JP3524049B2 - 配線パタ−ンの検査方法 - Google Patents

配線パタ−ンの検査方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板に於ける
配線パタ−ンの検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】従来、回路基板に形成さ
れた複数の配線パタ−ンの断線・短絡検査を行う方法と
しては、複数の配線パタ−ンの一方の各端子に共通に検
査用電極を接触させ、また、各配線パタ−ンの他方の個
々の端子にプローブ針等を接触させて直流抵抗を検出す
ることにより断線検査を行う一方、隣り合う配線パタ−
ン間の短絡検査は、検査用電極を取り除いてプローブ針
を介して行う手法がある。
【０００３】この方法によれば、配線パタ−ンの微小な
断線に対しても確実に検出することができるので、信頼
性の高い検査を行うことが可能であるが、断線検査時は
検査用電極を配線パタ−ンの端子に接触させ、また、短
絡検査時にはその検査用電極を取り除く必要があるの
で、検査装置が複雑化し、検査時間等も効率的ではない
という問題がある。
【０００４】このような問題を解消する為、検査用電極
を配線パタ−ンの一方の端子に上記の如く接触させるこ
となく端子から所要の間隔をあけて配置し、他方の個々
の端子にはプローブ針等を接触させて配線パタ−ンと検
査用電極との間の静電容量から断線の検査を行い、ま
た、隣り合う配線パタ−ン間の短絡検査は、検査用電極
をそのまま配置した状態でプローブ針を介して行う方法
もある。
【０００５】この方法では、検査用電極を配線パタ−ン
の端子から間隔をあけて配置してあるので、断線・短絡
の検査時に検査用電極の移動が不要となり、装置の単純
化や検査時間等の効率化を図れるが、端子と検査用電極
間の間隔に対し微小な断線がある場合には、静電容量の
変化は微小であって検出が困難な場合がある。
【０００６】そこで、本発明は回路基板に於ける配線パ
タ−ンの断線及び短絡の有無を簡便且つ確実に検査可能
な配線パタ−ンの検査方法を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】その為に本発明による配
線パタ−ンの検査方法では、回路基板に於ける複数の配
線パタ−ンの一方の各端子に共通にピエゾ素子等の圧電
素子を接触させた状態で前記配線パタ−ンの他方の個々
の端子にプローブ針を介して電圧を印加することにより
前記各配線パタ−ンの断線の有無を検査すると共に、隣
り合う前記配線パタ−ン間の短絡検査は前記プローブ針
を用いて行うものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図示の実施例を参照しなが
ら本発明を更に詳述する。図１は本発明による配線パタ
−ンの検査方法を説明する図である。図に於いて、１は
回路基板に於ける複数の所要の配線パタ−ンを示し、２
はそれらの配線パタ−ンの一方の端子であってその他方
の端子は符号３で示している。
【０００９】そして、４は一方の各端子２に共通に接触
させたピエゾ素子などのセラミック等の絶縁体を用いた
圧電素子であり、また、５はその他方の各端子３に接触
させたプローブ針である。
【００１０】このような装置を用いて配線パタ−ン１の
断線検査を行うには、圧電素子４を一方の各端子２に共
通に接触させた状態で他方の個々の各端子３にプローブ
針５を介して電圧を印加して圧電素子４の変化を検出す
ることにより行うことが可能であり、また、隣り合う配
線パタ−ン１間の短絡検査はプローブ針５を用いて行う
ことができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明による配線パタ−ンの検査方法に
よれば、圧電素子は直接電圧を印加することにより変化
する為、配線パタ−ンの微小な断線の検出も可能であっ
て、高精度な検査を行える。
【００１２】また、圧電素子としてセラミック等の絶縁
体を用いるので、配線パタ−ン間の短絡検査時でもこの
圧電素子を取り除く必要がない為、検査装置の構造を単
純化できる一方、検査時間の短縮など効率的な検査がで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による配線パタ−ンの検査方法を説明す
る図である。
【符号の説明】
１ 配線パタ−ン ２ 端子 ３ 端子 ４ 圧電素子 ５ プローブ針

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】回路基板に於ける複数の配線パタ−ンの一
    方の各端子に共通に圧電素子を接触させた状態で前記配
    線パタ−ンの他方の個々の端子にプローブ針を介して電
    圧を印加することにより前記各配線パタ−ンの断線の有
    無を検査すると共に、隣り合う前記配線パタ−ン間の短
    絡検査は前記プローブ針を用いて行うことを特徴とする
    配線パタ−ンの検査方法。
  2. 【請求項２】前記圧電素子にピエゾ素子を用いる請求項
    １の配線パタ−ンの検査方法。
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