JP2009229467A - 回路パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス基板3上に列状に配設された導電パターン2の良否を非接触で検査する際、検査信号を供給する給電部12と、その信号を検知するためのセンサ13とを近接して配する。かかる構成とすることで、オープン状態のない正常な導電パターン上にセンサ13がある場合と、オープン箇所のある導電パターン上にセンサ13が位置したときとで、そのセンサ13による検査電流の検出レベルに顕著な相違が生じるため、オープン状態の検出を確実に行える。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施の形態例に係る基板検査装置の全体構成を示すブロック図である。図1に示す基板検査装置の検査対象1は、例えば、液晶表示パネルやタッチ式パネルであり、ここでは、ガラス製の基板3上に配設された櫛歯状導電パターン2の良否(導電パターンの断線状態、および導電パターン相互の短絡状態)を検査する。なお、櫛歯状導電パターン2は、例えば、これらのパネルにおける張り合わせ前の導電パターンであり、その導電性材料として、例えば、クロム、銀、アルミニウム、ITO等が使用されている。
Claims (1)
- 基板上に延設された導電パターンの断線状態を検査する回路パターン検査装置であって、
前記導電パターン上方に離間し、交流信号からなる検査信号を、容量結合を介して印加する信号供給手段と、
前記導電パターンの延設方向で上方に離間し、且つ前記信号供給手段に近接して1つのユニットとして設けられて、前記導電パターンに印加された前記検査信号を、容量結合を介して検出する信号検出手段と、
前記ユニットを前記導電パターンと交差する方向に前記離間した状態で移動させる移動手段と、
前記信号検出手段で検出された前記検出信号と予め設定した基準値とを比較し、該検出信号が該基準値以上か否かで前記導電パターンの断線を識別する識別手段と、
を備えることを特徴とする回路パターン検査装置。
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