JP5122512B2 - 回路パターン検査装置 - Google Patents
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図1は、本実施の形態例に係る基板検査装置の全体構成を示すブロック図である。図1に示す基板検査装置の検査対象1は、例えば、液晶表示パネルやタッチ式パネルであり、ここでは、ガラス製の基板3上に配設された櫛歯状導電パターン2の良否(導電パターンの断線状態、および導電パターン相互の短絡状態)を検査する。なお、櫛歯状導電パターン2は、例えば、これらのパネルにおける張り合わせ前の導電パターンであり、その導電性材料として、例えば、クロム、銀、アルミニウム、ITO等が使用されている。
Claims (5)
- 検査対象基板上に形成された線形に延伸する複数の導電パターンに対して、共に同一の前記導電パターンと非接触状態で離間して容量結合し、該導電パターンに1つの交流信号からなる検査信号を印加する信号供給部と、前記印加された検査信号を該導電パターンから検出する信号検出部と、前記検出信号を増幅する増幅器と、を一体的に収納され、前記信号検出部が、前記信号供給部から出力された前記検査信号が直接的に入り込まない間隔で且つ前記信号供給部と近接した位置に配置し、さらに前記増幅器を前記信号検出部の直後に配置して収納する1つのユニットと、
前記ユニットに対して前記検査対象基板を前記導電パターンの前記延伸する方向とは交差する方向で、前記導電パターンとは非接触状態で離間して、順次移動させる移動部と、
前記移動する前記検出部により検出された直後に増幅された前記検出信号と、予め設定した基準値とを比較し、該検出信号が該基準値以上か否かで前記導電パターンの断線の有無を識別する識別部と、
を備えることを特徴とする回路パターン検査装置。 - 前記導電パターンは、一方の端部側が1つに接続された櫛歯状に形成されており、
前記ユニットは、他方の導電パターンの開放端側の先端部近傍を前記移動部により移動されて、前記検査信号の印加と前記検出信号の検出を行うことを特徴とする請求項1記載の回路パターン検査装置。 - 前記ユニット内において、前記信号検出部は、前記信号供給部からの前記検査信号を直接的に受けない近接した位置で10mmの間隔を空けて配置されることを特徴とする請求項1に記載の回路パターン検査装置。
- 1つのユニット内に収納される信号供給部が、検査対象となる基板の一方の面上に配列された線形に延伸する複数の導電パターンと非接触状態で離間して交差するように移動しながら、各導電パターン上方を通過する際に、前記信号供給部が1つの前記導電パターンと非接触で容量結合して、1つの交流信号からなる検査信号を該導電パターンに印加するステップと、
前記信号供給部から出力された前記検査信号を直接的に受けない間隔で、且つ前記信号供給部と近接した位置に配置するように前記ユニット内に収容された前記信号検出部が、前記検査信号を印加した前記導電パターンに非接触で容量結合して、前記検出信号を検出し、前記ユニット内で前記信号検出部の直後に配置される増幅器により、検出した前記検出信号を増幅して出力ステップと、
前記ユニットから出力された前記検出信号と予め設定した基準値とを比較し、該検出信号が該基準値以上か否かで前記導電パターンの断線の有無を識別するステップと、
を備えることを特徴とする回路パターン検査方法。 - 前記導電パターンが、一方の端部側が1つに接続された櫛歯状に形成されて、
前記ユニットは、他方の導電パターンの開放端側の先端部近傍を移動されて、前記検査信号の印加と前記検出信号の検出を行うことを特徴とする請求項4記載の回路パターン検査方法。
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