CN101266938A - 测试装置及其移动机台 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种测试装置及其移动机台,该移动机台具有基座、第一滑动组件、第二滑动组件和驱动装置。第一滑动组件连接基座上的第一滑轨,且沿着第一滑轨水平方向滑动。第二滑动组件连接第一滑动组件上的第二滑轨,且沿着第二滑轨垂直方向滑动。驱动装置固定在基座上。其中,驱动装置具有一推抵部,而第二滑动组件具有一转向部,推抵部线性抵接于转向部上。本发明能够将一驱动装置所产生的单一驱动方向,利用机构之间的作动关系,而产生二维方向上的移动。

Description

测试装置及其移动机台
技术领域
本发明有关于一种测试装置,且特别是关于一种液晶面板的测试装置及其移动机台。
背景技术
现行科技中,产品的制程中通过机械设备取代人工操作已经成为节省工时及提升工作效率的必要手段。一般而言,机械设备需通过电力、液压或气压等方式驱动,并利用一些物理原理,例如杠杆原理等,才能依照其预设路径移动。
在半导体测试制程中,测试者会将芯片、面板或电路板等待测试物体放置于测试台上,再由移动机台将测试头精准地置放于待测试物体上,以进行测试。一般来说,如果移动机台仅能将测试头在单一方向上移动,例如在垂直方向上下移动,测试台与测试头之间的空间有限,测试者在取放待测试物体时容易碰撞到测试头。如果移动机台能有两个方向以上的移动路径,例如水平方向和垂直方向,则测试头和测试台之间的空间便可拉大,有利人员操作。
然而,一般以液压或气压等驱动件仅能驱动单一方向的移动,要达到两个方向以上的移动路径得有两个以上的驱动件。如此不仅增加移动机台的体积,其制作费用也较为昂贵,不符合产业需求。
有鉴于此,需要一种新的测试装置及其移动机台,能够以单一驱动件达到两个方向以上的移动路径。
发明内容
本发明的目的在于提供一种测试装置及其移动机台,可以将单一的驱动方向,通过机构之间的作动而产生两个方向的移动路径。
本发明的目的是这样实现的,一种移动机台,该移动机台包含:
一基座,其上设置有一第一滑轨;
一第一滑动组件,配置于该第一滑轨上,且能沿该第一滑轨于该基座上滑动,其中该第一滑动组件包含一第二滑轨,且该第二滑轨与该第一滑轨间具有一夹角;
一第二滑动组件,设置连接于该第二滑轨上,且能沿该第二滑轨于该第一滑动组件上移动,其中该第二滑动组件具有一转向部;
一驱动装置,设置于该基座上并与该第一滑动组件接抵,且该驱动装置具有一推抵部,且该推抵部与该转向部线性抵接。
本发明的目的还可以这样实现,一种测试装置,该测试装置至少包含:
一基座,其上设置有一第一滑轨;
一第一滑动组件,配置于该第一滑轨,且沿该第一滑轨于该基座上滑动,其中该第一滑动组件上设置有一第二滑轨;
一第二滑动组件,设置连接于该第二滑轨上,且沿该第二滑轨于该第一滑动组件上滑动,其中该第二滑动组件具有一转向部;
一测试头,固定于该第二滑动组件上;
一驱动装置,固定于该基座,与该第一滑动组间接抵,且具有一推抵部,该推抵部线性抵接该转向部。
由上所述,本发明中驱动装置沿着第一方向,例如水平方向,驱动第一滑动组件和第二滑动组件。推抵部上有一斜面,而转向部具有一回转轴,斜面抵接在回转轴的外侧壁上。当驱动装置作动时,推抵部以斜面沿着第一方向推动回转轴,使得回转轴沿着斜面滚动,进而推动第二滑动组件及测试头沿第二方向,例如垂直方向移动。即:驱动装置的驱动方向为单一方向,然而通过斜面与回转轴的滚动,使得测试头可随着第二滑动组件进行两个方向,例如水平和垂直方向上的移动。由此可知,本发明将一驱动装置所产生的单一驱动方向,利用推抵部与转向部的作动关系,而产生二维方向上的移动。
附图说明
图1:为本发明的实施例的一种测试装置的俯视图。
图2A:为图1测试装置的立体图。
图2B:为图2A测试装置的立体图,表示测试装置在动作过程中的一个状态。
图2C:为图2A测试装置的立体图,表示测试装置在动作过程中的另一个状态。
附图标号:
100:测试装置        110:移动机台
120:基座            122:挡块
140:第二滑动组件    130:第一滑动组件
142:回转轴          144:组装部
150:驱动装置        152:汽缸
154:推动件          156:斜面
158:推杆            160:第一滑轨
170:第二滑轨        180:第一弹簧
182:第二弹簧        190:测试头
192:待测试物体      194:测试载台
200-208:方向
具体实施方式
请参考图1和图2A,其分别绘示测试装置100的俯视图和立体图。测试装置100主要包含两个部分:测试头190和装载测试头190的移动机台110。当待测试物体192放置于测试载台194上时,移动机台110便会移动测试头190,使其与待测试物体192接触,以执行测试作业。
在本实施例中,移动机台110具有一基座120、第一滑动组件130、第二滑动组件140和一驱动装置150。以下就各个组件的连接关系与连动作用逐一说明。
基座120上设置有第一滑轨160,而第一滑动组件130配置连接于第一滑轨160上。如此一来,第一滑动组件130便可沿着第一滑轨160滑动。在本实施例中,第一滑轨160是依水平方向装设,第一滑动组件130相对于基座120而言,进行水平方向上的滑动。
在基座120上设置有一定位件,位于第一滑动组件130的移动路径上,在第一滑动组件130沿着第一滑轨160向前滑动的过程中,当第一滑动组件130接触定位件时,定位件会阻挡第一滑动组件130继续前进。具体而言,定位件是一个挡块122,挡块122可以设置在第一滑轨160的一侧,或者位于第一滑轨160上。在本实施例中,挡块122设置于第一滑轨160的内侧。
第一滑动组件130上设置有第二滑轨170,第二滑动组件140连接于第二滑轨170上。因此,第二滑动组件140会沿着第二滑轨170滑动。其中,第一滑轨160和第二滑轨170之间有一夹角,夹角的角度介于0度到180度之间。在本实施例中,第二滑轨170是依垂直方向装设,故两滑轨之间的夹角为直角。如此一来,第二滑动组件140相对于第一滑动组件130而言,进行垂直方向上的滑动。
测试装置100的测试头190固定于第二滑动组件140上。具体来说,第二滑动组件140上有一个组装部144,可用来组装固定测试头190。
移动机台110的驱动装置150固定于基座120上。具体而言,驱动装置150具有一个汽缸152,汽缸152锁固于基座120上。当汽缸152进气时,其推杆158会沿着水平方向向前推动。而当汽缸152放气时,则会将推杆158沿水平方向拉回。
推杆158的前端连接一推动件154,且推动件154连接在第一滑轨160上。因此,当汽缸152作动时,推杆158便驱动推动件154沿着第一滑轨160滑动,例如前进或后退。
推动件154由一连结件连接第一滑动组件130。当推动件154受推杆158推动时,推动件154会通过连结件带动第一滑动组件130向前滑动,直到第一滑动组件130撞到设置于基座120上的挡块122而停止滑动为止。在本发明的实施例中,连结件为一第一弹簧180,第一滑动组件130和推动件154分别连接于第一弹簧180的两端。第一弹簧180可作为第一滑动组件130和推动件154之间的缓冲。此外,在移动机台110的作动过程中,当推杆158拉回推动件154时,第一弹簧180也可协助汽缸152拉回推动件154和第一滑动组件130。
驱动装置150上有推抵部,第二滑动组件140上有转向部,推抵部线性抵接于转向部上(即:两者为线接触)。具体而言,推抵部具有一楔形结构,楔形结构上有一斜面156。转向部具有一回转轴142。斜面156抵接于回转轴142的外侧壁上。其中,斜面156的方向既非垂直方向也非水平方向,而是与垂直方向或水平方向有一个小于90度的交角。就本发明的实施例而言,斜面156与垂直方向的交角为45度,且斜面156向下。
当驱动装置150工作时,即汽缸152的推杆158驱使推动件154沿水平方向前进时,斜面156与回转轴152的相对运动会导致两种第二滑动组件140可能的移动方式。第一种移动方式是推动件154同时推动第一滑动组件130沿水平方向滑动,第一滑动组件130通过第二滑轨170也带着第二滑动组件140沿水平方向滑动。换句话说,斜面156和回转轴142之间没有相对运动,仅为接触。
第二种移动方式则是当第一滑动组件130受到挡块122抵挡而停止前行时,推动件154的楔形结构持续受汽缸152驱动而沿水平方向前进。此时,推抵部以斜面156推动转向部的回转轴142,而使得回转轴142沿着斜面156滚动。如上所述,在本发明的实施例中,斜面156向下,即与垂直方向具有一锐角,因此回转轴142沿着斜面156滚动时,回转轴142会沿着垂直方向向下移动,同时带动第二滑动组件140沿着第二滑轨170滑动,意即相对于第一滑动组件130沿垂直方向移动。
在本发明的实施例中,第一滑动组件130以第二弹簧182连接第二滑动组件140,用以维持第一滑动组件130和第二滑动组件140的相对位置。具体而言,当推动件154以斜面156推动回转轴142,而使得第二滑动组件140相对于第一滑动组件130垂直滑动时,第二弹簧182会产生形变,例如拉长或压缩。当推杆158拉回推动件154时,第二弹簧182的回复力便可拉回第二滑动组件140。
在本发明的实施例中,测试装置100的作动过程可细分为四个阶段,根据测试头190的移动方向依序为前进、下降、上升和后退等四个阶段,逐一详细说明如下。
请同时参考图2A和图2B,其分别绘示测试装置100在前进阶段的前、后状态。首先,在前进阶段中,汽缸152充气而驱使推杆158推动推动件154沿第一滑轨160前进,即为图2B中标示的方向200。推动件154通过第一弹簧180带动第一滑动组件130在第一滑轨160上前进,而第一滑动组件130也通过第二滑轨170带动第二滑动组件140沿方向200前进。如前所述,测试头190是固定于第二滑动组件140的组装部144上,故测试头190也沿方向200移动。此时,斜面156和回转轴142之间无相对运动。第一滑动组件130将前进到撞到挡块122为止。在本实施例中,挡块122锁固于基座120上,靠近第一滑轨160的一端。
接着为下降阶段。请同时参考图2B和图2C,其分别绘示测试装置100在下降阶段前后的状态。在下降阶段中,汽缸152持续驱动,以推杆158推动推动件154朝着方向200前进。第一滑动组件130因受挡块122阻挡而无法前进,因此第二滑动组件140在水平方向上也停止前进。
同时,第一弹簧180也受到推动件154作用而压缩。推抵部的斜面156推动回转轴142,而使得回转轴142顺着方向202转动,并且沿着斜面156滚动。如此一来,回转轴142便推动第二滑动组件140沿着第二滑轨170向下滑动,即顺着方向204移动。下降的距离是可由汽缸152的冲程、推杆158的长度及斜面156的坡度来进行调整,以符合测试头190和待测试物体192之间的垂直距离,以进行测试。
另外,基于第一滑动组件130和第二滑动组件140的相对位置改变,使得第二弹簧182产生形变,像是拉长或压缩。
待测试完成后,测试装置100接着进行上升阶段。在此阶段中,汽缸152排气而拉回推杆158,由于推动件154与推杆158连接一起,所以推动件154也被拉回,意即沿着第一滑轨160往方向208移动。同时,第一弹簧180的回复力也会将推动件154向方向208推动,以回复推动件154和第一滑动组件130的相对距离。由于斜面156被拉回,不再压着回转轴142及第二滑动组件140,而第二滑动组件140受第二弹簧182的回复力作用而拉回,即为往方向206移动。
最后为后退阶段。此时第一弹簧180和第二弹簧182均已回复原本长度,推动件154和第一滑动组件130的相对位置,以及第一滑动组件130和第二滑动组件140的相对位置均不再变动。汽缸152持续排气,推杆158拉回,并带动推动件154顺着第一滑轨160往方向208移动。同时,推动件154通过第一弹簧180拉动第一滑动组件130,而第一滑动组件130再通过第二滑轨170带动第二滑动组件140,全部一同朝着方向208移动,直到汽缸152停止作用为止。
由上述本发明的实施例可知,驱动装置150的驱动方向为水平方向,即汽缸152仅能驱动推杆158朝着方向200或方向208移动。然而,通过推动件154的斜面156与回转轴142的相对运动,使得测试头190可随着第二滑动组件140进行水平或垂直方向上的移动。
虽然本发明已以具体实施例揭示,但其并非用以限定本发明,任何本领域的技术人员,在不脱离本发明的构思和范围的前提下所作出的等同组件的置换,或依本发明专利保护范围所作的等同变化与修饰,皆应仍属本专利涵盖之范畴。

Claims (20)

1.一种移动机台,其特征在于该移动机台包含:
一基座,其上设置有一第一滑轨;
一第一滑动组件,配置于该第一滑轨上,且能沿该第一滑轨于该基座上滑动,其中该第一滑动组件包含一第二滑轨,且该第二滑轨与该第一滑轨间具有一夹角;
一第二滑动组件,设置连接于该第二滑轨上,且能沿该第二滑轨于该第一滑动组件上移动,其中该第二滑动组件具有一转向部;
一驱动装置,设置于该基座上并与该第一滑动组件接抵,且该驱动装置具有一推抵部,且该推抵部与该转向部线性抵接。
2.如权利要求1所述的移动机台,其特征在于:该驱动装置包含:
一汽缸,固定于该基座上;
一推动件,设置于该第一滑轨上,且该推动件是受该汽缸所驱动,并能连动该第一滑动组件。
3.如权利要求2所述的移动机台,其特征在于:该推动件更包含一连结件,该连接件与该第一滑动组件连结。
4.如权利要求3所述的移动机台,其特征在于:该连结件包含一第一弹簧,连接该推动件和该第一滑动组件。
5.如权利要求1所述的移动机台,其特征在于:更包含一第二弹簧,连接于该第一滑动组件和该第二滑动组件间。
6.如权利要求1所述的移动机台,其特征在于:更包含一定位件,设置于该基座上,并位于该第一滑轨的内侧及该第一滑动组件的滑移路径上。
7.如权利要求1所述的移动机台,其特征在于:该夹角为一直角。
8.如权利要求1所述的移动机台,其特征在于:该转向部包括一回转轴,该推抵部包括一斜面,而该斜面是接抵于该回转轴的外侧壁。
9.如权利要求8所述的移动机台,其特征在于:该斜面是向下与该回转轴的外侧壁接抵。
10.如权利要求8所述的移动机台,其特征在于:该斜面为45度角的斜面。
11.一种测试装置,其特征在于该测试装置至少包含:
一基座,其上设置有一第一滑轨;
一第一滑动组件,配置于该第一滑轨,且沿该第一滑轨于该基座上滑动,其中该第一滑动组件上设置有一第二滑轨;
一第二滑动组件,设置连接于该第二滑轨上,且沿该第二滑轨于该第一滑动组件上滑动,其中该第二滑动组件具有一转向部;
一测试头,固定于该第二滑动组件上;
一驱动装置,固定于该基座,与该第一滑动组间接抵,且具有一推抵部,该推抵部线性抵接该转向部。
12.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:该驱动装置包含:
一汽缸,固定于该基座上;
一推动件,设置于该第一滑轨上,其中该汽缸驱动该推杆,并连动该第一滑动组件。
13.如权利要求12所述的测试装置,其特征在于:更包含一连结件,连接该推动件和该第一滑动组件。
14.如权利要求13所述的测试装置,其特征在于:该连结件为一第一弹簧。
15.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:更包含一第二弹簧,连接该第一滑动组件和该第二滑动组件。
16.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:该转向部包含一回转轴,该推抵部具有一斜面,该斜面抵接该回转轴的外侧壁。
17.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:更包含一定位件,设置于该基座上,位于该第一滑轨的一侧及该第一滑动组件的移动路径上。
18.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:该第二滑动组件具有一组装部,该测试头组装固定于该组装部。
19.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:该第一滑轨是以水平方向装设于该第一滑动组件与该基座之间。
20.如权利要求11所述的测试装置,其特征在于:该第二滑轨是以垂直方向装设于该第一滑动组件与该第二滑动组件之间。
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