41位于预设位置，多个第一电连接件33与多个第一端46一一对应接触。
第一驱动组件1带动安装件31回到初始位置，第二驱动组件2带动固定件41回到初始位置与上述控制原理相同，移动方向相反，此处不再赘述。
进一步地，控制组件还包括定时模块；定时模块和加电组件4分别与控制器连接；加电组件4沿第二方向滑动至预设位置时，控制器能够控制定时模块启动，控制器能够控制加电组件4对多个半导体激光器32通电；定时模块关闭后，控制器能够控制加电组件4对多个半导体激光器32断电，且控制器能够控制第一驱动组件1和第二驱动组件2移动至初始位置。
在加电组件4沿第二方向滑动至预设位置后，固定件41位于预设位置，多个第一电连接件33与多个第一端46一一对应接触，控制器能够获取固定件41位于预设位置的信息，在控制器获取到固定件41位于预设位置的信息时，控制器控制定时模块启动，同时控制加电组件4对多个半导体激光器32通电，老化测试开始，定时模块启动后进行计时，在经过预设时长后，定时模块关闭，控制器获取到定时模块关闭的信号后，控制器控制加电组件4对多个半导体激光器32断电，以结束老化，并且控制器控制第二驱动组件2带动加电组件4回到初始位置，第一驱动组件1带动安装件31回到初始位置。
进一步地，激光器老化测试装置还包括吸光散热件5；沿第二方向，吸光散热件5设置在第一驱动组件1远离第二驱动组件2的一侧，且吸光散热件5与加电组件4相对设置。
在老化过程中，每个半导体激光器32都会发光，吸光散热件5能够吸收该部分光能，并将该部分光能转化为热能，上述热能可以通过散热结构排出至激光器老化测试装置外部。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (7)
1.一种激光器老化测试装置，其特征在于，包括第一驱动组件、第二驱动组件、加电组件和半导体激光器组件；
所述半导体激光器组件包括安装件和多个半导体激光器；多个半导体激光器均与所述安装件连接；所述安装件与所述第一驱动组件可拆卸地连接，所述第一驱动组件能够带动所述安装件沿第一方向滑动；多个所述半导体激光器均设有第一电连接件；
所述加电组件与所述第二驱动组件连接，所述第二驱动组件能够带动所述加电组件沿第二方向滑动，以使所述加电组件朝向或远离多个所述半导体激光器移动；所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，所述加电组件能够分别与多个所述第一电连接件接触，以对多个所述半导体激光器通电；
沿第二方向，所述第二驱动组件设置在所述第一驱动组件的一侧，且所述第一方向与所述第二方向垂直；
所述激光器老化测试装置还包括控制组件；
所述控制组件包括控制器、第一距离检测模块和第二距离检测模块；
所述第一距离检测模块用于检测所述安装件的位置信息；
所述第二距离检测模块用于检测所述加电组件的位置信息；
所述第一距离检测模块和所述第二距离检测模块分别与所述控制器连接，所述控制器能够接收所述安装件的位置信息和所述加电组件的位置信息；且所述控制器能够根据所述安装件的位置信息和所述加电组件的位置信息控制所述第一驱动组件和所述第二驱动组件启停；
第一驱动组件带动半导体激光器组件沿第一方向滑动时，第一距离检测模块和第二距离检测模块不断测量安装件与加电组件中固定件之间沿第一方向的距离，当安装件与固定件之间沿第一方向的距离达到预设值后，安装件停止滑动并触发第二驱动组件带动固定件沿第二方向滑动，第一距离检测模块和第二距离检测模块不断测量安装件与固定件之间沿第二方向的距离，当安装件与固定件之间沿第二方向的距离达到预设值后，固定件停止滑动，多个第一电连接件与多个第一端一一对应接触；
所述加电组件包括固定件、多个第二电连接件和多个第三电连接件；
所述固定件包括相背设置的第一端面和第二端面，所述第一端面朝向所述第一驱动组件设置；
所述第二电连接件与所述固定件固定连接；
所述第二电连接件包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端伸出所述第一端面，所述第二端伸出所述第二端面；多个所述第二端通过第三电连接件依次串联；
所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，多个所述第一电连接件与多个所述第一端一一对应接触，以对多个所述半导体激光器通电；
所述第二端面上设置凹槽，所述第二端伸出凹槽的底面，所述第三电连接件设置在凹槽内；
所述激光器老化测试装置还包括吸光散热件；
沿第二方向，所述吸光散热件设置在所述第一驱动组件远离所述第二驱动组件的一侧，且所述吸光散热件与所述加电组件相对设置。
2.根据权利要求1所述的激光器老化测试装置，其特征在于，所述安装件上设有进液口和出液口，且所述安装件内部设有流道，所述流道的一端与所述进液口连通，所述流道的另一端与所述出液口连通。
3.根据权利要求1所述的激光器老化测试装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一滑台和第一驱动装置；
所述第一驱动装置与所述第一滑台连接，所述第一驱动装置能够驱动所述第一滑台沿第一方向滑动；所述第一滑台与所述安装件可拆卸地连接。
4.根据权利要求1所述的激光器老化测试装置，其特征在于，所述激光器老化测试装置还包括备料件；多个所述半导体激光器组件放置在所述备料件上。
5.根据权利要求1所述的激光器老化测试装置，其特征在于，所述第一端与所述第一电连接件面接触。
6.根据权利要求1所述的激光器老化测试装置，其特征在于，所述加电组件还包括电源和两个第四电连接件；
位于多个所述第二电连接件两端的第二电连接件的第二端分别与两个第四电连接件一一对应连接，
两个所述第四电连接件分别与电源的正极和负极一一对应连接。
7.根据权利要求1所述的激光器老化测试装置，其特征在于，所述控制组件还包括定时模块；
所述定时模块和所述加电组件分别与所述控制器连接；
所述加电组件沿第二方向滑动至预设位置时，所述控制器能够控制所述定时模块启动，所述控制器能够控制所述加电组件对多个所述半导体激光器通电；
所述定时模块关闭后，所述控制器能够控制所述加电组件对多个所述半导体激光器断电，且所述控制器能够控制所述第一驱动组件和所述第二驱动组件分别移动至初始位置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211281514.XA CN115542054B (zh) | 2022-10-19 | 2022-10-19 | 激光器老化测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115542054A CN115542054A (zh) | 2022-12-30 |
| CN115542054B true CN115542054B (zh) | 2024-05-14 |
Family
ID=84736443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115542054B (zh) |
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