JP6647811B2 - 電気的接続装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
以下では、本発明に係る電気的接続装置及び検査方法の主たる実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
(A−1)実施形態の構成
次に、本実施形態に係る電気的接続装置100における端子へのプローブの電気的接触の判断処理の動作を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図5は、図4に例示する被検査体10の表面に形成された複数の端子のうち、配線パターン間の絶縁抵抗の測定に関連する全てのペアを示す。また、図5は、プローブを接触させるペアの順番を示す。つまり、本実施形態では上の端子ペアから順番にプローブを接触させる。
図5に示すように、記憶部2に記憶される端子のペアは、(A,B)、(C,D)、(C,E)、(G,F)、(G,L)、(I,H)、(I,J)、(H,J)、及び(H,K)等のように、2個の端子の識別情報を対応付けた情報である。なお、本実施形態では、括弧内の左側の要素は、プローブ8−1が接触する端子を示している。また、括弧内の右側の要素は、プローブ8−2が接触する端子を示している。
以上のように、本実施形態によれば、プローブ8−1が端子12−1に、及びプローブ8−2が端子12−2に電気的に接触しているか否かを(つまり、プローブのコンタクト状態)、配線パターン間の絶縁抵抗を測定する前に判断することができる。
(B−1)上述した実施形態では、2個の端子を介して配線パターン間の電気容量を測定することで、2個の端子のそれぞれへのプローブの電気的な接触を判断する場合を例示した。つまり、端子間の電気容量を測定する場合を例示した。しかし、電気容量計3は、グランド接続していることを鑑みると、グランド接続(図示せず)と、1個のプローブが接続する1個の端子との間の電気容量を測定することも可能である。この場合でも、制御部1は、配線パターンとグランドとの間の電気容量と、閾値との比較結果に基づいて、当該プローブの端子への電気的な接触状態を判断することができる。
Claims (4)
- 被検査体に形成された複数の配線パターンのそれぞれに電気的に接続されており、前記被検査体の表面に形成されている端子の位置に、電気接触子を移動させていき、1個の前記端子に対して1個の前記電気接触子を配設する接触子駆動部と、
前記電気接触子を配設させた前記端子と、当該電気接触子との間の電気的な接続状態を切り替える切替部と、
前記配線パターン間の電気容量を測定する電気容量測定部と、
前記配線パターン間の絶縁抵抗を測定する前に、前記電気容量測定部による測定結果に応じて、前記端子と前記電気接触子との電気的な接触状態を判断する制御部と、
前記複数の配線パターンの全ての前記端子について、前記配線パターン間の絶縁抵抗の測定に関連させて2個の前記端子同士を1組のペアとして、全てのペアの順番を示すペア情報を記憶する記憶部と、
を備え、
前記接触子駆動部が、前記ペア情報に基づいて、ペア毎に順次、一方の前記端子に一方の前記電気接触子を配設させ、他方の前記端子に他方の前記電気接触子を配設させ、
前記電気容量測定部が、前記一方の電気接触子及び前記他方の電気接触子に電気信号を印加して、ペアとする前記配線パターン間の前記電気容量を測定し、
前記制御部が、各ペアの前記配線パターン間の前記電気容量と、前記配線パターンの特徴に応じた各ペアの閾値とを比較して、前記端子と前記電気接触子との電気的な接触状態を判断する
ことを特徴とする電気的接続装置。 - 前記制御部は、各ペアの前記配線パターン間の前記電気容量が前記閾値より大きいとき、当該ペアに係る前記端子と前記電気接触子とが電気的に接触していると判断し、各ペアの前記配線パターン間の前記電気容量が前記閾値以下のとき、当該ペアに係る前記端子と前記電気接触子とが電気的に接触していないと判断することを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記制御部は、各ペアの前記配線パターン間の前記電気容量が前記閾値以下のとき、当該ペアに係る前記各配線パターンをリペア対象として前記記憶部に記憶することを特徴とする請求項2に記載の電気的接続装置。
- 被検査体の表面に形成された端子と、電気接触子との間の電気的な接触状態を検査する検査方法において、
前記被検査体に形成されている複数の配線パターンの全ての前記端子について、前記配線パターン間の絶縁抵抗の測定に関連させて2個の前記端子同士を1組のペアとして、全てのペアの順番を示すペア情報を記憶する記憶部を有し、
接触子駆動部が、前記ペア情報に基づいて、ペアとする一方の前記端子に一方の前記電気接触子を配設させ、他方の前記端子に他方の前記電気接触子を配設させ、
電気容量測定部が、前記一方の電気接触子及び前記他方の電気接触子に電気信号を印加して、ペアとする前記配線パターン間の前記電気容量を測定し、
制御部が、各ペアの前記配線パターン間の前記電気容量と、前記配線パターンの特徴に応じた各ペアの閾値とを比較して、前記端子と前記電気接触子との電気的な接触状態を判断する
ことを特徴とする検査方法。
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