JP5698436B2 - 回路断線検査装置 - Google Patents
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Description
前記被検査体を載置して固定する被検査体固定台と、
この被検査体固定台より広い面積を有し、かつ前記被検査体固定台を載置して固定する基準電位金属部材と、
前記被検査体固定台に載置する被検査体の回路パターンの長さ方向で一定距離の間隔の両側の複数の回路の直上に配置し、かつ前記複数の回路を同時に測定可能な大きさを有し、各々1枚の金属電極からなる第1,第2検査電極と、
前記第1,第2検査電極と前記被検査体の回路パターンの両側の複数の回路を同時に接触又は隙間を介して非接触的に近接すべく前記第1,第2検査電極を押圧、離反可能に上下動自在に設けた第1,第2可動部材と、
前記第1,第2検査電極の間の交流電圧及び前記被検査体に流れる交流電流を測定すると共に、前記被検査体の静電容量を測定する測定装置と、
を備え、
前記第1,第2検査電極を前記被検査体の複数の回路に直接接触させて、前記複数の回路の断線を一度の前記被検査体の静電容量の測定で同時に判別する構成であることを特徴とするものである。
前記被検査体を載置して固定する被検査体固定台と、
この被検査体固定台より広い面積を有し、かつ前記被検査体固定台を載置して固定する基準電位金属部材と、
前記被検査体固定台に載置する被検査体の回路パターンの長さ方向で一定距離の間隔の両側の複数の回路の直下に配置し、かつ前記複数の回路を同時に測定可能な大きさを有し、各々1枚の金属電極からなる第1,第2検査電極と、
前記第1,第2検査電極と前記被検査体の回路パターンの両側の複数の回路を同時に接触すべく前記被検査体を押圧、離反可能に上下動自在に設けた第1,第2可動部材と、
前記第1,第2検査電極の間の交流電圧及び前記被検査体に流れる交流電流を測定すると共に、前記被検査体の静電容量を測定する測定装置と、
を備え、
前記第1,第2検査電極を前記被検査体の複数の回路に直接接触させて、前記複数の回路の断線を一度の前記被検査体の静電容量の測定で同時に判別する構成であることを特徴とするものである。
3 被検査体
5 被検査体固定台
7 基準電位金属板(基準電位金属部材)
9 回路パターン
11 第1検査電極
13 第2検査電極
15 回路
17 第1密着体(第1可動部材)
19 第2密着体(第2可動部材)
21 制御装置
23 測定装置
25 CPU
27 入力装置
29 表示装置
31 メモリ
33 演算装置
35 比較判断装置
37 保護フィルム
Claims (4)
- 複数の列状の回路からなる回路パターンに形成されている被検査体の前記複数の回路の断線を検査する回路断線検査装置において、
前記被検査体を載置して固定する被検査体固定台と、
この被検査体固定台より広い面積を有し、かつ前記被検査体固定台を載置して固定する基準電位金属部材と、
前記被検査体固定台に載置する被検査体の回路パターンの長さ方向で一定距離の間隔の両側の複数の回路の直上に配置し、かつ前記複数の回路を同時に測定可能な大きさを有し、各々1枚の金属電極からなる第1,第2検査電極と、
前記第1,第2検査電極と前記被検査体の回路パターンの両側の複数の回路を同時に接触又は隙間を介して非接触的に近接すべく前記第1,第2検査電極を押圧、離反可能に上下動自在に設けた第1,第2可動部材と、
前記第1,第2検査電極の間の交流電圧及び前記被検査体に流れる交流電流を測定すると共に、前記被検査体の静電容量を測定する測定装置と、
を備え、
前記第1,第2検査電極を前記被検査体の複数の回路に直接接触させて、前記複数の回路の断線を一度の前記被検査体の静電容量の測定で同時に判別する構成であることを特徴とする回路断線検査装置。 - 複数の列状の回路からなる回路パターンに形成されている被検査体の前記複数の回路の断線を検査する回路断線検査装置において、
前記被検査体を載置して固定する被検査体固定台と、
この被検査体固定台より広い面積を有し、かつ前記被検査体固定台を載置して固定する基準電位金属部材と、
前記被検査体固定台に載置する被検査体の回路パターンの長さ方向で一定距離の間隔の両側の複数の回路の直下に配置し、かつ前記複数の回路を同時に測定可能な大きさを有し、各々1枚の金属電極からなる第1,第2検査電極と、
前記第1,第2検査電極と前記被検査体の回路パターンの両側の複数の回路を同時に接触すべく前記被検査体を押圧、離反可能に上下動自在に設けた第1,第2可動部材と、
前記第1,第2検査電極の間の交流電圧及び前記被検査体に流れる交流電流を測定すると共に、前記被検査体の静電容量を測定する測定装置と、
を備え、
前記第1,第2検査電極を前記被検査体の複数の回路に直接接触させて、前記複数の回路の断線を一度の前記被検査体の静電容量の測定で同時に判別する構成であることを特徴とする回路断線検査装置。 - 前記測定装置で測定されたデータによりインピーダンスを計算する演算装置と、この演算装置で計算したインピーダンスの変化が予め設定した所定範囲より大きいか否かを比較判断し、かつ前記所定範囲より大きいときに回路断線と判断する比較判断装置と、を備えた制御装置が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の回路断線検査装置。
- 前記第1,第2検査電極を前記被検査体の回路パターンの長さ方向の両端に配置し、前記第1,第2検査電極との通電用配線が前記被検査体の回路パターンに交差しない配置構成であることを特徴とする請求項1、2又は3記載の回路断線検査装置。
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