TWI516774B - 絕緣檢測方法及絕緣檢測裝置 - Google Patents

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Description

絕緣檢測方法及絕緣檢測裝置
本發明關於一種與基板的配線圖形的絕緣檢測相關的絕緣檢測方法及絕緣檢測裝置。並且，本發明並不限定於印刷配線基板，其可適用於例如軟性(flexible)基板、多層配線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用電極板以及半導體封裝用封裝基板或薄膜載體等各種基板中的電氣配線的檢測，在本說明書中將這些各種配線基板總稱為「基板」。
以往，基板上形成的配線圖形用於向裝載在基板上的IC或半導體部件或者除此以外的電子部件收發電訊號。這種配線圖形隨著近來電子部件的微細化，在更微細且更複雜地形成的同時，按更低的電阻形成。隨著基板的配線圖形的微細化，對檢測配線圖形的良好或不良的精密度要求變得更高。
作為檢測此種配線圖形的良好或不良的方法，存在檢測配線圖形是否具有所定的電阻值而形成的導通檢測以及檢測各個配線圖形是否未短路而形成的絕緣檢測這兩大類檢測。
尤其，絕緣檢測藉由向一側的配線圖形施加電壓，而在另一側的配線圖形中測定流動的電流，從而算出配線圖形間的電阻值，且藉由此電阻值檢測絕緣狀態。
在這種絕緣檢測中，在向配線圖形施加所定電壓(施加電壓V)之後，由於隨配線圖形間的電壓不穩定而在配線圖形間瞬間流動過大的電流，因此在配線圖形間的電壓穩定為施加電壓V且經過電流變穩的時間(所定時間)之後，進行絕緣狀態的不良判定。但，若在檢測對象的配線圖形間施加較高的直流電壓(施加電壓)，則在施加電壓後，直至所定時間經過為止，在配線圖形間可能會產生電火花(放電現象)，且據此電火花，配線圖形間的絕緣電阻值發生變化，因此存在著不能算出正確的配線圖形間的絕緣電阻值的問題。
為了改善這種問題，可利用例如專利文獻1揭示的技術。此專利文獻1揭示的技術是藉由測定向配線圖形接通施加電壓的所定時間中的配線圖形間的電壓變化值且檢測出上述電火花產生時的電壓降，從而檢測電火花。例如，在專利文獻1的圖10所示的電壓變化的圖表中，表示了在圖表中的時間t21和時間t22產生電火花。如此，在檢測電壓變化的同時，藉由檢測(圖表中的A和B之處)因電火花引起的電壓降(算出「dv/dt」而獲得的值)來檢測電火花。
由於上述基板進行量產，因此如何對大量的基板有效率地實施並完成檢測是一個重要的問題。鑒於此，需要可靠且有效地實施絕緣檢測的方法。
【現有技術文獻】 【專利文獻】
日本專利第3546046號公報
本發明提供了一種在發現如上所述的電火花(spark)現象(電火花不良)的同時有效地實施絕緣檢測的方法及絕緣檢測裝置。
根據一個實施形態的本發明，提供了一種絕緣檢測裝置，針對形成有複數個配線圖形的基板，從複數個配線圖形中選擇成為檢測對象的配線圖形，且進行上述配線圖形的絕緣檢測，絕緣檢測裝置包括：選出設備，從複數個配線圖形中選出成為檢測對象的配線圖形作為第一檢測部，同時選出除第一檢測部以外的成為檢測對象的配線圖形作為第二檢測部；電源設備，為了在第一檢測部與第二檢測部之間設定所定的電位差，分別與第一檢測部和第二檢測部電連接，進而供給電力；電壓檢測設備，檢測第一檢測部與第二檢測部之間的電位差；判定設備，利用電壓檢測設備檢測的電壓值，根據比較結果，將基板判定為良品或不良品，其中，電源設備包括控制來自電源設備的電流的電流控制部，電流控制部藉由控制，使第一檢測部與第二檢測部之間的電位差達到所定的電位差為止的第一電流大於已達到了所定的電位差時進行供給的第二電流。
根據一個實施例，提供了一種絕緣檢測裝置，電流控制部將第一電流和第二電流控制在0mA至30mA的範圍。
根據一個實施例，提供了一種絕緣檢測裝置，電流控制部將第一電流控制為第二電流的五倍至三十倍。
根據另一實施形態的本發明，提供了一種絕緣檢測方法，針對形成有複數個配線圖形的基板，從複數個配線圖形中選擇成為檢測 對象的配線圖形，且進行上述配線圖形的絕緣檢測，絕緣檢測方法包括如下步驟：從複數個配線圖形中選出成為檢測對象的配線圖形作為第一檢測部，同時將除第一檢測部以外的成為檢測對象的配線圖形作為第二檢測部，進而選出檢測對象間；向檢測對象間供給用於進行絕緣檢測的電力，以產生所定的電位差；檢測向檢測對象間供給電力時的檢測對象間的電位差；以檢測的所述電位差為基礎，判定檢測對象間的絕緣狀態，在檢測對象間設定電位差時，藉由控制，使達到電位差為止供給的電流值大於已達到電位差後進行供給的電流值。
根據本發明，在向設定於第一檢測部和第二檢測部之間的檢測對象間賦予用於絕緣檢測的所定電位差時，由於藉由控制使此檢測對象間達到所定的電位差為止的第一電流大於此檢測對象間達到所定電位差之後供給的第二電流，因此在為使檢測對象間達到所定電位差而供給電流的期間，根據大於第二電流的第一電流來賦予電位差，從而可縮短充電時間。此外，由於在檢測對象間設定所定的電位差後供給小於第一電流的第二電流，因此可降低供給電流的影響，進而進行電火花檢測。
由於第一電流和第二電流設定為0至30mA的範圍內，因此可進行所希望的絕緣檢測。
由於第一電流控制為第二電流的五倍至三十倍，因此可縮短向檢測對象間賦予所定電位差的時間，且針對賦予了電位差的檢測對象間，可具有高的電火花檢測能力。
1‧‧‧絕緣檢測裝置
2‧‧‧電源設備
3‧‧‧電壓檢測設備
4‧‧‧電流檢測設備
5‧‧‧電流控制部
6‧‧‧控制設備
61‧‧‧選出設備
62‧‧‧判定設備
63‧‧‧記憶設備
7‧‧‧切換設備
8‧‧‧電流供給端子
81‧‧‧上流側電流供給端子
82‧‧‧下流側電流供給端子
9‧‧‧電壓檢測端子
91‧‧‧上流側電壓檢測端子
92‧‧‧下流側電壓檢測端子
10‧‧‧顯示設備
A‧‧‧符號
CB‧‧‧基板
CP‧‧‧接觸探針
P1~P4‧‧‧配線圖形
SW1、SW2、SW3、SW4‧‧‧開關元件
t0、t1、t2、t3‧‧‧時間
V1‧‧‧電壓值
第1圖是表示根據本發明之絕緣檢測裝置的一個實施形態之概略構成圖。
第2圖是表示根據本發明之絕緣檢測裝置的動作的一個實施形態之示意圖。
第3A圖和第3B圖是表示根據本發明之檢測對象間的電壓變化之圖表示意圖。
現針對用於實施本發明的具體內容進行說明。
本發明涉及一種對在基板上形成的複數個配線圖形進行絕緣檢測時所產生的電火花不良，能有效且不使檢測時間變冗長而進行檢測的絕緣檢測裝置及其方法。
第1圖是本發明之絕緣檢測裝置的一個實施形態之概略構成圖。
根據本發明的一個實施形態的絕緣檢測裝置1包括電源設備2、電壓檢測設備3、電流檢測設備4、電流控制部5、控制設備6、切換設備7、電流供給端子8、電壓檢測端子9和顯示設備10。在第1圖的實施形態中，表示了本發明的絕緣檢測裝置1、成為檢測對象的基板CB、將絕緣檢測裝置1和基板CB相電連接的接觸探針CP。
第1圖所示的基板CB具有四個配線圖形P1至P4。此基板CB具有的配線圖形根據所設計的基板CB適當地設定其數量及形狀。第1圖的基板CB雖然表示了一字狀的配線圖形P1、T字狀的配線圖形P2以及十字狀的配線圖形P3、P4，但對此並不進行特別的限定。
第1圖表示了與各配線圖形P1至P4電接觸的四個接觸探針CP。此接觸探針CP能使絕緣檢測裝置1和基板CB相電導通連接。且此接 觸探針CP的配置位置或配置數量根據基板CB上形成的配線圖形適當地設定。
在第1圖的實施形態中，雖然將後述的上流側和下流側電流供給端子以及上流側和下流側電壓檢測端子，藉由一個接觸探針CP來可導通地連接到配線圖形上設定的所定檢測位置，但也可以將電流供給端子8和電壓檢測端子9分別藉由不同的兩個接觸探針CP來可導通地連接到所定的檢測位置。
電源設備2向成為檢測對象的配線圖形和其他配線圖形之間(以下稱，檢測對象間)施加用於絕緣檢測的所定電位差(檢測電壓)。此電源設備2可使用直流電源或交流電源，並不進行特別的限定，只要能在檢測對象間施加所定的電位差則均可使用。
此電源設備2施加的電位差雖然根據使用者可適當地進行設定，但在基板的絕緣檢測時一般設定為200V至250V。
電流控制部5控制從電源設備2供給的電流，進而向檢測對象間進行供給。此電流控制部5能控制電流量的增減，且根據來自後述的控制設備6的控制訊號進行控制。此電流控制部5進行的電流控制具體來說具有針對從電源設備2供給的電流設定所定的限制，從而限制一定以上電流量的電流不流過的功能。電流控制部5具有至少兩個這樣的電流限制，且根據來自後述的控制設備6的控制訊號可對電流量施加限制。
此電流控制部5具有在向檢測對象間施加檢測電壓期間(在檢測對象間達到所定電位差之前)將從電源設備2供給的電流作為第一電流進而進行控制的功能，和在向檢測對象間施加所定的檢測 電壓後(檢測對象間達到所定電位差之後)將從電源設備2供給的電流作為第二電流進而進行控制的功能。
電流控制部5將第一電流設定為大於第二電流。鑒於此，截止至檢測對象間達到所定的電位差，從電源設備2供給的電流受到第一電流的大小限制而供給。且在檢測對象間被設定為所定的電位差之後，從電源設備2供給的電流受到第二電流的大小限制而供給。鑒於此，檢測對象間未達到所定的電位差時，由於供給電流量大的第一電流，因此檢測對象間可更快地具有所定的電位差。且在檢測對象間達到所定的電位差之後，由於向檢測對象間供給電流量小的第二電流，因此可使來自電源設備2的電流影響變小，從而進行電火花檢測。從而，能進行精密度高的電火花檢測。
較佳地，電流控制部5控制的第一電流和第二電流全部按0至30mA的範圍進行控制。藉由按此電流值的範圍進行控制，能恰當地執行基板配線圖形的檢測對象間的絕緣檢測。
電流控制部5按第二電流的五倍至三十倍控制第一電流。藉由這種控制，在檢測對象間未達到所定的電位差時，能使檢測對象間更快地達到所定的電位差，而在檢測對象間達到所定的電位差之後，能使來自電源設備2的電流影響變小進而進行電火花檢測，因此是最能發揮上述兩個效果的條件。具體來講，較佳地，第一電流設定為15mA至25mA，而第二電流設定為0mA至5mA。
此第一電流和第二電流更較佳的具體條件則是將第一電流設定為20mA，將第二電流設定為1mA。藉由這種設定，能縮短達到所定電位差的電流供給時間，且能提高達到所定電位差後的電火花 檢測精密度。本發明人藉由調整控制第一電流和第二電流，創出了能更加準確地發現在基板配線圖形中絕緣檢測時的電火花不良且能提高大批量的基板檢測中單位時間內的基板處理能力的條件。
如上所述，電流控制部5具有調整一定電流量的功能，可採用例如電流限制器電路。藉由使用電流限制器電路能控制所定電流的流量。此電流限制器電路能進行上述兩個電流控制，且根據後述的控制設備6的控制訊號能分別切換對第一電流和第二電流的控制。
電壓檢測設備3檢測出檢測對象間的電壓。此電壓檢測設備3例如可使用電壓計，但並不進行特別的限定，只要能檢測出檢測對象間的電壓即可。藉由使用此電壓檢測設備3檢測的電壓值和根據電源設備2供給的電流值，可算出檢測對象間的電阻值。且藉由使用此電阻值能檢測出檢測對象間的絕緣性。還能根據此電壓檢測設備3檢測的電壓值，進行對電源設備2動作的控制。
電流檢測設備4檢測出檢測對象間的電流。此電流檢測設備4例如可使用電流計，但並不進行特別的限定，只要能檢測出檢測對象間流動的電流值即可。
雖然可決定根據電源設備2供給的電流值，但藉由使用此電流檢測設備4，也能檢測出檢測對象間的電流值。
電流供給端子8為了向檢測對象間供給電流，藉由接觸探針CP與各個配線圖形P連接。此電流供給端子8包括用於將電源設備2的上流側(正極側)和配線圖形P相連接的上流側電流供給端子81 ，以及用於將電源設備2的下流側(負極側)或電流檢測設備4和配線圖形P相連接的下流側電流供給端子82。如第1圖所示，此電流供給端子8的上流側電流供給端子81和下流側電流供給端子82針對各自的配線圖形P而設置。
上流側電流供給端子81和下流側電流供給端子82分別連接切換設備7的開關元件SW，根據此切換設備7的開關元件SW的ON/OFF動作，可設定連接狀態/未連接狀態。較佳地，在電流供給端子8中配置靜電釋放(ESD，Electro-Static Discharge)保護用的電阻。
電壓檢測端子9為了檢測出檢測對象間的電壓，藉由接觸探針CP與各個配線圖形P連接。此電壓檢測端子9包括用於將電壓檢測設備3的上流側(正極側)和配線圖形P相連接的上流側電壓檢測端子91，以及用於將電壓檢測設備3的下流側(負極側)和配線圖形P相連接的下流側電壓檢測端子92。如第1圖所示，此電壓檢測端子9的上流側電壓檢測端子91和下流側電壓檢測端子92針對各自的配線圖形P而設置。與電流供給端子8一樣，上流側電壓檢測端子91和下流側電壓檢測端子92分別連接切換設備7的開關元件SW，根據此切換設備7的開關元件SW的ON/OFF動作，可設定連接狀態/未連接狀態。
電流供給端子8和電壓檢測端子9，如第1圖所示，針對與配線圖形P導通連接的一個接觸探針CP配置四個端子，且同時具有進行各個端子的ON/OFF控制的四個開關元件SW。在第1圖中，將控制上流側電流供給端子81的動作的開關元件用符號SW1表示，將控制上流側電壓檢測端子91的動作的開關元件用符號SW2表示，將 控制下流側電壓檢測端子92的動作的開關元件用符號SW3表示，將控制下流側電流供給端子82的動作的開關元件用符號SW4表示。
切換設備7由與上述各個接觸探針CP導通連接的複數個開關元件SW構成。此切換設備7根據來自後述的控制設備6的動作訊號來控制ON/OFF動作。
控制設備6選出成為檢測對象的配線圖形P，或以來自電壓檢測設備3的電壓值為基礎檢測電火花，或發送切換設備7的動作的指示訊號，或進行本裝置1的整體控制。此控制設備6，如第1圖所示，包括選出設備61、判定設備62和記憶設備63。
選出設備61從基板CB的複數個配線圖形P中選出成為檢測對象的配線圖形P，進而對檢測對象的配線圖形P進行特定。藉由此選出設備61對檢測對象的配線圖形P進行特定，從而按順序選出進行絕緣檢測的配線圖形P。此選出設備61對檢測對象的配線圖形P進行選出的方法，可以事先在記憶設備63中設定成為檢測對象的配線圖形P的順序，根據此順序選出檢測對象的配線圖形P。此選出方法雖然可採用如上所述的方法，但只要是能按順序選出成為檢測對象的配線圖形P的方法就不進行特別的限定。
選出設備61進行的具體配線圖形P的選出藉由使用切換設備7而實施。例如，藉由對切換設備7的各個開關元件SW的ON/OFF控制，可選出成為檢測對象的配線圖形P。在本實施形態的絕緣檢測裝置中，開關元件SW處於ON狀態，以使成為檢測對象的配線圖形P與用於和電源設備2連接的上流側電流供給端子81連接。且同時 ，開關元件SW處於ON狀態，以使上流側電壓檢測端子91與此配線圖形P連接。
例如，在第1圖所示的實施形態中，將配線圖形P1作為檢測對象時，選出設備61選出與配線圖形P1連接的上流側電流供給端子81和上流側電壓檢測端子91，且發送催促訊號以使端子81、91的開關元件SW1和開關元件SW2處於ON狀態。切換設備7藉由接收此訊號，使開關元件SW1和開關元件SW2動作。並且此時，發送催促訊號以使與檢測對象的配線圖形以外的配線圖形(餘下的配線圖形)相對應的開關元件SW3和開關元件SW4處於ON狀態。
如上所述，根據選出設備61，從基板CB的複數個配線圖形P中選擇成為檢測對象的配線圖形P。根據此實施形態的絕緣檢測裝置1的選出設備61所選出的配線圖形P，從基板CB上形成的複數個配線圖形中選出一個配線圖形P。即，在根據選出設備61選出的一個配線圖形P與餘下所有的配線圖形P間進行絕緣檢測。藉由如此選出配線圖形P，則可設定檢測對象間。
判定設備62以來自電壓檢測設備3的電壓值為基礎判定電火花的產生。此判定設備62進行的判定，例如可檢測根據電壓施加而產生的檢測對象間的電壓，在檢測出產生電壓降時可以判定為電火花不良。另外，雖然第1圖中未進行圖示，但還能藉由檢測上流側電流供給端子81和上流側電壓檢測端子91之間的電壓變化，來檢測電火花不良的電壓變化。此判定設備62進行的判定方法，如上所述，可將檢測到檢測對象間的電壓降之情況作為不良，也可利用形成檢測對象間的配線圖形P的上流側電流供給端子81與上流側電壓檢測端子91之間的電壓的變化(未圖示)。
顯示設備10顯示絕緣檢測的狀態等。此顯示設備10顯示出對電火花的發現。此顯示設備10顯示的內容並不進行特別的限定，可根據本絕緣檢測裝置的製造者適當地進行設定。
以上是對根據本發明的絕緣檢測裝置1的構成的說明。
接著，對本絕緣檢測裝置的動作進行說明。
第2圖是表示實施本絕緣檢測裝置的絕緣檢測時的一個實施例的示圖，第3A圖和第3B圖是作為表示第2圖的絕緣檢測裝置的電壓變化之圖表示意圖，第3A圖表示了良品時的電壓變化，而第3B圖則表示了不良品時的電壓變化。
首先，在記憶設備63中存儲成為檢測對象的基板CB的配線圖形P的信息等，並進行基板CB的導通和絕緣檢測的準備。接著，在所定的檢測位置配置基板CB，且在基板CB上形成的配線圖形P上的檢測點配置接觸探針CP，進而相接以能進行電連接。
基板CB準備好後則進行導通檢測。此時，雖未進行詳細記載，但在進行全部配線圖形的導通檢測且全部配線圖形的導通狀態無異常時(全部配線圖形是藉由(pass)了導通檢測的狀態時)，進行下一步的絕緣檢測。
此時，選出設備61為了設定檢測對象間，選出成為檢測對象的配線圖形P。若選出設備61選出成為檢測對象的配線圖形P，則對作為此檢測對象而選出的配線圖形P的上流側電流供給端子81和上流側電壓檢測端子91進行特定。並且，從選出設備61向切換設備7發送動作訊號，以使用於將此特定的上流側電流供給端子81和上流側電壓檢測端子91形成連接狀態的開關元件SW1、SW2處於ON 。切換設備7若接收與來自選出設備61的開關元件的ON/OFF動作相關的訊號，則根據此訊號進行開關元件SW的ON/OFF控制。
更具體地講，例如配線圖形P1成為檢測對象的配線圖形時，與對應於配線圖形P1的上流側電流供給端子81和上流側電壓檢測端子91連接的開關元件SW1、SW2處於ON。且與此同時，為了使與除此配線圖形P1外的配線圖形P2至配線圖形P4連接的接觸探針CP與各個下流側電流供給端子82形成連接狀態，控制各個下流側電壓檢測端子92的開關元件SW3和下流側電流供給端子82的開關元件SW4處於ON(參考第2圖)。
在第2圖所示的動作狀態中，如上所述，選出配線圖形P1作為檢測對象。鑒於此，由於開關元件SW1和開關元件SW2處於ON，因此配線圖形P1與上流側電流供給端子81和上流側電壓檢測端子91連接。此時，由於開關元件SW3和開關元件SW4處於ON，因此除檢測對象之外的配線圖形P2至配線圖形P4分別與下流側電流供給端子82和下流側電壓檢測端子92連接。
如上所述，當開關元件SW受ON或OFF控制時，由於檢測對象間已設定，因此向配線圖形P1施加用於絕緣檢測的所定電位差。具體來講，控制設備6向電源設備2發送動作訊號以使供給電力，且同時針對電流控制部5發送動作訊號以使進行第一電流的限定。若控制設備6向電源設備2和電流控制部5發送控制訊號，則從電源設備2藉由電流控制部5，供給按第一電流進行限定的電流。第一電流是被設定為大於第二電流的電流，可縮短檢測對象間達到所定電位差的時間。
此時，電壓檢測設備3在絕緣檢測的實施中，檢測出檢測對象間的電壓，且向控制設備6發送此檢測結果。控制設備6以此電壓檢測設備3檢測的電壓信息為基礎，發送控制電源設備2和電流控制部5的訊號。
第3A圖是表示不存在電火花不良時的電壓變化的圖表，第3B圖是表示存在電火花不良時的電壓變化的圖表。在第3A圖和第3B圖中，電壓值V1以向檢測對象間施加的所定電位差所設定。在此第3A圖和第3B圖中，第3A圖的時間t0至時間t1期間以及圖3B的時間t0至時間t3期間示出了檢測對象間的電壓上升至所定電位差的狀態，在此期間供給第一電流。
若檢測對象間的電壓根據來自電源設備2的電流(第一電流)供給設定為用於絕緣檢測的所定電位，則控制設備6接收來自電壓檢測設備3的訊號，當向檢測對象間供給所定的電壓被確認時，控制設備6針對電流控制部5發送控制訊號，以將來自電源設備2的電流限定為第二電流。若接收來自控制設備6的控制訊號，則電流控制部5將來自電源設備2的電流限定為第二電流。
電流控制部5若接收來自控制設備6的控制訊號，則將來自電源設備2的電流按第二電流限定的電流進行供給。第二電流是被設定為小於第一電流的電流，由於向已達到所定電位差的檢測對象間進行供給，因此藉由將對電火花不良的影響變得非常小而進行供給，從而能提高電火花不良的檢測精密度而實施絕緣檢測。
在第3A圖的時間t1至時間t2期間，進行根據此第二電流的電流供給。在第3B圖中，在時間t0至時間t3期間，由於發現電火花不良 (圖中以符號A表示的地方)，因此雖未在圖表中記載進行絕緣檢測的時間，但從時間t3之後向檢測對象間供給第二電流。
藉由控制設備6的控制，如上所述開始向檢測對象間施加所定的電位差，到檢測對象間設定為所定的電位差從而經過所定的時間為止，連續地檢測出檢測對象間的電壓。此時，例如第3A圖所示，若未算出因電火花導致的電壓降，則在此檢測對象間不存在電火花不良，而進行絕緣檢測。在第3A圖的時間t2進行檢測對象間的電壓值檢測，進而算出檢測對象間的電阻值。在檢測對象間達到所定電位差後經過所定的時間之後，設定時間t2。
此外，如第3B圖所示，算出因電火花導致的電壓降時，例如，當檢測到在供給第一電流的期間中的電壓降狀態或供給第二電流的期間中的電壓降狀態的時候，判定設備62判定檢測對象間存在電火花不良。
如上所述，當產生電火花時，在通知產生電火花的同時，算出此電火花的大小，且與電火花一同顯示出其大小。鑒於此，使用者藉由檢測電壓值，不僅可容易地檢測在絕緣檢測中發生的電火花，而且還可知道此電火花的大小。
在此絕緣檢測裝置1中，進行成為檢測對象的一個配線圖形P與餘下全部的配線圖形的絕緣檢測，在此檢測對象的一個配線圖形P的絕緣檢測結束後，選擇一個作為下一個檢測對象的配線圖形P，並重複進行相對於餘下全部配線圖形的絕緣檢測。並且在進行各個檢測對象間(檢測對象的配線圖形P)的絕緣檢測時，可同時對如上所述的電火花不良進行檢測，且在檢測到不良時，將其 作為不良基板進而終止檢測。
如上所述，可將在被檢測基板上形成的全部配線圖形作為檢測對象的配線圖形而進行絕緣檢測。
1‧‧‧絕緣檢測裝置
2‧‧‧電源設備
3‧‧‧電壓檢測設備
4‧‧‧電流檢測設備
5‧‧‧電流控制部
6‧‧‧控制設備
61‧‧‧選出設備
62‧‧‧判定設備
63‧‧‧記憶設備
7‧‧‧切換設備
8‧‧‧電流供給端子
81‧‧‧上流側電流供給端子
82‧‧‧下流側電流供給端子
9‧‧‧電壓檢測端子
91‧‧‧上流側電壓檢測端子
92‧‧‧下流側電壓檢測端子
10‧‧‧顯示設備
CB‧‧‧基板
CP‧‧‧接觸探針
P1~P4‧‧‧配線圖形
SW1、SW2、SW3、SW4‧‧‧開關元件

Claims (4)

  1. 一種絕緣檢測裝置，從基板上形成的複數個配線圖形中選擇成為檢測對象的配線圖形，且進行該配線圖形的絕緣檢測，該絕緣檢測裝置包括：選出設備，從該複數個配線圖形中選出成為該檢測對象的配線圖形作為第一檢測部，同時選出除該第一檢測部以外的成為該檢測對象的配線圖形作為第二檢測部；電源設備，為了在該第一檢測部與該第二檢測部之間設定所定的電位差，分別與該第一檢測部和該第二檢測部電連接，進而供給電力；電壓檢測設備，係在該電源設備供給電力的期間檢測該第一檢測部與該第二檢測部之間的電位差；以及判定設備，利用該電壓檢測設備檢測的該電位差的變化，將該基板判定為良品或不良品；其中，該電源設備包括控制來自該電源設備的電流的電流控制部；該電流控制部藉由控制，使該第一檢測部與該第二檢測部之間的電位差達到該所定的電位差為止所供給的第一電流，大於已達到了該所定的電位差後所供給的第二電流。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之絕緣檢測裝置，其中該電流控制部將該第一電流和該第二電流控制在0mA至30mA的範圍。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述之絕緣檢測裝置，其中該電流控制 部將該第一電流控制為該第二電流的五倍至三十倍。
  4. 一種絕緣檢測方法，從基板上形成的複數個配線圖形中選擇成為檢測對象的配線圖形，且進行該配線圖形的絕緣檢測，該絕緣檢測方法包括如下步驟：從該複數個配線圖形中選出成為該檢測對象的配線圖形作為第一檢測部，同時將除該第一檢測部以外的成為該檢測對象的配線圖形作為第二檢測部，進而選出該檢測對象間；向該檢測對象間供給用於進行絕緣檢測的電力，以產生所定的電位差；檢測向該檢測對象間供給該電力的期間的該檢測對象間的電位差；以該檢測的該電位差的變化為基礎，判定該檢測對象間的絕緣狀態；以及在該檢測對象間設定該電位差時，藉由控制，使達到該電位差為止所供給的電流值，大於已達到該電位差後所供給的電流值。
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