CN104850287A - 单层型检查对象物的检查装置及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在检查单层型的检查对象物的检查装置中能够抑制检查电路的增加、效率良好地进行检查的构成。作为传感器面板检查装置的检查对象物的传感器面板是多个第一电极和多个第二电极在厚度方向配置于同一层而构成的。第一电极排列布置成直线状。各第一电极在与该第一电极排列的方向垂直的方向具有细长的长尺状部。第二电极在第一电极排列的方向和沿着长尺状部的方向排列布置成矩阵状。传感器面板检查装置具备线或部和电流检测部。线或部在检查时对第二电极中在第一电极排列的方向上对应的各第二电极的信号输出进行合成。电流检测部检测线或部的输出。

Description

单层型检查对象物的检查装置及检查方法

技术领域

本发明主要涉及被称为单层型的面板状的检查对象物的检查装置。

背景技术

一直以来，作为检测触摸位置的触摸面板装置的一种，已知有所谓的静电电容方式的触摸面板装置。静电电容式触摸面板装置的传感器面板例如具有在由玻璃等形成的透明的基板上设有第一图案透明导电层和第二图案透明导电层的结构。该图案透明导电层例如可以通过使用酸化铟锡(Indium TinOxide，ITO)进行成膜而形成。

该图案透明导电层分别作为电极发挥功能。应予说明，以下有时将第一图案透明导电层和第二图案透明导电层称为第一电极和第二电极。

静电电容方式的触摸面板的构成有多种，但作为众所周知的构成，可举出如下的触摸面板的构成，即，以直线状排列布置M个第一电极，在与其垂直的方向排列布置N个第二电极，使第一电极与第二电极隔着传感器面板的厚度方向的间隙而对置，且相互垂直交叉。应予说明，在本说明书中，有时将该结构的触摸面板称为“层叠型”的触摸面板。

在层叠型的触摸面板中，在第一电极与第二电极的交叉部分形成一种电容器，该电容器的静电电容通过接近或接触导电性物体(例如人体)而变化。对于触摸面板装置而言，通过检测该静电电容的变化，从而能够检测触摸到传感器面板的位置。该方式被称为所谓的投影型静电电容方式，优点在于能够高精度地检测触摸位置。

对于触摸面板装置的制造商而言，为了避免不合格品的混入而确保产品质量，进行传感器面板的检查是极其重要的。因此，提出了用于检查上述静电电容式的触摸面板的装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1公开了层叠型的静电电容式触摸面板的检查装置。在该专利文献1的检查装置中，通过静电电容检测电路来监视作为检查对象的被测定电极与同该被测定电极对置的对置电极中的特定对置电极之间的静电电容的两端间的电压，基于该监视结果判定被测定电极的状态。专利文献1中，根据该装置，通过测定由被测定电极和对置电极作为一种电容器发挥作用而产生的静电电容的微小变化，从而能够在不使触摸面板的传感器面与检查装置直接接触的情况下判定静电电容式触摸面板中的被测定电极的状态(例如断开和/或短路)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2011/121862号小册子

发明内容

技术问题

如以上所说明，在静电电容式触摸面板中，以使相互垂直交叉的电极隔着传感器面板的厚度方向的间隙对置的方式进行配置的构成已经成为主流。然而，在该层叠型的构成中，难以在厚度方向进行压缩，因此应对近年来智能手机和/或平板电脑等的越来越薄板化、轻量化的要求存在局限性。

因此，提出了在一个层中配置全部电极(图案透明导电层)的所谓单层型的触摸面板。以下，参照图1说明该单层型的触摸面板的例子。

在图1所示的触摸面板装置的传感器面板50中，以直线状(在图1中为横向)排列布置有多个(M个)第一电极51。各第一电极51在与该第一电极51排列的方向垂直的方向(图1的纵向)具有细长的长尺状部3。另外，在该传感器面板50中，多个第二电极52在第一电极51排列的方向和沿着上述长尺状部3的方向排列布置成矩阵状(M×N个)。

各第二电极52具备在与第一电极51排列的方向垂直的方向以对应的方式配置的一对(两个)导电部4、4。因此，该传感器面板50可以在横向排列M个、在纵向排列2×N个导电部4。各导电部4构成为矩形状。

在第一电极51形成有从长尺状部3的宽度方向一侧垂直突出的多个突出部5，这些突出部5隔开所排列的2×N个导电部4之间。其结果，第一电极51构成为具有多个凹部的、整体上像梳状那样的形状，成为在一个一个凹部的内侧配置导电部4的布局。各第二电极52、52具备引出部6，该引出部6将属于同一第二电极52的上述两个导电部4、4彼此相互电连接，并且在与第一电极51排列的方向垂直的方向(沿着长尺状部3的方向，纵向)，朝向传感器面板50的边缘部引出。

根据该构成，在第一电极51与第二电极52、52接近的部分形成一种电容器，该电容器的静电电容通过接近或接触导电性物体(例如人体)而变化。由此，能够检测触摸位置。

在多个第一电极51分别单独连接有第一引板配线部。各第一引板标记配线部7与第一电极51所具有的长尺状部3的一端连接。另外，在多个第二电极52分别单独连接有第二引板配线部8。各第二引板配线部8与第二电极52所具有的引出部6的一端连接。

由于图1所示的传感器面板50不存在第一电极51与第二电极52交叉的部分，所以能够将两个电极物理地配置于单一的层，能够实现触摸设备的薄板化、构成的简化。

然而，对于这样的单层型的触摸面板而言，上述的检查的重要性没有与其它触摸面板存在不同之处。因此，考虑使用上述的专利文献1的检查装置来检查图1所示的传感器面板50。

然而，单层型的触摸面板与上述的层叠型的触摸面板不同，电极的数目大幅增加。具体而言，形成M×N的矩阵时，如果是层叠型的触摸面板，则存在M个第一电极、N个第二电极，但单层型的传感器面板50的情况下，存在M个第一电极、M×N个第二电极。因此，在单层型的触摸面板中，为了检查各电极间的静电电容而需要多个电路，会导致检查装置的构成复杂化、高成本化。另外，检查花费较长时间，从缩短节拍时间的观点考虑，也存在改善的余地。

本发明是鉴于以上情况而完成的，其目的在于提供在检查单层型的检查对象物的检查装置中能够抑制检查电路的增加、高效地进行检查的构成。

技术方案

技术问题如上，接下来说明技术方案和有益效果。

根据本发明的第一观点，提供以下构成的检查装置。即，该检查装置检查将多个第一导电体和多个第二导电体在厚度方向配置在同一层的、如下构成的面板状的检查对象物。上述第一导电体并列配置成直线状。各上述第一导电体在与该第一导电体排列的方向垂直的方向具有细长的长尺状部。上述第二导电体在上述第一导电体排列的方向和沿着上述长尺状部的方向排列布置成矩阵状。并且，该检查装置具备或部和检测部。上述或部在检查时对上述第二导电体中在上述第一导电体排列的方向上对应的各第二导电体的信号输出进行合成。上述检测部检测上述或部的输出。

即，在如上构成的单层型的检查对象物中，从图案上的特征可以认为第二导电体中在第一导电体的排列方向上对应的第二导电体彼此不相互短路。因此，即使在电极的数目达到多个的单层型的检查中，通过像本发明那样在合成信号输出之后进行检查，从而以少的检查电路就能够进行充分的检查。其结果，能够实现检查装置的显著的简化、低成本化，并且能够提高检查效率。

在上述的检查装置中，优选为以下构成。即，该检查装置具备多个第一配线体和多个第二配线体。上述第一配线体能够与上述第一导电体的每一个电连接。上述第二配线体能够与上述第二导电体的每一个电连接。在对矩阵状的上述第二导电体进行分组，以使在上述第一导电体排列的方向上对应的每一个第二导电体为一组时，上述或部是将连接到属于同一个上述组的各上述第二导电体的上述第二配线体进行线或连接的线或部。

由此，能够简单且合理地进行属于同一组的第二导电体的信号输出的合成。

在上述的检查装置中，优选为以下构成。即，该检查装置具备多个传感器部和测定部。上述传感器部在与上述第一导电体排列的方向垂直的方向排列。上述测定部检测上述传感器部的输出。各上述传感器部以能够与多个上述第二导电体电容耦合的方式在上述第一导电体排列的方向细长地形成。

由此，不仅能够检查检查对象物的电极图案的合格/不合格，还能够基于传感器部的信号输出而容易确定图案不合格处。另外，由于传感器部构成为细长的形状，以能够与配置成矩阵状的多个第二导电体电容耦合，所以能够用简单构成的传感器部充分进行不合格处的确定。

在上述的检查装置中，优选为以下构成。即，在上述检查对象物中，各上述第二导电体具备在与上述第一导电体排列的方向垂直的方向上以对应的方式成对配置的导电部。上述传感器部以与上述导电部的成对的一方和另一方分别对应的方式设置。

由此，能够更详细地确定图案不合格处。

根据本发明的第二观点，提供以下检查方法。即，该检查方法检查将多个第一导电体和多个第二导电体在厚度方向上配置于同一层的、如下构成的面板状的检查对象物。上述第一导电体排列布置成直线状。各上述第一导电体在与该第一导电体排列的方向垂直的方向上具有细长的长尺状部。上述第二导电体在上述第一导电体排列的方向和与其垂直的方向排列布置成矩阵状。并且，在该检查方法中，利用或部对上述第二导电体中在上述第一导电体排列的方向上对应的各第二导电体的信号输出进行合成之后，检查合成后的信号输出。

即，在如上所述构成的单层型的检查对象物中，从图案上的特征可以认为，第二导电体中在第一导电体排列的方向对应的第二导电体彼此不相互短路。因此，即使在电极的数目达到多个的单层型的检查中，通过像本发明那样在合成信号输出之后进行检查，从而以少的检查电路就能够进行充分的检查。其结果，能够实现检查装置的显著的简化、低成本化，并且能够提高检查效率。

附图说明

图1是示意地表示单层型触摸面板装置的传感器面板上的电极图案的俯视图。

图2是表示本发明的第一实施方式的传感器面板检查装置的整体构成的示意图。

图3是表示传感器面板检查装置在检查传感器面板上的位置(1，4)的情况下的形成电路的图。

图4是简略地表示形成电路的图。

图5是表示第二实施方式的传感器面板检查装置的整体构成的示意图。

符号说明

1：传感器面板检查装置(检查装置)

3：长尺状部

4：导电部

37：第一电缆(第一配线体)

38：第二电缆(第二配线体)

39：线或部(或部)

48：传感器部

50：单层型触摸面板装置的传感器面板(检查对象物)

51：第一电极(第一导电体)

52：第二电极(第二导电体)

具体实施方式

接下来，参照附图来说明本发明的实施方式。图1是示意地表示单层型触摸面板装置的传感器面板50上的电极图案的俯视图。图2是表示本发明的一个实施方式的传感器面板检查装置1的整体构成的示意图。

图2所示的第一实施方式的传感器面板检查装置1以能够检查图1所示的传感器面板50的方式构成。图2中示出了将图1所示的传感器面板50安装于检查装置的状态。

作为检查对象物的传感器面板50是触摸面板装置的主要构成部件，成为在由玻璃等构成的透明的基板上设置了第一电极(第一导电体)51和第二电极(第二导电体)52的构成。该传感器面板50构成为上述的单层型。

单层型触摸面板装置中的传感器面板50的构成已经参照图1进行了说明，因此在此进行简单说明。第一电极51在图1的横向等间隔地排列而设有M个。第二电极52在图1的横向等间隔地排列而设有M个、在纵向等间隔地排列而设有N个。其结果，由两个电极51、52构成M×N的矩阵。应予说明，在以后的说明中，有时将第一电极51排列的方向称为x方向，将与其垂直的方向称为y方向。

由此，通过第一电极51和第二电极52中的任一个来覆盖几乎所有能够检测触摸位置的区域(以下，有时称为触摸区域)。

在上述的触摸区域中，根据配置成矩阵状的第一电极51与第二电极52的关系设定传感器坐标系。该坐标系可以由上述x方向和y方向的坐标表示。具体而言，将位于图1和/或图2中的触摸区域的左下角的第二电极52的导电部4、4的对应部分设定为(1，1)，将位于右上角的对应部分设定为(M，N)。

应予说明，在图1和/或图2的传感器面板50中，第一电极51和第二电极52在横向排列的数目为4个(M＝4)，第二电极52在纵向排列的数目为4个(N＝4)，但不限于该例，可以进行适当增减。另外，对于第一电极51和第二电极52的形状也不受上述限定，可以根据情况变更成各种形状。

第一电极51和第二电极52通过使用上述的ITO，利用溅射和/或蒸镀等公知的方法形成图案透明导电层而构成。然而，作为电极的材料，不限于使用ITO，例如可以使用酸化铟锌(Indium Zinc Oxide，IZO)等各种材料。

以与第一电极51和第二电极52连接的方式在基板上形成第一引板配线部7和第二引板配线部8。该第一引板配线部7和第二引板配线部8形成在避开上述触摸区域的位置，以能够将第一电极51和第二电极52与触摸面板装置的驱动器电路(省略图示)电连接的方式构成。

在本实施方式中，第一引板配线部7和第二引板配线部8通过使用具有导电性的浆料(具体而言为银浆)，利用丝网印刷而形成。然而，不限于该构成，例如可以使用铜浆代替银浆，或者可以使用例如喷墨印刷等其它印刷方法代替丝网印刷。另外，通过在将具有导电性的各种金属膜蒸镀后进行选择性的蚀刻，也能够形成第一引板配线部7和第二引板配线部8的图案。

图2所示的本实施方式的传感器面板检查装置1用于检查传感器面板50上靠近电极的部分的静电电容是否符合设计，并且检查是否正确形成电极51、52。该传感器面板检查装置1具备第一电缆(第一配线体)37、第二电缆(第二配线体)38、信号部11、信号供给切换部31、检测切换部32、电流检测部(检测部)41和控制器单元(控制部)45作为主要的构成。

第一电缆37和第二电缆38由具有导电性的电线构成。将传感器面板50安装于传感器面板检查装置1时，第一电缆37经由传感器面板50的第一引板配线部7与第一电极51电连接，第二电缆38经由传感器面板50的第二引板配线部8与第二电极52电连接。

由于配置有M个第一电极51，所以与此相对应地具备M根第一电缆37。另一方面，由于配置有M×N个第二电极52，所以具备M×N根第二电缆38。

然而，在本实施方式中，在配置有M×N个的第二电极52中，以将在第一电极51排列的方向(x方向)上对应的M个第二电极分为一组的方式设定有N个组。换言之，以y＝1的组、y＝2的组、···的方式将第二电极52在每个y坐标上分组。并且，与属于同一组的第二电极52对应的第二电缆38彼此通过作为或部的线或部39连接。

信号部11作为供给预定电压的交流信号的交流电源而构成。该信号部11供给的交流信号例如可以设定为频率在10kHz～1000kHz的范围内且电压的有效值在1V～10V的范围内。信号部11的一端接地，另一端与信号供给切换部31电连接。

信号部11与控制器单元45连接，能够基于来自控制器单元45的控制指令产生交流信号。

信号供给切换部31能够从多个第一电极51中选择全部或一部分而使该选择的第一电极51与信号部11电连接。该信号供给切换部31具有与第一电极51分别对应的多个开关。应予说明，在附图中，对各开关标注“1”～“4”的编号，该编号与上述的传感器坐标系中的x坐标对应。各开关以能够进行开启/关闭动作的方式构成，并且经由上述第一电缆37和第一引板配线部7与对应的第一电极51电连接。

信号供给切换部31与控制器单元45连接，能够基于来自控制器单元45的控制指令分别切换上述开关的开启/关闭。

在将配置为M×N个的第二电极52像上述那样进行了分组时，检测切换部32能够选择全部或一部分的组，使该选择的第二电极52的组与电流检测部41电连接。该检测切换部32具有与第二电极52的组分别对应的多个开关。应予说明，在附图中，对各开关标注“1”～“4”的编号，该编号与上述的传感器坐标系中的y坐标对应。这些开关以能够进行开启/关闭动作的方式构成，并且经由上述第二电缆38和第二引板配线部8与对应的第二电极52的组电连接。

检测切换部32与信号供给切换部31同样地连接到控制器单元45，能够基于来自控制器单元45的控制指令切换上述开关的开启/关闭。

电流检测部41具有以与多个第二电极52的组分别对应的方式配置了多个的电流计。各电流计将检测到的电流的值发送到控制器单元45。

控制器单元45以微电脑的形式构成，具备未图示的作为运算部的CPU和作为存储部的ROM、RAM等。并且，在控制器单元45的上述ROM中存储有用于使传感器面板检查装置1工作的程序。并且，通过上述硬件与上述软件协同工作，从而能够使控制器单元45作为检查部47发挥功能。

检查部47在传感器面板50被安置于传感器面板检查装置1的状态下向信号部11、信号供给切换部31、检测切换部32、电流检测部41发送控制信号来进行控制，进行传感器面板50的检查。

接下来，对传感器面板50的检查进行说明。图3是表示传感器面板检查装置1检查传感器面板50上的位置(1，4)时的形成电路的图。图4是简略地表示形成电路的图。

首先，参照图4对检查的考虑方式进行说明。本实施方式的传感器面板检查装置1能够测定第一电极51与第二电极52接近部分的静电电容。另外，传感器面板检查装置1成为能够基于第一电极51和第二电极52的电阻值(或者根据电阻值而变化的值)来检查该第一电极51和第二电极52的形状均一性的构成。这与不仅能够检查电极的导通/短路，并且也能够适当检查电极的粗/细的需求高涨相对应。

以下，对电阻值的检查进行详细说明。配置于传感器面板50的第一电极51和第二电极52在M×N个地方相互接近。如上所述，由于在第一电极51与第二电极52之间形成有间隙，所以可以认为在上述的电极接近部分分别形成有电容器。

另外，第一电极51和第二电极52如上所述由ITO导电膜形成，虽然该ITO在与其它的透明电极材料的关系中显示了优异的低电阻率，但示出相应的电阻值。因此，只要第一电极51和第二电极52的形状没有异常(例如上述的电极的粗/细)、均匀地形成图案，则经由第一电极51、电极接近部分、第二电极52的电路(以下，有时称为形成电路)的电阻随着电极接近部分越远离引板配线部7、8(传感器坐标系的y坐标越大)，由于必须通过由ITO导电膜形成的较长的路径，所以会越大。另一方面，由于第一电极51和第二电极52在x方向是相同形状的图案单纯重复的构成，所以只要均匀地形成图案，即使电极接近部分的传感器坐标系的x坐标变化，上述的形成电路的电阻也应该相同。在本实施方式的传感器面板检查装置1中，基于以上考虑进行传感器面板50的检查。

以下，以检查上述的传感器坐标系中的(1，4)的情况为例说明传感器面板检查装置1的具体动作。检查部47从存在的四个上述第一电极51中选择与检查对象的x坐标对应的第一电极51，另外，从存在的四个上述第二电极52的组中选择与检查对象的y坐标对应的组，以这些电极成为检查对象的方式控制信号供给切换部31和检测切换部32。在这个例子中，检查部47使信号供给切换部31中“1”的开关开启，使检测切换部32中“4”的开关开启。

由此，信号部11和电流检测部41的电流计通过图3中粗线所表示的电路连接。该粗线所描画的电路从第一电极51与第一引板配线部7的连接部分经由上述的(1，4)所表示的电极交叉部分到达第二电极52与第二引板配线部8的连接部分。

图4示意地表示传感器面板50中的上述形成电路与传感器面板检查装置1连接的状态。流过该电路的交流电流i通过电流检测部41的电流计进行测定。如该图4所示，与坐标(1，4)对应的电路包括适当大小的电阻和形成在上述电极接近部分的电容器。

应予说明，如上所述，形成电路根据想要检查的位置的坐标(x，y)而存在各种变化，因此其电阻值也各异。考虑到这种情况，检查部47预先计算相对于任意坐标(x，y)的形成电路的电阻值并将其存储于上述RAM等中。

检查部47在使信号部11产生交流信号的状态下，对电流检测部41的电流计的输出进行相位检波而计算，由此获得上述的形成电路的静电电容和形成电路的电阻值(形成电路测量值)。将这样获得的静电电容与预定的判定基准值进行比较，在允许范围以外时判定为不合格品。另外，将所获得的电阻值与预定的判定基准值比较，在允许范围以外时，判定为电极51、52的形状存在异常的不合格品。

静电电容和形成电路的电阻值的获得以及是否为不合格品的判定是将想要检查的位置的坐标切换成(1，1)，(1，2)，···，(M-1，N)，(M，N)，同时对所有坐标进行检查。由此，传感器面板50的检查结束。其中，检查的坐标的顺序不受上述限定，可以进行适当改变。

在此，在本实施方式中，如上所述，将配置了M×N个的第二电极52在每个y坐标上进行分组之后，利用线或部39将与同一组的第二电极52连接的第一电缆37相互连接。

其理由如下。即，如果关注以M×N的形式配置成矩阵状的第二电极52中的y坐标相等的任意两个电极，该两个第二电极52、52之间一定是被以划分第二电极52的整个矩阵配置区域的方式配置为1根以上的第一电极51(长尺状部3)隔开。因为这样的电极图案的特征，所以很难认为两个第二电极52之间会发生(直接)短路。

因此，在本实施方式中，认为y坐标相同的第二电极52彼此不会发生相互短路，通过使用上述的线或部39，能够实质上共用检查电路(具体而言是电流检测部41的电流计)。由此，能够减少检查电路(通道)的数目，能够实现检查装置的简化、低成本化。另外，由于能够减少检查次数，所以也能够实现检查效率的提高。

以下，对检查电路的减少效果进行具体说明。即，如图1所示，当想要检查排列布置M个第一电极、M×N个第二电极的触摸面板时，通常所需要的检查电路的数目是加上两电极的数目而成为M+M×N＝M×(1+N)个。另一方面，如上所述，用线或部39连接时，对于M个第一电极51需要相应数量的检查电路，另外，对于N个第二电极52的组也需要相应数量的检查电路，所以需要的电路数目为M+N个。因此，可知由本实施方式的构成带来的检查电路减少的效果高，特别是对于M、N为大规模的大型面板而言，效果更明显。

如以上所说明，本实施方式的传感器面板检查装置1检查单层型触摸面板装置的传感器面板50。作为检查对象物的传感器面板50是多个第一电极51和多个第二电极52在厚度方向上配置于同一层而构成的。第一电极51排列布置成直线状。各第一电极51在与该第一电极51排列的方向垂直的方向具有细长的长尺状部3。

第二电极52在第一电极51排列的方向和沿着长尺状部3的方向排列布置成矩阵状。传感器面板检查装置1具备线或部39和电流检测部41。线或部39在检查时合成第二电极52中的在第一电极51排列的方向对应的各第二电极的信号输出。电流检测部41检测线或部39的输出。

即，在如上所述构成的单层型触摸面板的传感器面板50中，从其图案上的特征可以认为，第二电极52中在第一电极51排列的方向对应的第二电极彼此不相互短路。因此，即使在电极的数目达到多个的单层型的检查中，通过像本实施方式那样在对信号输出进行合成之后进行检查，从而能够以少的检查电路就进行充分的检查。其结果，能够实现传感器面板检查装置1的显著简化、低成本化，并且能够提高检查效率。

另外，本实施方式的传感器面板检查装置1具备第一电缆37和第二电缆38。第一电缆37以能够与各第一电极51电连接的方式具备多个。第二电极52以能够与各第二电极52电连接的方式具备多个。并且，在对矩阵状的第二电极52进行分组，以使在第一电极51排列的方向上对应的每一个第二电极为一组时，线或部39对与属于同一组的各第二电极52连接的第二电缆38进行线或连接。

由此，能够简单且合理地进行属于同一组的第二电极52的信号输出的合成。

接下来，说明第二实施方式的传感器面板检查装置1。图5是表示第二实施方式的传感器面板检查装置1的整体构成的示意图。应予说明，在本实施方式的说明中，有时在附图中对与上述的实施方式相同或类似的部件标注相同的符号，省略说明。

第二实施方式的传感器面板检查装置1在与第一电极51排列的方向垂直的方向排列有用于从第二电极52的导电部4中取出电信号的多个传感器部48。在传感器面板检查装置1上安置传感器面板50时，上述传感器部48以相对于该传感器面板50隔着适当间隙对置的方式而配置。在本实施方式中，传感器部48由导电性的板状部件构成，具有至少能够与作为第二电极52的构成元件的导电部4的整面对置的大小。

传感器部48与矩阵状的第二电极52的配置间隔对应地等间隔地排列布置。进一步而言，传感器以与为了构成第二电极52而成对布置的各导电部4对应的方式排列布置。

各传感器部48与用于测定电流的测定部49(具体而言是电流计)电连接。测定部49的测定结果发送到控制器单元45。

通过以上构成，各传感器部48通过与导电部4电容耦合而取出电信号，利用测定部49测定该电信号，从而能够在电极51、52中产生断线等的情况下容易地确定不合格处。

另外，近年来，在液晶的滤色器基板与偏振片之间形成透明电极图案的所谓On-Cell型的触摸面板得到实用化，认为将来对于如图1所示的单层型的触摸面板也会发展On-Cell型。然而，由于On-Cell型的触摸面板昂贵，所以有即使在检查中发现不合格的情况下也要不废弃而修复不合格处来使用的要求。对于这一点，本实施方式的传感器面板检查装置1不仅能够进行传感器面板50的检查，还能够容易地确定所发现的不合格处。因此，能够迅速准确地进行其后的修复工作。

如以上所说明，本实施方式的传感器面板检查装置1具有在与第一电极51排列的方向垂直的方向排列的多个传感器部48。各传感器部48在第一电极51排列的方向细长地形成。

由此，不仅能够检查传感器面板50的电极图案的合格/不合格，而且能够基于传感器部48的信号输出而容易地确定图案不合格处。另外，由于以能够与配置成矩阵状的多个第二电极52电容耦合的方式细长地构成传感器部48，所以能够以简单的构成的传感器部48充分进行不合格处的确定。

另外，在本实施方式的传感器面板检查装置1中，各第二电极52具备在与第一电极51排列的方向垂直的方向上以对应的方式成对配置的导电部4、4。传感器部48以与成对的导电部4的一方和另一方分别对应的方式而设置。

由此，能够更详细地确定图案的不合格处。

以上，说明了本发明的优选的实施方式，但上述的构成例如可以如下变更。

在上述实施方式中，通过线或部39连接与同一组的第二电极52连接的第二电缆38。然而，不受该连接方式限定，只要实质上能够“或”同一组的第二电极52的信号输出即可。

例如可以由FPGA构成线或部39，通过控制器单元45的控制，能够切换有无线或连接地构成。由此，能够增大传感器面板检查装置1的检查的通用性。

在上述实施方式中，传感器面板50与信号供给切换部31通过作为电线的第一电缆37连接，传感器面板50与检测切换部32通过作为电线的第二电缆38连接。然而，并不限于电线，例如可以通过电路基板的图案配线来进行电连接。

本发明的检查装置及检查方法不限于触摸面板装置的传感器面板，可以将所谓的单层型的检查对象物广泛地作为检查对象。

Claims (5)

1.一种检查装置，其特征在于，

检查对象物是多个第一导电体和多个第二导电体在厚度方向上配置于同一层的面板状，

所述第一导电体排列布置成直线状，

各所述第一导电体在与该第一导电体排列的方向垂直的方向具有细长的长尺状部，

所述第二导电体在所述第一导电体排列的方向和沿着所述长尺状部的方向排列布置成矩阵状，

所述检查对象物的检查装置，具备：

或部，在检查时对所述第二导电体中在所述第一导电体排列的方向上对应的各第二导电体的信号输出进行合成，和

检测部，检测所述或部的输出。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，具备：

能够与所述第一导电体的每一个电连接的多个第一配线体，和

能够与所述第二导电体的每一个电连接的多个第二配线体，

在对矩阵状的所述第二导电体进行分组，以使在所述第一导电体排列的方向上对应的每一个第二导电体为一组时，所述或部是将连接到属于同一个所述组的各所述第二导电体的所述第二配线体进行线或连接的线或部。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，具备：

多个传感器部，在与所述第一导电体排列的方向垂直的方向排列，和

测定部，检测所述传感器部的输出，

各所述传感器部以能够与多个所述第二导电体电容耦合的方式细长地形成在所述第一导电体排列的方向。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

在所述检查对象物中，各所述第二导电体具备在与所述第一导电体排列的方向垂直的方向上以对应的方式成对配置的导电部，

所述传感器部以与所述导电部的成对的一方和另一方分别对应的方式设置。

5.一种检查方法，其特征在于，

检查对象物是多个第一导电体和多个第二导电体在厚度方向上配置于同一层的面板状，

所述第一导电体排列布置成直线状，

各所述第一导电体在与该第一导电体排列的方向垂直的方向具有细长的长尺状部，

所述第二导电体在所述第一导电体排列的方向和与其垂直的方向排列布置成矩阵状，

在利用或部对所述第二导电体中在所述第一导电体排列的方向上对应的各第二导电体的信号输出进行合成之后，检查合成后的信号输出。