KR102247987B1 - 싱글 레이어형 검사 대상물의 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

Abstract

(과제) 싱글 레이어형의 검사 대상물을 검사하는 검사 장치에 있어서, 검사 회로의 증가를 억제하고, 효율적으로 검사할 수 있는 구성을 제공한다.
(해결 수단) 센서 패널 검사 장치 (1) 의 검사 대상물인 센서 패널 (50) 은, 복수의 제 1 전극 (51) 과 복수의 제 2 전극 (52) 이 두께 방향에서 동일한 층에 배치되어 구성된다. 제 1 전극 (51) 은 직선상으로 나열하여 배치된다. 제 1 전극 (51) 의 각각은, 당해 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향으로 가늘고 긴 장척상부 (3) 를 갖는다. 제 2 전극 (52) 은, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 장척상부 (3) 를 따른 방향에서, 매트릭스상으로 나열하여 배치된다. 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 와이어드 오어부 (39) 와 전류 검출부 (41) 를 구비한다. 와이어드 오어부 (39) 는, 검사시에 있어서, 제 2 전극 (52) 중 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향에서 대응하는 것 각각의 신호 출력을 합성한다. 전류 검출부 (41) 는, 와이어드 오어부 (39) 의 출력을 검출한다.

Description

싱글 레이어형 검사 대상물의 검사 장치 및 검사 방법{APPARATUS AND METHOD OF INSPECTING OBJECT OF SINGLE LAYER TYPE}

본 발명은 주로 싱글 레이어형으로 불리는 패널상(狀)의 검사 대상물의 검사 장치에 관한 것이다.

종래부터, 터치 위치를 검출하는 터치 패널 장치의 일종으로서, 이른바 정전 용량 방식인 것이 알려져 있다. 정전 용량식 터치 패널 장치의 센서 패널은, 예를 들어, 유리 등으로 형성된 투명한 기판에 제 1 패턴 투명 도전층과 제 2 패턴 투명 도전층이 형성된 구조를 갖고 있다. 이 패턴 투명 도전층은, 예를 들어 산화인듐주석 (Indium Tin Oxide, ITO) 을 사용하여 성막함으로써 형성할 수 있다.

이 패턴 투명 도전층은 각각이 전극으로서 기능한다. 또한, 이하에서는, 제 1 및 제 2 패턴 투명 도전층을 제 1 전극 및 제 2 전극이라고 부르는 경우가 있다.

정전 용량 방식의 터치 패널의 구성은 여러 가지이지만, 잘 알려져 있는 것으로는, 제 1 전극을 직선상(狀)으로 M 개 나열하여 배치하고, 그것과는 수직인 방향으로 제 2 전극을 N 개 나열하여 배치하고, 제 1 전극과 제 2 전극을, 센서 패널의 두께 방향의 간극을 사이에 두고 대향시키며, 또한 서로 수직으로 교차시킨 것을 들 수 있다. 또한, 본 명세서에서는, 이 구조의 터치 패널을 「적층형」이라고 부르는 경우가 있다.

적층형의 터치 패널에 있어서, 제 1 전극과 제 2 전극의 교차 부분에는 일종의 콘덴서가 형성되고, 이 콘덴서의 정전 용량이, 도전성 물체 (예를 들어 인체) 가 접근하거나 혹은 접촉함으로써 변화된다. 터치 패널 장치는, 이 정전 용량의 변화를 검출함으로써, 센서 패널에 터치된 위치를 검출할 수 있다. 이 방식은 이른바 투영형 정전 용량 방식으로 불리는 것으로, 터치 위치를 고정밀도로 검출할 수 있는 점에서 우수하다.

그런데, 터치 패널 장치의 제조자에게 있어서 센서 패널의 검사를 실시하는 것은, 불량품의 혼입을 회피하여 제품의 품질을 확보하기 위해서 매우 중요하다. 그래서, 상기의 정전 용량식 터치 패널을 검사하기 위한 장치가 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).

특허문헌 1 은, 적층형의 정전 용량식 터치 패널의 검사 장치를 개시한다. 이 특허문헌 1 의 검사 장치에서는, 검사 대상이 되는 피측정 전극과 당해 피측정 전극에 대향하는 대향 전극 중 특정 대향 전극의 사이에 있어서의 정전 용량의 양단 간의 전압이 정전 용량 검출 회로에 의해 감시되고, 이 감시 결과에 기초하여 피측정 전극의 상태가 판정된다. 특허문헌 1 은, 이 장치에 의하면, 피측정 전극과 대향 전극이 일종의 콘덴서로서 작용함으로써 발생하는 미소한 정전 용량의 변화를 측정함으로써, 터치 패널의 센서면을 직접 검사 장치로 접촉하지 않고, 정전 용량식 터치 패널에 있어서의 피측정 전극의 상태 (예를 들어, 파단이나 단락) 를 판정할 수 있다고 한다.

국제 공개 제2011/121862호 팜플렛

이상에 설명한 바와 같이, 정전 용량식 터치 패널에서는, 서로 수직으로 교차하는 전극을 센서 패널의 두께 방향의 간극을 사이에 두고 대향시키도록 배치하는 구성이 주류가 되어 있다. 그러나, 이 적층형의 구성에서는 두께 방향의 컴팩트화가 곤란하여, 최근 더욱 높아지고 있는 스마트 폰이나 태블릿 PC 등의 박형화, 경량화의 요구에 응하기에는 한계가 있다.

그래서, 모든 전극 (패턴 투명 도전층) 을 1 개의 층에 배치한, 이른바 싱글 레이어형의 터치 패널이 제안되어 있다. 이하, 이 싱글 레이어형의 터치 패널의 예를, 도 1 을 참조하여 설명한다.

도 1 에 나타내는 터치 패널 장치의 센서 패널 (50) 에 있어서는, 복수 (M 개) 의 제 1 전극 (51) 이 직선상으로 (도 1 에 있어서 가로 방향으로) 나열하여 배치되어 있다. 제 1 전극 (51) 의 각각은, 당해 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향 (도 1 의 세로 방향) 으로 가늘고 긴 장척상부 (3) 를 갖고 있다. 또, 당해 센서 패널 (50) 에서는, 복수의 제 2 전극 (52) 이, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 상기 장척상부 (3) 를 따른 방향에서 매트릭스상 (M × N 개) 으로 나열하여 배치되어 있다.

각각의 제 2 전극 (52) 은, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향에서 대응하도록 배치된 1 쌍 (2 개) 의 도전부 (4, 4) 를 구비하고 있다. 따라서, 이 센서 패널 (50) 은, 가로로 M 개, 세로로 2 × N 개의 도전부 (4) 가 배열되어 있다고 할 수 있다. 각각의 도전부 (4) 는 사각형상으로 구성되어 있다.

제 1 전극 (51) 에는, 나열된 2 × N 개의 도전부 (4) 사이를 가르도록, 장척상부 (3) 의 폭 방향 일측으로부터 수직으로 돌출되는 복수의 돌출부 (5) 가 형성되어 있다. 이 결과, 제 1 전극 (51) 은, 다수의 오목부를 갖는, 전체적으로 빗 형상과 같은 형태로 구성되어 있고, 하나 하나의 오목부의 내측에 도전부 (4) 가 배치되는 레이아웃으로 되어 있다. 각각의 제 2 전극 (52, 52) 은 인출부 (6) 를 구비하고 있고, 이 인출부 (6) 는, 동일한 제 2 전극 (52) 에 속하는 상기의 2 개의 도전부 (4, 4) 끼리를 서로 전기적으로 접속하면서, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향 (장척상부 (3) 를 따른 방향, 세로 방향) 으로 센서 패널 (50) 의 가장자리부를 향하여 인출되어 있다.

이 구성으로, 제 1 전극 (51) 과 제 2 전극 (52, 52) 이 근접하고 있는 부분에 있어서 일종의 콘덴서가 형성되고, 이 콘덴서의 정전 용량이 도전성 물체 (예를 들어 인체) 가 접근하거나 혹은 접촉함으로써 변화된다. 이로써, 터치 위치를 검출할 수 있다.

복수의 제 1 전극 (51) 에는, 각각 제 1 탭 배선부 (7) 가 개별로 접속된다. 각각의 제 1 탭 배선부 (7) 는, 제 1 전극 (51) 이 갖는 장척상부 (3) 의 일단에 접속된다. 또, 복수의 제 2 전극 (52) 에도 각각 제 2 탭 배선부 (8) 가 개별로 접속된다. 각각의 제 2 탭 배선부 (8) 는 제 2 전극 (52) 이 갖는 인출부 (6) 의 일단에 접속된다.

도 1 에 나타내는 센서 패널 (50) 은, 제 1 전극 (51) 과 제 2 전극 (52) 이 교차하는 지점이 없기 때문에, 2 개의 전극을 물리적으로 단일 층에 배치할 수 있어, 터치 디바이스의 박형화, 구성의 간소화를 실현할 수 있다.

그런데, 이와 같은 싱글 레이어형의 터치 패널에 대해서도, 상기 서술한 검사의 중요성은 다른 터치 패널과 다를 바가 없다. 그래서, 도 1 에 나타내는 센서 패널 (50) 을 상기한 특허문헌 1 의 검사 장치를 사용하여 검사하는 것을 생각할 수 있다.

그러나, 싱글 레이어형의 터치 패널은, 전술한 적층형의 터치 패널과 달리, 전극의 수가 대폭 증가되어 있다. 구체적으로 말하면, M × N 의 매트릭스를 형성하는 경우, 적층형의 터치 패널이라면 제 1 전극이 M 개, 제 2 전극이 N 개가 되지만, 싱글 레이어형의 센서 패널 (50) 의 경우, 제 1 전극이 M 개, 제 2 전극이 M × N 개 존재하게 된다. 따라서, 싱글 레이어형의 터치 패널에 있어서 각 전극 간의 정전 용량을 검사하기 위해서는 다수의 회로가 필요하게 되어, 검사 장치의 구성의 복잡화, 고비용화의 원인이 되고 있었다. 또, 검사에 장시간이 걸려, 택트 타임 단축의 관점에서도 개선의 여지가 남아 있었다.

본 발명은 이상의 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 싱글 레이어형의 검사 대상물을 검사하는 검사 장치에 있어서, 검사 회로의 증가를 억제하고, 효율적으로 검사할 수 있는 구성을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상과 같고, 다음으로 이 과제를 해결하기 위한 수단과 그 효과를 설명한다.

본 발명의 제 1 관점에 의하면, 이하의 구성의 검사 장치가 제공된다. 즉, 이 검사 장치는, 복수의 제 1 도전체와 복수의 제 2 도전체가 두께 방향에서 동일한 층에 배치된, 이하와 같은 구성의 패널상의 검사 대상물을 검사한다. 상기 제 1 도전체는 직선상으로 나열하여 배치된다. 상기 제 1 도전체의 각각은 당해 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향으로 가늘고 긴 장척상부를 갖는다. 상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 상기 장척상부를 따른 방향에서 매트릭스상으로 나열하여 배치된다. 그리고, 이 검사 장치는 오어부와 검출부를 구비한다. 상기 오어부는, 검사시에 있어서, 상기 제 2 도전체 중 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것 각각의 신호 출력을 합성한다. 상기 검출부는 상기 오어부의 출력을 검출한다.

즉, 상기와 같이 구성된 싱글 레이어형의 검사 대상물에 있어서는, 패턴 상의 특징으로부터, 제 2 도전체 중 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것끼리는 서로 단락하지 않는 것으로 간주할 수 있다. 그래서, 전극의 수가 다수로 많아지는 싱글 레이어형의 검사에 있어서도, 본 발명과 같이 신호 출력을 합성한 후에 검사함으로써, 적은 검사 회로로도 충분한 검사를 실시할 수 있다. 이 결과, 검사 장치의 현저한 간소화, 저비용화를 실현할 수 있음과 함께, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.

상기의 검사 장치에 있어서는 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 이 검사 장치는 복수의 제 1 배선체와 복수의 제 2 배선체를 구비한다. 상기 제 1 배선체는 상기 제 1 도전체의 각각에 전기적으로 접속 가능하다. 상기 제 2 배선체는 상기 제 2 도전체의 각각에 전기적으로 접속 가능하다. 매트릭스상의 상기 제 2 도전체를, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것마다 그룹으로 나누었을 때에, 상기 오어부는, 동일한 상기 그룹에 속하는 상기 제 2 도전체의 각각에 접속되어 있는 상기 제 2 배선체를 와이어드 오어 접속하는 와이어드 오어부이다.

이로써, 동일 그룹에 속하는 제 2 도전체의 신호 출력의 합성을 간소하고 합리적으로 실시할 수 있다.

상기의 검사 장치에 있어서는 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 이 검사 장치는 복수의 센서부와 측정부를 구비한다. 상기 센서부는 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향으로 나열된다. 상기 측정부는 상기 센서부의 출력을 검출한다. 각각의 상기 센서부는, 복수의 상기 제 2 도전체와 용량 결합할 수 있도록 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향으로 가늘고 길게 형성되어 있다.

이로써, 검사 대상물의 전극 패턴의 양/불량을 검사할 수 있을 뿐만 아니라, 센서부의 신호 출력에 기초하여 패턴 불량 지점을 용이하게 특정할 수 있다. 또, 매트릭스상으로 배치된 제 2 도전체의 복수와 용량 결합할 수 있도록 센서부가 가늘고 길게 구성되어 있으므로, 간소한 구성의 센서부로 불량 지점의 특정을 충분히 실시할 수 있다.

상기의 검사 장치에 있어서는 이하의 구성으로 하는 것이 바람직하다. 즉, 상기 검사 대상물에 있어서, 각각의 상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향에서 대응하도록 쌍으로 배치된 도전부를 구비한다. 상기 센서부는 상기 도전부의 쌍의 일방과 타방에 각각 대응하도록 형성된다.

이로써, 패턴 불량 지점을 보다 상세하게 특정할 수 있다.

본 발명의 제 2 관점에 의하면, 이하의 검사 방법이 제공된다. 즉, 이 검사 방법은 복수의 제 1 도전체와 복수의 제 2 도전체가 두께 방향에서 동일한 층에 배치된, 이하와 같은 구성의 패널상의 검사 대상물을 검사하는 것이다. 상기 제 1 도전체는 직선상으로 나열하여 배치된다. 상기 제 1 도전체의 각각은 당해 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향으로 가늘고 긴 장척상부를 갖는다. 상기 제 2 도전체는 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 그것에 수직인 방향에서 매트릭스상으로 나열하여 배치된다. 그리고, 당해 검사 방법에 있어서는, 상기 제 2 도전체 중 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것 각각의 신호 출력을 오어부에서 합성한 후에, 합성 후의 신호 출력을 검사한다.

즉, 상기와 같이 구성된 싱글 레이어형의 검사 대상물에 있어서는, 패턴 상의 특징으로부터, 제 2 도전체 중 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것끼리는 서로 단락하지 않는 것으로 간주할 수 있다. 그래서, 전극의 수가 다수로 많아지는 싱글 레이어형의 검사에 있어서도, 본 발명과 같이 신호 출력을 합성한 후에 검사함으로써, 적은 검사 회로로도 충분한 검사를 실시할 수 있다.

이 결과, 검사 장치의 현저한 간소화, 저비용화를 실현할 수 있음과 함께, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1 은, 싱글 레이어형 터치 패널 장치의 센서 패널에 있어서의 전극 패턴을 모식적으로 나타내는 평면도.
도 2 는, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 센서 패널 검사 장치의 전체적인 구성을 나타내는 개념도.
도 3 은, 센서 패널 검사 장치가 센서 패널에 있어서의 위치 (1, 4) 를 검사하는 경우의 형성 회로를 나타내는 도면.
도 4 는, 형성 회로를 간략적으로 나타낸 도면.
도 5 는, 제 2 실시형태의 센서 패널 검사 장치의 전체적인 구성을 나타내는 개념도.

다음으로, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 도 1 은, 싱글 레이어형 터치 패널 장치의 센서 패널 (50) 에 있어서의 전극 패턴을 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 2 는 본 발명의 일 실시형태에 관련된 센서 패널 검사 장치 (1) 의 전체적인 구성을 나타내는 개념도이다.

도 2 에 나타내는 제 1 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 센서 패널 (50) 을 검사할 수 있도록 구성되어 있다. 도 2 에는 도 1 에 나타내는 센서 패널 (50) 을 검사 장치에 세트한 상태가 나타나 있다.

검사 대상물로서의 센서 패널 (50) 은, 터치 패널 장치의 주요한 구성 부품으로서, 유리 등으로 이루어지는 투명한 기판 상에 제 1 전극 (제 1 도전체) (51) 과 제 2 전극 (제 2 도전체) (52) 을 형성한 구성으로 되어 있다. 이 센서 패널 (50) 은 상기 서술한 싱글 레이어형으로 구성되어 있다.

싱글 레이어형 터치 패널 장치에 있어서의 센서 패널 (50) 의 구성은 도 1 을 참조하여 이미 설명했으므로, 여기서는 간단하게 설명한다. 제 1 전극 (51) 은 도 1 의 가로 방향으로 등간격으로 M 개 나열하여 형성되어 있다. 제 2 전극 (52) 은 도 1 의 가로 방향으로 등간격으로 M 개, 세로 방향으로 등간격으로 N 개 나열하여 형성되어 있다. 이 결과, 2 개의 전극 (51, 52) 에 의해 M × N 의 매트릭스가 구성되어 있다. 또한, 이후의 설명에서는, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향을 x 방향으로, 그것에 수직인 방향을 y 방향으로 각각 부르는 경우가 있다.

이로써, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 중 어느 것에 의해서, 터치 위치 검출 가능한 영역 (이하, 터치 영역이라고 부르는 경우가 있다) 의 거의 전체가 덮여 있다.

상기의 터치 영역에 있어서는, 매트릭스상으로 배치된 제 1 전극 (51) 과 제 2 전극 (52) 의 관계에 의해 센서 좌표계가 설정되어 있다. 이 좌표계는 상기의 x 방향 및 y 방향의 좌표로 나타낼 수 있다. 구체적으로는, 도 1 이나 도 2 에 있어서의 터치 영역의 좌측 하단 모서리에 있는 제 2 전극 (52) 의 도전부 (4, 4) 의 대응 부분이 (1, 1), 우측 상단 모서리에 있는 대응 부분이 (M, N) 으로 설정되어 있다.

또한, 도 1 이나 도 2 의 센서 패널 (50) 에 있어서, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 이 가로로 나열되는 수는 4 개가 되고 (M = 4), 제 2 전극 (52) 이 세로로 나열되는 수는 4 개로 되어 있지만 (N = 4), 이 예에 한정되지 않고, 적절히 증감시킬 수 있다. 또, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 의 형상에 대해서도 상기에 한정되지 않고, 사정에 따라 여러 가지 형상으로 변경할 수 있다.

제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 은, 전술한 ITO 를 사용하여, 스퍼터링이나 증착 등의 공지된 방법으로 패턴 투명 도전층을 형성함으로써 구성된다. 단, 전극의 재료로는 ITO 를 사용하는 것에 한정되지 않고, 예를 들어 산화인듐아연 (Indium Zinc Oxide, IZO) 등 여러 가지 재료를 사용할 수 있다.

제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 에 접속하도록 하여, 제 1 탭 배선부 (7) 및 제 2 탭 배선부 (8) 가 기판 상에 형성되어 있다. 이 제 1 탭 배선부 (7) 및 제 2 탭 배선부 (8) 는 상기의 터치 영역을 피한 위치에 형성되고, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 과 터치 패널 장치의 드라이버 회로 (도면 생략) 를 전기적으로 접속할 수 있도록 구성되어 있다.

본 실시형태에 있어서, 제 1 탭 배선부 (7) 및 제 2 탭 배선부 (8) 는, 도전성을 갖는 페이스트 재료 (구체적으로는, 은 페이스트) 를 사용하여 스크린 인쇄에 의해 형성되어 있다. 단, 이 구성에 한정되지 않고, 은 페이스트 대신에 예를 들어 구리 페이스트를 사용하거나, 스크린 인쇄 대신에 예를 들어 잉크젯 인쇄 등의 다른 인쇄 방법을 사용하거나 해도 된다. 또, 도전성을 갖는 각종 금속막을 증착한 후에 선택적인 에칭을 실시함으로써, 제 1 탭 배선부 (7) 및 제 2 탭 배선부 (8) 의 패턴을 형성할 수도 있다.

도 2 에 나타내는 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 센서 패널 (50) 에 있어서의 전극 근접 부분에서의 정전 용량이 설계대로인지의 여부를 검사 함과 함께, 전극 (51, 52) 이 정확하게 형성되어 있는지의 여부를 검사하기 위해서 사용된다. 이 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 제 1 케이블 (제 1 배선체) (37) 과, 제 2 케이블 (제 2 배선체) (38) 과, 시그널부 (11) 와, 시그널 공급 전환부 (31) 와, 검출 전환부 (32) 와, 전류 검출부 (검출부) (41) 와, 컨트롤러 유닛 (제어부) (45) 을 주요한 구성으로서 구비하고 있다.

제 1 케이블 (37) 및 제 2 케이블 (38) 은 도전성을 갖는 전선으로 구성되어 있다. 센서 패널 (50) 이 센서 패널 검사 장치 (1) 에 세트되면, 제 1 케이블 (37) 은 센서 패널 (50) 의 제 1 탭 배선부 (7) 를 개재하여 제 1 전극 (51) 에 전기적으로 접속되고, 제 2 케이블 (38) 은 센서 패널 (50) 의 제 2 탭 배선부 (8) 를 개재하여 제 2 전극 (52) 에 전기적으로 접속된다.

제 1 전극 (51) 은 M 개 배치되어 있으므로, 이것에 대응하여 제 1 케이블 (37) 도 M 개 구비된다. 한편, 제 2 전극 (52) 은 M × N 개 배치되어 있으므로, 제 2 케이블 (38) 도 M × N 개 구비된다.

단, 본 실시형태에서는, M × N 개 배치되어 있는 제 2 전극 (52) 을 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향 (x 방향) 에서 대응하는 M 개마다 나누도록 N 개의 그룹이 설정되어 있다. 바꿔 말하면, 제 2 전극 (52) 이 y = 1 인 그룹, y = 2 인 그룹,···과 같이, y 좌표마다 그룹화되어 있다. 그리고, 동일한 그룹에 속하는 제 2 전극 (52) 에 대응하는 제 2 케이블 (38) 끼리가 오어부로서의 와이어드 오어부 (39) 에서 접속되어 있다.

시그널부 (11) 는, 소정 전압의 교류 신호를 공급하는 교류 전원으로서 구성되어 있다. 이 시그널부 (11) 가 공급하는 교류 신호는, 예를 들어, 주파수 10 kHz ∼ 1000 kHz 의 범위 내에서 전압의 실효값이 1 V ∼ 10 V 의 범위 내가 되도록 설정할 수 있다. 시그널부 (11) 의 일단은 접지되고, 타단은 시그널 공급 전환부 (31) 에 전기적으로 접속된다.

시그널부 (11) 는 컨트롤러 유닛 (45) 에 접속되어 있고, 컨트롤러 유닛 (45) 으로부터의 제어 지령에 기초하여, 교류 신호를 발생시킬 수 있다.

시그널 공급 전환부 (31) 는, 복수의 제 1 전극 (51) 으로부터 전부 또는 일부를 선택하고, 이 선택된 제 1 전극 (51) 과 시그널부 (11) 를 전기적으로 접속시킬 수 있다. 이 시그널 공급 전환부 (31) 는, 제 1 전극 (51) 에 각각 대응하는 복수의 스위치를 갖고 있다. 또한, 도면에서는, 각각의 스위치에 「1」 ∼ 「4」의 번호가 붙여져 있고, 이 번호는 상기의 센서 좌표계에 있어서의 x 좌표에 대응한다. 각각의 스위치는 ON/OFF 동작이 가능하게 구성됨과 함께, 대응하는 제 1 전극 (51) 에 대해, 상기 제 1 케이블 (37) 및 제 1 탭 배선부 (7) 를 개재하여 전기적으로 접속된다.

시그널 공급 전환부 (31) 는 컨트롤러 유닛 (45) 에 접속되어 있고, 컨트롤러 유닛 (45) 으로부터의 제어 지령에 기초하여, 상기 스위치의 ON/OFF 를 각각 전환할 수 있다.

검출 전환부 (32) 는, M × N 개 배치되어 있는 제 2 전극 (52) 을 상기와 같이 그룹으로 나누었을 때에, 전부 또는 일부의 그룹을 선택하고, 이 선택된 제 2 전극 (52) 의 그룹과 전류 검출부 (41) 를 전기적으로 접속시킬 수 있다. 이 검출 전환부 (32) 는, 제 2 전극 (52) 의 그룹에 각각 대응하는 복수의 스위치를 갖고 있다. 또한, 도면에서는, 각각의 스위치에 「1」 ∼ 「4」의 번호가 붙여져 있고, 이 번호는 상기의 센서 좌표계에 있어서의 y 좌표에 대응한다. 이들 스위치는 ON/OFF 동작이 가능하게 구성됨과 함께, 대응하는 제 2 전극 (52) 의 그룹에 대해, 상기 제 2 케이블 (38) 및 제 2 탭 배선부 (8) 를 개재하여 전기적으로 접속된다.

검출 전환부 (32) 도 시그널 공급 전환부 (31) 와 마찬가지로 컨트롤러 유닛 (45) 에 접속되어 있고, 컨트롤러 유닛 (45) 으로부터의 제어 지령에 기초하여, 상기 스위치의 ON/OFF 를 전환할 수 있다.

전류 검출부 (41) 는, 복수의 제 2 전극 (52) 에 각각 대응하도록 복수 배치된 전류계를 갖고 있다. 각각의 전류계는 검출된 전류의 값을 컨트롤러 유닛 (45) 에 송신한다.

컨트롤러 유닛 (45) 은 마이크로 컴퓨터로서 구성되어 있고, 도시되지 않은 연산부로서의 CPU 및 기억부로서의 ROM, RAM 등을 구비하고 있다. 그리고, 컨트롤러 유닛 (45) 의 상기 ROM 에는 센서 패널 검사 장치 (1) 를 동작시키기 위한 프로그램이 기억되어 있다. 그리고, 상기 하드웨어와 상기 소프트웨어가 협동하여 동작함으로써, 컨트롤러 유닛 (45) 을 검사부 (47) 로서 기능시킬 수 있도록 되어 있다.

검사부 (47) 는, 센서 패널 (50) 이 센서 패널 검사 장치 (1) 에 세트된 상태에서 시그널부 (11), 시그널 공급 전환부 (31), 검출 전환부 (32), 전류 검출부 (41) 에 대해 제어 신호를 보내 제어하여, 센서 패널 (50) 의 검사를 실시한다.

다음으로, 센서 패널 (50) 의 검사에 대해 설명한다. 도 3 은, 센서 패널 검사 장치 (1) 가 센서 패널 (50) 에 있어서의 위치 (1, 4) 를 검사하는 경우의 형성 회로를 나타내는 도면이다. 도 4 는, 형성 회로를 간략적으로 나타낸 도면이다.

먼저, 검사의 사고 방식에 대해 도 4 를 참조하여 설명한다. 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 제 1 전극 (51) 과 제 2 전극 (52) 의 근접 부분에 있어서의 정전 용량을 측정할 수 있다. 또, 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 의 저항값 (혹은, 저항값에 따라 변화되는 값) 에 기초하여, 당해 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 의 형상의 균일성을 검사할 수 있는 구성이 되어 있다. 이것은, 전극의 도통/단락뿐만 아니라, 전극의 두꺼움/얇음에 대해서도 적절히 검사할 수 있는 요구가 높아지고 있는 것에 대응하는 것이다.

이하, 저항값의 검사에 대해 상세하게 설명한다. 센서 패널 (50) 에 배치되는 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 은 M × N 개의 지점에서 서로 근접하고 있다. 전술한 바와 같이, 제 1 전극 (51) 과 제 2 전극 (52) 사이에는 간극이 형성되어 있으므로, 상기의 전극 근접 부분에 각각 콘덴서가 형성되어 있는 것으로 생각할 수 있다.

또, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 은, 상기 서술한 바와 같이 ITO 도전막으로 형성되어 있고, 이 ITO 는 다른 투명 전극 재료와의 관계에서는 우수한 저저항률을 나타내지만, 상응하는 전기 저항값을 나타낸다. 따라서, 제 1 전극 (51) 및 제 2 전극 (52) 의 형상에 이상 (예를 들어, 전술한 전극의 두꺼움/얇음) 이 없고, 패턴이 균일하게 형성되어 있는 한, 제 1 전극 (51), 전극 근접 부분, 제 2 전극 (52) 과 경유하는 회로 (이하, 형성 회로라고 부르는 경우가 있다) 의 저항은, 전극 근접 부분이 탭 배선부 (7, 8) 로부터 멀어지면 멀어질수록 (센서 좌표계의 y 좌표가 크면 클수록), ITO 도전막으로 형성된 긴 경로를 통과해야 하기 때문에 증대될 것이다. 한편, 제 1 전극 (51) 과 제 2 전극 (52) 은 x 방향에서는 동일 형상의 패턴이 단순하게 반복된 구성으로 되어 있기 때문에, 패턴이 균일하게 형성되어 있는 한, 상기의 형성 회로의 저항은, 전극 근접 부분의 센서 좌표계의 x 좌표가 변화되어도 동일해질 것이다. 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 에서는, 이상의 사고 방식에 기초하여, 센서 패널 (50) 의 검사를 실시한다.

이하, 상기의 센서 좌표계에 있어서의 (1, 4) 를 검사하는 경우를 예로 하여, 센서 패널 검사 장치 (1) 의 구체적인 동작을 설명한다. 검사부 (47) 는, 4 개 존재하는 상기 제 1 전극 (51) 으로부터 검사 대상의 x 좌표에 대응하는 제 1 전극 (51) 을 선택하고, 또, 4 개 존재하는 상기 제 2 전극 (52) 의 그룹으로부터 검사 대상의 y 좌표에 대응하는 그룹을 선택하여, 이들 전극이 검사 대상이 되도록 시그널 공급 전환부 (31) 및 검출 전환부 (32) 를 제어한다. 이번 예에서는, 검사부 (47) 는, 시그널 공급 전환부 (31) 에 있어서 「1」의 스위치를 ON 하고, 검출 전환부 (32) 에 있어서 「4」의 스위치를 ON 한다.

이로써, 시그널부 (11) 와 전류 검출부 (41) 의 전류계가, 도 3 에 굵은 선으로 나타내는 회로에 의해 접속된다. 이 굵은 선으로 그려진 회로는, 제 1 전극 (51) 과 제 1 탭 배선부 (7) 의 접속 부분으로부터 상기의 (1, 4) 로 나타내는 전극 교차 부분을 경유하여, 제 2 전극 (52) 과 제 2 탭 배선부 (8) 의 접속 부분에 이르고 있다.

도 4 에는, 센서 패널 (50) 에 있어서의 상기 형성 회로가 센서 패널 검사 장치 (1) 에 접속된 상태가 모델적으로 나타나 있다. 이 회로를 흐르는 교류 전류 i 가 전류 검출부 (41) 의 전류계에 의해 측정된다. 이 도 4 에 나타내는 바와 같이, 좌표 (1, 4) 에 대응하는 회로에는, 적절한 크기의 저항과, 상기의 전극 근접 부분에 형성되는 콘덴서가 포함되어 있다.

또한, 상기 서술한 바와 같이, 검사하고자 하는 위치의 좌표 (x, y) 에 따라 형성 회로는 여러 가지로 바뀌기 때문에, 그 저항값도 여러 가지가 된다. 이 것을 고려하여, 검사부 (47) 는, 임의의 좌표 (x, y) 에 대한 형성 회로의 저항값을 미리 계산하여, 상기의 RAM 등에 기억하고 있다.

검사부 (47) 는, 시그널부 (11) 에 교류 신호를 발생시킨 상태에서, 전류 검출부 (41) 의 전류계의 출력을 위상 검파하여 계산함으로써, 상기의 형성 회로에 있어서의 정전 용량과 형성 회로의 저항값 (형성 회로 계측값) 을 취득한다. 이렇게 하여 취득된 정전 용량은 소정의 판정 기준값과 비교되어 허용 범위를 벗어난 경우에는 불량품으로 판정된다. 또, 취득된 저항값은 소정의 판정 기준값과 비교되어 허용 범위를 벗어난 경우에는, 전극 (51, 52) 의 형상에 이상이 있는 불량품으로 판정된다.

정전 용량 및 형성 회로의 저항값의 취득, 그리고 불량품인지의 여부의 판정은, 검사하고자 하는 위치의 좌표를 (1, 1), (1, 2),···, (M － 1, N), (M, N) 과 같이 전환하면서, 모든 좌표에 대해 실시된다. 이상에 의해, 센서 패널 (50) 의 검사가 완료된다. 단, 검사하는 좌표의 순서는 상기에 한정되는 것이 아니고, 적절히 변경할 수 있다.

여기서, 본 실시형태에서는 상기 서술한 바와 같이, M × N 개 배치되어 있는 제 2 전극 (52) 을 y 좌표마다 그룹화한 후에, 동일한 그룹의 제 2 전극 (52) 에 접속되는 제 1 케이블 (37) 이 와이어드 오어부 (39) 에서 서로 접속되어 있다.

이 이유는 이하와 같다. 즉, M × N 에 의해 매트릭스상으로 배치된 제 2 전극 (52) 중, y 좌표가 동등한 임의의 2 개의 전극에 주목해 보면, 이 2 개의 제 2 전극 (52, 52) 의 사이는 반드시 제 2 전극 (52) 의 매트릭스 배치 영역 전체를 구분하도록 1 개 이상 배치된 제 1 전극 (51) (장척상부 (3)) 에 의해 떨어져 있다. 이와 같은 전극 패턴의 특징에 의해, 2 개의 제 2 전극 (52) 사이가 (직접) 단락한다는 것은 매우 생각하기 어렵다.

그래서 본 실시형태에서는, y 좌표가 동일한 제 2 전극 (52) 끼리는 서로 단락되지 않는 것으로 간주하여, 상기의 와이어드 오어부 (39) 를 사용함으로써, 검사 회로 (구체적으로는, 전류 검출부 (41) 의 전류계) 를 실질적으로 공통화하고 있다. 이로써, 검사 회로 (채널) 의 수를 삭감할 수 있어, 검사 장치의 간소화, 저비용화를 도모할 수 있게 되었다. 또, 검사 횟수를 삭감할 수 있으므로, 검사 효율의 향상도 실현된다.

이하, 검사 회로의 삭감 효과에 대해 구체적으로 설명한다. 즉, 도 1 과 같이 제 1 전극이 M 개, 제 2 전극이 M × N 개 나열하여 배치된 터치 패널을 검사하고자 하는 경우, 통상 필요시되는 검사 회로의 수는, 양 전극의 수를 가산하여, M ＋ M × N = M × (1 ＋ N) 개가 된다. 한편, 상기와 같이 와이어드 오어부 (39) 에서 접속하는 경우, 검사 회로는, 제 1 전극 (51) 의 M 개에 대해, 또, 제 2 전극 (52) 의 N 개의 그룹에 대해 각각 필요시될 뿐이므로, 필요한 회로 수는 M ＋ N 개가 된다. 따라서, 본 실시형태의 구성에 의한 검사 회로 삭감의 효과는 높고, 특히 M, N 이 대규모가 되는 대형 패널에 관해서 현저한 것이 분명하다.

이상에 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 싱글 레이어형 터치 패널 장치의 센서 패널 (50) 을 검사하는 것이다. 검사 대상물인 센서 패널 (50) 은, 복수의 제 1 전극 (51) 과 복수의 제 2 전극 (52) 이 두께 방향에서 동일한 층에 배치되어 구성된다. 제 1 전극 (51) 은 직선상으로 나열하여 배치된다. 제 1 전극 (51) 의 각각은 당해 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향으로 가늘고 긴 장척상부 (3) 를 갖는다. 제 2 전극 (52) 은, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 장척상부 (3) 를 따른 방향에서 매트릭스상으로 나열하여 배치된다. 센서 패널 검사 장치 (1) 는 와이어드 오어부 (39) 와 전류 검출부 (41) 를 구비한다. 와이어드 오어부 (39) 는, 검사시에 있어서, 제 2 전극 (52) 중 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향에서 대응하는 것 각각의 신호 출력을 합성한다. 전류 검출부 (41) 는 와이어드 오어부 (39) 의 출력을 검출한다.

즉, 상기와 같이 구성된 싱글 레이어형 터치 패널의 센서 패널 (50) 에 있어서는, 그 패턴 상의 특징으로부터, 제 2 전극 (52) 중 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향에서 대응하는 것끼리는 서로 단락되지 않는 것으로 간주할 수 있다. 그래서, 전극의 수가 다수로 많아지는 싱글 레이어형의 검사에 있어서도, 본 실시형태와 같이 신호 출력을 합성한 후에 검사함으로써, 적은 검사 회로로도 충분한 검사를 실시할 수 있다. 이 결과, 센서 패널 검사 장치 (1) 의 현저한 간소화, 저비용화를 실현할 수 있음과 함께, 검사 효율을 향상시킬 수 있다.

또, 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는 제 1 케이블 (37) 과 제 2 케이블 (38) 을 구비한다. 제 1 케이블 (37) 은 제 1 전극 (51) 의 각각에 전기적으로 접속할 수 있도록 복수 구비된다. 제 2 전극 (52) 은 제 2 전극 (52) 의 각각에 전기적으로 접속할 수 있도록 복수 구비된다. 그리고, 매트릭스상의 제 2 전극 (52) 을 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향에서 대응하는 것마다 그룹으로 나누었을 때에, 와이어드 오어부 (39) 는, 동일한 그룹에 속하는 제 2 전극 (52) 의 각각에 접속되어 있는 제 2 케이블 (38) 을 와이어드 오어 접속한다.

이로써, 동일 그룹에 속하는 제 2 전극 (52) 의 신호 출력의 합성을 간소하고 합리적으로 실시할 수 있다.

다음으로, 제 2 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 를 설명한다. 도 5 는, 제 2 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 의 전체적인 구성을 나타내는 개념도이다. 또한, 본 실시형태의 설명에 있어서는, 전술한 실시형태와 동일 또는 유사한 부재에는 도면에 동일한 부호를 붙여, 설명을 생략하는 경우가 있다.

제 2 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 제 2 전극 (52) 의 도전부 (4) 로부터 전기 신호를 취출하기 위한 복수의 센서부 (48) 를 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향으로 나열하여 구비하고 있다. 센서 패널 검사 장치 (1) 에 센서 패널 (50) 이 세트되면, 상기 센서부 (48) 는, 당해 센서 패널 (50) 에 대해 적절한 간격을 두고 대향하도록 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 센서부 (48) 는 도전성의 판상 부재에 의해 구성되어 있고, 적어도, 제 2 전극 (52) 의 구성 요소인 도전부 (4) 의 전체면에 대향할 수 있는 크기를 갖고 있다.

센서부 (48) 는, 매트릭스상의 제 2 전극 (52) 의 배치 간격에 대응시켜, 등간격으로 나열하여 배치되어 있다. 더 구체적으로 말하면, 센서는, 제 2 전극 (52) 을 구성하기 위해 쌍으로 배치되는 도전부 (4) 의 각각에 대응하도록 나열하여 배치되어 있다.

각각의 센서부 (48) 는, 전류를 측정하기 위한 측정부 (49) (구체적으로는, 전류계) 에 전기적으로 접속된다. 측정부 (49) 의 측정 결과는 컨트롤러 유닛 (45) 에 송신된다.

이상의 구성에서, 각각의 센서부 (48) 가 도전부 (4) 와 용량 결합하여 전기신호를 취출하고, 이 전기 신호를 측정부 (49) 에서 측정함으로써, 전극 (51, 52) 에 단선 등이 발생한 경우의 불량 지점의 특정을 용이하게 실시할 수 있다.

그런데, 최근에는 액정의 컬러 필터 기판과 편광판 사이에 투명 전극 패턴을 형성한, 이른바 온 셀형의 터치 패널이 실용화되어 있고, 장래적으로는, 도 1 에 나타내는 바와 같은 싱글 레이어형의 터치 패널에 대해서도 온 셀형으로의 이행이 진행되어 갈 것으로 생각된다. 그러나, 온 셀형의 터치 패널은 고가이기 때문에, 검사에서 불량이 발견된 경우에도 폐기하지 않고 불량 지점을 수복하여 사용하고자 하는 요청이 있다. 이 점, 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 센서 패널 (50) 의 검사를 실시할 뿐만 아니라, 발견된 불량 지점을 용이하게 특정할 수 있다. 따라서, 그 후의 수복 작업을 재빠르게 적확하게 실시할 수 있다.

이상에 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 는, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향으로 나열된 복수의 센서부 (48) 를 구비한다. 각각의 센서부 (48) 는, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향으로 가늘고 길게 형성되어 있다.

이로써, 센서 패널 (50) 의 전극 패턴의 양/불량을 검사할 수 있을 뿐만 아니라, 센서부 (48) 의 신호 출력에 기초하여 패턴 불량 지점을 용이하게 특정할 수 있다. 또, 매트릭스상으로 배치된 제 2 전극 (52) 의 복수와 용량 결합할 수 있도록 센서부 (48) 가 가늘고 길게 구성되어 있으므로, 간소한 구성의 센서부 (48) 로 불량 지점의 특정을 충분히 실시할 수 있다.

또, 본 실시형태의 센서 패널 검사 장치 (1) 에 있어서, 각각의 제 2 전극 (52) 은, 제 1 전극 (51) 이 나열되는 방향과 수직인 방향에서 대응하도록 쌍으로 배치된 도전부 (4, 4) 를 구비한다. 센서부 (48) 는 도전부 (4) 의 쌍의 일방과 타방에 각각 대응하도록 형성된다.

이로써, 패턴 불량 지점을 보다 상세하게 특정할 수 있다.

이상으로 본 발명의 바람직한 실시형태를 설명했지만, 상기의 구성은 예를 들어 이하와 같이 변경할 수 있다.

상기 실시형태에서는, 동일 그룹의 제 2 전극 (52) 에 접속되는 제 2 케이블 (38) 이 와이어드 오어부 (39) 와 접속되어 있다. 그러나, 이 접속 형태에 한정되지 않고, 동일 그룹의 제 2 전극 (52) 의 신호 출력을 실질적으로 오어할 수 있는 것이면 된다.

와이어드 오어부 (39) 를 예를 들어 FPGA 로 구성하고, 컨트롤러 유닛 (45) 의 제어에 의해, 와이어드 오어 접속의 유무를 전환 가능하게 구성해도 된다. 이로써, 센서 패널 검사 장치 (1) 의 검사의 범용성을 증대시킬 수 있다.

상기 실시형태에서는, 센서 패널 (50) 과 시그널 공급 전환부 (31) 가 전선인 제 1 케이블 (37) 에 의해 접속되고, 센서 패널 (50) 과 검출 전환부 (32) 가 전선인 제 2 케이블 (38) 에 의해 접속되어 있다. 그러나, 전선에 한정되지 않고, 예를 들어 회로 기판의 패턴 배선에 의해 전기적 접속이 실시되어도 된다.

본 발명의 검사 장치 및 검사 방법은, 터치 패널 장치의 센서 패널에 한정되지 않고, 이른바 싱글 레이어형의 검사 대상물을 폭넓게 검사 대상으로 할 수 있다.

1 : 센서 패널 검사 장치 (검사 장치)
3 : 장척상부
4 : 도전부
37 : 제 1 케이블 (제 1 배선체)
38 : 제 2 케이블 (제 2 배선체)
39 : 와이어드 오어부 (오어부)
48 : 센서부
50 : 싱글 레이어형 터치 패널 장치의 센서 패널 (검사 대상물)
51 : 제 1 전극 (제 1 도전체)
52 : 제 2 전극 (제 2 도전체)

Claims (5)

1. 복수의 제 1 도전체와 복수의 제 2 도전체가 두께 방향에서 동일한 층에 배치된 패널상의 검사 대상물로서,
   상기 제 1 도전체는 직선상으로 나열하여 배치되고,
   상기 제 1 도전체의 각각은, 당해 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향으로 가늘고 긴 장척상부를 갖고,
   상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 상기 장척상부를 따른 방향에서 매트릭스상으로 나열하여 배치된 검사 대상물의 검사 장치로서,
   검사시에 있어서, 상기 제 2 도전체 중 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것 각각의 신호 출력을 합성하는 오어부와,
   상기 오어부의 출력을 검출하는 검출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1 도전체의 각각에 전기적으로 접속 가능한 복수의 제 1 배선체와,
   상기 제 2 도전체의 각각에 전기적으로 접속 가능한 복수의 제 2 배선체를 구비하고,
   매트릭스상의 상기 제 2 도전체를, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것마다 그룹으로 나누었을 때에, 상기 오어부는, 동일한 상기 그룹에 속하는 상기 제 2 도전체의 각각에 접속되어 있는 상기 제 2 배선체를 와이어드 오어 접속하는 와이어드 오어부인 것을 특징으로 하는 검사 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 검사 대상물에 있어서, 각각의 상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향에서 대응하도록 쌍으로 배치된 도전부를 구비하고,
   상기 검사 장치는,
   상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향으로 나열되고, 상기 도전부와 용량 결합하여 전기신호를 취출하는 복수의 센서부와,
   상기 센서부의 출력을 검출하는 측정부를 구비하고,
   각각의 상기 센서부는, 복수의 상기 제 2 도전체와 용량 결합할 수 있도록, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향으로 가늘고 길게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 센서부는, 상기 도전부의 쌍의 일방과 타방에 각각 대응하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
5. 복수의 제 1 도전체와 복수의 제 2 도전체가 두께 방향에서 동일한 층에 배치된 패널상의 검사 대상물로서,
   상기 제 1 도전체는 직선상으로 나열하여 배치되고,
   상기 제 1 도전체의 각각은, 당해 제 1 도전체가 나열되는 방향과 수직인 방향으로 가늘고 긴 장척상부를 갖고,
   상기 제 2 도전체는, 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향과 그것에 수직인 방향에서 매트릭스상으로 나열하여 배치된 검사 대상물의 검사 방법으로서,
   상기 제 2 도전체 중 상기 제 1 도전체가 나열되는 방향에서 대응하는 것 각각의 신호 출력을 오어부에서 합성한 후에, 합성 후의 신호 출력을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
   

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