JP2011247669A - 絶縁検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】一対の配線パターン間に発生するスパークを確実に検出する。
【解決手段】第１および第２プローブ１１，１２を介して配線パターン３，３間に印加する直流検査電圧Ｖｅｘを生成する検査電圧発生部２３と、直流検査電圧Ｖｅｘの印加時に配線パターン３，３間に発生する電圧Ｖｍを両プローブ１１，１２を介して測定する電圧測定部２４と、直流検査電圧Ｖｅｘの印加時に配線パターン３，３間に流れる電流Ｉｍを測定する電流測定部２５と、直流検査電圧Ｖｅｘの印加時に配線パターン３，３間でのスパークの発生の有無を検出するスパーク検出部１７と、スパークの発生が検出されなかった配線パターン３，３についての絶縁状態を電圧Ｖｍ，電流Ｉｍに基づいて検査する絶縁検査処理を実行する処理部２８とを備え、スパーク検出部１７は、一方のプローブ１２が固定されると共にプローブ駆動部１６によって駆動される移動アーム１６ａに配設されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、回路基板に形成された配線パターン間の絶縁状態を検査する絶縁検査装置であって、特に、絶縁検査中に配線パターン間にスパーク（放電）が発生したか否かを検出し得る絶縁検査装置に関するものである。

この種の絶縁検査装置として、本願出願人は、下記特許文献１に開示された絶縁検査装置を既に提案している。この絶縁検査装置は、定電圧源を有して検査対象体の所定部位に検査用プローブを介して検査用電圧を供給する電圧供給部と、所定部位に所定電圧値の検査用電圧が供給されている状態において検査対象体の絶縁状態を検査する検査部と、検査用電圧の電圧値に基づいて検査対象体におけるスパークの発生を検出する検出部と、電圧供給部を制御して所定部位に検査用電圧を供給させた状態において検査部を制御して検査対象体の絶縁状態を検査させる検査処理を実行すると共に検出部によってスパークの発生が検出されたときに予め規定された所定処理を実行する制御部とを備え、電圧供給部は、定電圧源と出力部との間に接続された抵抗体を介して検査用電圧を供給するように構成されている。

具体的には、この絶縁検査装置では、一対の検査用プローブと移動機構とを備えたプローブ機構が、検査対象体としての一対の導体パターンに検査用プローブを移動させて接触させ、電圧供給部が、各検査用プローブを介して一対の導体パターン間に検査用電圧を供給する。この状態において、検査用電圧の供給によって一対の導体パターン間に流れる電流を測定してその電流値を示す測定データを出力する電流測定部、およびこの電流が流れることによって一対の導体パターン間に発生する電圧を測定してその電圧値を示す測定データを出力する電圧測定部を備えて構成され、上記の制御部と相俟って上記検査部および検出部として機能する測定部が、一対の導体パターン間に流れる電流および一対の導体パターン間の電圧を検出して各測定データを出力し、制御部が、各測定データのうちの電圧値を示す測定データに基づいてスパークの発生を検出しつつ、両測定データに基づいて一対の導体パターン間の抵抗値を算出して絶縁検査を実行する。

特開２０１０−６６０５０号公報（第５−６頁、第１図）

ところが、上記の絶縁検査装置には、以下の課題が存在している。すなわち、従来の絶縁検査装置では、プローブ機構と測定部とが別体に構成されて、別の場所に配設されているため、プローブ機構に含まれている検査用プローブと、測定部とを複数の配線（ケーブル）で接続する必要が生じる。このため、従来の絶縁検査装置には、スパークの発生に伴い検査用プローブに生じた電圧についての波形が、配線間において浮遊容量が存在することに起因して、この電圧が配線を介して測定部に到達するまでの間でなまり、この電圧のレベルが低下する結果、この電圧のレベルの変化を測定部において測定できない虞があるという課題が存在している。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、一対の配線パターン間に発生するスパークを確実に検出し得る絶縁検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の絶縁検査装置は、絶縁検査の対象となる一対の配線パターンのうちの一方の配線パターンに接触させられる第１プローブと、前記一対の配線パターンのうちの他方の配線パターンに接触させられる第２プローブと、前記第１プローブおよび前記第２プローブを介して前記一対の配線パターン間に印加する直流検査電圧を生成する検査電圧生成部と、前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に発生するパターン間電圧を前記第１プローブおよび前記第２プローブを介して測定する電圧測定部と、前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に流れる電流を測定する電流測定部と、前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間にスパークが発生したか否かを検出するスパーク検出部と、前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出された前記一対の配線パターンについては不良と判別し、前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出されなかった前記一対の配線パターンについては前記電圧測定部によって測定された前記パターン間電圧および前記電流測定部によって測定された前記電流に基づいて当該一対の配線パターンの絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する処理部とを備えた絶縁検査装置であって、前記スパーク検出部は、前記第１プローブおよび前記第２プローブのうちの一方のプローブが固定されると共にプローブ駆動部によって駆動される移動アームに配設されている。

請求項２記載の絶縁検査装置は、請求項１記載の絶縁検査装置において、前記一方のプローブは、前記直流検査電圧の印加時に低圧側となるように規定され、前記スパーク検出部は、前記スパークの発生を検出したときにはトリガ信号を出力可能に構成され、前記移動アームに配設されると共に、前記トリガ信号を入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流を出力するパルス生成部と、前記移動アームに配設されると共に前記一方のプローブと前記電流測定部との間に介装され、前記一対の配線パターン間に流れる電流を当該電流測定部に出力すると共に前記パルス生成部によって前記パルス電流が出力されたときには当該一対の配線パターン間に流れる前記電流に当該パルス電流を注入して当該電流測定部に出力する信号注入部とを備えている。

請求項１記載の絶縁検査装置によれば、第１プローブおよび第２プローブのうちの一方のプローブが固定されると共にプローブ駆動部によって駆動される移動アームにスパーク検出部が配設されているため、直流電圧の印加に起因して一対の配線パターン間で発生するスパークをこの直流電圧を印加する一方のプローブの極めて近くで検出することができる結果、より確実にスパークを検出することができる。

また、請求項２記載の絶縁検査装置によれば、直流電圧の印加時に低圧側となるように規定された一方のプローブが固定された移動アームにスパーク検出部、パルス生成部およびパルス注入部が配設されると共に、スパーク検出部がスパークの発生を検出したときにはトリガ信号を出力可能に構成され、パルス生成部がトリガ信号を入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流を出力し、信号注入部が一対の配線パターン間に流れる電流を電流測定部に出力すると共にパルス生成部によってパルス電流が出力されたときには一対の配線パターン間に流れる電流にパルス電流を注入して電流測定部に出力することにより、スパークの発生を処理部に伝えるための信号としてのパルス電流を一対の配線パターン間に流れる電流と共通の１本の配線に流すことができるため、スパークの発生を処理部に伝えるための信号を伝達させるための配線を別途設ける構成と比較して、配線の数を低減することができる。

絶縁検査装置１の構成を示す構成図である。 絶縁検査装置１Ａの構成を示す構成図である。

以下、絶縁検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、絶縁検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。なお、一例として、回路基板２に形成された配線パターン３，３間の絶縁状態を検査する例を挙げて説明する。

図１に示す絶縁検査装置１は、一例として回路基板２に形成された複数の配線パターン３についての絶縁状態（隣接する他の配線パターンとの間の絶縁状態）を検査する絶縁検査装置であって、第１プローブ１１、第２プローブ１２、第３プローブ１３、第４プローブ１４、プローブ駆動部１５，１６、スパーク検出部１７、パルス生成部１８、信号注入部１９、検査電圧生成部２３、電圧測定部２４、電流測定部２５、接続切替部２６、プローブ駆動制御部２７および処理部２８を備えている。

第１プローブ１１および第３プローブ１３は、相互に電気的に絶縁された状態で、図１に示すように、プローブ駆動部１５に連結された移動アーム１５ａに固定されている。第２プローブ１２および第４プローブ１４は、相互に電気的に絶縁された状態で、プローブ駆動部１６に連結された移動アーム１６ａに固定されている。

プローブ駆動部１５，１６は、プローブ駆動制御部２７によって制御されることにより、回路基板２における検査対象となる配線パターン３が形成された面側において、それぞれに固定された移動アーム１５ａ，１６ａを三次元的に移動可能に構成されている。この構成により、プローブ駆動部１５は、移動アーム１５ａに取り付けられた第１プローブ１１および第３プローブ１３の各先端を、複数の配線パターン３から選択された検査対象となる一対の配線パターン３，３のうちの一方の配線パターン３に同時に接触させることが可能に構成されている。また、プローブ駆動部１６は、移動アーム１６ａに取り付けられた第２プローブ１２および第４プローブ１４の各先端を、上記の一対の配線パターン３，３のうちの他方の配線パターン３に同時に接触させることが可能に構成されている。

第１プローブ１１は、配線Ｗ１を介して接続切替部２６におけるプローブ側端子群Ｔｐのうちの１つの端子Ｔｐ１に接続されている。また、第３プローブ１３は、配線Ｗ３を介して接続切替部２６におけるプローブ側端子群Ｔｐのうちの他の１つの端子Ｔｐ３に接続されている。

一方、直流検査電圧Ｖｅｘが印加される第１プローブ１１側（高圧側）に対して低圧側となる第２プローブ１２（低圧側となるように規定された一方のプローブ）が取り付けられた移動アーム１６ａには、図１に示すように、スパーク検出部１７、パルス生成部１８および信号注入部１９が取り付けられている（配設されている）。この場合、同図中の一点鎖線で囲まれた領域内の部材は、移動アーム１６ａと一体となって移動するものとする。第２プローブ１２は、信号注入部１９の第１入力端子ａに接続されている。第４プローブ１４は、配線Ｗ４を介して接続切替部２６におけるプローブ側端子群Ｔｐのうちの１つの端子Ｔｐ４に接続されている。

スパーク検出部１７は、一例として、第２プローブ１２に発生している電圧を示す電圧信号を予め規定されたサンプリング周期でサンプリングして電圧データに変換して出力する不図示のＡ／Ｄ変換器と、この電圧データの変位量（一例として、最新の電圧データとその一つ前の電圧データとの間の変位量）を算出すると共に、この変位量が予め規定された基準量以上に変位したときにトリガ信号Ｓｔを出力する不図示の演算回路とを備えて構成されている。

この絶縁検査装置１では、後述するように、第１プローブ１１が接続切替部２６を介して検査電圧生成部２３に接続されると共に、第２プローブ１２が信号注入部１９および接続切替部２６を介して電流測定部２５に接続された状態において、検査電圧生成部２３から出力された直流検査電圧Ｖｅｘが一対の配線パターン３，３間に印加される。このため、一対の配線パターン３，３間に局部的に絶縁抵抗の小さい部位（例えば、断面積のきわめて小さいひげ状の導体パターン）が存在している場合において、直流検査電圧Ｖｅｘの印加によってこの部位にスパークが発生したときには、スパーク時に発生する一時的な電流の増加に起因して、第１プローブ１１に印加されている直流検査電圧Ｖｅｘに電圧の急激な低下が発生すると共に、第２プローブ１２の電圧にも急激な低下が発生する。スパーク検出部１７は、上記構成により、この第２プローブ１２の電圧に発生する急激な電圧低下を検出してトリガ信号Ｓｔを出力する。

パルス生成部１８は、一例として、不図示のワンショットマルチバイブレータと電流生成回路とを備えて構成されて、ワンショットマルチバイブレータが、スパーク検出部１７からトリガ信号Ｓｔを入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス信号を生成して電流生成回路に出力し、電流生成回路がこのパルス信号を入力している期間に電流を生成することにより、予め規定されたパルス幅のパルス電流Ｉｐを出力する。このパルス幅は、電流測定部２５において、パルス電流Ｉｐを確実に検出し得るバルス幅に規定されている。信号注入部１９は、第１入力端子ａから入力した電流を出力端子ｃから出力する機能と共に、第２入力端子ｂからパルス電流Ｉｐが入力されたときには第１入力端子ａから入力した電流Ｉｍにこのパルス電流Ｉｐを注入して（重畳させて）、出力端子ｃから電流（Ｉｍ＋Ｉｐ）として出力する機能についても備えている。この構成により、信号注入部１９は、第１入力端子ａから入力している電流Ｉｍを出力端子ｃから出力しつつ、第２入力端子ｂからパルス電流Ｉｐを入力したときには、パルス電流Ｉｐの入力期間だけ、電流（Ｉｍ＋Ｉｐ）を出力端子ｃから出力する。信号注入部１９の出力端子ｃは、配線Ｗ２を介して接続切替部２６におけるプローブ側端子群Ｔｐのうちの他の１つの端子Ｔｐ２に接続されている。

検査電圧生成部２３は、処理部２８によって制御されることにより、予め規定された電圧値の直流検査電圧Ｖｅｘを生成して出力端子と基準電位Ｇとの間に出力する。また、本例では、検査電圧生成部２３の出力端子は、接続切替部２６における処理部側端子群Ｔｓのうちの１つの端子Ｔｓ１に接続されている。電圧測定部２４は、一対の入力端子が接続切替部２６における処理部側端子群Ｔｓのうちの一対の端子Ｔｓ２，Ｔｓ３に接続されて、一対の端子Ｔｓ２，Ｔｓ３間に発生する電圧Ｖｍの電圧値を測定すると共に、その電圧値を示す電圧データＤｖを処理部２８に出力する。本例では、電圧測定部２４は、一対の入力端子が後述するように接続切替部２６および配線Ｗ３，Ｗ４を介して第３プローブ１３および第４プローブ１４に接続される。これにより、一対の端子Ｔｓ２，Ｔｓ３間には、一対の配線パターン３，３間に発生するパターン間電圧が電圧Ｖｍとして発生するため、電圧測定部２４は、電圧Ｖｍを測定することにより、パターン間電圧を測定する。

電流測定部２５は、一対の入力端子のうちの一方が接続切替部２６における処理部側端子群Ｔｓのうちの他の１つの端子Ｔｓ４に接続されると共に、一対の入力端子のうちの他方が基準電位Ｇに接続されて、端子Ｔｓ４と基準電位Ｇとの間に配設（介装）されている。また、電流測定部２５は、この端子Ｔｓ４から基準電位Ｇに流れる電流Ｉｎの電流値を測定すると共に、測定した電流値を示す電流データＤｉを処理部２８に出力する。また、電流測定部２５は、測定した電流Ｉｎの電流値に対して、一例としてスパーク検出部１７と同様にして、予め規定されたサンプリング周期でサンプリングしてデータに変換し、このデータの変位量（一例として、最新のデータとその一つ前のデータとの間の変位量）を算出すると共に、この変位量が予め規定された基準量以上に変位したときに、電流Ｉｎ中にパルス電流Ｉｐが含まれていると判別して、検出信号Ｓｓｐを処理部２８に出力する。

接続切替部２６は、一例として、一端側が処理部側端子群Ｔｓの各端子Ｔｓ１，Ｔｓ２，Ｔｓ３，Ｔｓ４に接続された複数（本例では４本）の縦配線（不図示）と、一端側がプローブ側端子群Ｔｐの各端子Ｔｐ１，Ｔｐ２，Ｔｐ３，Ｔｐ４に接続されて、縦配線と交差するように配設された複数（本例では４本）の横配線（不図示）と、縦配線と横配線の各交差位置に配設されると共に各交差位置において交差する一対の縦配線および横配線を短絡または開放する複数のスイッチ（不図示）とで構成されている。また、各スイッチの短絡・開放状態は処理部２８によって制御される。この構成により、接続切替部２６は、処理部２８によって制御されることにより、処理部側端子群Ｔｓの各端子に、プローブ側端子群Ｔｐの各端子のうちの任意の端子を接続可能となっている。

プローブ駆動制御部２７は、一例としてプログラマブルロジックコントローラで構成されて、処理部２８から入力した第１プローブ１１および第３プローブ１３の組の目標位置データ、並びに第２プローブ１２および第４プローブ１４の組の目標位置データを含む位置データＤｐｏに基づいて、各プローブ駆動部１５，１６に対する移動制御を実行して各移動アーム１５ａ，１６ａを移動させることにより、第１プローブ１１および第３プローブ１３の組をその目標位置に移動させると共に、第２プローブ１２および第４プローブ１４をその目標位置に移動させる。処理部２８は、一例としてＣＰＵおよびメモリ（いずれも図示せず）で構成されて、検査電圧生成部２３、接続切替部２６およびプローブ駆動制御部２７に対する制御処理を実行すると共に絶縁検査処理を実行する。メモリには、絶縁検査処理において使用される基準抵抗値（絶縁抵抗の良否を判別するための抵抗値）と、回路基板２に形成された各配線パターン３上に予め規定された検査ポイントの位置データＤｐｏが予め記憶されている。

次に、絶縁検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。なお、絶縁検査を行う回路基板２については、図外の基板保持部に保持されて、予め規定された検査位置に配置されているものとする。

この状態において、絶縁検査装置１では、処理部２８が、絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、処理部２８は、一対の配線パターン３，３間の絶縁状態の検査を実行すると共に、この検査の際に一対の配線パターン３，３間にスパークが発生したか否かの検出を実行する。

具体的には、処理部２８は、まず、接続切替部２６に対する制御を実行することにより、処理部側端子群Ｔｓの端子Ｔｓ１をプローブ側端子群Ｔｐの端子Ｔｐ１に、処理部側端子群Ｔｓの端子Ｔｓ４をプローブ側端子群Ｔｐの端子Ｔｐ２に、処理部側端子群Ｔｓの端子Ｔｓ２，Ｔｓ３をプローブ側端子群Ｔｐの端子Ｔｐ３，Ｔｐ４にそれぞれ接続する。これにより、検査電圧生成部２３が、接続切替部２６および配線Ｗ１を介して第１プローブ１１に接続され、かつ電流測定部２５が、接続切替部２６、配線Ｗ２および信号注入部１９を介して第２プローブ１２に接続される。このため、第１プローブ１１に直流検査電圧Ｖｅｘを印加することにより、第１プローブ１１および第２プローブ１２間に直流電圧を印加し得る状態となる。

また、電圧測定部２４の一方の入力端子が接続切替部２６および配線Ｗ３を介して第３プローブ１３に接続されると共に、電圧測定部２４の他方の入力端子が接続切替部２６および配線Ｗ４を介して第４プローブ１４に接続される。このため、電圧測定部２４が、一対の配線パターン３，３間に発生するパターン間電圧を電圧Ｖｍとして測定することが可能な状態となる。

続いて、処理部２８は、検査電圧生成部２３に対する制御を実行することにより、検査電圧生成部２３から直流検査電圧Ｖｅｘを予め規定された時間だけ出力させ、その後停止させる。これにより、この直流検査電圧Ｖｅｘは、接続切替部２６の端子Ｔｓ１，端子Ｔｐ１および配線Ｗ１を介して第１プローブ１１に一時的に印加される。これにより、一対の配線パターン３，３間に直流電圧が印加されるため、直流検査電圧Ｖｅｘの印加期間中に、検査電圧生成部２３、接続切替部２６の端子Ｔｓ１およびＴｐ１間、配線Ｗ１、第１プローブ１１、一方の配線パターン３、他方の配線パターン３、第２プローブ１２、信号注入部１９、配線Ｗ２、接続切替部２６の端子Ｔｐ２およびＴｓ４間、並びに電流測定部２５を経由して基準電位Ｇに至る経路に電流Ｉｍが流れると共に、この電流Ｉｍが一対の配線パターン３，３間を流れることに起因してこの配線パターン３，３間にパターン間電圧が発生する。

電圧測定部２４は、直流検査電圧Ｖｅｘの印加期間中に、このパターン間電圧を電圧Ｖｍとして入力すると共に、この電圧Ｖｍの電圧値を測定し、その電圧値を示す電圧データＤｖを処理部２８に出力する。また、電流測定部２５も、直流検査電圧Ｖｅｘの印加期間中に、上記経路に流れる電流Ｉｍを電流Ｉｎとして入力すると共に、この電流Ｉｎ（電流Ｉｍ）の電流値を測定し、その電流値を示す電流データＤｉを処理部２８に出力する。処理部２８は、この電圧データＤｖおよび電流データＤｉを入力すると共に、電圧データＤｖに基づいて算出される一対の配線パターン３，３間の電圧値（電圧Ｖｍの電圧値）と、電流データＤｉに基づいて算出される一対の配線パターン３，３間に流れる電流値（電流Ｉｍの電流値）とに基づいて、一対の配線パターン３，３間の絶縁抵抗値を算出する。また、処理部２８は、この算出した絶縁抵抗値とメモリに記憶されている基準抵抗値とを比較して、算出した絶縁抵抗値が基準抵抗値以上のときには、一対の配線パターン３，３間の絶縁状態は良好であると判別し、算出した絶縁抵抗値が基準抵抗値未満のときには、一対の配線パターン３，３間の絶縁状態は不良であると判別して、この判別結果を検査対象とした一対の配線パターン３，３に対応させてメモリに記憶させる。

一方、この一対の配線パターン３，３間に局部的に絶縁抵抗の小さい部位（例えば、ひげ状の導体パターン）が存在している場合、一対の配線パターン３，３間への直流電圧の印加により、この部位にスパークが発生することがある。このスパークの発生により、上記電流Ｉｍ自体の電流値が一時的（短時間だけ）に大きくなってパルス状に変化するが、各配線Ｗ１〜Ｗ４の長い構成の絶縁検査装置１では、各配線Ｗ１〜Ｗ４間に存在する浮遊容量に起因して、上記電流Ｉｍについての電流値の変化（電流波形）が次第になまってレベルが低下し、電流測定部２５において、この変化を変出し得ない状況が発生する。

この点に関して、この絶縁検査装置１では、直流検査電圧Ｖｅｘが印加される第１プローブ１１側（高圧側）に対して低圧側となる第２プローブ１２側に配設されたスパーク検出部１７、パルス生成部１８および信号注入部１９が、スパークの発生時において作動して、一対の配線パターン３，３間に流れている電流Ｉｍに予め規定されたパルス幅のパルス電流Ｉｐを注入して（重畳させて）、電流（Ｉｍ＋Ｉｐ）として配線Ｗ２に出力する。この場合、パルス電流Ｉｐのパルス幅は、電流Ｉｍ自体に発生するパルス状の変化の時間に関わらず、電流測定部２５においてパルス電流Ｉｐを確実に検出し得る一定のバルス幅に規定されている。したがって、この絶縁検査装置１では、電流測定部２５が、電流Ｉｎ中にパルス電流Ｉｐが含まれているか否かを検出すると共に、電流（Ｉｍ＋Ｉｐ）を電流Ｉｎとして入力したときには、電流Ｉｍに重畳されているパルス電流Ｉｐを検出して、検出信号Ｓｓｐを処理部２８に出力する。また、処理部２８は、この検出信号Ｓｓｐを入力したときには、一対の配線パターン３，３間にスパークが発生したと判別して、例えば、スパークの発生を表すフラグを検査対象としている一対の配線パターン３，３に対応させてメモリに記憶させる。これにより、１つの一対の配線パターン３，３についての絶縁検査処理が完了する。

処理部２８は、絶縁検査を新たに実行する一対の配線パターン３，３についての検査ポイントの各位置データＤｐｏをメモリから順次読み出しながら、上記の各処理を実行することを、検査すべき一対の配線パターン３，３についての絶縁検査がすべて完了するまで繰り返し実行する。これにより、メモリには、各配線パターン３，３に対応させて、絶縁検査での判別結果と、スパークの発生の有無を示すフラグとが記憶される。

このように、この絶縁検査装置１によれば、プローブ駆動部１６によって駆動され、かつ第２プローブ１２が取り付けられた移動アーム１６ａにスパーク検出部１７が配設されているため、直流電圧の印加に起因して一対の配線パターン３，３間で発生するスパークをこの直流電圧を印加する第２プローブ１２の極めて近くで検出することができる結果、より確実にスパークを検出することができる。

また、この絶縁検査装置１によれば、第１プローブ１１および第２プローブ１２のうちの直流電圧の印加時に低圧側となるように規定された第２プローブ１２が固定され、プローブ駆動部１６によって駆動される移動アーム１６ａにスパーク検出部１７、パルス発生部１８および信号注入部１９を配設すると共に、スパーク検出部１７がスパークの発生を検出したときにはトリガ信号Ｓｔを出力し、かつパルス発生部１８がトリガ信号Ｓｔを入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流Ｉｐを出力し、第２プローブ１２と電流測定部２５との間に介装された信号注入部１９が、一対の配線パターン３，３間に流れる電流Ｉｍを電流測定部２５に出力すると共にパルス生成部１８によってパルス電流Ｉｐが出力されたときには電流Ｉｍにパルス電流Ｉｐを注入して電流測定部２５に出力することにより、スパークの発生を処理部２８に伝えるための信号としてのパルス電流Ｉｐを電流Ｉｍと共通の１本の配線Ｗ２に流すことができるため、スパークの発生を処理部２８に伝えるための信号を伝達させるための配線を別途設ける構成と比較して、配線の数を低減することができる。

なお、上記の絶縁検査装置１では、上記したように、各プローブ１１〜１４側から処理部２８側への配線の本数を抑制するため、第１プローブ１１および第２プローブ１２のうちの直流電圧の印加時に低圧側となる第２プローブ１２を駆動するプローブ駆動部１６側にスパーク検出部１７を配設すると共に、スパークの発生を示すパルス電流Ｉｐを電流Ｉｍに注入（つまり、電流Ｉｍと共通の配線Ｗ２に注入）する構成を採用しているが、配線の本数が増加してもよい状況であるならば、図２に示す絶縁検査装置１Ａのように、スパークの発生を示すトリガ信号Ｓｔを他の配線Ｗｓを介して処理部２８に直接送出する構成を採用することもできる。この構成では、処理部２８は、トリガ信号Ｓｔを入力したときに、一対の配線パターン３，３間にスパークが発生したと判別する。なお、上記した絶縁検査装置１と同じ機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

この絶縁検査装置１Ａによれば、各プローブ１１〜１４側から処理部２８側への配線の数は増加するものの、パルス生成部１８および信号注入部１９の配設を省略することができると共に、パルス電流Ｉｐの検出機能を省略した電流測定部２５Ａを使用することができ、装置構成を簡略化することができる。なお、この絶縁検査装置１Ａのように、スパーク検出部１７から出力されるトリガ信号Ｓｔを処理部２８に出力する構成を採用する場合には、図示はしないが、低圧側の移動アーム１６ａへの配置に代えて、または低圧側の移動アーム１６ａへの配置と共に、高圧側の移動アーム１５ａにスパーク検出部１７を配設して、プローブ駆動部１５側からトリガ信号Ｓｔを処理部２８に出力する構成を採用することもできる。

また、２つのプローブ駆動部１５，１６を備えた構成について上記したが、２つに限定されず、接続切替部２６における処理部側端子群Ｔｓの端子Ｔｓの数、およびプローブ側端子群Ｔｐの端子Ｔｐの数を増加させることにより、３つ以上の任意の数とすることができる。また、一例として、検査対象となる配線パターン３が回路基板２の一方の面側にのみ形成されている例を挙げて説明したため、上記の絶縁検査装置１，１Ａでは、この一方の面側においてのみ移動アーム１５ａ，１６ａを三次元的に移動可能とする構成を採用したが、図示はしないが、他方の面側にも検査対象となる配線パターン３が形成されている回路基板２に対応させて、一方の面側および他方の面側において移動アーム１５ａ，１６ａを三次元的に移動可能とする構成を採用することもできるし、また一方の面側においてのみ移動可能な移動アーム１５ａ，１６ａに加えて、他方の面側において三次元的に移動可能な他の移動アーム（移動アーム１５ａ，１６ａと同等の回路が搭載された移動アーム）を備えた構成を採用することもできる。

また、上記の絶縁検査装置１，１Ａでは、電圧測定部２４による一対の配線パターン３，３間に発生するパターン間電圧の検出に際して４端子法を採用しているが、２端子法を採用する構成とすることもできる。この２端子法を採用する構成では、図示はしないが、図１，２において、第３プローブ１３、第４プローブ１４、配線Ｗ３および配線Ｗ４を省略し、かつ電圧測定部２４の一対の入力端子が接続されている接続切替部２６の各端子Ｔｓ２，Ｔｓ３を各端子Ｔｐ１，Ｔｐ２に接続することで実現できる。

１ 絶縁検査装置
３ 配線パターン
１１ 第１プローブ
１２ 第２プローブ
１３ 第３プローブ
１４ 第４プローブ
１７ スパーク検出部
２３ 検査電圧生成部
２４ 電圧測定部
２５ 電流測定部
２６ 接続切替部
２８ 処理部
Ｖｅｘ 直流検査電圧

Claims (2)

1. 絶縁検査の対象となる一対の配線パターンのうちの一方の配線パターンに接触させられる第１プローブと、
   前記一対の配線パターンのうちの他方の配線パターンに接触させられる第２プローブと、
   前記第１プローブおよび前記第２プローブを介して前記一対の配線パターン間に印加する直流検査電圧を生成する検査電圧生成部と、
   前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に発生するパターン間電圧を前記第１プローブおよび前記第２プローブを介して測定する電圧測定部と、
   前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間に流れる電流を測定する電流測定部と、
   前記直流検査電圧が印加されているときに前記一対の配線パターン間にスパークが発生したか否かを検出するスパーク検出部と、
   前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出された前記一対の配線パターンについては不良と判別し、前記スパーク検出部によって前記スパークの発生が検出されなかった前記一対の配線パターンについては前記電圧測定部によって測定された前記パターン間電圧および前記電流測定部によって測定された前記電流に基づいて当該一対の配線パターンの絶縁状態を検査する絶縁検査処理を実行する処理部とを備えた絶縁検査装置であって、
   前記スパーク検出部は、前記第１プローブおよび前記第２プローブのうちの一方のプローブが固定されると共にプローブ駆動部によって駆動される移動アームに配設されている絶縁検査装置。
2. 前記一方のプローブは、前記直流検査電圧の印加時に低圧側となるように規定され、
   前記スパーク検出部は、前記スパークの発生を検出したときにはトリガ信号を出力可能に構成され、
   前記移動アームに配設されると共に、前記トリガ信号を入力したときに予め規定されたパルス幅のパルス電流を出力するパルス生成部と、
   前記移動アームに配設されると共に前記一方のプローブと前記電流測定部との間に介装され、前記一対の配線パターン間に流れる電流を当該電流測定部に出力すると共に前記パルス生成部によって前記パルス電流が出力されたときには当該一対の配線パターン間に流れる前記電流に当該パルス電流を注入して当該電流測定部に出力する信号注入部とを備えている請求項１記載の絶縁検査装置。

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