CN112495712A - 半导体激光器阵列反射镜耦合装置 - Google Patents

半导体激光器阵列反射镜耦合装置 Download PDF

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CN112495712A CN202011374942.8A CN202011374942A CN112495712A CN 112495712 A CN112495712 A CN 112495712A CN 202011374942 A CN202011374942 A CN 202011374942A CN 112495712 A CN112495712 A CN 112495712A
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    • F16B11/006—Connecting constructional elements or machine parts by sticking or pressing them together, e.g. cold pressure welding by gluing

Abstract

本发明提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：装置底板平面设置，所述装置底板上设置有横梁；料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述横梁上；物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；点胶单元设置有点胶机构和固化机构。

Description

半导体激光器阵列反射镜耦合装置
技术领域
本发明涉及半导体激光器技术领域，特别涉及一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置。
背景技术
半导体激光器具有体积小，重量轻，效率高，寿命长等诸多有点，其在国民经济的各方面起着越来越重要的作用；随着实际工程的发展，对于半导体激光器的输出功率要求越来越高，为了获得高输出功率需要采用阵列半导体激光器，即将多个半导体激光器线状集成在同一个载体上，通过光学元件将每个半导体激光器产生的激光汇聚到一起。
反射镜是阵列半导体激光器的光学元件中极为重要的一个，其负责将每个半导体激光器的光反射至同一方向，反射镜的耦合精度直接影响到阵列半导体激光器的质量；现有的阵列半导体激光器的反射镜大多采用人工耦合或半自动化耦合，其中人工耦合需要操作人员提前给半导体激光器上电，使其发射激光，随后利用器具将反射镜设置在光路上，通过细微的调整使得激光照射向指定角度，在确定好耦合位置后还需要通过胶体令反射镜固定在载体上，整个过程工序繁琐且耗时长，且在整个过程中需要保证反射镜不会被污染，否则极易影响到激光的反射质量，若半导体激光器的功率过高还有可能对操作人员的人身安全造成影响；其中半自动化耦合时反射镜的夹持通常采用夹取或者气吸等单一夹持方式，其夹持效率低下、夹持精度不高，为适应单一夹持方式通常还需要将反射镜由原装料盘移送至夹持专用料盘，这一步骤极大的增加了耦合时间，降低了耦合效率。
发明内容
本发明提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其目的是为了提升反射镜耦合效率以及耦合精度。
为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：
装置底板，所述装置底板平面设置，所述装置底板上设置有横梁；
料盘单元，所述料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座通过所述料盘运动机构设置在所述装置底板上，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；
夹具单元，所述夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具机构通过所述夹具运动机构设置在横梁上，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；
视觉监测单元，所述视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述横梁上；
物料单元，所述物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；
探针单元，所述探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；
点胶单元，所述点胶单元设置有点胶机构和固化机构。
其中，所述料盘运动机构设置有第一料盘运动平台，所述第一料盘运动平台的活动板上通过料盘连接件设置有第二料盘运动平台，所述第二料盘运动平台的活动板上设置有料盘旋转平台，所述料盘安装座设置在所述料盘旋转平台上。
其中，所述夹具运动机构设置有第一运动平台、第二运动平台、第三运动平台、第一旋转运动平台和第二旋转运动平台；所述第二运动平台通过连接件设置在所述第一运动平台的活动板上，所述第三运动平台设置在所述第二运动平台的活动板上，所述第一旋转运动平台设置在所述第三运动平台的活动板上，所述第二旋转运动平台通过平台连接件设置在所述第一旋转运动平台上。
其中，所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述第二旋转运动平台的活动板上，所述夹具机构设置有夹持气缸连接件、夹持气缸、吸头连接件和吸头；所述夹持气缸连接件设置在所述夹具连接件上，所述夹持气缸设置在所述夹持气缸连接件的前端底部，所述夹持气缸的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头，所述吸头连接件设置在所述夹具连接件上，所述吸头向下设置在所述吸头连接件的前端，所述吸头设置在两个所述反射镜夹头之间。
其中，所述吸头底部开设有反射镜吸附槽，所述吸头连通负压，所述反射镜吸附槽用于吸附反射镜。
其中，所述相机运动机构设置有相机手动三维平台，所述相机手动三维平台固定设置在所述横梁上，所述监测相机通过相机连接件设置在所述相机手动三维平台上，所述吸头设置有用于视觉监测的视觉识别块。
其中，所述物料运动机构设置有第一物料运动平台、第二物料运动平台和第三物料运动平台，所述物料吸盘通过吸盘连接件设置在所述第三物料运动平台的活动板上；所述物料吸盘上设置有物料定位块。
其中，所述探针单元设置在所述物料单元旁，所述探针运动机构设置有探针进退气缸和探针升降气缸，所述探针夹持机构设置有探针支架和探针固定件，所述探针升降气缸通过探针连接件安装在所述探针进退气缸上，所述探针支架设置在所述探针升降气缸的输出板上，所述加电探针通过所述探针固定件安装在所述探针支架上。
其中，所述点胶机构包括三维手动平台、点胶气缸安装座、点胶气缸、胶筒固定件和胶筒，所述三维手动平台固定设置在所述第三运动平台和第一旋转运动平台之间，所述点胶气缸通过所述点胶气缸安装座倾斜设置在所述三维手动平台上，所述胶筒通过所述胶筒固定件设置在所述点胶气缸的输出板上。
其中，所述固化机构设置有UV灯支架、UV灯固定件和UV灯，所述UV灯支架设置在所述探针支架侧面，所述UV灯通过所述UV灯固定件安装在所述UV灯支架上。
本发明的上述方案有如下的有益效果：
本发明的上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，设置有装置底板、料盘单元、夹具单元、视觉监测单元、物料单元、探针单元和点胶单元，其中探针单元能够为激光器芯片上电发光，夹具单元会从所述料盘单元夹取反射镜并将反射镜运输至物料单元的耦合位置，通过点胶单元点胶并固化将反射镜固定在耦合位置；其中夹具单元的夹具运动机构能够驱动夹具机构自由运动实现精确位移，夹具机构能够通过夹取和吸附双重作用实现精确夹持。本发明结构设计合理，自动化程度高，能够实现反射镜的自动耦合与安装，夹持精度高，有效提高了耦合效率。
附图说明
图1为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的结构示意图；
图2为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的料盘单元示意图；
图3为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的夹具单元示意图；
图4为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的夹具单元局部图；
图5为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的视觉监测单元示意图；
图6为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的物料单元示意图；
图7为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的探针单元及固化机构示意图；
图8为本发明的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的点胶机构示意图。
【附图标记说明】
1-装置底板；2-料盘单元；3-夹具单元；4-视觉监测单元；5-物料单元；6-探针单元；7-点胶单元；101-横梁；201-料盘安装座；202-反射镜料盘；203-反射镜；204-第一料盘运动平台；205-料盘连接件；206-第二料盘运动平台；207-料盘旋转平台；301-第一运动平台；302-第二运动平台；303-第三运动平台；304-第一旋转运动平台；305-第二旋转运动平台；306-连接件；307-平台连接件；308-夹具连接件；309-夹持气缸连接件；310-夹持气缸；311-吸头连接件；312-吸头；313-反射镜夹头；314-反射镜吸附槽；315-视觉识别块；401-监测相机；402-相机手动三维平台；403-相机连接件；501-物料吸盘；502-激光器基座；503-第一物料运动平台；504-第二物料运动平平台；505-第三物料运动平台；506-吸盘连接件；507-物料定位块；601-加电探针；602-探针进退气缸；603-探针升降气缸；604-探针支架；605-探针固定件；606-探针连接件；701-三维手动平台；702-点胶气缸安装座；703-点胶气缸；704-胶筒固定件；705-胶筒；706-UV灯支架；707-UV灯固定件；708-UV灯。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明针对现有耦合方式反射镜耦合效率低、耦合精度低的问题，提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置。
如图1至图8所示，本发明的实施例提供了一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：
装置底板1，所述装置底板1平面设置，所述装置底板1上设置有横梁101；料盘单元2，所述料盘单元2设置有料盘运动机构和料盘安装座201，所述料盘安装座201通过所述料盘运动机构设置在所述装置底板1上，所述料盘安装座201用于安装反射镜料盘202；夹具单元3，所述夹具单元3设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具机构通过所述夹具运动机构设置在横梁101上，所述夹具单元3用于夹持并运输反射镜203；视觉监测单元4，所述视觉监测单元4设置有监测相机401和相机运动机构，所述监测相机401通过所述相机运动机构安装在所述横梁101上；物料单元5，所述物料单元5设置有物料运动机构和物料吸盘501，所述物料吸盘501通过所述物料运动平台安装在所述装置底板1上；探针单元6，所述探针单元6设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板1上，所述探针夹持机构上安装有加电探针601；点胶单元7，所述点胶单元设置有点胶机构和固化机构。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，设置有所述装置底板1、料盘单元2、夹具单元3、视觉监测单元4、物料单元5、探针单元6和点胶单元7，所述料盘单元2需要提前在料盘安装座201上安装反射镜料盘202，所述物料单元5预先通过所述物料吸盘501吸附有激光器基座502，其中所述探针运动机构会驱动所述探针夹持机构将所述加电探针601接触至激光器芯片上，令激光器芯片发射激光，所述夹具运动机构会驱动所述夹具机构从所述反射镜料盘202夹持反射镜203，并将反射镜203运送至所述激光器基座502上的耦合处，初步耦合完毕后点胶机构会在耦合位置点上UV胶，所述夹具运动机构会再次驱动所述夹具机构夹持反射镜203进行二次耦合，耦合完毕所述固化机构会照射紫外线令所述UV胶固化，从而完成反射镜的安装。
其中，所述料盘运动机构设置有第一料盘运动平台204，所述第一料盘运动平台204的活动板上通过料盘连接件205设置有第二料盘运动平台206，所述第二料盘运动平台206的活动板上设置有料盘旋转平台207，所述料盘安装座201设置在所述料盘旋转平台207上。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述料盘安装座201上开设有料盘定位槽，反射镜料盘202能够快速定位安装在所述料盘安装座201上，所述第一料盘运动平台204和第二料盘运动平台206令所述料盘安装座201具有沿水平方向自由运动的能力，所述料盘旋转平台207使得所述料盘安装座201能够旋转，从而配合所述夹具单元3夹持反射镜203。
如图3所示，所述夹具运动机构设置有第一运动平台301、第二运动平台302、第三运动平台303、第一旋转运动平台304和第二旋转运动平台305；所述第二运动平台302通过连接件306设置在所述第一运动平台301的活动板上，所述第三运动平台303设置在所述第二运动平台302的活动板上，所述第一旋转运动平台304设置在所述第三运动平台303的活动板上，所述第二旋转运动平台305通过平台连接件307设置在所述第一旋转运动平台304上。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述夹具机构能够通过所述夹具运动机构上的所述第一运动平台301、第二运动平台302和第三运动平台303实现三向自由运动，还能够通过所述第一旋转运动平台304和第二旋转运动平台305进行旋转运动；当所述夹具机构通过所述夹具运动机构移动至反射镜203上方时，所述夹持夹具会将反射镜初步夹住，从而限制反射镜两个方向上的移动，随后所述吸附夹具会将反射镜203牢固吸附，吸附完毕后能够将反射镜203运输到需要耦合安装的位置。
如图3和图4所示，所述夹具机构通过一夹具连接件308设置在所述第二旋转运动平台305的活动板上，所述夹具机构设置有夹持气缸连接件309、夹持气缸310、吸头连接件311和吸头312；所述夹持气缸连接件309设置在所述夹具连接件309上，所述夹持气缸310设置在所述夹持气缸连接件309的前端底部，所述夹持气缸310的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头313，所述吸头连接件311设置在所述夹具连接件308上，所述吸头312向下设置在所述吸头连接件311的前端，所述吸头312设置在两个所述反射镜夹头313之间。
其中，所述吸头312底部开设有反射镜吸附槽314，所述吸头312连通负压，所述反射镜吸附槽314用于吸附反射镜203。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，当所述夹持气缸310启动，其输出端的两个所述反射镜夹头313会向内运动，当反射镜203位于两个所述反射镜夹头313之间时会被夹持固定，从而完成反射镜203两个方向上的定位，随后所述吸附夹具会通过反射镜吸附槽314将反射镜203从第三个方向上牢固吸附，从而实现对反射镜203的精准夹持，吸附完毕后所述夹持气缸301可以松开，通过所述夹具运动机构将反射镜203运输到耦合处。
如图5所示，所述相机运动机构设置有相机手动三维平台402，所述相机手动三维平台402固定设置在所述横梁101上，所述监测相机401通过相机连接件403设置在所述相机手动三维平台402上，所述吸头312设置有用于视觉监测的视觉识别块315。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述监测相机401通过所述相机连接件403设置在所述相机手动三维平台402上，所述相机手动三维平台402能够调整所述监测相机401的位置；所述监测相机401大致设置在所述料盘单元2上方，当所述夹具单元3移动至所述料盘单元2夹取反射镜203时，所述监测相机401能够通过所述视觉识别块315监测所述夹具机构对反射镜203的夹持情况。
如图6所示，所述物料运动机构设置有第一物料运动平台503、第二物料运动平台504和第三物料运动平台505，所述物料吸盘501通过吸盘连接件506设置在所述第三物料运动平台505的活动板上；所述物料吸盘501上设置有物料定位块507。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述第一物料运动平台503设置在所述装置底板1上，所述第二物料运动平台504设置在所述第一物料运动平台503的活动板上，所述第三物料运动平台505竖直设置在所述第二物料运动平台504的活动板上，所述物料吸盘通过所述吸盘连接件设置在所述第三物料运动平台505的活动板上，所述物料吸盘501能够用于吸附激光器基座502，所述物料定位块507用于所述激光器基座502抵靠定位，从而提升所述激光器基座502的安装效率，所述第一物料运动平台503、第二物料运动平台504和第三物料运动平台504能够令所述物料吸盘501带动所述激光器基座502自由运动。
如图7所示，所述探针单元6设置在所述物料单元5旁，所述探针运动机构设置有探针进退气缸602和探针升降气缸603，所述探针夹持机构设置有探针支架604和探针固定件605，所述探针升降气缸603通过探针连接件606安装在所述探针进退气缸602上，所述探针支架604设置在所述探针升降气缸603的输出板上，所述加电探针601通过所述探针固定件605安装在所述探针支架604上。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述探针进退气缸602和探针升降气缸603能够分别驱动所述探针夹持机构前后以及升降运动，所述探针支架604上通过所述探针固定件605安装有两根所述加电探针601，分别用于对激光器芯片的正负极加电。
如图8所示，所述点胶机构包括三维手动平台701、点胶气缸安装座702、点胶气缸703、胶筒固定件704和胶筒705，所述三维手动平台701固定设置在所述第三运动平台303和第一旋转运动平台304之间，所述点胶气缸703通过所述点胶气缸安装座702倾斜设置在所述三维手动平台701上，所述胶筒705通过所述胶筒固定件704设置在所述点胶气缸703的输出板上。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述三维手动平台701通过点胶机构安装板设置在所述第三运动平台303和第一旋转运动平台304之间，所述第一运动平台301、第二运动平台302、第三运动平台303能够控制所述点胶机构运动，当所述点胶气缸703启动所述胶筒705会随之前伸，当所述胶筒705移动至耦合处，所述胶筒705的针头会对耦合处点胶。
如图7所示，所述固化机构设置有UV灯支架706、UV灯固定件707和UV灯708，所述UV灯支架706设置在所述探针支架604侧面，所述UV灯708通过所述UV灯固定件707安装在所述UV灯支架706上。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，所述UV灯支架706设置在所述探针支架604侧面，所述固化机构能够随所述探针运动机构运动，所述UV灯708共设置有两支，均通过所述UV灯固定件707安装在所述UV灯支架706上，当反射镜二次耦合完成，两支所述UV灯708能够从两侧对耦合处的胶体照射，从而令反射镜固定在所述激光器基座502上。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，还设置有光束分析仪，所述光束分析设置在反射镜反射激光的光路上，通过接收并分析每一道激光光束的落点大小和落点位置从而判断反光镜是否精确耦合。
本发明上述实施例所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的工作过程为：预先将反射镜料盘202安装至所述料盘安装座201上，将激光器基座502吸附在所述物料吸盘501上，所述探针运动机构会驱动所述探针夹持机构将所述加电探针601接触至激光器芯片的电极上，所述激光器芯片会发射激光，所述夹具运动机构会驱动所述夹具机构移动至所述料盘单元2夹持并吸附反射镜203，将反射镜203运送至激光器基座的耦合处，初步耦合完毕后点胶机构会随所述第一运动平台301、第二运动平台302、第三运动平台303移动至合适位置，所述胶筒705在耦合位置点上UV胶，点胶完毕所述夹具运动机构会再次驱动所述夹具机构夹持反射镜203进行二次耦合，耦合完毕所述固化机构通过所述UV灯708会照射紫外线令所述UV胶固化，从而完成反射镜203的安装。本发明结构设计合理，自动化程度高，能够实现反射镜的自动耦合与安装，夹持精度高，有效提高了耦合效率。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，包括：
装置底板，所述装置底板平面设置，所述装置底板上设置有横梁；
料盘单元，所述料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座通过所述料盘运动机构设置在所述装置底板上，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；
夹具单元，所述夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具机构通过所述夹具运动机构设置在横梁上，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；
视觉监测单元，所述视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述横梁上；
物料单元，所述物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；
探针单元，所述探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；
点胶单元，所述点胶单元设置有点胶机构和固化机构。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述料盘运动机构设置有第一料盘运动平台，所述第一料盘运动平台的活动板上通过料盘连接件设置有第二料盘运动平台，所述第二料盘运动平台的活动板上设置有料盘旋转平台，所述料盘安装座设置在所述料盘旋转平台上。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述夹具运动机构设置有第一运动平台、第二运动平台、第三运动平台、第一旋转运动平台和第二旋转运动平台；所述第二运动平台通过连接件设置在所述第一运动平台的活动板上，所述第三运动平台设置在所述第二运动平台的活动板上，所述第一旋转运动平台设置在所述第三运动平台的活动板上，所述第二旋转运动平台通过平台连接件设置在所述第一旋转运动平台上。
4.根据权利要求3所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述第二旋转运动平台的活动板上，所述夹具机构设置有夹持气缸连接件、夹持气缸、吸头连接件和吸头；所述夹持气缸连接件设置在所述夹具连接件上，所述夹持气缸设置在所述夹持气缸连接件的前端底部，所述夹持气缸的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头，所述吸头连接件设置在所述夹具连接件上，所述吸头向下设置在所述吸头连接件的前端，所述吸头设置在两个所述反射镜夹头之间。
5.根据权利要求4所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述吸头底部开设有反射镜吸附槽，所述吸头连通负压，所述反射镜吸附槽用于吸附反射镜。
6.根据权利要求5所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述相机运动机构设置有相机手动三维平台，所述相机手动三维平台固定设置在所述横梁上，所述监测相机通过相机连接件设置在所述相机手动三维平台上，所述吸头设置有用于视觉监测的视觉识别块。
7.根据权利要求1所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述物料运动机构设置有第一物料运动平台、第二物料运动平台和第三物料运动平台，所述物料吸盘通过吸盘连接件设置在所述第三物料运动平台的活动板上；所述物料吸盘上设置有物料定位块。
8.根据权利要求1所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述探针单元设置在所述物料单元旁，所述探针运动机构设置有探针进退气缸和探针升降气缸，所述探针夹持机构设置有探针支架和探针固定件，所述探针升降气缸通过探针连接件安装在所述探针进退气缸上，所述探针支架设置在所述探针升降气缸的输出板上，所述加电探针通过所述探针固定件安装在所述探针支架上。
9.根据权利要求3所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述点胶机构包括三维手动平台、点胶气缸安装座、点胶气缸、胶筒固定件和胶筒，所述三维手动平台固定设置在所述第三运动平台和第一旋转运动平台之间，所述点胶气缸通过所述点胶气缸安装座倾斜设置在所述三维手动平台上，所述胶筒通过所述胶筒固定件设置在所述点胶气缸的输出板上。
10.根据权利要求8所述的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述固化机构设置有UV灯支架、UV灯固定件和UV灯，所述UV灯支架设置在所述探针支架侧面，所述UV灯通过所述UV灯固定件安装在所述UV灯支架上。
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