JP2004286605A - インピーダンス測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】コンタクトプローブを測定対象体に確実に接触した状態でインピーダンス測定を行わせる。
【解決手段】導体パターンＢの両端部に接触させたコンタクトプローブ２，３間に測定用電流を供給した状態において、導体パターンＢの両端部に接触させたコンタクトプローブ４，５を介して両端部間の電圧を測定すると共にその電圧値と測定用電流の電流値とに基づいて導体パターンＢのインピーダンスを測定する測定部９とを備え、測定部９は、コンタクトプローブ２，４間の静電容量、およびコンタクトプローブ３，５間の静電容量を測定し、測定部９によって測定された各静電容量と予め設定された基準静電容量とを比較することによってコンタクトプローブ２〜５の導体パターンＢに対する接触状態を判別する制御部１０を備えた。
【選択図】 図１
【解決手段】導体パターンＢの両端部に接触させたコンタクトプローブ２，３間に測定用電流を供給した状態において、導体パターンＢの両端部に接触させたコンタクトプローブ４，５を介して両端部間の電圧を測定すると共にその電圧値と測定用電流の電流値とに基づいて導体パターンＢのインピーダンスを測定する測定部９とを備え、測定部９は、コンタクトプローブ２，４間の静電容量、およびコンタクトプローブ３，５間の静電容量を測定し、測定部９によって測定された各静電容量と予め設定された基準静電容量とを比較することによってコンタクトプローブ２〜５の導体パターンＢに対する接触状態を判別する制御部１０を備えた。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、四端子法によって測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のインピーダンス測定装置として、例えば特開２０００−２１４１８１号公報に開示された回路基板検査装置に適用されているものが知られている。この場合、回路基板検査装置では、検査対象である回路基板（Ｐ）に形成された測定対象体としての導体パターン（Ｘ）にコンタクトプローブ（３ａ，３ｂ）を介して検査用電流を導通させると共に、コンタクトプローブ（３ｃ，３ｄ）間の電圧を測定することにより、導体パターン（Ｘ）の両端部間の電圧を測定する。次いで、検査用電流の電流値と、測定した電圧値とに基づいて導体パターン（Ｘ）の抵抗値を演算する。同様にして、回路基板（Ｐ）に形成された他の導体パターンについても両端部間の抵抗値を演算し、演算したすべての抵抗値が所定の抵抗値未満のときに、回路基板（Ｐ）を良品回路基板と判別している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２１４１８１号公報（第４頁、第５図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このインピーダンス測定装置には、以下の解決すべき課題が存在する。すなわち、測定対象体のインピーダンスを四端子法によって測定するインピーダンス測定装置では、４本のコンタクトプローブの全てを測定対象体に確実に接触させる必要があり、一本でも接触状態が不良のときには、正確なインピーダンス測定を行うことができない。この点について、このインピーダンス測定装置では、４本のコンタクトプローブの全てが測定対象体に接触しているか否かを判別していないために、インピーダンス測定を正常に行えないおそれがあり、これを改善するのが好ましい。
【０００５】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、コンタクトプローブを測定対象体に確実に接触した状態でインピーダンス測定を行い得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、一対の電流供給用コンタクトプローブと、一対の電圧検出用コンタクトプローブと、測定対象体の両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブ間に測定用電流を供給した状態において、前記測定対象体の前記両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブを介して当該両端部間の電圧を四端子法によって測定すると共に当該測定した電圧の電圧値と前記測定用電流の電流値とに基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備えたインピーダンス測定装置であって、前記測定部は、前記測定対象体の一方の端部に接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と当該一方の端部に接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間の静電容量、および当該測定対象体の他方の端部に接触させた当該一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と当該他方の端部に接触させた当該一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間の静電容量を測定し、前記測定部によって測定された前記各静電容量と予め設定された基準静電容量とを比較することによって前記一対の電流供給用コンタクトプローブおよび前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの前記測定対象体に対する接触状態を判別する制御部を備えている。
【０００７】
請求項２記載のインピーダンス測定装置は、一対の電流供給用コンタクトプローブと、一対の電圧検出用コンタクトプローブと、測定対象体の両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブ間に測定用電流を供給した状態において、前記測定対象体の前記両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブを介して当該両端部間の電圧を四端子法によって測定すると共に当該測定した電圧の電圧値と前記測定用電流の電流値とに基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備えたインピーダンス測定装置であって、前記測定部は、前記測定対象体の一方の端部に接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と当該一方の端部に接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間に交流電流を供給した状態における当該両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と当該交流電流との位相差、および当該測定対象体の他方の端部に接触させた当該一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と当該他方の端部に接触させた当該一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間に交流電流を供給した状態における当該両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と当該交流電流との位相差を測定し、前記測定部によって測定された前記各位相差と予め設定された基準位相差とを比較することによって前記一対の電流供給用コンタクトプローブおよび前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの前記測定対象体に対する接触状態を判別する制御部を備えている。
【０００８】
請求項３記載のインピーダンス測定装置は、請求項１または２記載のインピーダンス測定装置において、前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との組、および前記一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との組をそれぞれ移動させる移動機構を備え、前記制御部は、前記移動機構を制御することにより、前記接触状態を不良と判別した前記電流供給用コンタクトプローブと前記電圧検出用コンタクトプローブとの前記組を前記測定対象体に対して再プロービングさせる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るインピーダンス測定装置の好適な発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
最初に、本発明におけるインピーダンス測定装置１の構成について、図１を参照して説明する。
【００１１】
インピーダンス測定装置１は、図１に示すように、コンタクトプローブ（一対の電流供給用コンタクトプローブ）２，３、コンタクトプローブ（一対の電圧検出用コンタクトプローブ）４，５、一対のアーム６，７、移動機構８、測定部９、制御部１０および表示部１１を備え、一例として、基板Ａの表面に形成されている導体パターン（測定対象体）Ｂのインピーダンスを測定可能に構成されている。
【００１２】
各コンタクトプローブ２，４は、図１に示すように、プローブピン２ａ，４ａが取り付けられたそれぞれの一端部側（同図中の下端側）がアーム６に取り付けられると共に、他端側（同図中の上端側）が測定部９に接続されている。一方、各コンタクトプローブ３，５は、同図に示すように、プローブピン３ａ，５ａが取り付けられたそれぞれの一端部側（同図中の下端側）がアーム７に取り付けられると共に、他端側（同図中の上端側）が測定部９に接続されている。各アーム６，７は、基板Ａの上方においてＺ方向（上下方向）およびＸ−Ｙ方向（左右方向）に移動可能に構成されている。移動機構８は、入力した制御信号Ｓ１に応じて各アーム６，７を移動させることにより、プローブピン２ａ，４ａの組およびプローブピン３ａ，５ａの組を導体パターンＢ上の任意の位置に接触させる。
【００１３】
測定部９は、一例として、四端子測定回路９ａと容量測定回路９ｂとを備えて構成されている。この場合、四端子測定回路９ａは、電流供給回路、電圧検出回路および演算回路（いずれも図示せず）を備え、制御信号Ｓ２を入力したときに導体パターンＢのインピーダンスを測定すると共に測定したインピーダンスの値を示すデータＤｚを出力する。具体的には、電流供給回路は、各プローブピン２ａ，３ａが接触している導体パターンＢの両端部間にコンタクトプローブ２，３を介して測定用電流を供給する。電圧検出回路は、各プローブピン４ａ，５ａが接触している導体パターンＢの両端部間の電圧をコンタクトプローブ４，５を介して入力して四端子法によって検出（測定）する。演算回路は、電流供給回路によって供給される測定用電流の電流値と電圧検出回路によって検出された電圧の電圧値とに基づいて、導体パターンＢのインピーダンスを算出してその値を示すデータＤｚを出力する。
【００１４】
一方、容量測定回路９ｂは、制御信号Ｓ３を入力したときに、コンタクトプローブ２，４間の静電容量Ｃｐ１と、コンタクトプローブ３，５間の静電容量Ｃｐ２とを測定して、測定した各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２の値をそれぞれ示す容量データＤｃ１，Ｄｃ２を出力する。具体的には、容量測定回路９ｂは、コンタクトプローブ２，４間に測定用の交流電流を供給しつつ両コンタクトプローブ２，４間の電圧を測定することにより、供給した電流と測定した電圧との位相差に基づいてコンタクトプローブ２，４の間の静電容量Ｃｐ１を測定する。また、容量測定回路９ｂは、同様にして、コンタクトプローブ３，５間の静電容量Ｃｐ２を測定する。
【００１５】
制御部１０は、例えばＣＰＵおよびメモリによって構成されて、インピーダンス測定装置１の他の構成要素を統括制御する。具体的には、制御部１０は、制御信号Ｓ１を生成して出力することにより、移動機構８を制御して各アーム６，７を所望の位置に移動させる。また、制御部１０は、入力したデータＤｚを表示部１１に表示させる。さらに、制御部１０は、入力した各容量データＤｃ１，Ｄｃ２とメモリに予め記憶されている基準静電容量Ｃｒの値（基準容量データＤｃｒ）とをそれぞれ比較することにより、コンタクトプローブ２，４の組についての導体パターンＢに対する接触状態、およびコンタクトプローブ３，５の組についての導体パターンＢに対する接触状態をそれぞれ判別する。
【００１６】
次に、インピーダンス測定装置１の動作について、一例として、基板Ａの表面に形成されている導体パターン（測定対象体）Ｂのインピーダンスを測定する際の動作について説明する。
【００１７】
まず、インピーダンス測定装置１では、制御部１０が、制御信号Ｓ１を出力して移動機構８を制御することにより、アーム６を導体パターンＢの一方の端部側に移動させてコンタクトプローブ２，４をその端部にそれぞれ接触させると共に、アーム７を導体パターンＢの他方の端部側に移動させてコンタクトプローブ３，５をその端部にそれぞれ接触させる（ステップ２０）。
【００１８】
次いで、制御部１０は、各コンタクトプローブ２，４の組および各コンタクトプローブ３，５の組の導体パターンＢに対する接触状態を判別する処理を実行する。具体的には、制御部１０は、まず、制御信号Ｓ３を出力することにより、容量測定回路９ｂに対して各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２を測定させる（ステップ２１）。続いて、制御部１０は、容量測定回路９ｂによって出力された各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２の値を示す容量データＤｃ１，Ｄｃ２を入力し、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２と基準静電容量Ｃｒと比較して（ステップ２２）、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２が基準静電容量Ｃｒをそれぞれ超えているか否かを判別する（ステップ２３）。
【００１９】
この場合、各コンタクトプローブ２，３，４，５と導体パターンＢとの間の静電容量をそれぞれＣ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５とすると、静電容量Ｃｐ１および静電容量Ｃｐ２は、下記式（１），（２）でそれぞれ表される。したがって、各コンタクトプローブ２，４および各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢにそれぞれ正常に接触しているときには、各静電容量Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が全て無限大となるため、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２の値も無限大となる。したがって、この状態では、静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２が基準静電容量Ｃｒよりも大きな値となる。言い換えれば、各コンタクトプローブ２，４の組の少なくとも一方が導体パターンＢに接触していないときには、静電容量Ｃ２，Ｃ４の少なくとも一方が有限値となるため、静電容量Ｃｐ１の値も基準静電容量Ｃｒ以下の有限値となる。同様にして、各コンタクトプローブ３，５の組に関しても、各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢにそれぞれ正常に接触しているときには、静電容量Ｃｐ２が基準静電容量Ｃｒよりも大きな値となり、各コンタクトプローブ３，５の組の少なくとも一方が導体パターンＢに接触していないときには、静電容量Ｃｐ２の値が基準静電容量Ｃｒ以下の有限値となる。
静電容量Ｃｐ１＝１／（１／Ｃ２＋１／Ｃ４） ・・・・・・・・式（１）
静電容量Ｃｐ２＝１／（１／Ｃ３＋１／Ｃ５） ・・・・・・・・式（２）
【００２０】
したがって、制御部１０は、各静電容量Ｃｐ１，ＣＰ２と基準静電容量Ｃｒとを比較し、その際に、静電容量Ｃｐ１，ＣＰ２のいずれかが基準静電容量Ｃｒ以下と判別したときには、基準静電容量Ｃｒ以下となった静電容量が測定された一対のコンタクトプローブの組の内の少なくとも一方が導体パターンＢに正常に接触していないと判別して、その旨（接触不良）を表示部１１に表示させる（ステップ２４）。具体的には、静電容量Ｃｐ１が基準静電容量Ｃｒ以下のときには、コンタクトプローブ２，４の組の内の少なくとも一方が導体パターンＢに正常に接触していないと判別してその旨を表示させる。一方、静電容量ＣＰ２が基準静電容量Ｃｒ以下のときには、コンタクトプローブ３，５の組の内の少なくとも一方が導体パターンＢに正常に接触していないと判別してその旨を表示させる。
【００２１】
次いで、制御部１０は、制御信号Ｓ１を出力して移動機構８を制御することにより、正常に接触していないと判別したコンタクトプローブの組に対応するアーム（６または７）を導体パターンＢに対して接離動（上下動）させて同じ位置にプローピングを再度実行する（ステップ２５）。この場合、各プローブピンと導体パターンＢとの接触状態を再プロービングによって変えることができる結果、各プローブピンと導体パターンＢとを良好な状態で接触させることができる。制御部１０は、上記のステップ２１〜２５について、ステップ２３において各コンタクトプローブ２，４および各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢに正常に接触していると判別するまで繰り返し実行する。
【００２２】
一方、制御部１０は、各コンタクトプローブ２，４および各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢに正常に接触しているとステップ２３において判別したときには、四端子法によるインピーダンス測定処理を実行する（ステップ２６）。具体的には、制御部１０は、制御信号Ｓ２を出力することにより、四端子測定回路９ａを制御して、導体パターンＢの両端部間のインピーダンスを測定させる。次いで、制御部１０は、四端子測定回路９ａによって測定されたインピーダンスの値を示すデータＤｚを入力して表示部１１に表示させ（ステップ２７）、これにより、導体パターンＢに対するインピーダンス測定処理を完了する。
【００２３】
このように、このインピーダンス測定装置１によれば、四端子法による導体パターンＢのインピーダンス測定に先立って全てのコンタクトプローブ２〜５についての接触状態（接触が正常が否か）を静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２および基準静電容量Ｃｒに基づいて判定し、全てのコンタクトプローブ２〜５が確実に接触した状態のときにのみ導体パターンＢについてのインピーダンス測定を行うことにより、導体パターンＢのインピーダンスを常に正確に測定することができる。また、コンタクトプローブ２〜５についての接触状態の判別結果が不良となった場合、制御部１０が移動機構８を制御して再プロービングを自動的に実行することにより、導体パターンＢに対するコンタクトプローブの接触状態を自動的に改善させることができる結果、導体パターンＢに対する正確なインピーダンス測定をより確実に実行することができる。
【００２４】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、ステップ２５において、各コンタクトプローブを同じ部位に再プローピングする構成を採用した例について説明したが、これに代えて、同一パターン上において近接する他の部位に再プロービングさせる構成を採用することもできる。この構成によれば、先に接触させた部位の表面に酸化膜等の絶縁膜が形成されている等、同じ位置に対する再プロービングによっては良好な接触状態に移行させることが困難なときであっても、絶縁膜が形成されていない他の部位に各コンタクトプローブを接触させることができるため、インピーダンスが正確に測定される確率を向上させることができる。また、上記した実施の形態では、制御部１０が移動機構８を制御して再プロービングを自動的に行う構成例について説明したが、表示部１１に接触不良が表示された際に、オペレータが手動でアーム６，７を動かして再プロービングを実行する構成を採用することもできる。また、基板Ａに形成された導体パターンＢを測定対象体とする例について説明したが、これに限定されるものではなく、例えば基板Ａに実装された抵抗、コンデンサ等の電子部品を測定対象体とすることができるのは勿論である。
【００２５】
また、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、制御部１０が測定部９の容量測定部９ｂによって測定されたコンタクトプローブ２，４間およびコンタクトプローブ３，５間の各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２と基準静電容量Ｃｒとを比較してコンタクトプローブ２〜５の測定対象体に対する接触状態を判別する構成を採用した例について説明したが、これに限られない。例えば、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２を測定する過程において容量測定回路９ｂによって算出（検出）される位相差（コンタクトプローブ２，４間に供給する測定用の交流電流とコンタクトプローブ２，４間に発生する交流電圧との間の位相差、およびコンタクトプローブ３，５間に供給する測定用の交流電流とコンタクトプローブ３，５間に発生する交流電圧との間の位相差）に基づいて、制御部１０がコンタクトプローブ２〜５の測定対象体に対する接触状態を判別する構成を採用することもできる。
【００２６】
具体的には、コンタクトプローブ２，４の各々の一端側に取り付けられた各プローブピン２ａ，４ａが共に導体パターンＢに接触している場合、コンタクトプローブ２、プローブピン２ａ、導体パターンＢ、プローブピン４ａおよびコンタクトプローブ４の測定用の交流電流に対する電流ループには、等価的にコンデンサが直列接続されていない構成となる。このため、測定用の交流電流とコンタクトプローブ２，４間の交流電圧との間の位相差は、原理的には０度となる。一方、各プローブピン２ａ，４ａの少なくとも一方が導体パターンＢに接触していない場合、コンタクトプローブ２、プローブピン２ａ、導体パターンＢ、プローブピン４ａおよびコンタクトプローブ４の測定用の交流電流に対する電流ループには、等価的に静電容量Ｃ２，Ｃ４の少なくとも一方が直列接続された構成となる。このため、測定用の交流電流とコンタクトプローブ２，４間の交流電圧との間の位相差は、原理的には９０度（電流が電圧に対して９０度進む位相差）となる。したがって、制御部１０は、０度以上９０度未満の範囲内で予め設定した基準位相差（例えば２０度）と測定部９の容量測定部９ｂによって算出された各位相差とを比較することにより、算出された位相差が基準位相差以下のときには、コンタクトプローブ２，４の双方が導体パターンＢに良好な状態で接触していると判別する。一方、制御部１０は、算出された位相差が基準位相差よりも大きいときには、コンタクトプローブ２，４の少なくとも一方と導体パターンＢとの間に接触不良が生じていると判別する。また、制御部１０は、コンタクトプローブ３，５に対しても、コンタクトプローブ２，４と同様にして、導体パターンＢに対する接触の良否を判別する。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のインピーダンス測定装置によれば、測定対象体の一方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と一方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間の静電容量、および測定対象体の他方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と他方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間の静電容量を測定部が測定し、測定した各静電容量と基準静電容量とを制御部が比較して一対の電流供給用コンタクトプローブおよび一対の電圧検出用コンタクトプローブの測定対象体に対する接触状態を判別することにより、全てのコンタクトプローブが確実に測定対象体に接触した状態のときにのみインピーダンス測定を行うことができる。したがって、測定対象体のインピーダンスを常に正確に測定することができる。
【００２８】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置によれば、測定対象体の一方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と一方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間に交流電流を供給した状態における両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と交流電流との位相差、および測定対象体の他方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と他方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間に交流電流を供給した状態における両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と交流電流との位相差を測定し、測定した各位相差と基準位相差とを制御部が比較して一対の電流供給用コンタクトプローブおよび一対の電圧検出用コンタクトプローブの測定対象体に対する接触状態を判別することにより、全てのコンタクトプローブが確実に測定対象体に接触した状態のときにのみインピーダンス測定を行うことができる。したがって、測定対象体のインピーダンスを常に正確に測定することができる。
【００２９】
また、請求項３記載のインピーダンス測定装置によれば、一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との組、および一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との組をそれぞれ移動させる移動機構を備え、制御部が移動機構を制御して接触状態を不良と判別した電流供給用コンタクトプローブと電圧検出用コンタクトプローブとの組を測定対象体に対して再プロービングさせることにより、接触状態の判別結果が不良となったコンタクトプローブの測定対象体に対する接触状態を自動的に改善させることができる。したがって、測定対象体に対する正確なインピーダンス測定をより確実に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るインピーダンス測定装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】インピーダンス測定装置１によるインピーダンス測定処理を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１ インピーダンス測定装置
２，３ コンタクトプローブ（電流供給用コンタクトプローブ）
４，５ コンタクトプローブ（電圧検出用コンタクトプローブ）
８ 移動機構
９ 測定部
９ａ 四端子測定回路
９ｂ 容量測定回路
１０ 制御部
Ｂ 導体パターン（測定対象体）
Ｃｐ１，Ｃｐ２ 静電容量
Ｃｒ 基準静電容量
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、四端子法によって測定対象体のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のインピーダンス測定装置として、例えば特開２０００−２１４１８１号公報に開示された回路基板検査装置に適用されているものが知られている。この場合、回路基板検査装置では、検査対象である回路基板（Ｐ）に形成された測定対象体としての導体パターン（Ｘ）にコンタクトプローブ（３ａ，３ｂ）を介して検査用電流を導通させると共に、コンタクトプローブ（３ｃ，３ｄ）間の電圧を測定することにより、導体パターン（Ｘ）の両端部間の電圧を測定する。次いで、検査用電流の電流値と、測定した電圧値とに基づいて導体パターン（Ｘ）の抵抗値を演算する。同様にして、回路基板（Ｐ）に形成された他の導体パターンについても両端部間の抵抗値を演算し、演算したすべての抵抗値が所定の抵抗値未満のときに、回路基板（Ｐ）を良品回路基板と判別している。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２１４１８１号公報（第４頁、第５図）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このインピーダンス測定装置には、以下の解決すべき課題が存在する。すなわち、測定対象体のインピーダンスを四端子法によって測定するインピーダンス測定装置では、４本のコンタクトプローブの全てを測定対象体に確実に接触させる必要があり、一本でも接触状態が不良のときには、正確なインピーダンス測定を行うことができない。この点について、このインピーダンス測定装置では、４本のコンタクトプローブの全てが測定対象体に接触しているか否かを判別していないために、インピーダンス測定を正常に行えないおそれがあり、これを改善するのが好ましい。
【０００５】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、コンタクトプローブを測定対象体に確実に接触した状態でインピーダンス測定を行い得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、一対の電流供給用コンタクトプローブと、一対の電圧検出用コンタクトプローブと、測定対象体の両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブ間に測定用電流を供給した状態において、前記測定対象体の前記両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブを介して当該両端部間の電圧を四端子法によって測定すると共に当該測定した電圧の電圧値と前記測定用電流の電流値とに基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備えたインピーダンス測定装置であって、前記測定部は、前記測定対象体の一方の端部に接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と当該一方の端部に接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間の静電容量、および当該測定対象体の他方の端部に接触させた当該一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と当該他方の端部に接触させた当該一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間の静電容量を測定し、前記測定部によって測定された前記各静電容量と予め設定された基準静電容量とを比較することによって前記一対の電流供給用コンタクトプローブおよび前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの前記測定対象体に対する接触状態を判別する制御部を備えている。
【０００７】
請求項２記載のインピーダンス測定装置は、一対の電流供給用コンタクトプローブと、一対の電圧検出用コンタクトプローブと、測定対象体の両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブ間に測定用電流を供給した状態において、前記測定対象体の前記両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブを介して当該両端部間の電圧を四端子法によって測定すると共に当該測定した電圧の電圧値と前記測定用電流の電流値とに基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備えたインピーダンス測定装置であって、前記測定部は、前記測定対象体の一方の端部に接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と当該一方の端部に接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間に交流電流を供給した状態における当該両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と当該交流電流との位相差、および当該測定対象体の他方の端部に接触させた当該一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と当該他方の端部に接触させた当該一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間に交流電流を供給した状態における当該両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と当該交流電流との位相差を測定し、前記測定部によって測定された前記各位相差と予め設定された基準位相差とを比較することによって前記一対の電流供給用コンタクトプローブおよび前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの前記測定対象体に対する接触状態を判別する制御部を備えている。
【０００８】
請求項３記載のインピーダンス測定装置は、請求項１または２記載のインピーダンス測定装置において、前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との組、および前記一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との組をそれぞれ移動させる移動機構を備え、前記制御部は、前記移動機構を制御することにより、前記接触状態を不良と判別した前記電流供給用コンタクトプローブと前記電圧検出用コンタクトプローブとの前記組を前記測定対象体に対して再プロービングさせる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るインピーダンス測定装置の好適な発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
最初に、本発明におけるインピーダンス測定装置１の構成について、図１を参照して説明する。
【００１１】
インピーダンス測定装置１は、図１に示すように、コンタクトプローブ（一対の電流供給用コンタクトプローブ）２，３、コンタクトプローブ（一対の電圧検出用コンタクトプローブ）４，５、一対のアーム６，７、移動機構８、測定部９、制御部１０および表示部１１を備え、一例として、基板Ａの表面に形成されている導体パターン（測定対象体）Ｂのインピーダンスを測定可能に構成されている。
【００１２】
各コンタクトプローブ２，４は、図１に示すように、プローブピン２ａ，４ａが取り付けられたそれぞれの一端部側（同図中の下端側）がアーム６に取り付けられると共に、他端側（同図中の上端側）が測定部９に接続されている。一方、各コンタクトプローブ３，５は、同図に示すように、プローブピン３ａ，５ａが取り付けられたそれぞれの一端部側（同図中の下端側）がアーム７に取り付けられると共に、他端側（同図中の上端側）が測定部９に接続されている。各アーム６，７は、基板Ａの上方においてＺ方向（上下方向）およびＸ−Ｙ方向（左右方向）に移動可能に構成されている。移動機構８は、入力した制御信号Ｓ１に応じて各アーム６，７を移動させることにより、プローブピン２ａ，４ａの組およびプローブピン３ａ，５ａの組を導体パターンＢ上の任意の位置に接触させる。
【００１３】
測定部９は、一例として、四端子測定回路９ａと容量測定回路９ｂとを備えて構成されている。この場合、四端子測定回路９ａは、電流供給回路、電圧検出回路および演算回路（いずれも図示せず）を備え、制御信号Ｓ２を入力したときに導体パターンＢのインピーダンスを測定すると共に測定したインピーダンスの値を示すデータＤｚを出力する。具体的には、電流供給回路は、各プローブピン２ａ，３ａが接触している導体パターンＢの両端部間にコンタクトプローブ２，３を介して測定用電流を供給する。電圧検出回路は、各プローブピン４ａ，５ａが接触している導体パターンＢの両端部間の電圧をコンタクトプローブ４，５を介して入力して四端子法によって検出（測定）する。演算回路は、電流供給回路によって供給される測定用電流の電流値と電圧検出回路によって検出された電圧の電圧値とに基づいて、導体パターンＢのインピーダンスを算出してその値を示すデータＤｚを出力する。
【００１４】
一方、容量測定回路９ｂは、制御信号Ｓ３を入力したときに、コンタクトプローブ２，４間の静電容量Ｃｐ１と、コンタクトプローブ３，５間の静電容量Ｃｐ２とを測定して、測定した各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２の値をそれぞれ示す容量データＤｃ１，Ｄｃ２を出力する。具体的には、容量測定回路９ｂは、コンタクトプローブ２，４間に測定用の交流電流を供給しつつ両コンタクトプローブ２，４間の電圧を測定することにより、供給した電流と測定した電圧との位相差に基づいてコンタクトプローブ２，４の間の静電容量Ｃｐ１を測定する。また、容量測定回路９ｂは、同様にして、コンタクトプローブ３，５間の静電容量Ｃｐ２を測定する。
【００１５】
制御部１０は、例えばＣＰＵおよびメモリによって構成されて、インピーダンス測定装置１の他の構成要素を統括制御する。具体的には、制御部１０は、制御信号Ｓ１を生成して出力することにより、移動機構８を制御して各アーム６，７を所望の位置に移動させる。また、制御部１０は、入力したデータＤｚを表示部１１に表示させる。さらに、制御部１０は、入力した各容量データＤｃ１，Ｄｃ２とメモリに予め記憶されている基準静電容量Ｃｒの値（基準容量データＤｃｒ）とをそれぞれ比較することにより、コンタクトプローブ２，４の組についての導体パターンＢに対する接触状態、およびコンタクトプローブ３，５の組についての導体パターンＢに対する接触状態をそれぞれ判別する。
【００１６】
次に、インピーダンス測定装置１の動作について、一例として、基板Ａの表面に形成されている導体パターン（測定対象体）Ｂのインピーダンスを測定する際の動作について説明する。
【００１７】
まず、インピーダンス測定装置１では、制御部１０が、制御信号Ｓ１を出力して移動機構８を制御することにより、アーム６を導体パターンＢの一方の端部側に移動させてコンタクトプローブ２，４をその端部にそれぞれ接触させると共に、アーム７を導体パターンＢの他方の端部側に移動させてコンタクトプローブ３，５をその端部にそれぞれ接触させる（ステップ２０）。
【００１８】
次いで、制御部１０は、各コンタクトプローブ２，４の組および各コンタクトプローブ３，５の組の導体パターンＢに対する接触状態を判別する処理を実行する。具体的には、制御部１０は、まず、制御信号Ｓ３を出力することにより、容量測定回路９ｂに対して各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２を測定させる（ステップ２１）。続いて、制御部１０は、容量測定回路９ｂによって出力された各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２の値を示す容量データＤｃ１，Ｄｃ２を入力し、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２と基準静電容量Ｃｒと比較して（ステップ２２）、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２が基準静電容量Ｃｒをそれぞれ超えているか否かを判別する（ステップ２３）。
【００１９】
この場合、各コンタクトプローブ２，３，４，５と導体パターンＢとの間の静電容量をそれぞれＣ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５とすると、静電容量Ｃｐ１および静電容量Ｃｐ２は、下記式（１），（２）でそれぞれ表される。したがって、各コンタクトプローブ２，４および各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢにそれぞれ正常に接触しているときには、各静電容量Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５が全て無限大となるため、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２の値も無限大となる。したがって、この状態では、静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２が基準静電容量Ｃｒよりも大きな値となる。言い換えれば、各コンタクトプローブ２，４の組の少なくとも一方が導体パターンＢに接触していないときには、静電容量Ｃ２，Ｃ４の少なくとも一方が有限値となるため、静電容量Ｃｐ１の値も基準静電容量Ｃｒ以下の有限値となる。同様にして、各コンタクトプローブ３，５の組に関しても、各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢにそれぞれ正常に接触しているときには、静電容量Ｃｐ２が基準静電容量Ｃｒよりも大きな値となり、各コンタクトプローブ３，５の組の少なくとも一方が導体パターンＢに接触していないときには、静電容量Ｃｐ２の値が基準静電容量Ｃｒ以下の有限値となる。
静電容量Ｃｐ１＝１／（１／Ｃ２＋１／Ｃ４） ・・・・・・・・式（１）
静電容量Ｃｐ２＝１／（１／Ｃ３＋１／Ｃ５） ・・・・・・・・式（２）
【００２０】
したがって、制御部１０は、各静電容量Ｃｐ１，ＣＰ２と基準静電容量Ｃｒとを比較し、その際に、静電容量Ｃｐ１，ＣＰ２のいずれかが基準静電容量Ｃｒ以下と判別したときには、基準静電容量Ｃｒ以下となった静電容量が測定された一対のコンタクトプローブの組の内の少なくとも一方が導体パターンＢに正常に接触していないと判別して、その旨（接触不良）を表示部１１に表示させる（ステップ２４）。具体的には、静電容量Ｃｐ１が基準静電容量Ｃｒ以下のときには、コンタクトプローブ２，４の組の内の少なくとも一方が導体パターンＢに正常に接触していないと判別してその旨を表示させる。一方、静電容量ＣＰ２が基準静電容量Ｃｒ以下のときには、コンタクトプローブ３，５の組の内の少なくとも一方が導体パターンＢに正常に接触していないと判別してその旨を表示させる。
【００２１】
次いで、制御部１０は、制御信号Ｓ１を出力して移動機構８を制御することにより、正常に接触していないと判別したコンタクトプローブの組に対応するアーム（６または７）を導体パターンＢに対して接離動（上下動）させて同じ位置にプローピングを再度実行する（ステップ２５）。この場合、各プローブピンと導体パターンＢとの接触状態を再プロービングによって変えることができる結果、各プローブピンと導体パターンＢとを良好な状態で接触させることができる。制御部１０は、上記のステップ２１〜２５について、ステップ２３において各コンタクトプローブ２，４および各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢに正常に接触していると判別するまで繰り返し実行する。
【００２２】
一方、制御部１０は、各コンタクトプローブ２，４および各コンタクトプローブ３，５が導体パターンＢに正常に接触しているとステップ２３において判別したときには、四端子法によるインピーダンス測定処理を実行する（ステップ２６）。具体的には、制御部１０は、制御信号Ｓ２を出力することにより、四端子測定回路９ａを制御して、導体パターンＢの両端部間のインピーダンスを測定させる。次いで、制御部１０は、四端子測定回路９ａによって測定されたインピーダンスの値を示すデータＤｚを入力して表示部１１に表示させ（ステップ２７）、これにより、導体パターンＢに対するインピーダンス測定処理を完了する。
【００２３】
このように、このインピーダンス測定装置１によれば、四端子法による導体パターンＢのインピーダンス測定に先立って全てのコンタクトプローブ２〜５についての接触状態（接触が正常が否か）を静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２および基準静電容量Ｃｒに基づいて判定し、全てのコンタクトプローブ２〜５が確実に接触した状態のときにのみ導体パターンＢについてのインピーダンス測定を行うことにより、導体パターンＢのインピーダンスを常に正確に測定することができる。また、コンタクトプローブ２〜５についての接触状態の判別結果が不良となった場合、制御部１０が移動機構８を制御して再プロービングを自動的に実行することにより、導体パターンＢに対するコンタクトプローブの接触状態を自動的に改善させることができる結果、導体パターンＢに対する正確なインピーダンス測定をより確実に実行することができる。
【００２４】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、ステップ２５において、各コンタクトプローブを同じ部位に再プローピングする構成を採用した例について説明したが、これに代えて、同一パターン上において近接する他の部位に再プロービングさせる構成を採用することもできる。この構成によれば、先に接触させた部位の表面に酸化膜等の絶縁膜が形成されている等、同じ位置に対する再プロービングによっては良好な接触状態に移行させることが困難なときであっても、絶縁膜が形成されていない他の部位に各コンタクトプローブを接触させることができるため、インピーダンスが正確に測定される確率を向上させることができる。また、上記した実施の形態では、制御部１０が移動機構８を制御して再プロービングを自動的に行う構成例について説明したが、表示部１１に接触不良が表示された際に、オペレータが手動でアーム６，７を動かして再プロービングを実行する構成を採用することもできる。また、基板Ａに形成された導体パターンＢを測定対象体とする例について説明したが、これに限定されるものではなく、例えば基板Ａに実装された抵抗、コンデンサ等の電子部品を測定対象体とすることができるのは勿論である。
【００２５】
また、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、制御部１０が測定部９の容量測定部９ｂによって測定されたコンタクトプローブ２，４間およびコンタクトプローブ３，５間の各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２と基準静電容量Ｃｒとを比較してコンタクトプローブ２〜５の測定対象体に対する接触状態を判別する構成を採用した例について説明したが、これに限られない。例えば、各静電容量Ｃｐ１，Ｃｐ２を測定する過程において容量測定回路９ｂによって算出（検出）される位相差（コンタクトプローブ２，４間に供給する測定用の交流電流とコンタクトプローブ２，４間に発生する交流電圧との間の位相差、およびコンタクトプローブ３，５間に供給する測定用の交流電流とコンタクトプローブ３，５間に発生する交流電圧との間の位相差）に基づいて、制御部１０がコンタクトプローブ２〜５の測定対象体に対する接触状態を判別する構成を採用することもできる。
【００２６】
具体的には、コンタクトプローブ２，４の各々の一端側に取り付けられた各プローブピン２ａ，４ａが共に導体パターンＢに接触している場合、コンタクトプローブ２、プローブピン２ａ、導体パターンＢ、プローブピン４ａおよびコンタクトプローブ４の測定用の交流電流に対する電流ループには、等価的にコンデンサが直列接続されていない構成となる。このため、測定用の交流電流とコンタクトプローブ２，４間の交流電圧との間の位相差は、原理的には０度となる。一方、各プローブピン２ａ，４ａの少なくとも一方が導体パターンＢに接触していない場合、コンタクトプローブ２、プローブピン２ａ、導体パターンＢ、プローブピン４ａおよびコンタクトプローブ４の測定用の交流電流に対する電流ループには、等価的に静電容量Ｃ２，Ｃ４の少なくとも一方が直列接続された構成となる。このため、測定用の交流電流とコンタクトプローブ２，４間の交流電圧との間の位相差は、原理的には９０度（電流が電圧に対して９０度進む位相差）となる。したがって、制御部１０は、０度以上９０度未満の範囲内で予め設定した基準位相差（例えば２０度）と測定部９の容量測定部９ｂによって算出された各位相差とを比較することにより、算出された位相差が基準位相差以下のときには、コンタクトプローブ２，４の双方が導体パターンＢに良好な状態で接触していると判別する。一方、制御部１０は、算出された位相差が基準位相差よりも大きいときには、コンタクトプローブ２，４の少なくとも一方と導体パターンＢとの間に接触不良が生じていると判別する。また、制御部１０は、コンタクトプローブ３，５に対しても、コンタクトプローブ２，４と同様にして、導体パターンＢに対する接触の良否を判別する。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のインピーダンス測定装置によれば、測定対象体の一方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と一方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間の静電容量、および測定対象体の他方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と他方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間の静電容量を測定部が測定し、測定した各静電容量と基準静電容量とを制御部が比較して一対の電流供給用コンタクトプローブおよび一対の電圧検出用コンタクトプローブの測定対象体に対する接触状態を判別することにより、全てのコンタクトプローブが確実に測定対象体に接触した状態のときにのみインピーダンス測定を行うことができる。したがって、測定対象体のインピーダンスを常に正確に測定することができる。
【００２８】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置によれば、測定対象体の一方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と一方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間に交流電流を供給した状態における両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と交流電流との位相差、および測定対象体の他方の端部に接触させた一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と他方の端部に接触させた一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間に交流電流を供給した状態における両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と交流電流との位相差を測定し、測定した各位相差と基準位相差とを制御部が比較して一対の電流供給用コンタクトプローブおよび一対の電圧検出用コンタクトプローブの測定対象体に対する接触状態を判別することにより、全てのコンタクトプローブが確実に測定対象体に接触した状態のときにのみインピーダンス測定を行うことができる。したがって、測定対象体のインピーダンスを常に正確に測定することができる。
【００２９】
また、請求項３記載のインピーダンス測定装置によれば、一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との組、および一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との組をそれぞれ移動させる移動機構を備え、制御部が移動機構を制御して接触状態を不良と判別した電流供給用コンタクトプローブと電圧検出用コンタクトプローブとの組を測定対象体に対して再プロービングさせることにより、接触状態の判別結果が不良となったコンタクトプローブの測定対象体に対する接触状態を自動的に改善させることができる。したがって、測定対象体に対する正確なインピーダンス測定をより確実に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るインピーダンス測定装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】インピーダンス測定装置１によるインピーダンス測定処理を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
１ インピーダンス測定装置
２，３ コンタクトプローブ（電流供給用コンタクトプローブ）
４，５ コンタクトプローブ（電圧検出用コンタクトプローブ）
８ 移動機構
９ 測定部
９ａ 四端子測定回路
９ｂ 容量測定回路
１０ 制御部
Ｂ 導体パターン（測定対象体）
Ｃｐ１，Ｃｐ２ 静電容量
Ｃｒ 基準静電容量
Claims (3)
- 一対の電流供給用コンタクトプローブと、一対の電圧検出用コンタクトプローブと、測定対象体の両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブ間に測定用電流を供給した状態において、前記測定対象体の前記両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブを介して当該両端部間の電圧を四端子法によって測定すると共に当該測定した電圧の電圧値と前記測定用電流の電流値とに基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備えたインピーダンス測定装置であって、
前記測定部は、前記測定対象体の一方の端部に接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と当該一方の端部に接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間の静電容量、および当該測定対象体の他方の端部に接触させた当該一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と当該他方の端部に接触させた当該一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間の静電容量を測定し、
前記測定部によって測定された前記各静電容量と予め設定された基準静電容量とを比較することによって前記一対の電流供給用コンタクトプローブおよび前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの前記測定対象体に対する接触状態を判別する制御部を備えているインピーダンス測定装置。 - 一対の電流供給用コンタクトプローブと、一対の電圧検出用コンタクトプローブと、測定対象体の両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブ間に測定用電流を供給した状態において、前記測定対象体の前記両端部にそれぞれ接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブを介して当該両端部間の電圧を四端子法によって測定すると共に当該測定した電圧の電圧値と前記測定用電流の電流値とに基づいて当該測定対象体のインピーダンスを測定する測定部とを備えたインピーダンス測定装置であって、
前記測定部は、前記測定対象体の一方の端部に接触させた前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と当該一方の端部に接触させた前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との間に交流電流を供給した状態における当該両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と当該交流電流との位相差、および当該測定対象体の他方の端部に接触させた当該一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と当該他方の端部に接触させた当該一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との間に交流電流を供給した状態における当該両コンタクトプローブ間に発生する交流電圧と当該交流電流との位相差を測定し、
前記測定部によって測定された前記各位相差と予め設定された基準位相差とを比較することによって前記一対の電流供給用コンタクトプローブおよび前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの前記測定対象体に対する接触状態を判別する制御部を備えているインピーダンス測定装置。 - 前記一対の電流供給用コンタクトプローブの一方と前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの一方との組、および前記一対の電流供給用コンタクトプローブの他方と前記一対の電圧検出用コンタクトプローブの他方との組をそれぞれ移動させる移動機構を備え、
前記制御部は、前記移動機構を制御することにより、前記接触状態を不良と判別した前記電流供給用コンタクトプローブと前記電圧検出用コンタクトプローブとの前記組を前記測定対象体に対して再プロービングさせる請求項１または２記載のインピーダンス測定装置。
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-
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