CN211043576U

CN211043576U - 激光芯片用高效测试系统

Info

Publication number: CN211043576U
Application number: CN201921648856.4U
Authority: CN
Inventors: 罗跃浩; 黄建军; 胡海洋
Original assignee: Stelight Instrument Inc
Current assignee: Suzhou Lianxun Instrument Co ltd
Priority date: 2019-09-30
Filing date: 2019-09-30
Publication date: 2020-07-17
Anticipated expiration: 2029-09-30

Abstract

本实用新型公开一种激光芯片用高效测试系统，包括安装在箱体中的芯片夹具、测试板、驱动电路板和电池，芯片夹具包括加热板、芯片载板和芯片电路板，箱体中安装有一端开口的测试盒，箱体上开有与测试盒的开口对应的插口，测试盒另一端开有供测试插头通过的通孔，测试板于插口处插接于测试盒中并形成相对密闭的空间，测试盒上开有一排气口，排气口处盖有一贴附在测试盒外壁上的弹性盖片。本实用新型该老化测试装置不仅利用气管向测试盒中充入所需的惰性气体，保护测试盒中芯片，保证老化测试精度，还能利用排气口将测试盒中的高温气体快速排出，并利用后续输入的气体快速冷却测试板，从而缩短不同批次芯片测试的周期间隔，提供老化测试效率。

Description

激光芯片用高效测试系统

技术领域

本实用新型涉及一种激光芯片用高效测试系统，属于芯片测试技术领域。

背景技术

质量和可靠性在一定程度上决定了芯片产品的寿命，而为了确保芯片产品的可靠性，在芯片被制造出来之后，往往需要采用老化测试检测芯片，其中，芯片的老化测试是一种采用电压和高温来加速器件电学故障的电应力测试方法，其模拟了芯片运行的整个寿命，从而尽早暴露芯片中的缺陷。

在现有技术中心，为了完成芯片的老化测试，不仅需要对芯片施加电压，还需要为芯片提供特定的温度环境，然而，对于一些特定的芯片产品，在高温下进行老化测试时，空气或具有氧气的气体环境会与芯片材料发生相互作用，进而影响到老化测试的精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种激光芯片用高效测试系统，该高效测试系统解决了氧气氧化芯片材料，影响老化测试精度和芯片质量的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种激光芯片用高效测试系统，包括安装在箱体中的芯片夹具、测试板、驱动电路板和电池，所述芯片夹具包括加热板、芯片载板和芯片电路板，所述芯片载板安装在加热板上并开有供芯片嵌入的芯片槽，所述芯片电路板安装在芯片载板上并具有与芯片电连接的芯片探针，此芯片电路板上还具有与芯片探针电连接的外接触点；

所述测试板上开有若干个夹具槽，所述芯片夹具嵌于此夹具槽中，且所述测试板上安装有一集成电路板，此集成电路板上具有与外接触点电连接的集成探针和与集成探针电连接的测试插头，此测试插头与驱动电路板电连接，所述电池用于为驱动电路板供电；

所述箱体中安装有一端开口的测试盒，所述箱体上开有与测试盒的开口对应的插口，所述测试盒另一端开有供测试插头通过的通孔，所述测试板于插口处插接于测试盒中并形成相对密闭的空间，所述测试盒上开有一排气口，所述排气口处盖有一贴附在测试盒外壁上的弹性盖片，此弹性盖片具有一与测试盒连接的尾部，所述测试盒通过气管与气源连通，所述箱体上开有与测试盒对应的排气孔。

上述技术方案中进一步改进的方案如下：

1. 上述方案中，所述测试盒的数目为4个，一个所述测试盒中测试板的数目为1个。

2. 上述方案中，所述弹性盖片为不锈钢片。

3. 上述方案中，所述排气口位于测试盒上方。

4. 上述方案中，所述测试板一端端部具有一位于插口外的挡板，此挡板大于插口并与插口四周的箱体外壁贴合。

5. 上述方案中，所述挡板外侧安装有一把手。

6. 上述方案中，所述测试盒两侧的内壁上具有一导轨，所述测试板两侧具有供导轨嵌入的导槽。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型激光芯片用高效测试系统，其通过将测试板插接在测试盒中，形成相对密闭的空间，利用气管即能向测试盒中充入所需的惰性气体，从而保护测试盒中芯片，保证老化测试精度；同时，在老化测试结束后，还能利用排气口将测试盒中的高温气体快速排出，并利用后续输入的气体快速冷却测试板，从而缩短不同批次芯片测试的周期间隔，提供老化测试效率。

附图说明

附图1为本实用新型激光芯片用高效测试系统的整体结构示意图；

附图2为测试盒部分的结构示意图；

附图3为测试板的结构示意图；

附图4为芯片夹具的结构示意图；

附图5为芯片夹具另一视角的结构示意图。

以上附图中：1、箱体；2、芯片夹具；21、加热板；22、芯片载板；221、芯片槽；23、芯片电路板； 231、芯片探针；232、外接触点；3、测试板；31、夹具槽；32、集成电路板；321、集成探针；322、测试插头；39、导槽；4、驱动电路板；5、电池；6、测试盒；61、排气口；62、弹性盖片；621、尾部；63、通孔；64、导轨；101、插口；102、排气孔；103、挡板；104、把手。

具体实施方式

在本专利的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利的具体含义。

实施例1：一种激光芯片用高效测试系统，参照附图1~5，包括安装在箱体1中的芯片夹具2、测试板3、驱动电路板4和电池5，所述芯片夹具2包括加热板21、芯片载板22和芯片电路板23，所述芯片载板22安装在加热板21上并开有供芯片嵌入的芯片槽221，所述芯片电路板23安装在芯片载板22上并具有与芯片电连接的芯片探针231，此芯片电路板23上还具有与芯片探针231电连接的外接触点232；

所述测试板3上开有若干个夹具槽31，所述芯片夹具2嵌于此夹具槽31中，且所述测试板3上安装有一集成电路板32，此集成电路板32上具有与外接触点232电连接的集成探针321和与集成探针321电连接的测试插头322，此测试插头322与驱动电路板4电连接，所述电池5用于为驱动电路4板供电；

所述箱体1中安装有一端开口的测试盒6，所述箱体1上开有与测试盒6的开口对应的插口101，所述测试盒6另一端开有供测试插头322通过的通孔63，所述测试板3于插口101处插接于测试盒6中并形成相对密闭的空间，所述测试盒6上开有一排气口61，所述排气口61处盖有一贴附在测试盒6外壁上的弹性盖片62，此弹性盖片62具有一与测试盒6连接的尾部621，所述测试盒6通过气管与气源连通，所述箱体1上开有与测试盒6 对应的排气孔102。

上述测试盒6的数目为4个，一个所述测试盒6中测试板3的数目为1个；所述弹性盖片62为不锈钢片；所述排气口61位于测试盒6上方；所述测试板3一端端部具有一位于插口101外的挡板103，此挡板103大于插口101并与插口101四周的箱体1外壁贴合；所述挡板103外侧安装有一把手104；所述测试盒6两侧的内壁上具有一导轨64，所述测试板3两侧具有供导轨64嵌入的导槽39。

实施例2：一种激光芯片用高效测试系统，参照附图1~5，包括安装在箱体1中的芯片夹具2、测试板3、驱动电路板4和电池5，所述芯片夹具2包括加热板21、芯片载板22和芯片电路板23，所述芯片载板22安装在加热板21上并开有供芯片嵌入的芯片槽221，所述芯片电路板23安装在芯片载板22上并具有与芯片电连接的芯片探针231，此芯片电路板23上还具有与芯片探针231电连接的外接触点232；

上述箱体1中安装有一端开口的测试盒6，所述箱体1上开有与测试盒6的开口对应的插口101，所述测试盒6另一端开有供测试插头322通过的通孔63，所述测试板3于插口101处插接于测试盒6中并形成相对密闭的空间，所述测试盒6上开有一排气口61，所述排气口61处盖有一贴附在测试盒6外壁上的弹性盖片62，此弹性盖片62具有一与测试盒6连接的尾部621，所述测试盒6通过气管与气源连通，所述箱体1上开有与测试盒6 对应的排气孔102。

采用上述激光芯片用高效测试系统时，其通过将测试板插接在测试盒中，形成相对密闭的空间，利用气管即能向测试盒中充入所需的惰性气体，从而保护测试盒中芯片，保证老化测试精度；同时，在老化测试结束后，还能利用排气口将测试盒中的高温气体快速排出，并利用后续输入的气体快速冷却测试板，从而缩短不同批次芯片测试的周期间隔，提供老化测试效率。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种激光芯片用高效测试系统，其特征在于：包括安装在箱体（1）中的芯片夹具（2）、测试板（3）、驱动电路板（4）和电池（5），所述芯片夹具（2）包括加热板（21）、芯片载板（22）和芯片电路板（23），所述芯片载板（22）安装在加热板（21）上并开有供芯片嵌入的芯片槽（221），所述芯片电路板（23）安装在芯片载板（22）上并具有与芯片电连接的芯片探针（231），此芯片电路板（23）上还具有与芯片探针（231）电连接的外接触点（232）；

所述测试板（3）上开有若干个夹具槽（31），所述芯片夹具（2）嵌于此夹具槽（31）中，且所述测试板（3）上安装有一集成电路板（32），此集成电路板（32）上具有与外接触点（232）电连接的集成探针（321）和与集成探针（321）电连接的测试插头（322），此测试插头（322）与驱动电路板（4）电连接，所述电池（5）用于为驱动电路板（4）供电；

所述箱体（1）中安装有一端开口的测试盒（6），所述箱体（1）上开有与测试盒（6）的开口对应的插口（101），所述测试盒（6）另一端开有供测试插头（322）通过的通孔（63），所述测试板（3）于插口（101）处插接于测试盒（6）中并形成相对密闭的空间，所述测试盒（6）上开有一排气口（61），所述排气口（61）处盖有一贴附在测试盒（6）外壁上的弹性盖片（62），此弹性盖片（62）具有一与测试盒（6）连接的尾部（621），所述测试盒（6）通过气管与气源连通，所述箱体（1）上开有与测试盒（6）对应的排气孔（102）。

2.根据权利要求1所述的激光芯片用高效测试系统，其特征在于：所述测试盒（6）的数目为4个，一个所述测试盒（6）中测试板（3）的数目为1个。

3.根据权利要求1所述的激光芯片用高效测试系统，其特征在于：所述弹性盖片（62）为不锈钢片。

4.根据权利要求1所述的激光芯片用高效测试系统，其特征在于：所述排气口（61）位于测试盒（6）上方。

5.根据权利要求1所述的激光芯片用高效测试系统，其特征在于：所述测试板（3）一端端部具有一位于插口（101）外的挡板（103），此挡板（103）大于插口（101）并与插口（101）四周的箱体（1）外壁贴合。

6.根据权利要求5所述的激光芯片用高效测试系统，其特征在于：所述挡板（103）外侧安装有一把手（104）。

7.根据权利要求1所述的激光芯片用高效测试系统，其特征在于：所述测试盒（6）两侧的内壁上具有一导轨（64），所述测试板（3）两侧具有供导轨（64）嵌入的导槽（39）。