JP5307085B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
2b 基準電極
3a,3b 移動機構
4,5 検査用プローブ
6 測定部
7 切替部
8 制御部
21〜24 導体パターン
C1〜C4,C11〜13 静電容量
P 回路基板
Claims (4)
- 検査対象の回路基板に形成された導体パターンに接触可能な接触型プローブを少なくとも一対備え、当該一対の接触型プローブを相互に絶縁されている一対の前記導体パターンに接触させて当該各導体パターンおよび基準電極間の静電容量をそれぞれ測定し、その測定した各静電容量に基づいて当該各導体パターンの良否を検査可能に構成された回路基板検査装置において、
前記各導体パターンにそれぞれ接触させた状態の前記一対の接触型プローブ間に検査用交流信号を供給すると共にその状態において当該一対の接触型プローブ間に流れる電流の電流値、当該供給した検査用交流信号の電圧値、並びに当該検査用交流信号の電圧位相および電流位相間の位相差の少なくとも1つに基づいて特定される測定パラメータを測定する測定部と、その測定パラメータおよび所定の基準値を比較してその比較結果に基づいて前記導体パターンに対する前記一対の接触型プローブの接触状態を判別する判別部とを備え、
前記判別部は、前記一対の導体パターンに接触させている前記一対の接触型プローブのうちの1つのプローブを除いた他の接触型プローブと前記基準電極とを同電位に維持させつつ当該1つの接触型プローブと当該基準電極との間に前記検査用交流信号を供給させて当該1つの接触型プローブと当該基準電極との間についての前記静電容量を前記測定部に測定させ、当該測定させた静電容量に基づいて当該各導体パターンの短絡および絶縁の有無を判別することを特徴とする回路基板検査装置。 - 前記測定部は、前記測定パラメータとして前記電流値を測定し、前記判別部は、前記測定した電流値と前記所定の基準値としての基準電流値とを比較して前記比較結果を得ることを特徴とする請求項1記載の回路基板検査装置。
- 前記測定部は、前記測定パラメータとして前記一対の接触型プローブ間の静電容量を測定し、前記判別部は、前記測定した静電容量と前記所定の基準値としての基準容量とを比較して前記比較結果を得ることを特徴とする請求項1記載の回路基板検査装置。
- 前記一対の接触型プローブを移動させる移動機構と、当該移動機構を駆動制御する制御部とを備え、当該制御部は、前記判別部によって前記一対の接触型プローブが非接触状態と判別されたときに前記移動機構を駆動制御することにより前記一対の接触型プローブに対して再プロービングを行うことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査装置。
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