KR20070105850A - 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 - Google Patents

Abstract

과제

액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이용의 전극판에 이용되는 유리 기판과 같은 기판의 배선을 검사하는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법의 제공.

해결 수단

제 1 선형상부와 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서, 검사 대상의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 인가되는 신호를 검출하는 신호 검출 수단과, 제 1 배선 패턴의 제 1 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 1 전극부와, 제 2 배선 패턴의 제 2 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 2 전극부와, 제 1 전극부와 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하는 급전 수단과, 신호 검출 수단의 검출 신호로부터, 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 행하는 제 1 검파 수단과, 검출 신호로부터 기준 신호를 기초로 동기 검파를 행하는 제 2 검파 수단과, 제 1 검파 수단의 제 1 결과와 제 2 검파 수단의 제 2 결과로부터 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행하는 것을 특징으로 한다.

기판 검사 장치, 기판 검사 방법

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS AND SUBSTRATE INSPECTION METHOD}

도 1은 본 발명의 기판 검사 장치에서 검사 대상이 되는 피검사 기판의 개략 평면도.

도 2는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치와 기판과의 관계를 도시하는 개략 블록도.

도 3은 기판과 이 기판에 배치된 기판 검사 장치와 신호의 송수신을 도시하는 개략도.

도 4는 도 3에서 도시된 기판과 기판 검사 장치의 전기적인 위치 관계를 도시하는 개략도.

도 5는 위상량 산출 수단이 행하는 위상량을 산출한 공정을 도시하는 도면.

도 6은 제 1 검파 수단에 의해 산출된 3종류의 배선 패턴으로부터 산출된 신호의 파형을 도시하는 도면.

도 7은 제 2 검파 수단에 의해 산출된 3종류의 배선 패턴으로부터 산출된 신호의 파형을 도시하는 도면.

도 8은 제 1 결과와 제 2 결과를 벡터 표시한 한 실시예.

도 9는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치를 실시한 경우의 플 로우 차트.

도 10은 본 발명을 이용하여 복수로 병설되는 배선 패턴을 검사한 경우의 제 1 결과와 제 2 결과를 도시하는 그래프.

도 11은 본 발명을 이용하여 복수 병설되는 배선 패턴을 검사한 경우의 제 1 결과와 제 2 결과를 도시하는 그래프.

도 12는 플라즈마 디스플레이 패널의 구조의 개략을 도시하는 사시도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 : 기판 검사 장치

2 : 신호 검출 수단

31 : 제 1 검파 수단

32 : 제 2 검파 수단

4 : 급전 수단

51 : 제 1 전극부

52 : 제 2 전극부

6 : 판정 수단

61 : 제 1 판정 수단

62 : 제 2 판정 수단

기술 분야

본 발명은, 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 플라즈마 디스플레이의 전극판에 이용되는 유리 기판과 같은 기판의 배선을 검사하는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것이다.

배경 기술

종래, 프린트 배선 기판, 플라즈마 디스플레이 패널이나 액정 패널용의 유리 기판 등에 형성되는 배선 패턴의 미세화에 수반하여, 배선 패턴과 검사용 프로브를 물리적으로 이간한 상태에서 검사를 행하거나, 절연막으로 검사용 프로브의 전극 표면을 덮거나 함에 의해, 미세한 배선 패턴에 흠집이 생기지 않도록 한 비접촉의 검사용 프로브를 이용하여 배선 패턴의 도통을 검사하는 기판 검사 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

상술한 기판 검사 장치에서는, 검사용 프로브로서 절연막으로 덮인 전극을 2개 이용하고, 이 한쪽의 전극을 검사 대상의 배선 패턴의 일단부에 대향하도록 배치하고, 다른쪽의 전극을 당해 배선 패턴의 타단부에 대향하도록 배치하고, 이 전극을 덮는 절연막을 끼우고 서로 대향하는 전극과 배선 패턴에 의해 형성되는 콘덴서의 성분에 의해, 전극과 배선 패턴을 정전(靜電) 결합시키도록 하고 있다. 그리고, 한쪽의 전극으로부터 그 배선 패턴에 검사용 신호를 주입함과 함께, 다른쪽의 전극으로부터 그 배선 패턴의 타단부에서 신호를 검출함에 의해, 그 검출한 신호의 레벨에 의거하여 배선 패턴의 도통을 검사하도록 되어 있다.

또한, 기판의 한 예인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를, 이하에 나타낸 다. 도 12는 플라즈마 디스플레이 패널의 구조의 개략을 도시하는 사시도이다. 도 12에 도시하는 플라즈마 디스플레이 패널은, 전면판(901)과 배면판(902)을 구비하고 있다. 그리고, 전면판(901)은, 예를 들면, 유리 기재(基材)(903)의 표면에, ITO(Indium Tin Oxide)막(904)과 은(銀) 등의 피막에 의해 형성된 버스 전극(905)을 갖는 배선(909)이 형성된 유리 기판에 의해 구성되어 있다. 이와 같이 구성된 전면판(901)에서, 배선(909)은 양품에서는 수Ω 정도의 저항치를 나타낸다. 한편, 배선(909)의 버스 전극(905)만이 단선된 경우, 단선 개소는 ITO막(904)만에 의해 도통하고, 100Ω 내지 10MΩ 정도의 중간 레벨의 저항치를 나타낸다.

상술한 바와 같은 기판 검사 장치는, 서로 대향하는 전극과 배선 패턴에 의해 형성되는 콘덴서의 정전 용량을 통하여 배선 패턴에 검사용 신호를 주입 및 검출하기 때문에, 검출되는 신호 레벨은, 배선 패턴과 전극에 의해 형성되는 콘덴서의 용량에 의해 변화하고, 배선 패턴과 전극의 거리나, 배선 패턴과 주위 사이에 생긴 부유(浮遊) 용량 등의 오차 요인에 의한 영향을 받아서, 검출되는 신호 레벨이 흐트러지기 쉬운 성질이 있다. 그 때문에, 이와 같은 기판 검사 장치를 이용하여 전면판(901)과 같은 기판을 검사한 경우에, 버스 전극(905)만이 단선된 경우와 같이 중간 레벨의 저항치가 생기는 불량이 생기고 있으면, 버스 전극(905)의 단선에 의한 검출 신호 레벨의 저하와, 흐트러짐에 의한 신호 레벨의 저하를 판별하는 것이 곤란하기 때문에, 중간 레벨의 저항치를 갖는 불량을 검출하는 것이 곤란하다는 불편한 점이 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해, 특허 문헌 2에는, 배선의 한쪽 단에 그 배선과 전기적으로 비접촉으로 대향 배치되는 급전 프로브 및 검출 프로브가 배치되고, 배선의 다른쪽 단에 그 배선과 전기적으로 비접촉으로 대향 배치되는 급전 프로브가 배치되는 장치가 제안되어 있다.

이 장치에서는, 급전 프로브에 1MHz의 정현파 검사 신호를 인가하고, 검출 프로브에 생긴 전압을 검출하고, 이 검출된 전압의 위상에 의거하여 배선의 양부(良否) 판정을 행하는 것이다. 이와 같은 장치에 의해, 배선과 검사용 프로브 사이에서의 거리 변화의 영향을 적게 할 수 있어, 상기 문제를 해결하는 것이 가능하였다.

그러나, 근래에 와서, 더 나아가 기판의 배선 패턴의 미세화가 진행됨에 따라, 특허 문헌 2에 기재되는 기판 검사 장치에서는, 단락 검사를 행하는 경우에 오작동이 생기는 경우가 발생하고 있다. 이것은, 기판의 배선 패턴의 미세화에 의해, 배선 패턴 자체의 폭이 가늘어짐과 함께 배선 패턴끼리의 간격이 좁아져서, 급전용 프로브나 검출용 프로브가 소망하는 배선 패턴에 대해, 급전 또는 검출을 행하는 것이 어려운 문제를 갖고 있다.

이 때문에, 미세화가 진행된 기판이라도 정확하게 배선 패턴의 도통이나 단락 등의 검사를 행할 수가 있는 기판 검사 장치가 필요하게 되었다.

또한, 이 특허 문헌 2에 기재된 기판 검사 장치에서는, 배선 패턴의 도통과, 배선 패턴 사이의 단락을 각각 다른 검사 전극을 마련함에 의해, 다른 검사 공정에서 검출하기 때문에, 필요한 검사 시간이 길어지거나, 복잡한 구성을 필요로 하거나 하는 문제점을 갖고 있다.

특허 문헌 1 : 일본 특개평11-133090호 공보

특허 문헌 2 : 일본 특개2005-241614호 공보

본 발명은, 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 복잡한 구성을 갖지 않고, 미세한 배선 패턴을 복수 갖는 기판이라도, 정확하게 배선 패턴의 도통이나 배선 패턴 사이의 단락을 검사할 수 있음과 함께, 도통 검사 및 단락 검사를 동시에 검사할 수 있는 기판 검사 장치 및 방법을 제공한다.

과제를 해결하기 위한 수단

청구항 제 1항에 기재된 발명은, 제 1 선형상부(線狀部)와 해당 제 1 선형상부의 일단(一端)으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부(基部)를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 해당 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 상기 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 해당 배선 패턴에 인가되는 신호를 검출하는 신호 검출 수단과, 상기 제 1 배선 패턴의 제 1 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 1 전극부와, 상기 제 2 배선 패턴의 제 2 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 2 전극부와, 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하는 급전 수단과, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 행하는 제 1 검파 수단과, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 동기(同期) 검파를 행하는 제 2 검파 수단과, 상기 제 1 검파 수단에서의 제 1 결과와 상기 제 2 검파 수단에서의 제 2 결과로부터 상기 피검사 대상이 되는 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행하는 판정 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 2항에 기재된 발명은, 상기 판정 수단은, 상기 제 1 결과로부터 상기 배선 패턴의 도통 판정을 행하는 제 1 판정 수단과, 상기 제 2 결과로부터 상기 배선 패턴의 단락 판정을 행하는 제 2 판정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 3항에 기재된 발명은, 상기 소정 위상이, 90도인 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 4항에 기재된 발명은, 상기 제 2 검파 수단에서 이용되는 소정 위상은, 상기 기준 신호와 상기 검출 신호의 위상량을 산출하는 위상량 산출 수단에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 5항에 기재된 발명은, 상기 제 1 판정 수단이 행하는 도통 판정은, 상기 제 1 결과와 미리 설정되는 배선 패턴의 양품 결과와 비교하여 판정되고, 상기 제 2 판정 수단이 행하는 단락 판정은, 상기 제 2 결과와 미리 설정되는 배선 패턴의 양품 결과와 비교하여 판정되는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 6항에 기재된 발명은, 상기 제 1 판정 수단의 도통 판정과, 상기 제 2 판정 수단의 단락 판정이, 동시에 처리되는 것을 특징으로 하는 청구항 제 2항 또는 제 5항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 7항에 기재된 발명은, 상기 신호 검출 수단은, 상기 제 1 배선 패턴과 상기 제 2 배선 패턴의 장축 방향에 대해, 직각 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 8항에 기재된 발명은, 제 1 선형상부와 해당 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 해당 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 상기 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 방법으로서, 상기 복수의 제 1 베이스부에 물리적으로 접촉하여 제 1 전극부를 배치하고, 상기 복수의 제 2 베이스부에 물리적으로 접촉하여 제 2 전극부를 배치하고, 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하고, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치되는 신호 검출 수단에 의해, 해당 배선 패턴에 인가되는 신호를 검출하고, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 산출하고, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 동기 검파를 산출하고, 상기 제 1 검파 수단에서의 제 1 결과와 상기 제 2 검파 수단에서의 제 2 결과로부터 상기 배선 패턴의 도통 판정과 단락 판정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방 법을 제공한다.

이들의 발명을 제공함에 의해, 상기 과제를 모두 해결한다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.

도 1은 본 발명의 기판 검사 장치에서 검사 대상이 되는 피검사 기판의 개략 평면도이다.

이 도 1에서 도시되는 기판은, 예를 들면, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판으로서 이용되는 유리 기판이다.

이 기판이 갖는 배선 패턴(8)은, 제 1 배선 패턴(81)과 제 2 배선 패턴(82)이 교대로 복수 병설되어 있다.

이 제 1 배선 패턴(81)은, 제 1 선형상부(811)와 제 1 베이스부(812)를 갖고 있다. 제 1 선형상부(811)는 직선으로 형성된다. 이 제 1 선형상부(811)는, 은 등으로 작성되는 플라즈마 디스플레이의 버스 전극에 상당한다. 이 제 1 선형상부(811)의 한쪽의 측에는, ITO(Indium Tin Oxide) 등에 의해 형성된 제 1 투명 전극(813)이 형성되어 있다.

제 1 베이스부(812)는, 제 1 선형상부(811)의 일단으로부터 연장 설치하여 형성되어 있고, 이른바, TAB(Tape Automated Bonding)으로서 기능한다.

제 2 배선 패턴(82)은, 제 2 선형상부(821)와 제 2 베이스부(822)를 갖고 있다. 제 2 선형상부(821)는 직선으로 형성된다. 이 제 2 선형상부(821)는, 제 1 선형상부(811)와 마찬가지로 은 등으로 작성되는 플라즈마 디스플레이의 버스 전극에 상당한다. 이 제 2 선형상부(821)는, 제 1 선형상부(811)와 평행하게 되도록 배치되어 있다. 이 제 2 선형상부(821)의 한쪽의 측에는, ITO(Indium Tin Oxide) 등에 의해 제 2 투명 전극(823)이 형성되어 있다. 이 제 2 투명 전극(823)은, 제 2 선형상부(821)와 제 1 선형상부(811)가 평행하게 되도록 배치되어 있기 때문에, 제 1 투명 전극(813)과 평행하게 되도록 배치되게 된다.

제 2 베이스부(822)는, 제 1 베이스부(812)와 마찬가지로 제 2 선형상부(821)의 일단으로부터 연장 설치하여 형성되어 있고, 이른바 TAB(Tape Automated Bonding)으로서 기능한다.

이 제 2 베이스부(822)는, 도 1에서 도시되는 바와 같이, 제 1 베이스부(812)가 배치되는 측부와 반대측(도면의 우측)으로 연장 설치된다. 이 때문에, 제 1 배선 패턴(81)과 제 2 배선 패턴(82)은, 제 1 선형상부(811)(또는 제 1 투명 전극(813))왕 제 2 선형상부(821)(또는 제 2 투명 전극(823))가 서로 마주 보고 평행하게 배치된다.

또한, 제 1 투명 전극(813)과 제 2 투명 전극(823)은, 각각 마주 보도록 제 1 선형상부(811)와 제 2 선형상부(821)의 내측에 배치되고 1조의 투명 전극 쌍으로서 형성된다.

이 도 1에서는, 제 1 배선 패턴(81)의 제 1 베이스부(812)가 지면(紙面) 좌측에 배치되고, 제 2 배선 패턴(82)의 제 2 베이스부(822)가 지면 우측에 배치되어 있다.

또한, 상기한 제 1 배선 패턴(81)과 제 2 배선 패턴(82) 사이에, 제 3 배선 패턴(도시 생략)이 배치되어 있는 경우도 있다. 이 제 3 배선 패턴은, 제 1 선형상부(811) 및 제 2 선형상부(821)와 평행하게 배치되는 선형상의 패턴이고 차광 기능을 갖고 있다. 이 제 3 배선 패턴은 절연물로 형성되어 있고, 제 1 배선 패턴(81)과 제 2 배선 패턴(82)의 도통 판정 및 단락 판정에는 영향을 미치지 않는다.

도 2는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치와 기판과의 관계를 도시하는 개략 블록도이고, 도 3은 기판과 이 기판에 배치된 기판 검사 장치와 신호의 송수신을 도시하는 개략도이고, 도 4는 도 3에서 도시된 기판과 기판 검사 장치의 전기적인 위치 관계를 도시하는 개략도이다. 이 도 4에서는 배선 패턴을 사선으로 나타내고 있고, 부호 100은 유리 기판을 나타내고, 부호 11은 기판 검사 장치(1)가 갖는 기판을 재치하기 위한 재치대를 나타내고 있다.

본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치(1)는, 신호 검출 수단(2), 검사 신호 산출 수단(3), 급전 수단(4), 전극부(5), 판정 수단(6), 표시 수단(7)을 갖고 있다.

본 발명의 기판 검사 장치(1)의 기본 원리는, 검사 대상이 되는 배선 패턴(8)에, 급전 수단(4)에 의해 기준 신호를 인가하고, 이 배선 패턴을 신호 검출 수단(2)에 의해 검출되는 검출 신호를 기초로 위상의 변화를 산출(검파)함에 의해, 피검사 대상이 되는 배선 패턴(8)의 도통 판정 및 단락 판정을 행하는 것이다.

또한, 첨부한 도면에서는, 설명을 위해 배선 패턴을 필요한 최소한의 배선 패턴 수로 나타내고 있지만, 실제로는 다수의 배선이 형성되고, 그들의 배선을 순차 선택하여 검사가 행하여지게 된다. 또한, 본 명세서에서 표현되는 검사 대상의 배선 패턴이란, 제 1 배선 패턴(81) 또는 제 2 배선 패턴(82)의 어느 1개의 배선 패턴을 지시하고 있다.

신호 검출 수단(2)은, 검사 대상이 되는 배선 패턴(제 1 배선 패턴(81) 또는 제 2 배선 패턴(82))을 흐르는 신호를 검출한다.

이 신호 검출 수단(2)은, 제 1 측정부(21)와 제 1 신호 측정부(23)를 갖고 있다.

이 제 1 측정부(21)는, 도 4에서 도시되는 바와 같이, 배선 패턴의 일단부에 대해, 소정 간격을 가지며, 비접촉으로 대향하도록 배치된다. 이 때문에, 이 제 1 측정부(21)는, 배선 패턴에 대해 정전 용량(C1)을 형성하게 된다. 이 정전 용량(C1)을 통하여 신호를 신호 측정부(23)에 전달한다.

이 소정 간격은, 0.1 내지 0.5㎜로 설정되는 것이 바람직하다. 이 소정 간격은, 제 1 측정부(21)가 하나의 배선 패턴과 정전 용량(C1)을 형성하여야 하기 때문에, 상기 범위로 설정되는 것이 바람직하다. 또한, 배선 패턴으로부터의 전계(電界)는, 배선 패턴으로부터 약 30도의 퍼짐을 가지고 확산되어 있기 때문에, 제 1 측정부(21)가 인접한 배선 패턴의 전계의 영향을 받지 않는 소정 간격(높이)을 갖을 필요가 있다.

이 신호 검출 수단(2)은, 도 3 또는 도 4에 도시되는 바와 같이, 제 2 측정부(22), 제 2 신호 측정부(24) 및 제 3 신호 측정부(25)를 갖아도 상관없다.

신호 검출 수단(2)이, 제 2 측정부(22), 제 2 신호 측정부(24) 및 제 3 신호 측정부(25)를 구비함에 의해, 제 1 측정부(21)의 대향 위치에 의해 신호를 검출할 수 있음과 함께, 제 1 측정부(21)와 제 2 측정부(22)의 차분(差分)을 이용하여 더욱 정확한 신호 검출을 행할 수도 있기 때문이다.

또한, 제 2 측정부(22)의 구성은, 제 1 측정부(21)의 구성과 거의 동일하고, 배치되는 위치가 제 1 측정부(21)가 배치되는 위치와 대향하는 위치인 것이 상위하다(도 2 참조).

제 1 측정부(21) 및 제 2 측정부(22)는, 도 3에서 도시되는 바와 같이, 배선 패턴(8)(제 1 배선 패턴(81) 또는 제 2 배선 패턴(82))의 직선부(제 1 선형상부(811)나 제 2 선형상부(821))에 대해 직각 방향으로 이동하도록 형성되어 있다.

이와 같이 형성됨에 의해, 제 1 측정부(21)가 측정하는 검출 신호는, 제 1 배선 패턴(81)과 제 2 배선 패턴(82)으로부터 교대로 검출되게 되어, 연속적으로 신호를 검출할 수 있기 때문이다.

제 1 및 제 2 측정부(21, 22)는, 급전 패드를 이용할 수 있고, 도 3에서는 평면으로 보아 원형의 형상을 갖고 있지만 특별히 한정되지 않고, 검사 신호를 확실하게 측정할 수 있으면 좋다.

또한, 이들 제 1 및 제 2 측정부(21, 22)는, 상기에서 설명한 바와 같이, 복수의 배선 패턴에 개략 직교하는(도 3의 화살표의 방향) 방향으로 소정 속도로 이동한다. 이 때문에, 제 1 및 제 2 측정부(21, 22)는, 소정 간격으로 배선 패턴의 신호를 검출할 수 있고, 복수의 배선 패턴으로부터 연속하여 신호를 검출할 수 있게 된다.

제 1 측정부(21) 및 제 2 측정부(22)가 측정하는 신호의 크기를 증폭하는 앰 프를 마련하여도 된다.

제 1 내지 제 3 신호 측정부(23, 24, 25)는, 제 1 측정부(21)와 제 2 측정부(22)로부터의 신호를 측정한다. 이들의 신호 측정부는 교류 전압계가 사용된다.

신호 측정부(23)는, 제 1 측정부(21) 및 제 2 측정부(22)로부터의 신호를 검출한다. 이 신호 측정부(23)가 검출한 신호는, 후술하는 검사 신호 산출 수단(3)에 송신된다.

제 2 신호 측정부(24) 및 제 3 신호 측정부(25)는, 기준 전위를 설정하기 위해 접지되어 있고, 각각 기준 전위로부터의 배선 패턴의 전위를 측정할 수 있다.

본 설명에서는, 편의상 3개의 신호 측정부를 마련하고 있지만, 배선 패턴의 전위를 측정할 수 있으면 수는 한정되지 않지만, 적어도 제 1 측정부(21)와 이 제 1 측정부(21)의 신호를 측정하기 위한 제 1 신호 측정부(23)를 마련함에 의해 본 발명을 실시할 수 있다.

이 신호 검출 수단(2)의 양 측정부는, 유리 기판(100)상의 자신의 위치를 특정하기 위한 위치 결정부(도시 생략)를 갖고 있는 것이 바람직하다.

이 위치 결정부를 갖음에 의해, 후술하는 도통 및/또는 단락 검사를 행한 경우에, 불량이 검출된 때에 어느 배선 패턴으로부터 불량이 검출되었는지를 특정할 수 있기 때문이다.

이 위치 결정부는, 속도계나 전류 측정계를 이용하여 x-y의 이동 거리를 산출함에 의해 상기 기능을 갖을 수가 있지만, 제 1 및 제 2 측정부(21, 22)의 위치를 결정할 수 있는 기능이라면 특별히 한정되지 않는다.

전극부(5)는, 복수의 배선 패턴에 대해 신호를 인가(공급)하기 위해 이용된다. 이 전극부(5)는, 제 1 전극부(51)와 제 2 전극부(52)를 구비한다.

제 1 전극부(51)는, 제 1 배선 패턴(81)의 제 1 베이스부(812)와 물리적으로 접촉하여 배치된다. 이 제 1 전극부(51)는, 후술하는 급전 수단(4)으로부터의 신호를 수취한다. 제 1 전극부(51)는, 복수의 배선 패턴과 물리적으로 접촉하고 있고, 직접 신호를 인가하게 된다.

도 3에서는, 제 1 전극부(51)가 복수의 제 1 베이스부(812)의 표면을 덮도록 배치되어 있지만, 검사 대상이 되는 배선 패턴에 대해 물리적으로 접촉하여 전기가 흐를 수 있으면 접속 방법은 특별히 한정되지 않는다.

제 2 전극부(52)는, 제 2 배선 패턴(82)의 제 2 베이스부(822)와 물리적으로 접촉하여 배치된다. 이 제 2 전극부(52)는, 급전 수단(4)으로부터의 신호를 수신한다. 제 2 전극부(52)는, 배선 패턴과 물리적으로 접촉하고 있고, 직접 신호를 인가하게 된다.

도 3에서는, 제 2 전극부(52)가 복수의 제 2 베이스부(822)의 일단에 접속되어 있지만, 검사 대상이 되는 배선 패턴에 대해 물리적으로 접촉하여 전기가 흐를 수 있으면 특별히 접속 방법은 한정되지 않는다.

급전 수단(4)은, 검사 대상이 되는 배선 패턴에 검사용의 신호(전류나 전압)를 공급한다. 본 발명의 기판 검사 장치(1)는, 일정 주기를 갖는 복수의 신호를 배선 패턴에 인가함에 의해, 배선 패턴상에 나타나는 신호 레벨(출력)을 검출함에 의해, 검사 대상이 되는 배선 패턴의 도통 및 단락을 검사하는 것이다.

이 급전 수단(4)은, 제 1 전극부(51)와 제 2 전극부(52)에 소정 주기를 갖는 기준 신호(f1)를 공급한다. 이 때문에, 급전 수단(4)은, 도 3에서 도시되는 바와 같이, 제 1 전극부(51)와 제 2 전극부(52) 사이에 직렬로 접속되도록 배치된다. 그리고, 이 급전 수단(4)이, 제 1 전극부(51), 제 1 배선 패턴(81), 제 2 배선 패턴(82)과 제 2 전극부(52)에 의해 폐회로에 신호를 공급하게 된다.

이 급전 수단(4)이 공급하는 신호는 1MHz의 정현파의 신호를 공급하지만, 일정한 주기를 갖는 신호라면 특별히 한정되는 것이 아니다.

급전 수단(4)은, 도 3에서 도시되어 있는 바와 같이, 각각 교류 신호를 인가하는 2개의 급전부를 가지고 구성되어도 좋다. 이와 같이 2개의 급전부를 마련함에 의해, 검사 대상이 되는 배선 패턴(제 1 배선 패턴(81)이나 제 2 배선 패턴(82))에 대해 같은 임피던스가 부하되도록 출력 레벨을 조정할 수 있다.

검사 신호 산출 수단(3)은, 신호 검출 수단(2)으로부터의 검출 신호와 급전 수단(4)이 공급하는 기준 신호로부터, 피검사 대상이 되는 배선 패턴의 도통 판정과 단락 판정을 행하기 위한 연산을 행한다.

이 검사 신호 산출 수단(3)은, 제 1 검파 수단(31)과 제 2 검파 수단(32)을 갖고서 이루어진다.

제 1 검파 수단(31)은, 신호 검출 수단(2)에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 급전 수단(4)으로부터 공급되는 기준 신호를 기초로, 소정 위상의 위상 검파를 행하고, 이 결과 산출된 제 1 결과를 후술하는 판정 수단(6)의 제 1 판정 수단(61)에 송신한다.

제 1 검파 수단(31)에 설정되는 소정 위상은, 미리 90도로 설정되어 있어도 좋다. 미리 90도로 설정됨에 의해, 제 1 검파 수단(31)은, 기준 신호에 대해 90도 검파를 행하게 된다.

제 1 검파 수단(31)의 소정 위상은, 상기한 바와 같은 90도로 설정되어도 좋지만, 더욱 안정되고 또한 정확한 판정을 행하기 위해, 기준 신호와 검출 신호의 위상을 산출하는 위상량 산출 수단(33)을 마련하는 것이 바람직하다.

이 위상량 산출 수단(33)은, 기준 신호와 검출 신호의 위상을 산출할 수 있으면, 그 방법은 특별히 한정되는 것이 아니지만, 하기한 순서로 산출할 수 있다.

우선, 위상량 산출 수단(33)은, 급전 수단(4)으로부터의 기준 신호의 위상을 수신한다(도 5(a) 참조). 그리고, 위상량 산출 수단(33)은, 이 기준 신호의 변화로부터 정(正)의 값(기준보다도 큰 값)으로 출력되는 아날로그값을 디지털화한다(도 5(b) 참조).

다음에, 위상량 산출 수단(33)은, 신호 검출 수단(2)으로부터 검출되는 검출 신호를 수신한다(도 5(c) 참조). 그리고, 위상량 산출 수단(33)은, 검사 신호의 변화로부터 정의 값으로 출력되는 아날로그값을 디지털화한다(도 5(d) 참조).

또한, 상기 설명에서는, 기준 신호와 검출 신호의 정으로 출력되는 아날로그값을 디지털화하여, 변화 위치를 산출하려고 하고 있지만, 부(負)로 출력되는 아날로그값(기준보다도 작은 값)을 이용할 수도 있다.

뒤이어, 디지털화된 기준 신호(도 5(b))와, 디지털화된 검출 신호(도 5(d))의 배타적 논리합(exclusive or)에 의해, 도 5(e)에서 도시되는 바와 같이 출력치 를 얻을 수 있게 된다. 이때, 도 5(e)에서 도시되는 바와 같이, 위상의 차분(θ)(위상의 어긋난량)이 출력치로서 산출되게 된다. 이 위상의 차분(θ)을 소정 위상으로서 이용함에 의해, 검출 신호를 위상량(θ)분만큼 이송하여 검파를 행할 수가 있어서, 더욱 안정적이고 또한 정확하게 검파를 실시하는 것이 가능해진다. 특히, 이와 같이 디지털 변환함에 의해 아날로그값을 이용하는 경우와 비교하여 안정되고 또한 정확하게 산출할 수 있게 된다.

또한, 상기 수법은, 비배타적 논리합을 이용한 경우의 한 실시예를 나타내고 있고, 위상량(θ)을 산출할 수 있는 방법이라면, 다른 방법을 이용하여도 좋다.

위상량 산출 수단(33)이, 위상량(θ)을 산출하면, 상술한 제 1 검파 수단(31)에 보내져서, 소정 위상으로서 이용된다.

제 2 검파 수단(32)은, 신호 검출 수단(2)에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 급전 수단(4)으로부터 공급되는 기준 신호를 기초로, 기준 신호와 동상(同相)의 검파인 동기(同期) 검파를 행하고, 이 결과 산출된 제 2 결과를 후술하는 판정 수단(6)의 제 2 판정 수단(62)에 송신한다.

판정 수단(6)은, 제 1 검파 수단(31)에 의해 산출되는 제 1 결과와, 제 2 검파 수단(32)에 의해 산출되는 제 2 결과로부터 검사 대상이 되는 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행한다.

이 판정 수단(6)은, 제 1 판정 수단(61)과 제 2 판정 수단(62)을 갖고서 이루어지고, 이들 2개의 판정 수단에 의해, 각각 도통 판정과 단락 판정을 행하게 된다.

제 1 판정 수단(61)은, 상술한 제 1 검파 수단(31)으로부터의 산출 결과인 제 1 결과를 기초로, 검사 대상의 배선 패턴(8)의 도통 판정을 행한다. 이 제 1 판정 수단(61)이 행하는 도통 판정의 방법은, 배선 패턴(8)의 도통 양호시의 상태(도통 양호 결과)와 제 1 결과를 비교함에 의해 행하여진다.

이때, 제 1 판정 수단(61)은, 제 1 결과를 도통 양호 결과와 비교하고, 개략 동일하면, 배선 패턴이 도통 양호하다(양품)고 판정하고, 크게 다르면, 배선 패턴이 도통 불량(불량품)이라고 판정하게 된다.

또한, 이 제 1 판정 수단(61)이 행하는 비교에 있어서, 도통 양호 결과와 제 1 결과의 상위량을 조정함에 의해, 배선 패턴의 양/불량을 조정할 수 있다.

제 1 판정 수단(61)은, 상기한 바와 같이, 제 1 결과와 도통 양호 결과를 비교하여 도통 판정을 행하지만, 제 1 결과는 기준 신호를 기초로 소정 위상에서 검파되어 산출되어 있기 때문에, 도통 양호 결과와 위상의 비교를 행함에 의해, 보다 정확하게 도통 판정을 행할 수가 있다.

도 6은, 제 1 검파 수단에 의해 산출된 3종류의 배선 패턴으로부터 산출된 신호의 파형을 도시한다. 이 도 6에서는, 도통 양호 결과인 양품의 배선 패턴의 제 1 결과를 파형(S1)으로 나타내고, 불량의 (일부 떨어져 있는) 배선 패턴의 제 1 결과를 파형(S2), 완전 단선(완전 불량)의 배선 패턴의 제 1 결과를 파형(S3)으로 나타내고 있다.

이 도 6에서 도시되는 바와 같이, 불량의 저항치가 커지면 커질수록, 도통 양호 결과의 파형(S1)으로부터의 위상차가 커지고 있고, 기준이 되는 양품의 배선 패턴으로부터 각각 위상이 위상량(a1), 위상량(a2) 둘로 갈라져 있다.

이 때문에, 제 1 판정 수단(61)은, 도통 양호 결과와 제 1 검파 수단(31)의 제 1 결과와의 위상의 어긋남을 산출함에 의해, 이 위상량으로부터 도통 판정을 행함과 함께, 위상량의 크기에 의해 검사 대상의 배선 패턴이 어느 정도의 저항치를 갖고 있는지도 판정할 수 있게 된다. 각 배선 패턴의 저항치를 산출할 수 있기 때문에, 이 저항치를 기초로 도통 판정할 수도 있다.

제 2 판정 수단(62)은, 상술한 제 2 검파 수단(32)으로부터의 산출 결과인 제 2 결과를 기초로, 검사 대상의 배선 패턴(8)의 단락 판정을 행한다. 이 제 2 판정 수단(62)이 행하는 단락 판정의 방법은, 배선 패턴의 단락 없음의 상태(무(無)단락 결과)와 제 2 결과를 비교함에 의해 행하여진다.

이때, 제 2 판정 수단(62)은, 제 2 결과를 무단락 결과와 비교하고, 개략 동일하면, 배선 패턴(8)의 단락이 없음(양품)이라고 판정하고, 크게 다르면, 배선 패턴이 단락 불량(불량품)이라고 판정하게 된다.

또한, 이 제 2 판정 수단(62)이 행하는 비교에 있어서, 무단락 결과와 제 2 결과와의 상위량을 조정함에 의해, 배선 패턴의 양/불량을 조정할 수 있다.

제 2 판정 수단(62)은, 상기한 바와 같이, 제 2 결과와 무단락 결과를 비교하여 단락 판정을 행하지만, 제 2 결과는 기준 신호를 기초로 동기 검파되어 있기 때문에, 무단락 결과와 출력의 비교를 행함에 의해, 더욱 정확하게 단락 판정을 행할 수도 있다.

도 7은 제 2 검파 수단에 의해 산출된 3종류의 배선 패턴으로부터 산출된 신 호의 파형을 도시한다. 이 도 7에서는, 무단락 결과인 양품의 배선 패턴의 제 2 결과를 파형(T1)으로 나타내고, 단락을 갖는 배선 패턴의 제 2 결과를 파형(S2)으로 나타내고, 다른 단락을 갖는 배선 패턴의 제 2 결과를 파형(S3)으로 나타내고 있다.

이 도 7에서 도시되는 바와 같이, 단락을 갖는 상태에 따라 출력치가 무단락의 상태와 비교하여, 출력이 작아지고 있다. 예를 들면, 도 7에서는, 무단락 결과(양품)의 배선 패턴은 출력(b1)을 갖고 있음에 대해, 단락을 갖는 2개의 배선 패턴(T2와 T3)에서는, 그 출력이 b2와 b3으로 작게 되어 있다.

이 때문에, 제 2 판정 수단(62)은, 무단락 결과와 제 2 검파 수단(32)의 제 2 결과의 출력차를 산출함에 의해, 이 출력차로부터 단락 판정을 행할 수가 있다.

제 1 판정 수단(61)과 제 2 판정 수단(62)의 판정 결과는, 각각 후술하는 표시 수단(7)에 송신된다.

여기서, 제 1 판정 수단(61)과 제 2 판정 수단(62)은, 별개의 연산 처리에 의해 각 판정이 연산되게 되기 때문에, 각각의 처리를 패럴렐 처리(평행 처리)할 수 있다. 이와 같이, 제 1 판정 수단(61)과 제 2 판정 수단(62)을 별개로 처리함에 의해, 검사 시간을 단축할 수 있다.

제 1 검파 수단(31)과 제 2 검파 수단(32)은, 배선 패턴(8)에 대해, 각각을 x-y축으로 하는 벡터로 표현할 수도 있다. 이 경우, 도 8에서 도시되는 바와 같이, 양품인 경우의 벡터와 비교함에 의해, 도통 판정과 단락 판정을 행할 수도 있다. 예를 들면, 도 8에서는, 화살표(Z)가 기준 벡터(양품인 경우의 벡터)를 나타내고 있고, 화살표(Z1)의 벡터는 위상량은 거의 0이어서, 도통 검사는 문제없지만, 출력이 작기 때문에 단락 문제를 갖고 있다고 판정할 수 있다. 또한, 화살표(Z2)의 벡터는 위상량이 크고 기준보다 상위하기 때문에 도통 문제를 갖고 있다고 판정할 수 있다.

이와 같이 벡터 표시함에 의해, 도통 판정과 단락 판정을 눈으로 보고 확인하는 것이 가능해진다.

표시 수단(7)은, 제 1 판정 수단(61)이나 제 2 판정 수단(62)의 판정 결과를 표시한다. 이 표시 수단(7)은, 이른바 액정 디스플레이 등의 표시 장치를 이용할 수 있다.

이상이 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치(1)의 구성의 설명이다.

다음에, 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치(1)의 동작에 관해 설명한다.

도 9는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치를 실시한 경우의 플로우 차트를 도시한다.

우선, 기판 검사 장치(1)의 재치대(11)에 유리 기판(100)을 재치하여, 이 기판(100)의 검사를 행할 수 있도록 준비한다(S1).

이때, 제 1 전극부(51)를 복수의 제 1 베이스부(812)에 물리적으로 접촉시켜서 접속하고, 제 2 전극부(52)를 복수의 제 2 베이스부(822)에 물리적으로 접촉시켜서 접속한다.

또한, 기판(100)에는, 제 1 배선 패턴(81)과 제 2 배선 패턴(82)으로 이루어지는 배선 패턴(8)이 형성되어 있고, 이 배선 패턴(8)의 형상이나 배치 간격에 관한 정보가 기억 장치에 기억된다. 이와 같은 정보가 기억 장치에 기억되기 때문에, 신호 검출 수단(2)에 의해 검출되는 검출 신호가 어느 배선 패턴으로부터 검출된 검사 신호인지를 특정할 수 있다.

기판(100)이 준비되면, 급전 수단(5)이 인가한 기준 신호가 설정된다.

검사 준비가 완료되면, 신호 검출 수단(2)이 배선 패턴(8)의 소정의 위치를 이동한다(S2).

이때, 신호 검출 수단(2)의 제 1 측정부(21)는, 도 3에서 도시되는 바와 같이, 제 1 선형상부(811)의 제 1 베이스부(812)의 부근과 제 2 선형상부(821)의 선단상을 교대로 이동하도록 배치되어 있다. 그리고, 각 배선 패턴(8)(제 1 배선 패턴(81)이나 제 2 배선 패턴(82))상에 인가되는 신호를 검출한다.

또한, 상기한 바와 같이, 제 2 측정부(22)를 이용하여 제 1 측정부(21)와의 차분을 검출 신호로 하여도 좋다.

제 1 측정부(21)가 각 배선 패턴으로부터 신호를 검출하면, 검사 신호 산출 수단에 이 검출 신호와 기준 신호가 송신되고, 도통 판정 및 단락 판정을 위한 신호를 산출한다(S3).

우선, 위상량 산출 수단(33)에 의해 위상량을 산출한다(S4).

이때, 위상량 산출 수단(33)은, 상기 설명과 같이, 기준 신호와 검출 신호를 각각 디지털 변환하고, 이 변환치를 이용하여 위상의 어긋남(위상량)을 산출한다.

위상량 산출 수단(33)에 의해 산출된 위상량은, 제 1 검파 수단(31)에 보내진다.

제 1 검파 수단(31)은, 기준 신호를 기초로 위상량 산출 수단(33)에서 산출된 위상량을 소정 위상으로 하고, 이 소정 위상의 검파(위상분만큼 이상(移相)하는 위상 검파)를 행한다(S5).

이 제 1 검파 수단(31)은, 검파에 의해 산출한 제 1 결과를 제 1 판정 수단(61)에 송신한다.

제 1 판정 수단(61)은, 제 1 결과를 도통 양호 결과와 비교하여 위상차를 산출한다. 그리고, 제 1 판정 수단(61)이 이 위상차를 기초로 도통 판정을 행한다(S6).

이때, 도 6에서 도시되는 바와 같이, 기준 신호로부터의 위상의 어긋난량(위상량)에 따라 도통의 양 불량을 판정할 수 있음과 함께, 어긋난량에 따라 저항치를 산출한다.

상기한 설명에서는, 소정 위상을 위상량 산출 수단(33)에서 산출하는 경우를 설명하였지만, 이 소정 위상을 미리 90도로 하여 기준 신호를 90도 검파하도록 제 1 검파 수단(31)을 설정하여 놓아도 좋다.

또한, 검사 대상이 되는 배선 패턴에 대해 도통 판정이 행하여지는 한편, 배선 패턴에 대한 단락 판정도 실시된다.

검사 신호 산출 수단(3)의 제 2 검파 수단(32)이, 기준 신호를 기초로 검사 신호의 동기 검파를 행한다(S7).

이때, 제 2 검파 수단(32)의 동기 검파에 의해 제 2 결과가 산출된다. 이 제 2 결과는, 제 2 판정 수단(62)에 송신된다.

제 2 판정 수단(62)은, 제 2 결과를 무단락 결과와 비교하여, 출력차를 산출한다. 그리고, 제 2 판정 수단(62)이 이 출력차를 기초로 단락 판정을 행한다(S8).

이때, 도 7에서 도시되는 바와 같이, 기준 신호로부터의 출력의 차이에 응하여 단락의 유무를 판정할 수 있다.

도 10과 도 11은, 본 발명을 이용하여 복수로 병설되는 배선 패턴을 검사한 경우의 제 1 결과와 제 2 결과의 그래프를 도시한다. 또한, 도 10과 도 11의 상단부가 제 1 결과를 나타내고, 하단부가 제 2 결과를 나타낸다.

도 10에서 도시되는 그래프중의 영역(A 및 B)에서는, 제 1 결과가 돌출한 상태를 나타내고 있고, 이 장소의 배선 패턴이 도통 불량을 일으키고 있는 것을 검출할 수 있다.

또한, 도 11에서 도시되는 그래프중의 영역(C)에서는, 제 2 결과의 출력이 작게(진폭이 작게) 되어 있고, 단락이 존재하는 것을 검출할 수 있다.

또한, 도 10의 도통 불량 개소에서는, 이들 돌출량을 산출함에 의해, 배선 패턴의 저항치를 산출하도록 설정할 수도 있다.

청구항 제 1항에 기재된 발명에 의하면, 제 1 선형상부와 해당 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 해당 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖 음과 함께, 상기 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 해당 배선 패턴에 인가되는 신호를 검출하는 신호 검출 수단과, 상기 제 1 배선 패턴의 제 1 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 1 전극부와, 상기 제 2 배선 패턴의 제 2 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 2 전극부와, 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하는 급전 수단과, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 행하는 제 1 검파 수단과, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 동기 검파를 행하는 제 2 검파 수단과, 상기 제 1 검파 수단에서의 제 1 결과와 상기 제 2 검파 수단에서의 제 2 결과로부터 상기 피검사 대상이 되는 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행하는 판정 수단을 구비하여 이루어지기 때문에, 검사 대상이 되는 배선 패턴에, 기준 신호를 인가하고, 이 피검사 대상이 되는 배선 패턴으로부터 검출되는 검출 신호로부터 도통 판정 및 단락 판정하는 것이 가능하게 되어, 도통 및 단락을 하나의 인가 신호에 의해 판정할 수 있다.

이 때문에, 복잡한 구성을 필요로 하지 않고, 간단한 구조로 배선 패턴의 도통 및 단락의 검사를 가능하게 한다.

청구항 제 2항에 기재된 발명에 의하면, 상기 판정 수단은, 상기 제 1 결과로부터 상기 배선 패턴의 도통 판정을 행하는 제 1 판정 수단과, 상기 제 2 결과로 부터 상기 배선 패턴의 단락 판정을 행하는 제 2 판정 수단을 갖기 때문에, 도통 판정과 단락 판정을 별도 공정의 처리로서 행할 수가 있다.

청구항 제 3항에 기재된 발명에 의하면, 소정 위상이 90도이기 때문에, 동기 검파(0도 검파)와 90도 검파를 실시함에 의해, 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행할 수가 있다.

청구항 제 4항에 기재된 발명에 의하면, 상기 제 2 검파 수단에서 이용되는 소정 위상은, 상기 기준 신호와 상기 검출 신호의 위상량을 산출하는 위상량 산출 수단에 의해 산출되기 때문에, 단락 판정을 행하기 위한 소정 위상을, 기준 신호와 검출 신호의 안정된 또한 정확한 위상을 산출할 수 있다.

이 때문에, 소정 위상을 이용하여 위상 검파할 때에, 안정되고 정확한 산출 결과를 얻을 수 있게 된다.

청구항 제 5항에 기재된 발명에 의하면, 상기 제 1 판정 수단이 행하는 도통 판정은, 상기 제 1 결과와 미리 설정되는 배선 패턴의 양품 결과와 비교하여 판정되고, 상기 제 2 판정 수단이 행하는 단락 판정은, 상기 제 2 결과와 미리 설정되는 배선 패턴의 양품 결과와 비교하여 판정되기 때문에, 양품인 경우의 출력 결과와 비교하여, 양 불량의 판정을 행할 수가 있다.

또한, 양품시의 양품 결과와 제 1 결과 또는 제 2 결과의 차분(差分)을 산출하는 것이 가능해지기 때문에, 그 차분에 응하여 불량 상태를 판단하는 것이 가능해진다.

청구항 제 6항에 기재된 발명에 의하면, 상기 제 1 판정 수단의 도통 판정 과, 상기 제 2 판정 수단의 단락 판정이, 동시에 처리되기 때문에, 하나의 배선 패턴에 대해, 도통 판정 및 단락 판정을 동시에 처리하는 것이 가능하게 되어, 기판의 검사에 필요한 택트를 단축하는 것이 가능해진다.

청구항 제 7항에 기재된 발명에 의하면, 상기 신호 검출 수단은, 상기 제 1 배선 패턴과 상기 제 2 배선 패턴의 장축 방향에 대해, 직각 방향으로 이동하기 때문에, 복수의 제 1 및 제 2 배선 패턴을 연속적으로 도통 판정 및 단락 판정하는 것이 가능해진다.

청구항 제 8항에 기재된 발명에 의하면, 제 1 선형상부와 해당 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 해당 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 상기 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 방법으로서, 상기 복수의 제 1 베이스부에 물리적으로 접촉하여 제 1 전극부를 배치하고, 상기 복수의 제 2 베이스부에 물리적으로 접촉하여 제 2 전극부를 배치하고, 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하고, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치되는 신호 검출 수단에 의해, 해당 배선 패턴에 인가되는 신호를 검출하고, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 산출하고, 상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 동기 검파를 산출하고, 상기 제 1 검파 수단에서의 제 1 결과와 상기 제 2 검파 수단에서의 제 2 결과로부터 상 기 배선 패턴의 도통 판정과 단락 판정을 행하기 때문에, 검사 대상이 되는 배선 패턴에, 기준 신호를 인가하고, 이 피검사 대상이 되는 배선 패턴으로부터 검출되는 검출 신호로부터 도통 판정 및 단락 판정하는 것이 가능하게 되어, 도통 및 단락을 하나의 인가 신호에 의해 판정할 수 있다.

이 때문에, 복잡한 구성을 필요로 하지 않고, 간단한 구조로 배선 패턴의 도통 및 단락의 검사를 가능하게 한다.

Claims (8)

1. 제 1 선형상부와 해당 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 해당 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 상기 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서,

   검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 해당 배선 패턴에 인가되는 신호를 검출하는 신호 검출 수단과,

   상기 제 1 배선 패턴의 제 1 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 1 전극부와,

   상기 제 2 배선 패턴의 제 2 베이스부와 물리적으로 접촉하여 배치되는 제 2 전극부와,

   상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하는 급전 수단과,

   상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 행하는 제 1 검파 수단과,

   상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 동기 검파를 행하는 제 2 검파 수단과,

   상기 제 1 검파 수단에서의 제 1 결과와 상기 제 2 검파 수단에서의 제 2 결 과로부터 상기 피검사 대상이 되는 배선 패턴의 도통 판정 및 단락 판정을 행하는 판정 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 판정 수단은,

   상기 제 1 결과로부터 상기 배선 패턴의 도통 판정을 행하는 제 1 판정 수단과,

   상기 제 2 결과로부터 상기 배선 패턴의 단락 판정을 행하는 제 2 판정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 소정 위상이, 90도인 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 제 2 검파 수단에서 이용되는 소정 위상은, 상기 기준 신호와 상기 검출 신호의 위상량을 산출하는 위상량 산출 수단에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 제 1 판정 수단이 행하는 도통 판정은, 상기 제 1 결과와 미리 설정되 는 배선 패턴의 양품 결과와 비교하여 판정되고,

   상기 제 2 판정 수단이 행하는 단락 판정은, 상기 제 2 결과와 미리 설정되는 배선 패턴의 양품 결과와 비교하여 판정되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
6. 제 2항 또는 제 5항에 있어서,

   상기 제 1 판정 수단의 도통 판정과, 상기 제 2 판정 수단의 단락 판정이, 동시에 처리되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
7. 제 1항에 있어서,

   상기 신호 검출 수단은, 상기 제 1 배선 패턴과 상기 제 2 배선 패턴의 장축 방향에 대해, 직각 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
8. 제 1 선형상부와 해당 제 1 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 1 베이스부를 갖는 제 1 배선 패턴과, 제 2 선형상부와 해당 제 2 선형상부의 일단으로부터 연장 설치되는 제 2 베이스부를 갖음과 함께, 상기 제 1 배선 패턴과 대향 위치에 배치되는 제 2 배선 패턴이 교대로 복수 형성된 기판을 검사하는 기판 검사 방법으로서,

   상기 복수의 제 1 베이스부에 물리적으로 접촉하여 제 1 전극부를 배치하고,

   상기 복수의 제 2 베이스부에 물리적으로 접촉하여 제 2 전극부를 배치하고,

   상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 소정 주기를 갖는 기준 신호를 공급하고,

   검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴에 물리적으로 비접촉으로 배치되는 신호 검출 수단에 의해, 해당 배선 패턴에 인가되는 신호를 검출하고,

   상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 소정 위상의 위상 검파를 산출하고,

   상기 신호 검출 수단에 의해 검출되는 검출 신호로부터, 상기 기준 신호를 기초로 동기 검파를 산출하고,

   상기 제 1 검파 수단에서의 제 1 결과와 상기 제 2 검파 수단에서의 제 2 결과로부터 상기 배선 패턴의 도통 판정과 단락 판정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.

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