KR20160041755A

KR20160041755A - 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치

Info

Publication number: KR20160041755A
Application number: KR1020150117980A
Authority: KR
Inventors: 무네히로 야마시타
Original assignee: 니혼덴산리드가부시키가이샤
Priority date: 2014-10-08
Filing date: 2015-08-21
Publication date: 2016-04-18
Also published as: TW201614241A; CN105510798B; US20160103172A1; JP6592885B2; KR102462033B1; JP2016075613A; US10175284B2; TWI681198B; CN105510798A

Abstract

(과제) 접촉자의 검사점으로의 맞닿음 확인을 간편하고 또한 단시간에 실시할 수 있는 기판 검사 방법에 관한 것이다.
(해결 수단) 복수의 배선이 형성되는 기판의 그 배선 패턴의 4 단자 측정법을 실시하는 기판 검사 방법으로서, 검출 수단과 접속되는 상류측 검출 단자와 하류측 검출 단자에 접속되는 접촉자를 직렬 접속하고, 직렬 접속된 접촉자에 전력을 공급하고, 그 직렬 접속된 접촉자 사이의 전기적 측정을 실시하고, 전력과 전기적 측정 결과로부터, 직렬 접속된 접촉자 사이의 전기적 특성을 산출하고, 산출된 전기적 특성을 기초로, 직렬 접속된 접촉자와 검사점의 도통 접촉 상태를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.

Description

기판 검사 방법 및 기판 검사 장치{CIRCUIT BOARD INSPECTION METHOD AND CIRCUIT BOARD INSPECTION APPARATUS}

본 발명은, 기판을 검사하는 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판 상에 설정되는 검사점에 검사 지그에 형성되는 접촉자를 맞닿게 하여 검사가 실시될 때에, 접촉자의 그 검사점으로의 맞닿음 확인을 간편하고 또한 단시간에 실시할 수 있는 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 프린트 배선 기판에 한정되지 않고, 예를 들어 플렉시블 기판, 다층 배선 기판, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이용 전극판, 터치 패널의 전극판 및 반도체 패키지용 패키지 기판이나 필름 캐리어 등 여러 가지의 기판이나 반도체 웨이퍼 등에 형성되는 전기적 배선의 검사에 적용할 수 있고, 본 명세서에서는, 그들 여러 가지 검사 기판을 총칭하여 「기판」이라고 한다.

기판 상에 형성되는 배선은, 이 기판에 재치 (載置) 되는 IC 나 반도체 부품 또는 그 밖의 전자 부품에 전기 신호를 송수신하기 위해서 사용된다. 이와 같은 배선은, 최근 전자 부품의 미세화에 수반하여, 보다 미세하고 또한 복잡하게 형성되도록 됨과 함께, 보다 저저항으로 형성되어 있다.

이와 같이 기판의 배선의 미세화가 진행됨에 따라, 그 배선의 양호/불량 (양부) 을 검사하는 정밀도가 높을 것이 요구되고 있다. 배선의 미세화가 진행되면 진행될수록, 배선 자체의 저항값이 작은 것이 되어, 근소한 오차나 정밀도의 나쁨에 의해, 배선의 저항값의 양부를 정확하게 검사할 수 없는 문제가 있다.

특히, 기판에 형성되는 신호 배선은, 미세하고 저항값이 작게 형성되기 때문에, 2 단자 측정 방법에서는 접촉 저항값의 영향을 크게 받아, 정확한 저항값을 산출할 수 없는 문제점을 갖고 있었다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 접촉 저항값의 영향을 받지 않는 4 단자 측정 방법이 사용되고 있다.

이 4 단자 측정 방법에서는, 이 접촉 저항값을 무시하고 측정을 실시할 수 있기 때문에, 검사 대상이 되는 배선 사이의 각 검사점에 전력 공급용 단자 (접촉자) 와 검출 측정용 단자를 각각 접촉시켜 검사를 실시하고 있다.

이와 같이 기판에 형성되는 배선의 미세화가 진행되면, 4 단자 측정 방법을 위한 검사용 지그에 구비되는 복수의 접촉자의 피치를 좁은 피치로 해야 한다. 특히, 4 단자 측정 방법을 위한 전력 공급용 접촉자와 검출 측정용 접촉자 (1 쌍의 접촉자) 의 접촉자 사이가 매우 좁게 형성될 필요가 생긴다.

4 단자 측정법이 실시되는 경우에는, 상기와 같이, 1 개의 검사점에 2 개의 접촉자가 도통 접촉될 필요가 있다. 이 때문에, 검사점 사이의 저항값을 4 단자 측정법으로 측정하는 경우에는, 먼저, 검사점에 2 개의 접촉자가 도통 접속되어 있는지를 확인할 필요가 있다. 종래의 접촉자의 도통 접촉 확인의 방법에서는, 예를 들어 미리 설정되는 검사점에 2 개의 접촉자가 도통 접촉되어 있는지 확인하기 위해서, 일방의 접촉자에 전류를 공급하고, 도통 접촉되어 있을 검사점을 개재하여 타방의 접촉자로부터 이 전류를 검출할 수 있는지 여부의 확인이 실시되고 있었다. 이 때문에, 타방의 접촉자로부터 전류를 검출할 수 없는 경우에는, 일방 또는 타방의 접촉자가 검사점과 도통 접촉하고 있지 않다고 판단하여, 검사용 지그와 기판을 이반시키고, 다시 검사용 지그와 기판을 맞닿게 함으로써, 양호한 도통 접촉을 도모하는 것이 된다.

이와 같은 종래의 확인 방법에서는, 각각의 검사점에 2 개의 접촉자가 맞닿아 있고, 검사점마다 맞닿는 2 개의 접촉의 도통 접촉을 확인할 필요가 있다. 이와 같은 종래의 4 단자 측정 방법에서는, 먼저, 일방단이 되는 검사점에 맞닿는 접촉자의 도통 접촉을 확인하기 위한 측정을 실시하고, 다음으로, 타방단이 되는 검사점 T 에 맞닿는 접촉자의 도통 접촉을 확인하기 위한 측정을 실시한 후, 일방단이 되는 검사점 T 와 타방단이 되는 검사점 T 사이의 저항값을 측정하는 것이 된다. 이 때문에, 통상적인 2 단자 측정 방법의 경우와 비교하여 측정 횟수가 3 배가 되어, 검사 시간의 증가에 의해 생산성의 저하의 원인이 되어 있었다.

특허문헌 1 에 개시되는 문헌에는, 4 단자 측정법에 있어서의 2 개의 접촉자와 검사점의 도통 접촉 (컨택트 체크) 을 실시하는 방법이 개시되어 있다. 이 특허문헌 1 에는, 컨택트 체크에 필요로 하는 시간을 단축할 것을 목적으로 하여, 검사 대상이 되는 일방단에 맞닿는 2 개의 접촉자를 각각 직렬 접속하여, 접촉자의 도통 접촉의 확인을 실시하고 있다.

그러나, 이 특허문헌 1 에 개시되는 기술에서는, 검사 대상간의 일방단의 검사점에 도통 접속된 접촉자를 병렬 접속하여 측정 검사가 실시된 후, 검사 대상간의 타방단의 검사점에 도통 접속된 접촉자를 병렬 접속하여 측정 검사가 실시되게 된다. 이 때문에, 적어도, 컨택트 체크를 위해서 2 회의 검사 측정이 실시되게 된다.

또, 이 특허문헌 1 에 개시되는 기술에서는, 2 개의 접촉자가 단락되어 있는 경우에는, 검사점과 도통 접촉되어 있지 않아도, 폐회로가 형성되어, 접촉자가 검사점에 도통 접촉되어 있다고 잘못 판단되게 되었다.

일본 공개특허공보 2013-24724호

본 발명은 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 4 단자 측정법에 있어서의 접촉자와 검사점의 도통 접촉을 간단하게 또한 단시간에 실시할 수 있는 기판 검사 방법 및 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 1 에 기재되는 발명에서는, 복수의 배선이 형성되는 기판의 그 배선 패턴의 도통 검사를 실시함과 함께, 그 도통 검사를 실시할 때에 그 검사점에 1 쌍의 접촉자를 도통 접촉시키고, 그 검사점 사이에서 4 단자 측정을 실시하는 기판 검사 장치로서, 상기 검사점 사이에 전력을 공급하는 전원 수단과, 상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 전원 수단의 상류측과 접속되는 상류측 전력 단자와, 상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 전원 수단의 하류측과 접속되는 하류측 전력 단자와, 상기 검사점 사이의 전압을 검출하는 검출 수단과, 상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 검출 수단의 상류측과 접속되는 상류측 검출 단자와, 상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 검출 수단의 하류측과 접속되는 하류측 검출 단자와, 상기 복수의 접촉자마다에 대응함과 함께, 그 복수의 접촉자를 접속하는 접속 단자와, 상기 접촉자와 상기 각 단자를 선택적으로 접속하는 선출 수단과, 상기 전원 수단, 상기 검출 수단과 상기 선출 수단을 각각 동작시키고, 상기 4 단자 측정을 실시하기 위한 측정 처리를 재촉하는 제어 수단을 구비하고 있고, 상기 제어 수단은, 각 검사점에 상기 상류측 검출 단자 또는 상기 하류측 검출 단자로서 선출되는 접촉자를, 상기 접속 단자를 개재하여 직렬 접속시키고, 상기 직렬 접속된 검사점 사이에 상기 전원 수단으로부터 전력을 공급시키고, 그 검사점 사이의 상기 검출 수단에 의해 전압값을 검출시키고, 그 전압값을 기초로 그 접촉자와 그 검사점의 도통 접촉 상태를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 2 에 기재된 발명은, 상기 제어 수단은, 상기 전원 수단으로부터 전력을 공급시킬 때에, 상류측으로부터 전력을 공급한 후에, 하류측으로부터 상기 전력을 공급하고, 상기 도통 접촉 상태를 판단하는 것을 특징으로 하는 청구항 1 에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 3 에 기재된 발명은, 복수의 배선이 형성되는 기판의 그 배선 패턴의 도통 검사를 실시함과 함께, 그 도통 검사를 실시할 때에 그 검사점에 1 쌍의 접촉자를 도통 접촉시키고, 검사점 사이를 측정하기 위한 측정용 전력을 공급하기 위한 상류측 전력 공급 단자와 하류측 전력 공급 단자와, 그 검사점 사이의 측정을 실시하기 위한 상류측 검출 단자와 하류측 검출 단자를 사용하여 그 검사점 사이의 4 단자 측정을 실시하는 기판 검사 방법으로서, 상류측 검출 단자와 하류측 검출 단자에 접속되는 접촉자를 직렬 접속하고, 상기 직렬 접속된 접촉자에 전력을 공급하고, 그 직렬 접속된 접촉자 사이의 전기적 측정을 실시하고, 상기 전력과 상기 전기적 측정 결과로부터, 상기 직렬 접속된 접촉자 사이의 전기적 특성을 산출하고, 산출된 상기 전기적 특성을 기초로, 상기 직렬 접속된 접촉자와 상기 검사점의 도통 접촉 상태를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법을 제공한다.

청구항 4 에 기재된 발명은, 상기 판정이, 상기 기판에 형성되는 배선의 4 단자 측정을 실시하기 전에 실시되는 것을 특징으로 하는 청구항 3 에 기재된 기판 검사 방법을 제공한다.

청구항 1 및 3 에 기재되는 발명에 의하면, 상류측 검출 단자 또는 하류측 검출 단자에 접속되는 각각의 접촉자가 직렬 접속되게 되어, 상류측 검출 단자 및 하류측 검출 단자에 각각 접속되는 접촉자가 검사점에 도통 접촉하고 있는지의 여부를 판단할 수 있다.

청구항 2 에 기재되는 발명에 의하면, 상류측 및 하류측으로부터 전력을 공급하고, 접촉자와 검사점의 도통 접촉 상태를 판단하게 되므로, 산화막 등의 영향을 제거하여, 양호한 정밀도로 판단할 수 있다. 또, 검출 단자에 접속되는 접촉자가 도통 접촉되는 검사점의 산화막 제거의 공정을 한 번에 실시할 수 있다.

청구항 4 에 기재된 발명에 의하면, 4 단자 측정을 실시하기 전에 본 도통 접촉 상태의 확인이 실시되므로, 확실하게 또한 간편하게 도통 접촉 상태를 확인할 수 있다.

도 1 은 본 기판 검사 장치의 개략 구성도이다.
도 2 는 본 기판 검사 장치를 사용하여, 4 단자 측정을 실시하는 경우의 동작을 나타낸 개략 구성도이다.
도 3 은 본 기판 검사 장치의 접속 단자를 사용하는 경우의 일 실시형태를 나타낸 개략 구성도이다.
도 4 는 본 기판 검사 장치의 동작을 나타내는 플로 차트이다.
도 5 는 본 발명을 실시하는 경우를 나타내는 개략 구성도로, 기판에 검사용 지그의 접촉자가 맞닿은 상태를 나타내고 있고, 각 단자가 해방된 상태를 나타내고 있다.
도 6 은 본 발명을 실시하는 경우를 나타내는 개략 구성도로, 접속 단자 등의 동작을 나타내고 있다.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.

도 1 은 본 발명에 관련된 기판 검사 장치의 개략 구성도이다.

본 발명에 관련된 기판 검사 장치 (1) 는, 전원 수단 (2), 검출 수단 (3), 접속 단자 (4), 제어 수단 (5), 기억 수단 (51), 선출 수단 (52), 산출 수단 (53), 판정 수단 (54), 전류 검출 수단 (6), 전환 수단 (7), 전력 단자 (8), 검출 단자 (9) 와, 표시 수단 (10) 을 갖고 있다.

이 기판 검사 장치 (1) 는, 기판에 형성되는 복수의 배선 (검사점 사이) (Rx) 상에 설정되는 검사점에 도통 접촉하기 위해서 접촉자 (컨택트 프로브) (CP) 가 사용되고 있다. 이 접촉자 (CP) 에 의해, 소정 검사점에 대해 소정 전위나 전류를 부여하거나 소정 검사점으로부터 전기적 특성 (전기 신호) 을 검출하거나 할 수 있다.

또한, 도 1 에서는, 검사 대상이 되는 기판이나 프로브 (CP) 가 맞닿는 검사점은 표시되어 있지 않지만, 이 프로브 (CP) 가 기판 상에 설정되는 배선의 검사점에 대하여 각각 접촉되게 된다. 또, 프로브 (CP) 가 4 개 나타나 있는데, 배선에 설정되는 검사점의 수나 위치는 한정되는 것은 아니고, 배선의 수나 위치에 따라 설정되고, 배선의 도통 검사가 실시되는 경우에는, 배선 상에 미리 설정되는 2 개의 검사점에 각각 2 개의 프로브 (CP) 가 도통 접촉되도록 배치되어 있다. 또한, 검사점에 도통 접촉되는 접촉자 (CP) 사이의 저항값이 산출됨으로써, 배선의 양호/불량의 판정이 실시되게 된다. 본 발명은 도 1 에 나타내는 바와 같이, 4 단자 측정법을 사용하여 배선간의 저항값을 산출할 수 있도록, 전력 단자 (8) 와 검출 단자 (9) 가 형성되어 있다. 이들 단자를 전환함으로써, 검사점 사이의 4 단자 측정을 가능하게 하고 있다.

예를 들어 도 2 에서는, 기판 (CB) 의 배선 (W) 에 대하여, 검사점 (P1) 과 검사점 (P2) 이 설정되고, 각각의 검사점 (P1·P2) 에 2 개의 접촉자 (CP) 가 도통 접촉되어 있다. 이 도 2 에 나타내는 경우에는, 배선 (W1) 의 4 단자 측정이 실시되게 된다. 이 배선 (W1) 이 4 단자 측정되는 경우에는, 예를 들어 검사점 (P1) 에 도통 접촉되는 접촉자 (CP1) 를 상류측 전력 단자 (81) 가 전원 수단 (2) 의 상류측과 접속되고, 검사점 (P2) 에 도통 접촉되는 접촉자 (CP4) 를 하류측 전력 단자 (82) 가 전원 수단 (2) 의 하류측과 접속된다. 또, 검사점 (P1) 에 도통 접촉되는 접촉자 (CP2) 를 상류측 검출 단자 (91) 가 검출 수단 (3) 의 상류측과 접속되고, 검사점 (P2) 에 도통 접촉되는 접촉자 (CP3) 를 하류측 검출 단자 (92) 가 검출 수단 (3) 의 하류측과 접속되게 된다. 이와 같은 접속이 실시된 후, 전원 수단 (2) 으로부터 측정 전력 (전류) 이 공급되어, 검출 수단 (3) 이 전압값을 검출함으로써 검사점 사이인 배선 (W1) 의 저항값이 산출되게 된다.

전원 수단 (2) 은, 검사 대상의 배선 (배선 상에 설정되는 검사점과 배선 상에 설정되는 검사점 사이 (검사점 사이)) 에, 배선의 양호/불량을 판정하기 위한 검사를 실시하기 위한 전력을 부여한다. 보다 구체적으로는, 이 전원 수단 (2) 은, 예를 들어 가변 전압원이나 전류 컨트롤러를 사용할 수 있고, 도통 검사를 실시하기 위해 소정 전위를 부여하는 전압을 적절히 조정하여, 소정의 전류를 공급하도록 설정할 수 있다. 또한, 이 전원 수단 (2) 은, 검사점 사이에 0 ∼ 500 V 정도의 크기의 전압을 부여할 수 있도록 설정되어 있고, 또, 이 전원 수단 (2) 이 공급하는 전류의 크기는 0 ∼ 1 A 정도의 크기로 설정되어 있고, 예를 들어 20 ㎃ 의 전류를 공급할 수 있다.

검출 수단 (3) 은, 전원 수단 (2) 이 전력을 공급하는 검사점 사이의 전위차 (전압) 를 검출한다. 이 검출 수단 (3) 은, 예를 들어 전압계를 사용할 수 있지만, 특별히 한정되는 것은 아니고, 검사점 사이의 전압을 검출할 수 있으면 상관없다. 또한, 이 검출 수단 (3) 은, 검사점 사이의 전압을 검출할 수 있기 때문에, 전원 수단 (2) 이 인가하는 검사점 사이의 전압을 관리하기 위해서 사용할 수도 있다.

접속 단자 (4) 는, 복수의 접촉자 (CP) 를 직렬로 접속할 수 있다. 이 접속 단자 (4) 는, 각 접촉자 (CP) 에 대응하여 형성되어 있고, 소정의 접촉자끼리를 접속할 수 있다. 예를 들어 도 1 에 나타내는 실시형태에서는, 4 개의 접촉자 (CP) (CP1 ∼ CP4) 에 대하여, 각각 접속 단자 (4) 가 배치되어 있고, 예를 들어 접촉자 (CP1) 와 접촉자 (CP2) 를 직렬 접속하는 경우에는, 접촉자 (CP1) 에 대응하는 접속 단자 (4) 와, 접촉자 (CP2) 에 대응하는 접속 단자 (4) 가 접속되게 된다. 또한, 도 1 의 실시형태에서는, 접속 단자 (4) 에는 스위치 소자 (SW5) 가 구비되어 있고, 이 스위치 소자 (SW5) 의 ON/OFF 전환 제어를 실시함으로써, 접촉자끼리의 접속을 실시하게 된다. 이 도 1 의 실시형태에서는, 각각의 접속 단자 (4) 가 1 개의 선에 접속되어 있는 상태를 나타내고 있지만, 이와 같은 접속에 한정되는 것이 아니고, 접속되는 접촉자 (CP) 의 수와 그 접속 상태에 따라, 이와 같은 접속에 이용되는 선도 복수 형성되는 것이 된다. 그 구체적인 설명은 후술한다.

이 접속 단자 (4) 는, 접촉자 (CP) 가 검사점 (P) 에 도통 접촉되어 있는지의 여부를 판단하기 위해서 사용된다. 상세한 것은 후술하는데, 각 검사점 (P) 에 맞닿음과 함께 4 단자 측정법이 실시될 때에 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 를, 이 접속 단자 (4) 를 사용하여 직렬 접속하여 판단이 실시되게 된다. 또한, 이 경우, 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 가 직렬 접속됨으로써, 폐회로가 형성되고, 이 폐회로에 전력을 공급하여, 도통 상태가 측정된다. 이 측정된 측정 상태로부터, 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 의 도통 상태가 판단되게 된다. 예를 들어 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 가 검사점 (P) 에 맞닿아 있으면, 이 폐회로에 전력 (전류) 이 공급되어, 직렬 접속된 지점의 저항값을 산출할 수 있다. 그러나, 접촉자 (CP) 가 검사점에 도통 접촉되어 있지 않는 경우에는, 이 폐회로에 전력이 공급되지 않아, 직렬 접속된 지점의 저항값을 산출할 수 없게 된다. 이와 같이 하여, 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 가 검사점 (P) 에 맞닿아 있는지의 여부를 판단하게 된다.

제어 수단 (5) 은, 기판 검사 장치 (1) 가 기판 (CB) 의 도통 검사를 실시하기 위한 처리 신호의 송수신이나, 수신된 전기 신호를 기초로 소정의 연산을 실시하거나, 이들 전기 신호를 기초로 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉 상태를 판단하거나 한다. 이 제어 수단 (5) 에는, 기억 수단 (51), 선출 수단 (52), 산출 수단 (53) 과, 판정 수단 (54) 이 구비되어 있다.

기억 수단 (51) 은, 기판 (CB) 의 검사를 실시하기 위한 정보가 저장되어 있고, 검사점 사이에 인가되는 전류값의 정보 (전류 정보), 검출되는 전압의 전압값의 정보 (전압 정보), 각 검사점의 좌표 정보나 검사 순서 등의 정보가 저장되어 있다. 예를 들어 도 2 에 나타내는 바와 같이, 검사 대상이 되는 기판 (CB) 의 배선 상에 제 1 검사점 (P1) 과 제 2 검사점 (P2) 이 설정되는 경우에는, 기억 수단 (51) 은 제 1 검사점 (P1) 과 제 2 검사점 (P2) 의 기판 상의 좌표 정보나, 제 1 검사점 (P1) 에 접속되는 접촉자 (CP1) 를 상류측 전력 단자 (81) 로서 이용되기 위한 정보나, 접촉자 (CP2) 가 상류측 검출 단자 (91) 로서 이용되는 등의 검사를 실시하기 위한 정보가 저장되어 있다. 이들 기억 수단 (51) 에 저장되는 정보는, 후술하는 선출 수단 (52) 의 동작을 재촉하는 정보이고, 이들 정보를 기초로 선출 수단 (52) 등을 동작시킴으로써 검사가 실시되게 된다. 또, 이 기억 수단 (51) 은, 측정된 배선 (제 1 검사점 (P1) 과 제 2 검사점 (P2) 의 검사점 사이) 의 전류값이나 전압값 등, 나아가서는 산출된 저항값 등의 정보나, 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉의 판단 결과가 정보로서 저장되게 된다. 이 기억 수단 (51) 에 기억되는 각 정보는, 미리 설정되는 것에 관해서는, 기판의 배선이나 검사점에 관한 정보로서 서로 연결되어 적절히 설정되고 또한 기억된다.

산출 수단 (53) 은, 기억 수단 (51) 에 기억되는 정보나 수치를 기초로 소정의 처리를 실시한다. 이 산출 수단 (53) 은, 전원 수단 (2) 이 검사점 사이에 전류를 공급하는 전류 정보와, 검출 수단 (3) 이 이 검사점 사이부터 측정하여 얻어지는 전압 정보를 기초로, 검사점 사이의 저항값인 저항 정보를 산출한다. 이 경우, 이 산출 수단 (53) 이 실시하는 구체적인 산출 방법은, 전압 정보 (= V) 를 전류 정보 (= I) 로 나눔으로써, 저항 정보 (= R) 가 산출되게 된다 (산출식：R = V/I). 이 산출 수단 (53) 에 의해 산출되는 저항 정보 (저항값 R) 는, 산출된 검사점 사이의 정보와 함께 기억 수단 (51) 에 저장된다.

산출 수단 (53) 은, 상기와 같이, 소정의 검사점 사이의 저항값을 산출할 수 있고, 배선 (W) 상에 설정되는 검사점 사이의 도통 검사를 실시하기 위한 저항값 (제 1 저항값) 을 산출하는 경우와 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉 상태를 판단하기 위한 저항값 (제 2 저항값) 을 산출하는 경우의, 2 개의 경우의 저항값을 산출할 수 있다. 어느 경우라도 산출된 저항값은 기억 수단 (51) 에 저장됨과 함께, 후술하는 판정 수단 (54) 에서 이용된다.

판정 수단 (54) 은, 산출 수단 (53) 이 산출한 저항값을 기초로 소정의 판정을 실시한다. 이 판정 수단 (54) 은, 제 1 저항값을 기초로 배선의 양호 불량을 판정한다. 예를 들어 이 판정 수단 (54) 은, 제 1 저항값과 미리 설정되는 기준 저항값을 비교하여, 검사점 사이 (배선) 의 양호/불량을 판정한다. 보다 구체적으로는, 기준 저항값을 미리 양품 기판의 검사점 사이의 저항값으로부터 추출해 두고, 이 저항값을 기초로 양품으로서 판정할 수 있는 소정폭의 수치를 설정하여, 기억 수단 (51) 에 기억시켜 둔다. 그리고, 판정 수단 (54) 이, 산출된 제 1 저항값이 이 소정폭 내에 존재하면, 「양품」이라고 판정하고, 이 소정폭 이외에 존재하면 「불량」이라고 판정하도록 설정할 수 있다. 이 판정 수단 (54) 이 판정하는 결과는, 판정 결과 정보로서 기억 수단 (51) 에 저장되게 된다. 이 판정 수단 (54) 이 「불량」이라고 판정한 경우에는, 배선이 불량이라는 취지와 이 기판 자체도 불량이라는 취지가 기억 수단 (51) 에 저장되게 된다.

판정 수단 (54) 은, 또, 제 2 저항값을 기초로, 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉 상태의 양호 불량을 판정한다. 예를 들어 이 판정 수단 (54) 은, 제 2 저항값과 미리 설정되는 기준 저항값을 비교하여, 도통 접촉 상태의 양호/불량을 판정한다. 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 상태가 양호한 경우에는, 상기하는 직렬 접속된 접촉자 (CP) 에 의한 폐회로에 전력이 공급되게 되기 때문에, 소정의 저항값을 산출할 수 있다. 이 때문에, 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 를 직렬 접속한 경우의 저항값을 설계상의 수치를 산출하고, 이 저항값을 기초로 도통 접촉 상태를 양호로서 판정할 수 있는 소정폭의 수치를 설정하여, 기억 수단 (51) 에 기억시켜 둔다. 그리고, 제 1 저항값의 경우와 같이, 판정 수단 (54) 이 이 산출된 제 2 저항값이 이 소정폭 내에 존재하면, 「접촉 상태가 양호」라고 판정하고, 이 소정폭 이외에 존재하면 「접촉 상태가 불량」이라고 판정하도록 설정할 수 있다. 이 판정 수단 (54) 이 판정하는 결과는, 판정 결과 정보로서 기억 수단 (51) 에 저장되게 된다. 이 판정 수단 (54) 이 「불량」이라고 판정한 경우에는, 기판과 검사용 지그를 한 번 이간시키고, 다시 맞닿게 하여, 도통 접촉 상태를 판단하게 된다. 또한, 이 제 2 저항값을 판정하기 위한 기준 저항값은, 상기와 같이 설정할 수 있지만, 검출 단자 (9) 로서 이용되는 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 접촉 상태는, 전기적인 도통이 존재하는지의 여부이고, 직렬 접속되는 접촉자 (CP) 가 전기적인 폐회로를 형성하여 전류가 흐르는지의 여부를 고려하여, 기준 저항값을 설정할 수도 있다.

본 기판 검사 장치 (1) 에는, 도시되지 않은 이동 수단을 구비하고 있다. 이 이동 수단은, 검사용 지그 (도시 생략) 를 기판 (CB) 에 접근시키거나 이반시키거나 한다. 이 이동 수단에 의해, 검사용 지그는, 기판과 맞닿거나 이간되거나 한다. 검사용 지그의 이동은, 검사점에 접촉되어 있던 1 쌍의 접촉자를, 기판에 대해 평면 방향 (x 축 방향 및/또는 y 축 방향 및/또는 θ 회전 방향의 조합에 의한 이동) 으로 이동시켜도 되고, 검사점으로부터 이간시키고 다시 접촉시켜도 되고 (z 축 방향의 이동), 이들을 조합해도 된다. 또한, 이 이동 수단에 의해, 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉이 불량인 경우에는, 도통 접촉 상태가 양호해지도록 다시 맞닿게 된다.

선출 수단 (52) 은, 기판 (CB) 의 복수의 배선의 검사점 (P) 으로부터 검사점 사이가 되는 검사 대상을 설정하기 위해서, 기판 상에 설정되는 검사점 (P) 을 선출하고, 검사점 사이를 특정한다. 이 선출 수단 (52) 이 검사점 사이를 특정함으로써, 순차, 검사가 실시되는 검사점 사이가 선출되고, 모든 검사점 사이의 검사가 실행된다. 또한, 이 선출 수단 (52) 은, 2 개의 검사점 (P) 을 검사점 사이로서 선출하고, 모든 배선의 저항값 측정이 완료될 때까지, 검사점 (검사점 사이) 이 계속 선출된다.

이 선출 수단 (52) 이 실시하는 검사 대상의 배선 (W) (검사점 사이) 의 선출 방법은, 미리 기억 수단 (51) 에 검사 대상이 되는 검사점 사이의 순번이 설정되고, 이 순번에 따라서 검사점 사이가 선출되는 방법을 예시할 수 있다. 이 선출 방법은 특별히 한정되는 것은 아니고, 검사 대상이 되는 검사점이 양호한 순서로 선출되는 방법이면 특별히 한정되지 않는다.

이 선출 수단 (52) 은, 4 단자 측정의 경우, 선출되는 2 개의 검사점 (P) 에, 상류측 전력 단자 (81) 및 하류측 전력 단자 (82) 와, 상류측 검출 단자 (91) 와 하류측 검출 단자 (92) 가 각각 선출된다. 구체적으로는, 검사 대상이 되는 배선 (W) 이 선출된 경우에는, 배선 (W) 의 검사점 (P1) 과 검사점 (P2) 이 선출되고, 먼저, 검사점 (P1) 에 상류측 전력 단자 (81) 와 상류측 검출 단자 (91) 가 접속되도록 선출되고, 검사점 (P2) 에 하류측 전력 단자 (82) 와 하류측 검출 단자 (92) 가 접속되도록 선출된다.

본 기판 검사 장치 (1) 에서는, 검사 대상이 되는 검사점 사이의 도통 검사를 실시하기 위해서 전력을 공급할 수 있도록, 일방의 검사점측에 상류측 전력 단자 (81) 가 전기적으로 접속되고, 타방의 검사점측에 하류측 전력 단자 (82) 가 전기적으로 접속되게 된다. 또, 검사점 사이의 전압을 측정하기 위해서, 일방의 검사점측에 상류측 검출 단자 (91) 가 전기적으로 접속되고, 타방의 검사점측에 하류측 전력 단자 (92) 가 전기적으로 접속되게 된다.

예를 들어 도 2 에 나타내는 경우, 기판 (CB) 의 배선 (W) 에 제 1 검사점 (P1) 과 제 2 검사점 (P2) 이 설정되어 있고, 이 검사점 사이의 저항값을 검사 대상으로 하여, 4 단자 측정에 의해 검사하는 경우에 대해 설명한다. 제 1 검사점 (P1) 에 2 개의 접촉자 (CP1) 와 접촉자 (CP2) 가 맞닿고, 제 2 검사점 (P2) 에도 2 개의 접촉자 (CP3) 와 접촉자 (CP4) 가 맞닿는다. 또한, 이 도 2 에서는, 접촉자 (CP1) 와 접촉자 (CP2) 가, 또, 접촉자 (CP3) 와 접촉자 (CP4) 가, 1 쌍의 접촉자로서 설정되어 있게 된다.

이 경우, 검사점 사이의 저항값을 측정할 때에는, 예를 들어 제 1 검사점 (P1) 에 맞닿는 편방의 접촉자 (CP1) 의 스위치 소자 (SW1) 가 ON 되고, 전원 수단 (2) 의 상류측과 접속되는 상류측 전력 단자 (81) 와 전기적으로 접속된다. 또, 타방의 접촉자 (CP2) 의 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되고, 검출 수단 (3) 의 상류측과 접속되는 상류측 검출 단자 (91) 와 전기적으로 접속된다. 또, 제 2 검사점 (P2) 에 맞닿는 편방의 접촉자 (CP3) 의 스위치 소자 (SW4) 가 ON 되고, 검출 수단 (3) 의 하류측과 접속되는 하류측 검출 단자 (92) 와 전기적으로 접속된다. 타방의 접촉자 (CP4) 의 스위치 소자 (SW2) 가 ON 되고, 전원 수단 (2) 의 하류측과 접속되는 하류측 전력 단자 (82) 와 전기적으로 접속된다.

이와 같이 스위치 소자 (SW) 를 ON 또는 OFF 제어함으로써, 제 1 검사점 (P1) 과 제 2 검사점 (P2) 의 검사점 사이에 전력을 공급함과 함께, 이 검사점 사이의 전압을 검출할 수 있고, 이들 전류값 (전류 정보) 과 전압값 (전압 정보) 으로부터, 검사점 사이의 저항값을 산출 수단 (53) 에 의해 산출시킨다. 또한, 상기 설명에서의 스위치의 ON/OFF 동작은 특별히 한정되는 것은 아니고, 상류측과 하류측은 바꿀 수 있다.

선출 수단 (52) 은, 접속 수단 (4) 에 의한 접촉자 (CP) 끼리의 도통 접속도 제어할 수 있다. 접속 수단 (4) 은, 접촉자 (CP) 마다에 대응하는 스위치 소자 (SW5) 가 형성되어 있고, 이 스위치 소자 (SW5) 가 ON/OFF 됨으로써 접촉자 (CP) 를 접속시킬 수 있다. 예를 들어 도 3 에 나타내는 바와 같이, 2 개의 배선 (W1) 과 배선 (W2) 이 검사 대상으로서 존재하는 경우, 접촉자 (CP1) 와 접촉자 (CP2) 가 배선 (W1) 의 검사점 (P3) 과 맞닿고, 접촉자 (P3) 와 접촉자 (P4) 가 배선 (W2) 의 검사점 (P4) 과 맞닿는 경우, 예를 들어 접촉자 (CP2) 와 접촉자 (CP3) 를 도통 접속할 때에는, 접촉자 (CP2) 에 대응하는 접속 수단 (4) 의 스위치 소자 (SW5) 가 ON 됨과 동시에 접촉자 (CP3) 에 대응하는 접속 수단 (4) 에 스위치 소자 (SW5) 가 ON 된다. 이와 같이 2 개의 스위치 소자 (SW5) 가 ON 됨으로써, 접촉자 (CP2) 와 접촉자 (CP3) 가 직렬 접속되게 된다. 또한, 이 경우, 접촉자 (CP2) 와 접촉자 (CP3) 에 각각 대응하는 스위치 소자 (SW1) ∼ 스위치 소자 (SW4) 는 OFF 되어 있다. 또한, 도 3 에서는, 설명의 편의상, 배선 (W1) 과 배선 (W2) 은 일부가 나타나 있다.

전환 수단 (7) 은, 각 접촉자 (CP) 에 도통 접속되는 복수의 스위치 소자 (SW) 로 구성되어 있다. 이 전환 수단 (7) 은, 선출 수단 (52) 으로부터의 동작 신호에 의해, ON/OFF 의 동작이 제어된다. 이 때문에, 이 전환 수단 (7) 의 스위칭 동작에 의해, 검사 대상이 되는 검사점 사이 (배선) 의 선택을 실시할 수 있거나, 원하는 접촉자 (CP) 끼리를 접속하거나 할 수 있다.

전력 단자 (8) 는, 검사 대상의 검사점 사이에 전력을 공급하기 위해서, 각 배선 상의 검사점과 접촉자 (CP) 를 개재하여 접속된다. 이 전력 단자 (8) 는, 전원 수단 (2) 의 상류측 (정극측) 과 배선을 접속하는 상류측 전력 단자 (81) 와, 전원 수단 (2) 의 하류측 (부극측) 또는 검출 수단 (21) 과 검사점을 접속하는 하류측 전력 단자 (82) 를 갖고 있다. 이 전력 단자 (8) 의 상류측 전력 단자 (81) 및 하류측 전력 단자 (82) 는, 보호 저항을 개재하여 검사점과 도통하도록 형성되어도 된다. 이들 상류측 전력 단자 (81) 와 하류측 전력 단자 (82) 는, 각각에 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 를 갖고 있고, 이 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 동작에 의해, 접속 상태/미접속 상태가 설정되게 된다. 이 보호 저항은, 정전기 방전 (electro-static discharge) 보호용 저항으로서 이용된다.

검출 단자 (9) 는, 검사점 사이의 전기적 특성을 검출하기 위한 전압을 검출하기 위해서, 각 배선의 검사점과 접촉자 (CP) 를 개재하여 접속된다. 이 검출 단자 (9) 는, 검출 수단 (3) 의 상류측 (정극측) 과, 배선의 검사점을 접속하는 상류측 검출 단자 (91) 와, 검출 수단 (3) 의 하류측 (부극측) 과 배선의 검사점을 접속하는 하류측 검출 단자 (92) 를 갖고 이루어진다. 이 검출 단자 (9) 의 상류측 검출 단자 (91) 및 하류측 검출 단자 (92) 는, 보호 저항을 개재하여 배선의 검사점 (P) 과 도통하도록 형성되어도 된다. 이들 상류측 검출 단자 (91) 와 하류측 검출 단자 (92) 는, 전력 단자 (8) 와 같이, 각각에 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 를 갖고 있고, 이 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 동작에 의해 접속 상태/미접속 상태가 설정되게 된다.

전력 단자 (8), 검출 단자 (9) 및 접속 단자 (4) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 검사점에 도통 접촉되는 1 개의 접촉자 (CP) 에 대하여, 5 개의 단자가 배치되게 됨과 함께, 접촉자 (CP) 와의 도통 접속을 각 단자의 ON/OFF 제어를 실시하는 5 개의 스위치 소자 (SW) (SW1 ∼ SW5) 가 구비되어 있다. 또한, 도 1 에서는, 상류측 전력 단자 (81) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW1 로 하고, 상류측 검출 단자 (91) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW3 으로 하고, 하류측 전력 단자 (82) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW2 로 하고, 하류측 검출 단자 (92) 의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW4 로 하고, 접속 단자 (4) 와의 도통 접속을 제어하기 위한 스위치 소자를 부호 SW5 로서 나타내고 있다.

이 도 1 의 기판 검사 장치 (1) 의 개략 구성에서는, 전원 수단 (2) 이 검사점 사이에 소정의 전위를 공급한 경우의 검사점 사이에서의 전기적 특성을 검출하기 위한 전류 검출 수단 (6) 이 배치된다. 이 전류 검출 수단 (6) 은, 전기적 특성 (전류값) 을 검출할 수 있다. 이 전류 검출 수단 (6) 은, 전원 수단 (2) 이 소정 전위를 부여한 경우의 전류의 크기를 검출할 수 있고, 또, 검출한 전류값을 기초로 전원 수단 (2) 에 공급하는 전류를 피드백 제어할 수도 있다. 전류 검출 수단 (6) 에는, 예를 들어 전류계를 사용할 수 있다.

표시 수단 (10) 은, 기판이나 검사점 사이의 측정 결과나 검사 결과를 표시한다. 또, 이 표시 수단 (10) 은, 제어 수단 (5) 이 검사용 지그의 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉 불량을 검출한 경우에 그 취지를 표시하거나, 이 불량 상태를 통지하여 재차 기판과 검사용 지그의 맞닿음을 다시 하도록 재촉하는 통지를 표시하거나 한다. 이 표시 수단 (10) 이 표시하는 검사의 표시 방법이나 통지 방법은, 예를 들어 검사를 실시한 도통 접촉 상태에 관해서 「양호」, 「불량」이나 「이상」이나 「재맞닿음」 등을 표시하도록 기능시킬 수 있다.

이상이 본 발명에 관련된 기판 검사 장치 (1) 의 구성의 설명이다.

다음으로 본 발명에 관련된 기판 검사 장치의 동작에 대해 설명한다. 도 4 는, 본 발명에 관련된 기판 검사 장치 (1) 의 동작에 대한 플로 차트를 나타낸다. 본 발명의 기판 검사 장치 (1) 는, 검사용 지그에 형성되는 복수의 접촉자 (CP) 가 원하는 검사점 (P) 과 확실하게 도통 접촉 상태인지의 여부를 용이하게 확인하는 것이다.

먼저, 기판 검사 장치 (1) 의 기억 수단 (51) 에 검사를 실행하기 위해서, 검사 대상이 되는 기판의 정보를 입력한다 (S1). 이 때, 검사 대상이 되는 검사점의 위치 정보나, 검사 순서가 되는 검사점 사이의 정보나, 기판 상에 설정되는 검사점 사이의 설계 정보 등이 입력된다. 검사 대상이 되는 기판 (T) 의 검사점 사이에 인가되는 전류의 전류 정보나, 기판의 종류 등의 정보도 기억 수단 (51) 에 기억된다. 또, 검사점 사이의 양호/불량을 판정하기 위한 기준 저항값이, 각각의 검사점 사이에 따라 이 기억 수단 (51) 에 저장된다. 또한, 검사용 지그의 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 접속을 확인하기 위해서, 각 검사점 (P) 의 4 단자 측정법을 실시하기 위해서 검출 단자 (9) 와 도통 접촉되는 접촉자 (CP) 의 정보와, 이들 접촉자 (CP) 를 직렬 접속하기 위한 접속 단자 (4) 의 정보가 저장되게 된다.

다음으로, 기판 검사 장치 (1) 에 상기와 같은 검사를 실시하기 위해서 필요한 정보가 저장되면, 기판 검사 장치 (1) 에 검사 대상이 되는 기판 (CB) 이 재치대에 재치된다. 이 기판 (CB) 이 소정의 위치에 재치되면, 소정의 검사 위치로 반송된다. 소정의 검사 위치로 반송된 기판 (CB) 은, 예를 들어 그 표리면측으로부터 다침상의 기판 검사용 지그 (복수의 접촉자를 구비하는 검사용 지그) 가, 각 검사점에 1 쌍의 접촉자가 필요에 따라 각각 맞닿도록, 이 기판 (CB) 을 협지하도록 배치되어, 검사의 실행 준비가 이루어진다 (S2).

검사용 지그가 기판 (CB) 에 맞닿으면, 검사점 (P) 에 대해 2 개의 접촉자 (CP) 가 도통 접촉되어 있을 필요가 있다. 이 때문에, 이들 접촉자 (CP) 가 검사점 (P) 에 도통 접촉되는 것을 확인하기 위해서, 먼저, 선출 수단 (52) 이 검사점 (P) 에 도통 접촉되는 접촉자 (CP) 중 검출 단자 (9) 와 접속되는 접촉자 (CP) 가 선출된다. 이 때, 이 선출되는 접촉자 (CP) 는, 직렬 접속되도록 접속 단자 (4) 의 스위치 소자 (SW5) 가 접속되게 된다 (S3).

도 5 는, 기판 (CB) 의 검사점 (P) (검사점 (P1) ∼ 검사점 (P8)) 에 대하여, 각각 2 개의 접촉자 (CP) 가 맞닿아 있는 상태를 나타낸 개략도이고, 도 6 은, 검출 단자 (9) 에 접속되는 접촉자 (CP) 를 직렬 접속하고, 이들 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉 상태를 확인하는 모습을 나타내는 개략도이다. 도 5 및 도 6 에서는, 기판 (CB) 에 4 개의 배선이 형성되고, 각각의 단부에 검사점 (P) (P1 ∼ P8) 이 형성되어 있다. 이들 검사점 (P) 에 접촉자 (CP1) ∼ 접촉자 (CP16) 가 맞닿는다. 이 도 5 및 도 6 을 사용하여, 본 발명의 동작에 대해 설명한다. 또한, 이들 접촉자 (CP) 에 대응하는 상류측 전력 공급 단자 (81) 및 하류측 전력 공급 단자 (82) 와, 상류측 검출 단자 (91) 와 하류측 검출 단자 (92) 와 접속 단자 (4) 가 구비되어 있지만, 도면에서는 이들 모두를 나타내고 있지 않고, 설명의 편의상, 접촉자 (CP) 에 대하여, 검사점 (P) 과 접촉자 (CP) 의 도통 접촉 상태를 확인하는 경우에 사용되는 단자와, 그 스위치 소자 (SW) (스위치 소자 (SW1) ∼ 스위치 소자 (SW5)) 만을 나타내고 있다. 또, 스위치 소자 (SW) 를 사용하지 않는 지점에 관해서는, 스위치 소자 (SW) 로서 어느 스위치 소자 (SW) 에도 접속되지 않고, 해방 상태로 설정되어 있는 것을 나타내고 있다.

먼저, 이들 접촉자 (CP) 중에서, 검출 단자 (9) 와 접속되는 접촉자 (CP) 가 선출된다. 접속되는 접촉자 (CP) 가 선출되면, 이들 접촉자 (CP) 를 직렬 접속시키도록 접속 단자 (4) 의 스위치 소자 (SW5) 가 ON/OFF 동작된다.

이 도 5 에 나타내는 접촉자 (CP) 중, 검출 단자 (9) 와 접속되는 접촉자 (CP) 는, 접촉자 (CP2), 접촉자 (CP4), 접촉자 (CP6), 접촉자 (CP9), 접촉자 (CP12), 접촉자 (CP13) 와, 접촉자 (CP15) 가 된다. 이 중, 접촉자 (CP2) 와 접촉자 (CP13) 는, 상류측 전력 공급 단자 (81) 와 하류측 전력 공급 단자 (82), 나아가서는 상류측 검출 단자 (91) 와 하류측 검출 단자 (92) 와 각각 접속되게 된다. 접촉자 (CP2) 는, 스위치 소자 (SW1) 와 스위치 소자 (SW3) 가 ON 되고, 전원 수단 (2) 와 검출 수단 (3) 와 각각 접속된다. 접촉자 (CP13) 는, 스위치 소자 (SW2) 와 스위치 소자 (SW4) 가 ON 되고, 전원 수단 (2) 과 검출 수단 (3) 과 각각 접속되게 된다. 또, 접촉자 (CP4), 접촉자 (CP6), 접촉자 (CP9), 접촉자 (CP12) 와 접촉자 (CP15) 는, 검출 단자 (9) 와 접속되는 접촉자 (CP) (접촉자 (CP2), 접촉자 (CP4), 접촉자 (CP6), 접촉자 (CP9), 접촉자 (CP12), 접촉자 (CP13) 와 접촉자 (CP15)) 가 직렬 접속되도록 접속 단자 (4) 를 접속하는 스위치 소자 (SW5) 가 ON 되게 된다.

이 때, 접촉자 (CP1), 접촉자 (CP3), 접촉자 (CP5), 접촉자 (CP8), 접촉자 (CP10), 접촉자 (CP11), 접촉자 (CP14) 와 접촉자 (CP16) 는 각각 어느 단자와도 접속되어 있지 않고, 각각의 각 스위치 소자 (SW) (스위치 소자 (SW1) ∼ 스위치 소자 (SW5)) 는 OFF 되어 있다 (도 6 참조). 이와 같이 하여, 검출 단자 (9) 에 접속되는 접촉자 (CP) 만의 폐회로가 형성된다.

도 6 에 나타내는 폐회로가 형성되면, 전원 수단 (2) 은 전력을 공급한다. 전력 공급 수단 (2) 이 전류를 공급하면, 이 전류는, 접촉자 (CP2) 를 개재하여, 접촉자 (CP4), 접촉자 (CP7), 접촉자 (CP6), 접촉자 (CP9), 접촉자 (CP12), 접촉자 (CP15) 와 접촉자 (CP13) 를 경유하여 전원 수단 (2) 에 돌아오게 된다. 요컨대, 4 단자 측정법이 실시될 때에, 검출 단자 (9) 와 접속되는 접촉자 (CP) 가 모두 직렬 접속되어 있는 것이 된다. 또, 검출 수단 (3) 과, 접촉자 (CP2) 와 접촉자 (CP13) 가 접속되어 있으므로, 이 사이의 전압값을 측정할 수 있다. 이 때, 선출 수단 (52) 이 각 전환 수단 (7) 의 스위치 소자 (SW) 의 ON/OFF 동작의 제어를 실시함으로써, 상기의 폐회로를 형성함과 함께, 검출 수단 (3) 에 의한 전압값의 측정이 실시된다 (S4).

전압값의 측정이 실시되면, 전원 수단 (2) 으로부터의 전류값과 검출 수단 (3) 으로부터의 전압값을 기초로, 산출 수단 (53) 에 의해 저항값이 산출된다 (S5). 이 저항값을 기초로, 검출 단자 (9) 와 접속되는 접촉자 (CP) 와 검사점 (P) 의 도통 접촉 상태가 판정된다. 이 저항값이 기준 저항값의 범위 내에 존재하면, 접촉자 (CP) 의 도통 접촉 상태가 양호하다고 판정한다 (S6). 한편, 이 저항값이 기준 저항값의 범위 외에 존재하면, 접촉자 (CP) 의 도통 접촉 상태가 불량이라고 판정한다 (S7).

접촉자 (CP) 의 도통 접촉 상태가 양호하면, 기판 (CB) 의 배선의 4 단자 측정법에 의한 저항값의 측정이 개시된다 (S8). 한편, 접촉자 (CP) 의 도통 접촉 상태가 불량이면, 검사용 지그를 기판 (CB) 으로부터 이반시킨다. 그 후, 다시 검사용 지그가 기판 (CB) 을 협지하도록 검사용 지그를 이동시킨다 (S2).

본 발명에서는, 전력 공급 단자 (8) 에 접속되는 접촉자 (CP) 의 검사점 (P) 과의 도통 접촉 상태는 확인하고 있지 않지만, 전력 공급 단자 (8) 는, 검사점 사이의 저항값의 측정을 실시할 때에, 검사점 사이에 전력을 공급하게 된다. 이 때문에, 전력 공급 단자 (8) 에 접속되는 접촉자 (CP) 가 검사점 (P) 과 도통 접촉 상태가 불량이면, 전력이 공급될 수 없기 때문에, 그 영향이 검출 수단 (3) 에 반영되게 된다. 이 때에, 전력 공급 단자 (8) 에 접속되는 접촉자 (CP) 가, 검사점 (P) 과의 도통 접촉 상태가 불량인 것을 알 수 있다. 이 후, 검사용 지그를 기판 (CB) 과 이반시키고, 다시 협지하도록 해도 된다.

또, 배선 자체에 불량이 존재하고, 검출 단자 (9) 에 접속되는 접촉자 (CP) 를 직렬로 접속하여, 도통 접촉 상태를 확인하는 경우에 영향을 주는 경우가 있지만, 배선 자체에 불량이 존재하는 경우와 접촉자 (CP) 의 도통 접촉 불량이 발생할 확률은, 접촉자 (CP) 에 의한 도통 접촉의 불량 상태가 발생할 확률이 훨씬 크다. 이 때문에, 먼저, 접촉자 (CP) 의 도통 접촉의 불량 상태를 검출하는 것이 검사 효율을 향상시키게 된다.

검출 단자 (9) 에 접속되는 접촉자 (CP) 를 직렬 접속하여 도통 접촉 상태를 판정하는 경우에는, 전원 수단 (2) 으로부터 실시되는 전력 공급에서는, 한 번 전력이 공급되어 판정된 후, 역극의 전력 (예를 들어 정극·부극의 전환이나 공급되는 전류를 역방향으로 하는 등) 을 공급할 수도 있다. 이와 같이, 첫번째에 공급되는 전류와, 두번째에 공급되는 전류의 전류의 방향 또는 정부를 바꿈으로써, 검사점 (P) 에 산화막이 형성되어 있는 경우라도, 이 산화막을 제거할 수 있고, 보다 양호한 정밀도로 2 회의 검사를 실시할 수 있다.

검출 단자 (9) 에 접속되는 접촉자 (CP) 의 검사점 (P) 의 도통 접촉 상태시에, 상기와 같은 극성이 상이한 전류를 공급함으로써, 검사점 (P) 의 표면에 형성되는 산화막도 제거할 수 있고, 종래 검사 대상을 측정하기 직전에 실시했던 산화막 제거에 관해서도, 한 번에 실시하는 것이 가능해져, 매우 검사 효율을 향상 시킬 수 있다.

이상이 본 기판 검사 장치의 기본 동작의 설명이다.

1 : 기판 검사 장치
2 : 전원 수단
3 : 검출 수단
4 : 접속 단자
5 : 제어 수단
51 : 기억 수단
52 : 선출 수단
53 : 산출 수단
54 : 판정 수단
7 : 전환 수단
81 : 상류측 전력 공급 단자
82 : 하류측 전력 공급 단자
91 : 상류측 검출 단자
92 : 하류측 검출 단자
CB : 기판
P : 검사점

Claims

복수의 배선이 형성되는 기판의 그 배선 패턴의 도통 검사를 실시함과 함께, 그 도통 검사를 실시할 때에 그 검사점에 1 쌍의 접촉자를 도통 접촉시키고, 그 검사점 사이에서 4 단자 측정을 실시하는 기판 검사 장치로서,
상기 검사점 사이에 전력을 공급하는 전원 수단과,
복수의 상기 접촉자마다에 대응하는, 상기 전원 수단의 상류측과 접속되는 상류측 전력 단자와,
상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 전원 수단의 하류측과 접속되는 하류측 전력 단자와,
상기 검사점 사이의 전압을 검출하는 검출 수단과,
상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 검출 수단의 상류측과 접속되는 상류측 검출 단자와,
상기 복수의 접촉자마다에 대응하는, 상기 검출 수단의 하류측과 접속되는 하류측 검출 단자와,
상기 복수의 접촉자마다에 대응함과 함께, 그 복수의 접촉자를 접속하는 접속 단자와,
상기 접촉자와 상기 각 단자를 선택적으로 접속하는 선출 수단과,
상기 전원 수단, 상기 검출 수단과 상기 선출 수단을 각각 동작시키고, 상기 4 단자 측정을 실시하기 위한 측정 처리를 재촉하는 제어 수단을 구비하고 있고,
상기 제어 수단은,
각 검사점에 상기 상류측 검출 단자 또는 상기 하류측 검출 단자로서 선출되는 접촉자를, 상기 접속 단자를 개재하여 직렬 접속시키고, 상기 직렬 접속된 검사점 사이에 상기 전원 수단으로부터 전력을 공급시키고, 그 검사점 사이의 상기 검출 수단에 의해 전압값을 검출시키고, 그 전압값을 기초로 그 접촉자와 그 검사점의 도통 접촉 상태를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제어 수단은, 상기 전원 수단으로부터 전력을 공급시킬 때에, 상류측으로부터 전력을 공급한 후에, 하류측으로부터 상기 전력을 공급하고, 상기 도통 접촉 상태를 판단하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
복수의 배선이 형성되는 기판의 그 배선 패턴의 도통 검사를 실시함과 함께, 그 도통 검사를 실시할 때에 그 검사점에 1 쌍의 접촉자를 도통 접촉시키고, 검사점 사이를 측정하기 위한 측정용 전력을 공급하기 위한 상류측 전력 공급 단자와 하류측 전력 공급 단자와, 그 검사점 사이의 측정을 실시하기 위한 상류측 검출 단자와 하류측 검출 단자를 사용하여 그 검사점 사이의 4 단자 측정을 실시하는 기판 검사 방법으로서,
상류측 검출 단자와 하류측 검출 단자에 접속되는 접촉자를 직렬 접속하고, 상기 직렬 접속된 접촉자에 전력을 공급하고, 그 직렬 접속된 접촉자 사이의 전기적 측정을 실시하고,
상기 전력과 상기 전기적 측정 결과로부터, 상기 직렬 접속된 접촉자 사이의 전기적 특성을 산출하고,
산출된 상기 전기적 특성을 기초로, 상기 직렬 접속된 접촉자와 상기 검사점의 도통 접촉 상태를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
제 3 항에 있어서,
상기 판정이, 상기 기판에 형성되는 배선의 4 단자 측정을 실시하기 전에 실시되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.