JP5290697B2 - 基準データ作成方法および回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
2 基準電極
2a 絶縁フィルム
3 プローブ
4 移動機構
5 計測部
6 処理部
11 多面付け基板
12 回路基板
13 導体パターン
Dr 基準データ
Claims (6)
- 検査対象となる同種の回路基板が複数面付けされた多面付け基板における当該各回路基板に形成された複数の導体パターンについての良否を検査する際に測定する当該各導体パターンおよび基準電極間の各対電極間静電容量との比較に使用される基準データを作成する基準データ作成方法であって、
移動機構によって独立して移動させられるn個(nは2以上の整数)のプローブを用いて前記複数の回路基板のうちのn個の回路基板に対して前記対電極間静電容量の測定を並行して実行し、
前記対電極間静電容量を測定した前記n個の回路基板についての前記各導体パターンの良否を判別し、
前記導体パターンのすべてが良であると判別された前記回路基板が存在しているときには、当該回路基板で測定された前記対電極間静電容量に基づいて前記基準データを作成する基準データ作成方法。 - 前記各導体パターンの良否を判別するに際して、前記n個のプローブを2個ずつ使用して前記n個の回路基板のうちの複数の回路基板に対して前記導体パターンの断線短絡検査を並行して実行することにより、当該各導体パターンの良否を判別する請求項1記載の基準データ作成方法。
- 前記導体パターンのすべてが良であると判別された前記回路基板が複数存在しているときには、当該各回路基板で測定された前記対電極間静電容量の前記導体パターン毎の平均値を算出して、当該算出値に基づいて前記基準データを作成する請求項1または2記載の基準データ作成方法。
- 接触型のn個(nは2以上の整数)のプローブと、前記各プローブを独立して移動させる移動機構と、検査対象となる同種の回路基板が複数面付けされた多面付け基板における当該各回路基板に対して、前記移動機構を制御して当該回路基板に形成された複数の導体パターンの各々に前記n個のプローブのうちの対応するプローブを接触させ、かつ当該各導体パターンおよび基準電極間の各対電極間静電容量を測定すると共に当該測定した各対電極間静電容量を基準データと比較して当該各導体パターンについての良否を検査する検査処理を並行して実行する処理部とを備えた回路基板検査装置であって、
前記処理部は、前記n個のプローブを用いて前記複数の回路基板のうちのn個の回路基板に対して、前記対電極間静電容量を測定する測定処理を並行して実行し、かつ当該対電極間静電容量を測定した前記各導体パターンの良否を判別する良否判別処理を実行すると共に、当該良否判別処理において当該導体パターンのすべてが良であると判別された前記回路基板が存在しているときに当該回路基板で測定された前記対電極間静電容量に基づいて前記基準データを作成して設定する基準データ設定処理とを実行する回路基板検査装置。 - 前記処理部は、前記良否判別処理において、前記n個の回路基板のうちの複数の回路基板に対して、前記プローブを2個ずつ使用して前記導体パターンの断線短絡検査を並行して実行することにより、当該各導体パターンの良否を判別する請求項4記載の回路基板検査装置。
- 前記処理部は、前記基準データ設定処理において、前記導体パターンのすべてが良であると判別された前記回路基板が複数存在しているときには、当該各回路基板で測定された前記対電極間静電容量の前記導体パターン毎の平均値を算出して、当該算出値に基づいて前記基準データを作成する請求項4または5記載の回路基板検査装置。
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