JP6311223B2 - 検査装置、検査装置のキャリブレーション方法及び検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 180
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 37
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 137
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 87
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 40
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 25
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 20
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 15
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/08—Circuits for altering the measuring range
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
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- G01R27/2605—Measuring capacitance
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
- G01R31/52—Testing for short-circuits, leakage current or ground faults
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- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R35/00—Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
- G01R35/005—Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references
- G01R35/007—Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden references"
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/0418—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers for error correction or compensation, e.g. based on parallax, calibration or alignment
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
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Description
31 シグナル供給切替部
32 検出切替部
36 第1ケーブル(第1配線体)
37 第2ケーブル(第2配線体)
41 電流検出部
42 キャリブレーションシグナル部
45 コントローラユニット(制御部)
46 キャリブレーション部
47 検査部
50 センサパネル(検査対象物)
51 第1電極(第1導電体)
52 第2電極(第2導電体)
56 第1タブ配線部
57 第2タブ配線部
Claims (11)
- パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第1導電体と、並べられた複数の第2導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置であって、
検査時に前記第1導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第1配線体と、
検査時に前記第2導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第2配線体と、
交流信号を供給する交流電源であるシグナル部と、
複数の前記第2導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第2配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能なシグナル供給切替部と、
前記第1導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する電流検出部と、
前記第1導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第1配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能な検出切替部と、
浮遊容量による電流をキャンセルするためにそれぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有するキャリブレーションシグナル部と、
を備え、
前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
少なくとも、前記シグナル部、前記電流検出部及び前記キャリブレーションシグナル部を制御するキャリブレーション部を備え、
前記キャリブレーション部は、
前記検査対象物が取り外されたキャリブレーション時において、前記第2配線体の少なくとも何れかに前記シグナル部の交流信号を供給させながら、前記第1配線体に電気的に接続される前記電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、前記キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整し、
前記電流計の出力がゼロになったときの前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶し、
前記検査対象物の検査時においては、記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させることを特徴とする検査装置。 - 請求項2に記載の検査装置であって、
前記キャリブレーション部は、前記キャリブレーション時において、前記シグナル部の信号の供給先となる前記第2配線体を変更させるように前記シグナル供給切替部の状態を切り替えながら、当該シグナル供給切替部の状態と、前記キャリブレーションパラメータと、を対応付けて記憶し、
前記検査対象物の検査時においては、前記シグナル供給切替部の状態に対応して記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させることを特徴とする検査装置。 - 請求項2又は3に記載の検査装置であって、
前記キャリブレーション部は、前記キャリブレーション時において、複数の前記第1配線体と、それに対応する前記電流検出部の電流計と、が同時に接続されるように前記検出切替部を制御することを特徴とする検査装置。 - 請求項1から4までの何れか一項に記載の検査装置であって、
少なくとも、前記シグナル部、前記電流検出部、前記シグナル供給切替部及び前記検出切替部を制御する検査部を備え、
前記検査対象物の検査時において、前記検査部は、
複数の前記第2導電体のうち選択された1個に前記シグナル部の交流信号を供給するように前記シグナル供給切替部を制御し、
複数の前記第1導電体のうち選択された1個と、対応する前記電流検出部の電流計と、を接続するように前記検出切替部を制御し、
選択された第2導電体において前記シグナル部の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第2導電体と選択された第1導電体との交差部分を経由して、選択された第1導電体において前記電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、前記形成回路の抵抗である回路抵抗と、前記形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレと、のうち何れかを含む形成回路計測値を、前記電流計で電流を検出することにより計測し、
得られた前記形成回路計測値に基づいて、前記第1導電体及び前記第2導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。 - 請求項5に記載の検査装置であって、
前記検査部は、前記形成回路計測値を計測するとともに、選択された前記第1導電体及び前記第2導電体の交差部分における静電容量の測定を行うことを特徴とする検査装置。 - 請求項5又は6に記載の検査装置であって、
前記検査部は、選択される第1導電体を共通とし、選択される第2導電体を、前記第1導電体の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って、前記形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、前記第1導電体及び前記第2導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。 - 請求項5から7までの何れか一項に記載の検査装置であって、
前記検査部は、選択される第2導電体を共通とし、選択される第1導電体を、前記第2導電体の長手方向一側から他側に順に変化させるのに伴って、前記形成回路の回路抵抗又は電流位相ズレが単調に増加又は減少するか否かを判定することにより、前記第1導電体及び前記第2導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。 - 請求項5から8までの何れか一項に記載の検査装置であって、
前記検査部は、
前記第1導電体と前記第2導電体とをそれぞれ選択して構成される前記形成回路である第1形成回路と、
前記第1導電体の選択を、前記第1形成回路で選択された第1導電体に対して、前記第2導電体の前記供給端から遠い方向に1個ズラすとともに、前記第2導電体の選択を、前記第1形成回路で選択された第2導電体に対して、前記第1導電体の前記計測端から近い方向に1個ズラすことで構成される前記形成回路である第2形成回路と、
の間で前記回路抵抗又は電流位相ズレが等しいか否かを判定することにより、前記第1導電体及び前記第2導電体の異常を検査することを特徴とする検査装置。 - パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第1導電体と、並べられた複数の第2導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置であって、
検査時に前記第1導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第1配線体と、
検査時に前記第2導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第2配線体と、
交流信号を供給する交流電源であるシグナル部と、
複数の前記第2導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第2配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能なシグナル供給切替部と、
前記第1導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する電流検出部と、
前記第1導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第1配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能な検出切替部と、
浮遊容量による電流をキャンセルするためにそれぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有するキャリブレーションシグナル部と、
を備え、
前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている検査装置のキャリブレーション方法であって、
前記検査対象物が取り外された状態で、前記第2配線体の少なくとも何れかに前記シグナル部の交流信号を供給させながら、前記第1配線体に電気的に接続される前記電流検出部の電流計の出力がゼロになるように、前記キャリブレーションシグナル部において前記電流計に対応する交流電源の電圧及び位相を調整するシグナル条件調整工程と、
前記電流計の出力がゼロになったときの前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に与えた電圧及び位相のパラメータであるキャリブレーションパラメータを取得して記憶するシグナル条件記憶工程と、
前記検査対象物の検査時において、記憶された前記キャリブレーションパラメータに基づいて、前記キャリブレーションシグナル部の交流電源に交流信号を発生させるキャリブレーションシグナル発生工程と、
を含むことを特徴とするキャリブレーション方法。 - パネル状の検査対象物であって、並べられた複数の第1導電体と、並べられた複数の第2導電体と、がパネル厚み方向で見たときに互いに交差するように配置された検査対象物の検査装置であって、
検査時に前記第1導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第1配線体と、
検査時に前記第2導電体のそれぞれに電気的に接続される複数の第2配線体と、
交流信号を供給する交流電源であるシグナル部と、
複数の前記第2導電体のそれぞれに対して、前記シグナル部の交流信号を前記第2配線体経由で供給するか、遮断するか、を切替可能なシグナル供給切替部と、
前記第1導電体に流れる電流を検出可能な複数の電流計を有する電流検出部と、
前記第1導電体のそれぞれを、前記電流計と前記第1配線体経由で接続するか、遮断するか、を切替可能な検出切替部と、
浮遊容量による電流をキャンセルするためにそれぞれの前記電流計に対して交流信号を供給可能な複数の交流電源を有するキャリブレーションシグナル部と、
を備え、
前記キャリブレーションシグナル部のそれぞれの前記交流電源は、その電圧及び位相を変更可能に構成されている検査装置における検査方法であって、
複数の前記第2導電体のうち選択された1個に前記シグナル部の交流信号を供給するように前記シグナル供給切替部を制御するとともに、複数の前記第1導電体のうち選択された1個と、対応する前記電流検出部の電流計と、を接続するように前記検出切替部を制御する切替工程と、
選択された第2導電体において前記シグナル部の交流信号が供給される端部である供給端から、選択された第2導電体と選択された第1導電体との交差部分を経由して、選択された第1導電体において前記電流計が接続される側の端部である計測端に至る回路を形成回路としたときに、前記形成回路の抵抗である回路抵抗と、前記形成回路に流れる電流の位相のズレである電流位相ズレと、のうち何れかを含む形成回路計測値を、前記電流計で電流を検出することにより計測する形成回路計測値取得工程と、
得られた前記形成回路計測値に基づいて、前記第1導電体及び前記第2導電体の異常の有無を判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする検査方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013120772A JP6311223B2 (ja) | 2013-06-07 | 2013-06-07 | 検査装置、検査装置のキャリブレーション方法及び検査方法 |
KR1020140067350A KR20140143707A (ko) | 2013-06-07 | 2014-06-03 | 검사장치, 검사장치의 캘리브레이션 방법 및 검사방법 |
TW103119724A TWI629629B (zh) | 2013-06-07 | 2014-06-06 | 檢查裝置、檢查裝置之校正方法及檢查方法 |
CN201410250830.XA CN104238849B (zh) | 2013-06-07 | 2014-06-06 | 检查装置、检查装置的校正方法及检查方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013120772A JP6311223B2 (ja) | 2013-06-07 | 2013-06-07 | 検査装置、検査装置のキャリブレーション方法及び検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014238318A JP2014238318A (ja) | 2014-12-18 |
JP6311223B2 true JP6311223B2 (ja) | 2018-04-18 |
Family
ID=52135581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013120772A Active JP6311223B2 (ja) | 2013-06-07 | 2013-06-07 | 検査装置、検査装置のキャリブレーション方法及び検査方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6311223B2 (ja) |
KR (1) | KR20140143707A (ja) |
CN (1) | CN104238849B (ja) |
TW (1) | TWI629629B (ja) |
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---|---|---|---|---|
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-
2013
- 2013-06-07 JP JP2013120772A patent/JP6311223B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-03 KR KR1020140067350A patent/KR20140143707A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-06-06 CN CN201410250830.XA patent/CN104238849B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI629629B (zh) | 2018-07-11 |
TW201447721A (zh) | 2014-12-16 |
JP2014238318A (ja) | 2014-12-18 |
CN104238849A (zh) | 2014-12-24 |
CN104238849B (zh) | 2018-07-03 |
KR20140143707A (ko) | 2014-12-17 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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