CN104238849A - 检查装置、检查装置的校正方法及检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种检查装置、检查装置的校正方法及检查方法。在传感器面板等检查对象物的检查装置中，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正，并且可以以良好的精度测量传感器面板的微小的静电电容。在卸除了传感器面板的状态下，传感器面板检查装置(1)的校正部(46)对多个第二线缆(37)中的至少任一个供给信号部(11)的交流信号，并且调整在校正信号部(42)中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与第一线缆(36)电连接的电流检测部(41)的电流计的输出为零。若电流计的输出为零，则存储当时的上述交流电源的电压及相位。在检查传感器面板时，基于所存储的电压及相位，来使校正信号部(42)的交流电源产生交流信号。

Description

检查装置、检查装置的校正方法及检查方法
技术领域
本发明主要涉及以静电电容式的传感器面板等为检查的对象的检查装置。
背景技术
以往，作为检测触碰位置的触控面板装置的一种，公知有所谓的静电电容式触控面板装置。静电电容式触控面板装置的传感器面板具有在例如用玻璃等形成的透明基板上设置有第一图案透明导电层和第二图案透明导电层的结构。上述的图案透明导电层例如通过使用氧化铟锡(Indium Tin Oxide，ITO)成膜而形成。
两个图案透明导电层相互垂直交叉地配置，分别用作电极。另外，以下有时称第一图案透明导电层及第二图案透明导电层为第一电极及第二电极。第一电极与第二电极被配置成隔着传感器面板的厚度方向的间隙而对置。
由于以上的结构，在第一电极与第二电极的交叉部分形成一种电容器，上述的电容器的静电电容会因导电性物体(例如人体)接近或者接触而变化。触控面板装置可以通过检测上述的静电电容的变化来检测与传感器面板触碰的位置。上述方式称为所谓的投影型静电电容方式，在可以高精度地检测触碰位置的方面相当优异。
另外，对于触控面板装置的制造者而言，为了避免不良品的混入而确保产品品质而对传感器面板进行检查是极为重要的。
作为上述检查措施之一，以往，使由针状的导通探针所构成的接触头与沿纵横方向配置的各电极、与其连接的布线直接接触，来检查各电极(布线)是否导通和与相邻的电极(布线)是否短路。
然而，对于这样使接触头直接接触来进行检查的方法，由ITO膜构成的上述的电极与接触头间无稳定性，会由于氧化膜的接触电阻的不稳定性而无法正确地测量电特性。另外，由于接触头与检查对象的电极等直接接触，因此存在会形成刮痕而使品质降低的问题。
另一方面，如专利文献1所公开的那样，为了精度良好地对组装而成的触控面板上的规定的触碰输入位置进行检测，提出了检查触控面板整体的电阻值等电特性的方法。
另外，除专利文献1公开的内容以外，还提出了下述方案，即一边向各个电极供给检查信号，一边使接触头与电极交叉部分接触，基于接触头的检测信号来检查电极等的优劣。
(现有技术文献)
(专利文献)
专利文献1：日本特开2005-274225号公报
发明内容
(发明所要解决的问题)
然而，在这样的检查方法中，需要使接触头与沿纵横方向配置的所有的电极的交叉部分接触来进行检查。因此，若电极的数量增加，则移动接触头所需的时间变长，检查时间会显著地增加。
另外，虽然在检查的过程中考虑测量第一电极与第二电极的交叉部分处的静电电容，但上述的静电电容至多亦不过10pF左右，与此相对，检查装置的电路所含的非意图的电容成分(所谓的寄生电容)为100pF左右，这种寄生电容会成为降低测量精度的重大原因。因此，从提高检查的精度的观点出发，要求恰当地排除上述寄生电容的影响。
本发明鉴于以上的情况而提出，其目的在于，在传感器面板等检查对象物的检查装置中，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正(calibration，校准，标定)，并且可以以良好的精度对传感器面板的微小的静电电容进行测量。
(解决问题的措施及效果)
本发明要解决的问题如上，接下来，对用以解决上述的课题的措施及其效果进行说明。
根据本发明的第一观点，提供一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉。即，上述检查装置构成为具备第一布线体、第二布线体、信号部、信号供给切换部、电流检测部、检测切换部以及校正信号部。上述第一布线体具备多个，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接。上述第二布线体具备多个，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接。上述信号部是供给交流信号的交流电源。上述信号供给切换部能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换。上述电流检测部具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计。上述检测切换部能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换。上述校正信号部具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源。上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。
据此，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正。另外，由于控制校正信号部的交流电源，以便消除因寄生电容等造成的电流，因此电流检测部的电流计可以检测基于第一导电体与第二导电体的交叉部分的静电电容的电流本身。因此，通过恰当地确定电流计的量程，可以以良好的精度来测量传感器面板的微小的静电电容。
在上述检查装置中，优选具有以下的结构。即，上述检查装置具备至少控制上述信号部、上述电流检测部以及上述校正信号部的校正部。上述校正部在进行卸除了上述检查对象物的校正时，对上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压以及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零。另外，上述校正部获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储。另外，上述校正部在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。
据此，可以自动地确定用于消除因寄生电容造成的电流的、校正信号部的交流电源的电压及相位。因此，可以减轻校正所需的工夫。
在上述检查装置中，优选具有以下的结构。即，上述校正部在进行上述校正时，切换上述信号供给切换部的状态，以便对作为上述信号部的信号的供给对象的上述第二布线体进行变更，并且将上述信号供给切换部的状态与上述校正参数建立对应而存储。上述校正部在进行上述检查对象物的检查时，基于与上述信号供给切换部的状态对应地存储的上述校正参数，来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。
据此，即便寄生电容等对应于哪个第二布线体作为信号供给对象而变化，也可以进行与其对应的校正，因此可以良好地维持测量精度。
优选地，在上述检查装置中，上述校正部在上述校正时控制上述检测切换部，以便将多个上述第一布线体和与其对应的上述电流检测部的电流计同时连接。
据此，可以同时并行地进行涉及多个电流计的校正操作，因此可以有效地缩短校正所需的时间。
在上述检查装置中，优选具有以下的结构。即，上述检查装置具备至少控制上述信号部、上述电流检测部、上述信号供给切换部以及上述检测切换部的检查部。上述检查部控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号，并且控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接。上述检查部在将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部的供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部的计测端的电路作为形成电路时，利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值。另外，上述检查部基于所获得的上述形成电路计测值，来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。
据此，可以通过获得形成电路计测值来判定第一导电体及第二导电体是否均一地形成。另外，可以实现不使用接触头等的非接触的检查，因此可以大幅地缩短操作时间。
优选地，在上述检查装置中，上述检查部对上述形成电路计测值进行计测，并且对选择出的上述第一导电体及上述第二导电体的交叉部分的静电电容进行测量。
据此，可以有效地运用检查时间来进行检查，因此可以进一步缩短操作时间。
优选地，在上述检查装置中，上述检查部针对以选择出的第一导电体为共用，伴随着使选择出的第二导电体从上述第一导电体的长边方向一侧向另一侧依次改变，上述形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。
另外，优选地，在上述检查装置中，上述检查部针对以选择出的第二导电体为共用，伴随着使选择出的第一导电体从上述第二导电体的长边方向一侧向另一侧依序变化，上述形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。
据此，可以合理地判定第一导电体及第二导电体的形状是否均一。
在上述检查装置中，也可以具有以下的结构。即，上述检查部通过判定第一形成电路和第二形成电路之间上述电路电阻或电流相位偏移是否相等，来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常，上述第一形成电路是分别选择上述第一导电体与上述第二导电体而构成的上述形成电路，上述第二形成电路是通过以针对由上述第一形成电路选择出的第一导电体向远离上述第二导电体的上述供给端的方向挪动一个的方式选择上述第一导电体、并且以针对由上述第一形成电路选择出的第二导电体向接近上述第一导电体的上述计测端的方向挪动一个的方式选择上述第二导电体而构成的的上述形成电路。
据此，也可以合理地判定第一导电体及第二导电体的形状是否均一。
根据本发明的第二观点，可以提供一种如下的检查对象物的检查装置中的校正方法，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉。即，上述检查装置具备第一布线体、第二布线体、信号部、信号供给切换部、电流检测部、检测切换部以及校正信号部。上述第一布线体具备多个，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接。上述第二布线体具备多个，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接。上述信号部是供给交流信号的交流电源。上述信号供给切换部能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换。上述电流检测部具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计。上述检测切换部能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换。上述校正信号部具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源。上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。另外，上述校正方法包含信号条件调整步骤、信号条件存储步骤以及校正信号产生步骤。在上述信号条件调整步骤中，在卸除了上述检查对象物的状态下，向上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并且调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零。在上述信号条件存储步骤中，获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储。在上述校正信号产生步骤中，在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。
据此，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正。另外，控制校正信号部的交流电源，以便消除因寄生电容等造成的电流，因此电流检测部的电流计可以检测基于第一导电体与第二导电体的交叉部分的静电电容的电流本身。因此，可以通过恰当地确定电流计的量程，来以良好的精度对传感器面板的微小的静电电容进行测量。此外，可以自动地确定用以消除因寄生电容造成的电流的校正信号部的交流电源的电压及相位，因此可以减轻校正所需的功夫。
根据本发明的第三观点，可以提供一种如下的检查对象物的检查装置中的检查方法，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉。即，上述检查装置具备第一布线体、第二布线体、信号部、信号供给切换部、电流检测部、检测切换部以及校正信号部。上述第一布线体具备多个，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接。上述第二布线体具备多个，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接。上述信号部是供给交流信号的交流电源。上述信号供给切换部能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换。上述电流检测部具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计。上述检测切换部能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换。上述校正信号部具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源。上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。另外，上述检查方法包含切换步骤、形成电路计测值获取步骤、以及判定步骤。在上述切换步骤中，控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号，并且控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接。在上述形成电路计测值获取步骤中，当将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部的供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部的计测端的电路作为形成电路时，通过利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值。在上述判定步骤中，基于所获得的上述形成电路计测值，来判定上述第一导电体及上述第二导电体是否存在异常。
据此，可以通过获得形成电路计测值，来判定第一导电体及第二导电体是否均一地形成。另外，可以实现不使用接触头等的非接触的检查，因此可以大幅地缩短操作时间。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的传感器面板检查装置的整体结构的示意图。
图2是表示在卸除传感器面板的状态下进行传感器面板检查装置的校正的情形的图。
图3是表示信号部的电压相位与利用电流检测部的电流计检测出的电流相位的关系的曲线图。
图4是表示传感器面板检查装置检查传感器面板中的位置(1，4)时的形成电路的图。
图5是示意地表示形成电路的图。
图6是表示要检查的位置的座标与形成电路的电阻值的关系的表。
图7是表示形成电路的电阻值与电流的相位的关系的矢量图。
(附图标记的说明)
1   传感器面板检查装置(检查装置)
31  信号供给切换部
32  检测切换部
36  第一线缆(第一布线体)
37  第二线缆(第二布线体)
41  电流检测部
42  校正信号部
45  控制器单元(控制部)
46  校正部
47  检查部
50  传感器面板(检查对象物)
51  第一电极(第一导电体)
52  第二电极(第二导电体)
56  第一引板布线部
57  第二引板布线部
具体实施方式
接下来，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示本发明的一个实施方式的传感器面板检查装置1的整体结构的示意图。图2是表示在卸除了传感器面板的状态下进行传感器面板检查装置1的校正的情形的图。图3是表示信号部11的电压相位与用电流检测部41的电流计检测出的电流相位的关系的曲线图。
图1所示的传感器面板检查装置1构成为可以检查作为检查对象物的传感器面板50。图1表示将传感器面板50设置在传感器面板检查装置1上的状态。
传感器面板50是触控面板装置的主要构成部件，构成为将在纵方向上细长的多个的第一电极(第一导电体)51和在横方向上细长的多个第二电极(第二导电体)52以彼此交叉的方式设置在由玻璃等构成的透明基板上。
沿传感器面板50的厚度方向观察时，第一电极51和第二电极52相互垂直地交叉而配置成矩阵状。具体而言，第一电极51在图1的横方向上以等间隔的方式排列设置M个，第二电极在图1的纵方向上以等间隔的方式排列设置N个。另外，在以后的说明中，有时分别将第一电极51排列的方向称为x方向，将第二电极52排列的方向称为y方向。
结果，利用两个电极51、52构成为M×N的矩阵。另外，图1中以俯视的方式绘制，而在第一电极51与第二电极52之间，在传感器面板50的厚度方向上形成有规定的间隙。
第一电极51及第二电极52的形状都为如将固定的大小的小的多个菱形穿成串的图案，宽幅部与窄幅部在长边方向上重复交替地出现。俯视时，第一电极51及第二电极52在上述的窄幅部的部分彼此交叉。据此，利用第一电极51及第二电极52中的任一个覆盖了可以检测触碰位置的区域(以下有时称为触碰区域)的大致整体。
在上述的触碰区域中，利用配置成矩阵状的第一电极51与第二电极52的关系设定了传感器座标系。上述座标系可以通过上述的x方向及y方向的座标来表示。具体而言，位于图1中的触碰区域的左下角的两电极的交叉部分设定为(1，1)，位于右上角的交叉部分设定为(M，N)。
另外，在图1的传感器面板50中，第一电极51及第二电极52的数量都为4个(M＝4，N＝4)，但不限于此例，可以适当地增减。另外，第一电极51及第二电极52的形状也不受上述限定，例如，可以变更成宽度为固定的形状的电极。
第一电极51及第二电极52通过使用上述的ITO并利用溅射或蒸镀等公知的方法形成图案透明导电层而构成。当然，作为电极的材料，不限定于使用ITO，可以使用例如氧化铟锌(Indium Zinc Oxide，IZO)等各种材料。
在基板上形成有第一引板(tab，接点)布线部56及第二引板布线部57，以便与第一电极51及第二电极52连接。上述的第一引板布线部56及第二引板布线部57构成为形成在避开上述的触碰区域的位置，可以将第一电极51及第二电极52与触控面板装置的驱动电路(图略)电连接。
在本实施方式中，第一引板布线部56及第二引板布线部57使用具有导电性的膏材料(具体而言是银膏)，通过丝网印刷而形成。当然，不限于上述结构，也可以使用例如铜膏来代替银膏，或者使用例如喷墨印刷等其他印刷方法来代替丝网印刷。另外，也可以在蒸镀具有导电性的各种金属膜后选择性地进行蚀刻，据此形成第一引板布线部56及第二引板布线部57的图案。
本实施方式的传感器面板检查装置1用来检查传感器面板50中的电极交叉部分的静电电容是否与设计相符，并且用于检查电极51、52是否正确地形成。上述传感器面板检查装置1具备第一线缆(第一布线体)36、第二线缆(第二布线体)37、信号部11、信号供给切换部31、检测切换部32、电流检测部41、校正信号部42和控制器单元(控制部)45作为主要结构。
第一线缆36及第二线缆37由具有导电性的电线构成。当传感器面板50设置在传感器面板检查装置1上时，第一线缆36经由传感器面板50的第一引板布线部56与第一电极51电连接，第二线缆37经由传感器面板50的第二引板布线部57与第二电极52电连接。
信号部11构成为供给规定的电压的交流信号的交流电源。可以将上述的信号部11供给的交流信号设定成例如频率在10kHz～1000kHz的范围内，电压的有效值在1V～10V的范围内。信号部11的一端接地，另一端与信号供给切换部31电连接。
信号部11与控制器单元45连接，可以基于来自控制器单元45的控制指令，来产生交流信号。
信号供给切换部31可以从多个第二电极52中选择全部或一部分，将上述选择出的第二电极52与信号部11电连接。上述信号供给切换部31具有分别与第二电极52对应的多个开关。另外，在附图中，对各个开关标注了“1”～“4”的编号，上述编号与上述的传感器座标系中的y座标对应。各个开关构成为可以进行导通/切断(ON/OFF)动作，并且经由上述第二线缆37及第二引板布线部57与对应的第二电极52电连接。
信号供给切换部31与控制器单元45连接，可以基于来自控制器单元45的控制指令，来分别切换上述开关的导通/切断(ON/OFF)。
检测切换部32可以从多个第一电极51中选择全部或一部分，将上述选择出的第一电极51与电流检测部41电连接。上述检测切换部32具有分别与第一电极51对应的多个开关。另外，在附图中，对各个开关标注了“1”～“4”的编号，上述编号与上述的传感器座标系中的x座标对应。上述的开关构成为可以进行导通/切断(ON/OFF)动作，并且经由上述第一线缆36及第一引板布线部56与对应的第一电极51电连接。
检测切换部32也与信号供给切换部31同样地与控制器单元45连接，可以基于来自控制器单元45的控制指令，来切换上述开关的导通/切断(ON/OFF)。
电流检测部41具有配置成分别与多个第一电极51对应的多个电流计。各个电流计将检测出的电流的值发送给控制器单元45。
校正信号部42具备配置成分别与电流检测部41的电流计对应的多个交流电源。上述交流电源的一端接地，另一端与上述电流计连接。
上述交流电源可以产生与前述的信号部11一致的频率的交流信号。另外，各个交流电源构成为可以基于来自控制器单元45的控制指令，来独立地改变输出的交流信号的电压及相位。
控制器单元45构成为微型计算机，具备未图示的作为运算部的CPU以及作为存储部的ROM、RAM等。另外，在控制器单元45的上述ROM中，存储有用于使传感器面板检查装置1动作的程序。
在上述程序中，包含用于利用传感器面板检查装置1来实现本实施方式的校正方法的校正程序。另外，在上述程序中包含用于利用传感器面板检查装置1来实现本实施方式的检查方法的检查程序。
上述校正方法包含信号条件调整步骤、信号条件存储步骤和校正信号产生步骤，具体内容后述。因此，上述校正程序与上述各步骤相对应地包含信号条件调整步骤、信号条件存储步骤和校正信号产生步骤。
另外，上述检查方法包含切换步骤、形成电路计测值获取步骤和判定步骤，具体内容后述。因此，上述检查程序与上述各步骤对应地包含切换步骤、形成电路计测值获取步骤和判定步骤。
另外，上述硬件与上述软件协同动作，据此，可以使控制器单元45作为校正部46及检查部47发挥作用。
校正部46进行下列操作作为检查的前阶段，即对信号部11、信号供给切换部31、检测切换部32、电流检测部41和校正信号部42发送控制信号而进行控制，确定校正所需的参数。上述的操作在卸除了传感器面板50的状态下进行。
检查部47在传感器面板50设置在传感器面板检查装置1上的状态下，对信号部11、信号供给切换部31、检测切换部32、电流检测部41和校正信号部42发送控制信号而进行控制，进行传感器面板50的检查。
首先，参照图2对校正操作进行说明。上述的校正操作通常在传感器面板检查装置1首次被使用的情况、变更了装置的设置场所的情况下等执行。
传感器面板检查装置1具备未图示的为指示执行检查或校正而操作的操作部。在传感器面板50未安装在传感器面板检查装置1上的图2的状态下，若使用者指示校正操作，则控制器单元45(校正部46)控制成在信号部11产生了交流信号的状态下，使构成信号供给切换部31的四个开关中的一个为导通(ON)，剩下的三个为切断(OFF)。另外，控制器单元45使构成检测切换部32的四个开关中的一个为导通(ON)，剩下的三个为切断(OFF)。在本次说明中，分别是信号供给切换部31中“1”的开关为导通(ON)，检测切换部32中“1”的开关为导通(ON)。
另外，在与信号供给切换部31的“1”的开关对应的第二线缆37与信号部11连接的状态下，信号部11产生交流信号。与此相伴，由于与上述“1”的开关相连的第一线缆36等所产生的寄生电容的影响，电流流过与检测切换部32中的“1”的开关对应的电流检测部41的电流计。
本实施方式的传感器面板检查装置1中的校正操作包含确定控制校正信号部42的条件的操作，以便消除上述的电流对上述电流计的影响。具体说明上述的条件确定操作如下：控制器单元45(校正部46)一边读取与检测切换部32中的“1”的开关相连的电流计的输出，一边在校正信号部42，使与上述电流计对应的交流电源的电压及相位变化，来寻找电流计的输出为零的条件(信号条件调整步骤)。
另外，在假设校正时流过电流检测部41的电流仅是因上述寄生电容的影响产生的电流的情况下，电流计检测的波形的相位如图3的虚线所示，相对于信号部11的电压相位准确地超前90°。然而，实际上流过电流检测部41的电流计的波形的相位偏移为小于90°的值，难以通过计算来求取。这是由于受到了构成电路的布线、开关所具有的电阻(例如第一线缆36的电阻、检测切换部32的开关的导通(ON)电阻)的影响。因此，为了恰当地消除上述的电流的影响，不仅需要细致地调整校正信号部42中的交流电源的电压，还需要细致地调整相位。
若电流检测部41中的电流计的输出为零，则控制器单元45将此时赋予给交流电源的条件(电压及相位的参数)存储在上述的存储部(RAM等)中(信号条件存储步骤)。
一边在检测切换部32中将导通(ON)的开关依次从“1”开始切换为“2”、“3”、“4”，一边重复上述的操作。据此，可以获取在信号供给切换部31中“1”的开关为导通(ON)的状态下，为消除各个第一线缆36等的寄生电容的影响所需的、应赋予给校正信号部42的交流电源的电压及相位的参数(以下，有时称为校正参数)。
当然，获取上述的校正参数的操作也可以利用电流检测部41的多个电流计同时并行地执行。具体而言，控制器单元45在检测切换部32中多个(例如，全部四个)开关为导通(ON)的状态下，读取与各个开关相连的电流检测部41的电流计的输出，并且使对应的校正信号部42的交流电源的电压及相位变化。另外，控制器单元45获取为使各个电流计的输出为零而应赋予给各交流电源的电压及相位的参数，并存储在存储部中。通过这样构成，可以显著地缩短校正所需的时间。
若针对电流检测部41的所有电流计(校正信号部42的交流电源)获取校正参数，则本次一边在信号供给切换部31中将为导通(ON)的开关从“1”开始依次切换为“2”、“3”、“4”，一边重复与上述相同的操作。据此，可以获得与信号供给切换部31的四个开关的状态相对应的、应赋予给校正信号部42的各个交流电源的校正参数。
另外，在本实施方式中构成为，如上述那样，通过控制由电流计共用的交流电压发生源构成的校正信号部42来进行校正。这种模拟的(analogue)校正与仅对测量值进行数值补偿运算的(数字的，digital)校正相比，在检查精度方面显著地优异。即，本实施方式的基于传感器面板检查装置1的检查包含第一电极51与第二电极52的交叉位置处的静电电容的测量，上述静电电容至多为10pF左右。另一方面，上述的寄生电容的影响甚至高达100pF左右。因此，在包含寄生电容的形态下测量静电电容，之后对寄生电容的量进行补偿运算的数字的校正方法中，需要将电流检测部41的电流计的量程设定成可以测量110pF以上。另一方面，根据本实施方式的校正方法，由于在电流测量的阶段已消除了寄生电容的量，因此至多只要可以测量20pF左右的量程，就可以毫无问题地测量静电电容。因此，可以运用电流计的高分辨率的测量量程，以良好的精度对微小的静电电容进行测量。
以上，校正所需的操作结束，接下来，对传感器面板50的检查进行说明。图4是表示传感器面板检查装置1检查传感器面板50中的位置(1，4)时的形成电路的图。图5是示意地表示形成电路的图。图6是表示要检查的位置的座标与形成电路的电阻值的关系的表。图7是表示形成电路的电阻值与电流的相位的关系的矢量图。
首先，参照图4针对检查的构思进行说明。本实施方式的传感器面板检查装置1构成为除了测量第一电极51与第二电极52的交叉部分处的静电电容之外，还基于第一电极51及第二电极52的电阻值(或者与电阻值相应地变化的值)来检查上述第一电极51及第二电极52的形状的均一性。这是为了应对不仅要对电极的导通/短路、还要对电极的粗/细也可以适当地检查的需求的日益高涨。
以下，详细的进行说明。配置在传感器面板50上的第一电极51及第二电极52在M×N个位置彼此交叉。如前所述，由于在第一电极51与第二电极52之间形成有间隙，因此可以认为在上述的交叉部分形成有电容器。
另外，如上所述，第一电极51及第二电极52由ITO导电膜形成，对于上述的ITO，虽然可以说在与其他透明电极材料的关系中表现出优异的低电阻率，但表现出相应的电阻值。因此，可以认为在着眼于第一电极51及第二电极52所形成的M×N个交叉部分的情况下，在上述交叉部分与在x方向或y方向上和上述交叉部分相邻的其他交叉部分之间，分别存在一个电阻。另外，在以下的说明中，有时将各个电阻称为“单位电阻”。
如上所述，第一电极51及第二电极52为重复串联菱形那样的图案形状，上述菱形的形状是固定的，而与第一电极51及第二电极52无关。另外，第一电极51排列的间隔与第二电极52排列的间隔是相互相等的。因此，只要第一电极51及第二电极52的形状无异常(例如，前述的电极的粗/细)、图案均匀地形成，被视作位于交叉部分与交叉部分之间的电阻的电阻值应该是固定的，而与其朝向是x方向还是y方向无关。
另外，可以认为在第一电极51与第一引板布线部56的连接部和与上述连接部最近的上述交叉部分之间也存在电阻。上述连接部附近的第一电极51的形状被设定成上述电阻的电阻值与上述的单位电阻的电阻值一致。上述情况对第二电极52也同样。
总结以上的说明，可以视为如图4中点划线或实线所示，第一电极51及第二电极52中排列有电阻值固定的多个电阻(单位电阻)。
在此，考虑检查上述的传感器座标系中的(1，4)的情况。该情况下，检查部47从四个一组存在的上述第一电极51中选择与检查对象的x座标对应的第一电极51，另外从四个一组存在的上述第二电极52中选择与检查对象的y座标对应的第二电极52，控制检测切换部32及信号供给切换部31，以便使这些电极成为检查对象(切换步骤)。具体而言，检查部47在检测切换部32中将“1”的开关设定为导通(ON)，在信号供给切换部31中将“4”的开关设定为导通(ON)。
据此，信号部11与电流检测部41的电流计通过图4中用粗线表示的L字状的电路而连接。以上述粗线描画出的电路从第二电极52与第二引板布线部57的连接部分开始，经由以上述的(1，4)表示的电极交叉部分，抵达第一电极51与第一引板布线部56的连接部分。
另外，在第二电极52中，与第二引板布线部57连接的一侧的端部是供给来自信号部11的交流信号的端部，因此在以下的说明中有时称为供给端。另外，在第一电极51中，与第一引板布线部56连接的一侧的端部是连结电流检测部41的电流计的一侧的端部，因此在以下的说明中有时称为计测端。
如图4所示，与座标(1，4)对应的L字状的电路中包含串联连接的五个电阻和形成在上述的电极交叉部分的电容器。
如此，座标(x，y)的检查通过使交流信号流过在上述座标处呈L字状弯折的电路而执行。以下，有时称上述的电路为“形成电路”。上述的形成电路与要检查的座标以1对1的方式对应。在本实施方式中，应检查的座标有M×N个，因此形成电路也有M×N个。
图5示意地示出传感器面板50中的上述形成电路与传感器面板检查装置1连接的状态(在该图中省略了校正信号部42)。流过上述电路的交流电流i利用电流检测部41的电流计来测量。
另外，由于形成电路可以根据想检查的位置的座标(x，y)进行各种变化，因此形成电路的电阻值也不同。考虑到上述情况，检查部47预先计算针对任意的座标(x，y)的形成电路的电阻值，并存储在上述的RAM等中。存储内容的例子如图6所示，根据此表可知，(1，4)的情况下形成电路的电阻值为五个单位电阻的量，(1，1)的情况下的形成电路的电阻值为两个单位电阻的量。
检查部47在使信号部11产生交流信号的状态下，对电流检测部41的电流计的输出进行相位检波并计算，据此来获取上述的形成电路中的静电电容和形成电路的电阻值(形成电路计测值)。
另外，此时信号部11所产生的交流信号与图2中说明的校正时的信号是同一信号。另外，校正信号部42的交流电源由校正部46控制，以便基于根据信号供给切换部31的状态而存储的上述的校正参数来产生交流信号(本实施方式的校正方法中的校正信号产生步骤)。因此，基于电流计的输出获得的静电电容的精度良好。
将这样获取的静电电容与规定的判定基准值相比，在超出允许范围的情况下判定为不良品。另外，将获取的电阻值与规定的判定基准值相比，在超出允许范围的情况下判定为是电极51、52的形状存在异常的不良品(判定步骤)。
静电电容及形成电路的电阻值的获取是将想检查的位置的座标如(1，1)、(1，2)、...、(M－1，N)、(M，N)这样切换，并且对所有的座标而执行。当然，要检查的坐标的顺序不限于上述，可以适当确定。
另外，良品/不良品的判定方法不限于上述。例如，也可以不利用相位检波来获取形成电路的电阻值，而取而代之，求取电流计检测出的电流的输出相位来作为形成电路计测值。如图7的矢量图所示，只要形成电路的静电电容C固定，检测的电流的相位与信号部11的电压相位的偏移θ会随着形成电路的电阻值的增加而减小。因此，也可以基于上述相位来判定电极51、52的形状是否存在异常。
另外，也可以将通过切换想检查的位置的座标并重复计测而获得的多个形成电路的电阻值(或者与电阻值相对应地变化的值)的关系作为判定电极51、52的形状有无异常的根据。
例如，通过图6可知，若y座标为固定，使x座标逐一递增，则形成电路的电阻值会逐一增加一个单位电阻的量。也可以利用上述情况，通过对固定y座标而使x座标如座标(1，1)、(2，1)、(3，1)、(4，1)这样增加时，形成电路的电阻值是否相应地单调增加(或电流的相位偏移是否单调减少)进行调查来判定电极51、52的形状的正确性。
与上述相同，在x座标固定而使y座标逐一递增的情况下，形成电路的电阻值也逐一增加一个单位电阻的量。因此，也可以通过调查固定x座标而使y座标如座标(3，1)、(3，2)、(3，3)、(3，4)这样增加时，形成电路的电阻值是否相应地单调增加(或电流的相位偏移是否单调减少)来判定电极51、52的形状的正确性。
进而，通过图6可知，座标(x，y)与(x+1，y－1)存在形成电路的电阻值相等的关系。也可以利用上述情况，通过对例如座标(2，4)、(3，3)、(4，2)调查形成电路的电阻值(或电流的相位偏移)是否相互相等来判定电极51、52的形状的正确性。
如以上所说明的，本实施方式的传感器面板检查装置1以传感器面板50为检查对象，在上述的传感器面板50中，并排的多个第一电极51与并排的多个第二电极52被配置成从面板厚度方向观察时彼此交叉。另外，传感器面板检查装置1具备第一线缆36、第二线缆37、信号部11、信号供给切换部31、电流检测部41、检测切换部32和校正信号部42。第一线缆36有多个，在检查时与第一电极51的每一个电连接。第二线缆37有多个，在检查时与第二电极52的每一个电连接。信号部11是供给交流信号的交流电源。信号供给切换部31可以针对是否经由第二线缆37向多个第二电极52的每一个供给或切断信号部11的交流信号进行切换。电流检测部41具有可以检测流过第一电极51的电流的多个电流计。检测切换部32可以针对是否经由第一线缆36将第一电极51的每一个与电流计连接或切断进行切换。校正信号部42具有可以对各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源。校正信号部42的各个上述交流电源构成为其电压及相位可以改变。
据此，可以实现消除因第一线缆36的寄生电容等产生的误差的校正。另外，由于控制校正信号部42的交流电源，以便消除寄生电容等产生的电流，因此电流检测部41的电流计可以检测基于第一电极51与第二电极52的交叉部分的静电电容的电流本身。因此，通过恰当地确定电流计的量程，可以以良好的精度对传感器面板50的微小的静电电容进行测量。
另外，本实施方式的传感器面板检查装置1具备至少控制信号部11、电流检测部41、以及校正信号部42的校正部46。校正部46在卸除了传感器面板50的校正时，对第二线缆37的至少任一个供给信号部11的交流信号，并且调整校正信号部42中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与第一线缆36电连接的电流检测部41的电流计的输出为零。另外，校正部46获取电流计的输出为零时赋予给校正信号部42的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储。另外，校正部46在检查传感器面板50时，基于已存储的校正参数，来使校正信号部42的交流电源产生交流信号。
据此，用以消除寄生电容所产生的电流的校正信号部的交流电源的电压及相位被校正部46自动地确定。因此，可以减轻校正所费的工夫。
另外，本实施方式的传感器面板检查装置1的校正部46在校正时，切换信号供给切换部31的状态，以便变更作为信号部11的信号的供给对象的第二线缆37，并且将上述信号供给切换部31的状态与所获取的校正参数建立对应关系而存储。另外，校正部46在检查传感器面板50时，基于与信号供给切换部31的状态对应地存储的校正参数，来使校正信号部42的交流电源产生交流信号。
据此，即便寄生电容等根据将哪个第二线缆37作为信号供给对象而变化，也可以进行与其相对应的校正，因此可以良好地维持测量精度。
另外，本实施方式的传感器面板检查装置1的校正部46可以控制检测切换部32，以便在校正时使多个第一线缆36和与其对应的电流检测部41的电流计同时连接。
据此，可以同时并行地进行有关多个电流计的校正操作，因此可以有效地缩短校正所需的时间。
另外，本实施方式的传感器面板检查装置1包含至少控制信号部11、电流检测部41、信号供给切换部31及检测切换部32的检查部47。检查部47控制信号供给切换部31，以便对从4个第二电极52中选择出的1个供给信号部11的交流信号，并且控制检测切换部32，以便将从4个第一电极51中选择出的1个与对应的电流检测部41的电流计进行连接。检查部47在将从选择出的第二电极52中供给信号部11的交流信号的端部即供给端开始，经由选择出的第二电极52与选择出的第一电极51的交叉部分，抵达选择出的第一电极51中连接电流计的一侧的端部即计测端的电路作为形成电路时，利用电流计检测电流将上述的形成电路的电阻即电路电阻、或流过形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移计测为形成电路计测值。另外，检查部47基于所获得的形成电路计测值，来检查第一电极51及第二电极52的异常。
据此，可以通过获得形成电路计测值(电阻值、或与电阻值对应地变化的值)，来判定第一电极51及第二电极52的图案形状是否均匀地形成。另外，由于实现了不使用接触头等的非接触检查，因此可以大幅地缩短操作时间。
另外，在本实施方式的传感器面板检查装置1中，检查部47对形成电路计测值进行计测，并且对选择出的第一电极51及第二电极52的交叉部分中的静电电容进行测量。
据此，可以有效地运用检查时间来进行检查，因此可以进一步缩短操作时间。
另外，在本实施方式的传感器面板检查装置1中，检查部47针对以选择出的第一电极51为共用(公共端)，伴随着使选择出的第二电极52从第一电极51的长边方向一侧向另一侧依序变化(换言之，伴随着固定检查位置的x座标，使y座标从一侧向另一侧依序变化)，形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此可以检查第一电极51及第二电极52的异常。
另外，上述检查部47针对以选择出的第二电极52为共用，伴随着使选择出的第一电极51从第二电极52的长边方向一侧向另一侧依序变化(换言的，伴随着固定检查位置的y座标，使x座标从一侧向另一侧依序变化)，形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此可以检查第一电极51及第二电极52的异常。
据此，可以合理地判定第一电极51及第二电极52的图案形状是否均一。
另外，检查部47可以通过判定第一形成电路与第二形成电路之间上述电路电阻或电流相位偏移是否相等，来检查第一电极51及第二电极52的异常，上述第一形成电路是分别选择第一电极51与第二电极52(换言之，选择检查位置(x，y))而构成的形成电路，上述第二形成电路是通过按照相对于由上述第一形成电路选择出的第一电极51，向远离第二电极52的上述供给端的方向偏移1个的方式选择第一电极51，并且按照相对于由上述第一形成电路选择的第二电极52，向接近第一电极51的上述计测端的方向偏移1个的方式选择第二电极52(换言之，选择检查位置(x+1，y－1))而构成的上述形成电路。
据此，也可以合理地判定第一电极51及第二电极52的图案形状是否均一。
以上对本发明的优选的实施方式进行了说明，上述的结构也可以如下变更。
上述实施方式的校正方法与检查方法不限于彼此组合而执行。即，上述实施方式的校正方法也可以与其他检查方法、例如不测量形成电路的电阻值而仅测量静电电容的检查方法组合。另外，上述实施方式的检查方法也可以与其他校正方法、例如对测量值进行补偿运算的数字的校正方法组合。
作为检查对象物，不限定于触控面板装置的传感器面板50。即，本发明可以广泛应用于对并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体被配置成沿面板厚度方向观察时彼此交叉的面板状的检查对象物进行检查的情况。

Claims (11)

1.一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，其特征在于，具备：
多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接；
多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接；
信号部，作为供给交流信号的交流电源；
信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换；
电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计；
检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及
校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源，
上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。
2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
具备至少控制上述信号部、上述电流检测部以及上述校正信号部的校正部，
上述校正部
在卸除了上述检查对象物的校正时，对上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并且调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压以及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零，
获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储，
在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。
3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，
上述校正部在进行上述校正时，切换上述信号供给切换部的状态，以便对作为上述信号部的信号的供给对象的上述第二布线体进行变更，并且将上述信号供给切换部的状态与上述校正参数建立对应而存储，
在进行上述检查对象物的检查时，基于与上述信号供给切换部的状态对应地存储的上述校正参数，来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。
4.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，
上述校正部在进行上述校正时控制上述检测切换部，以便将多个上述第一布线体和与其对应的上述电流检测部的电流计同时连接。
5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其特征在于，
具备至少控制上述信号部、上述电流检测部、上述信号供给切换部及上述检测切换部的检查部，
在进行上述检查对象物的检查时，上述检查部
控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号，
控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接，
当将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部的供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部的计测端的电路作为形成电路时，利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值，
基于所获得的上述形成电路计测值，来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。
6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，
上述检查部对上述形成电路计测值进行计测，并且对选择出的上述第一导电体及上述第二导电体的交叉部分的静电电容进行测量。
7.如权利要求5或6所述的检查装置，其特征在于，
上述检查部针对以选择出的第一导电体为共用，伴随着使选择出的第二导电体从上述第一导电体的长边方向一侧向另一侧依序变化，上述形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。
8.如权利要求5～7中任一项所述的检查装置，其特征在于，
上述检查部针对以选择出的第二导电体为共用，伴随着使选择出的第一导电体从上述第二导电体的长边方向一侧向另一侧依序变化，上述形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。
9.如权利要求5～8中任一项所述的检查装置，其特征在于，
上述检查部通过判定第一形成电路和第二形成电路之间上述电路电阻或电流相位偏移是否相等，来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常，
上述第一形成电路是分别选择上述第一导电体与上述第二导电体而构成的上述形成电路，
上述第二形成电路是通过以针对由上述第一形成电路选择出的第一导电体向远离上述第二导电体的上述供给端的方向挪动一个的方式选择上述第一导电体、并且以针对由上述第一形成电路选择出的第二导电体向接近上述第一导电体的上述计测端的方向挪动一个的方式选择上述第二导电体而构成的上述形成电路。
10.一种检查对象物的检查装置的校正方法，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，上述检查装置具备：
多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接；
多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接；
信号部，作为供给交流信号的交流电源；
信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换；
电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计；
检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及
校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源，
上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变，
其特征在于，包含：
信号条件调整步骤，在卸除了上述检查对象物的状态下，向上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并且调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零；
信号条件存储步骤，获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储；以及
校正信号产生步骤，在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。
11.一种检查对象物的检查装置中的检查方法，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，上述检查装置具备：
多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接；
多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接；
信号部，作为供给交流信号的交流电源；
信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换；
电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计；
检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及
校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源，
上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变，
其特征在于，包含：
切换步骤，控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号，并且控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接；
形成电路计测值获取步骤，当将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部即供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部即计测端的电路作为形成电路时，通过利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值；以及
判定步骤，基于所获得的上述形成电路计测值，来判定上述第一导电体及上述第二导电体是否存在异常。
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