KR100823357B1 - 회로 패턴 검사 장치 - Google Patents

Abstract

확실하면서 용이하게 회로 기판의 불량을 검출할 수 있는 회로 검사 장치를 제공한다. 단부가 열 형태로 배치되어 베이스부가 서로 접속된 공통 패턴(20)과, 공통 패턴(20)의 열형 패턴 사이에 배치되어 있는 다른 패턴과 비접속인 플로우 패턴군(3b)을 검사할 때에, 양 패턴에 교대로 교류 신호를 공급하여 다른 쪽을 접지 레벨로 접속하고, 다른 쪽 단부에 배치한 센서(131, 132, 133)로 교류 신호를 검출한다.

공통 패턴, 급전 패널, 센서 플레이트, 플로우 패턴, 센서 출력 처리 회로

Description

회로 패턴 검사 장치{CIRCUIT PATTERN INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 기판 상, 예를 들어 유리 기판 상에 형성된 도전성 패턴의 좋고 나쁨을 검사할 수 있는 회로 패턴 검사 장치에 관한 것이다.

기판 상에 형성된 회로간 패턴의 좋고 나쁨을 검사하기 위한 방법으로서, 종래부터 핀 콘택트 방식이 알려져 있다. 핀 콘택트 방식은 검사 대상의 도체 패턴 양단부에 핀 프로우브을 각각 직접 접촉시키고, 한 쪽 핀 프로우브에 전류를 흐르게 한 후 다른 쪽 핀 프로우브에서 검출된 전압치로부터, 상기 도체 패턴의 저항치를 구함으로써 양단부 사이의 도통 검사를 행하는 방식이다.

상기 핀 콘택트 방식은 직접 핀 프로우브를 접촉시키므로, SN비가 높다는 장점을 갖는다. 그러나, 그 반면 파인 피치의 기판을 검사하는 것은 핀을 세우는 것 자체가 곤란하고, 또 핀을 원하는 패턴에 접촉시키기 위한 위치 결정도 어려워진다.

이로 인해, 검사 대상인 도체 패턴의 일단부에 핀 프로우브를 직접 접촉시켜 교류 성분을 포함하는 검사 신호를 인가하고, 타단부의 프로우브에서는 도체 패턴에 접촉시키지 않고 소정 간격 이격시킨 상태로 위치 결정하여, 용량 결합을 거쳐서 상기 검사 신호를 검출하는 비접촉 - 접촉 병용 방식도 제안되어 있었다.

상기 비접촉 - 접촉 병용 방식은, 패턴선 타단부의 프로우브는 핀 프로우브와 같이 패턴에 직접 접촉시킬 필요가 없으므로, 위치 결정 정밀도를 낮게 할 수 있다. 또한, 비접촉부를 복수의 패턴선에 대해 공통화할 수 있으므로, 프로우브의 개수를 삭감할 수 있다. 그로 인해, 도전성 패턴의 간격이 미세한 경우라도 대응 가능하다.

또한, 한 쌍의 프로우브에서 각각의 패턴의 양단부를 추적하면서 검사를 행하는 추적 방식의 검사 장치도 있다. 이 추적 방식은, 공정마다 전용의 지그를 제작할 필요가 없는 이점을 갖고 있다.

그러나, 핀 콘택트 방식 및 비접촉 - 접촉 병용 방식은 도전성 패턴의 양단부 위치에 배치하는 프로우브나 프로우브로부터의 검출 신호 처리 등이, 도전성 패턴의 배치 간격에 따라서 제어되기 때문에, 도전성 패턴의 형상은 미리 결정된 1 종류이고, 도전성 패턴이 다르면 지그도 또한 패턴에 맞추어 제작할 필요가 있었다.

또한, 추적 방식에서는 도전성 패턴의 간격이 한 쪽 단부와 다른 쪽 단부에서 동일해야 하고, 가령 한 쪽 단부와 다른 쪽 단부에서 패턴 간격이 다른 패턴에서는 양단부를 추적할 수 없어 검사할 수 없었다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하는 것을 목적으로 하여 이루어진 것으로, 예를 들어 패턴의 양단부에 모두 비접촉하면서, 가령 한 쪽 단부와 다른 쪽 단부에서 패턴 간격이 다른 도전성 패턴이라도 용이하게 패턴의 좋고 나쁨을 검사할 수 있는 회로 패턴 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적을 달성하는 하나의 수단으로서, 예를 들어 이하의 구성을 구비한다.

즉, 선단부와 기부를 구비하여 열 형태로 배치된 열 형상 패턴 및 상기 열 형상 패턴의 상기 기부를 서로 접속시키기 위한 공통 접속 패턴으로 이루어진 빗살형 도전성 패턴과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴 사이에 배치되어 각각이 서로 비접속되어 있는 복수의 플로우 패턴으로 이루어지는 도전성의 플로우 패턴군을 갖는 기판의 도전성 패턴의 상태를 검사하는 회로 패턴 검사 장치이며, 상기 빗살형 도전성 패턴의 선단부에 있어서, 상기 열 형상 패턴의 선단부 및 상기 플로우 패턴의 선단부와 각 패턴마다 개별로 비접촉 방식으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 선단부 용량 결합 수단과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서, 비접촉 방식으로 상기 공통 접속 패턴의 전부와 소정 폭으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 공통부 용량 결합 수단과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서, 비접촉 방식으로 상기 플로우 패턴의 기단부로부터 소정 폭으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 플로우부 공통 용량 결합 수단과, 상기 공통부 용량 결합 수단과 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단 중 어느 한 쪽에 검사 신호를 공급하는 검사 신호 공급 수단과, 상기 선단부 용량 결합 수단에 의해 상기 검사 신호 공급 수단으로부터 공급되는 검사 신호에 대응한 상기 각 열 형상 패턴과 상기 각 플로우 패턴으로부터의 검출 신호의 변화를 검출하는 검출 수단을 구비하고, 상기 공통부 용량 결합 수단 및 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단에 공급한 검사 신호를 상기 검출 수단에 의해 검출하고 각각의 검출 결과로부터 상기 빗살형 도전성 패턴과 상기 플로우 패턴군의 상태를 검사하는 것을 특징으로 한다.

그리고 예를 들어, 상기 기판은 유리로 구성되어 있어, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴과 상기 플로우 패턴군은 상기 유리 상에 막대가 교대로 나열된 형상으로 형성된 도전성 패턴인 것을 특징으로 한다.

또 예를 들어, 상기 각 용량 결합 수단은 도전성 패턴과 소정 간극을 갖도록 위치 결정 제어되는 비접촉 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다. 혹은, 상기 열 형상 패턴의 선단부 및 플로우 패턴의 선단부와 각 패턴별로 결합되는 상기 선단부 용량 결합 수단의 상기 비접촉 플레이트의 폭은 용량 결합될 패턴 폭보다 폭이 좁은 것을 특징으로 한다.

또한 예를 들어, 상기 공통부 용량 결합 수단과 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단의 비접촉 플레이트는, 상기 비접촉 플레이트와 대향하는 용량 결합될 도전성 패턴의 면적과 동일한 면적이 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또 예를 들어, 검사 신호는 교류 신호이고, 상기 교류 신호는 상기 공통부 용량 결합 수단과 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단 중 어느 한 쪽으로부터 상기 도전성 패턴에 공급되는 것을 특징으로 한다.

또한, 선단부와 기부를 구비하고 열 형태로 배치된 열 형상 패턴 및 상기 열 형상 패턴의 상기 기부를 서로 접속시키기 위한 공통 접속 패턴으로 이루어진 빗살형 도전성 패턴과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴과 교대로 배치되어 각각이 서로 비접속되어 있는 복수의 플로우 패턴으로 이루어지는 플로우 패턴군을 검사하는 회로 패턴 검사 장치이며, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 접속된 상기 열 형상 패턴의 전부에 교류 신호를 공급함과 동시에 상기 플로우 패턴의 전부를 공통 전위로 유지하고, 이어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 접속된 상기 열 형상 패턴의 전부를 공통 전위로 유지함과 동시에 상기 플로우 패턴의 전부에 교류 신호를 공급하는 교류 신호 공급 제어 수단과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴 선단부 및 상기 플로우 패턴 선단부로부터 상기 공급된 교류 신호를 검출하는 검출 수단을 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 선단부와 기부를 구비하고 열 형태로 배치된 열 형상 패턴 및 상기 열 형상 패턴의 상기 기부를 서로 접속시키기 위한 공통 접속 패턴으로 이루어진 빗살형 도전성 패턴과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴 사이에 배치되어 각각이 서로 비접속되어 있는 복수의 플로우 패턴으로 이루어지는 도전성의 플로우 패턴군을 갖는 기판의 도전성 패턴의 상태를 검사하는 회로 패턴 검사 장치를 이용하는 회로 패턴 검사 방법이며, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서 비접촉 방식으로 상기 공통 접속 패턴의 전부와 소정 폭으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 공통부 용량 결합 수단, 혹은 상기 빗살형 도전성 패턴의 공통 접속 패턴의 기부에 있어서 비접촉 방식으로 상기 플로우 패턴의 기단부로부터 소정 폭으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 플로우부 공통 용량 결합 수단 중 어느 한 쪽에 교류 신호를 공급하고 다른 쪽을 접지 레벨로 유지한 상태로 제어하고, 상기 빗살형 도전성 패턴의 선단부에 있어서 상기 열 형상 패턴의 선단부 및 상기 플로우 패턴의 선단부에서 각 패턴마다 개별로 비접촉 방식으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 선단부 용량 결합 수단에 의해 검사 대상 패턴으로부터 출력된 교류 신호를 검출하고, 모든 검사 대상 패턴에 대한 교류 신호의 검출이 종료된 후, 교류 신호가 공급되어 있던 상기 공통부 용량 결합 수단 혹은 플로우부 공통 용량 결합 수단 중 교류 신호가 공급되어 있던 어느 한 쪽을 접지 레벨로 유지하고, 접지 레벨로 유지되어 있던 다른 한 쪽에 교류 신호를 공급하는 상태로 제어하고, 상기 빗살형 도전성 패턴의 선단부에 있어서 상기 열 형상 패턴의 선단부 및 상기 플로우 패턴의 선단부에서 각 패턴마다 상기 선단부 용량 결합 수단에 의해 검사 대상 패턴으로부터 출력된 교류 신호를 검출하고, 양 검출 결과에 의해 검사 대상 패턴의 좋고 나쁨을 검사 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.

또한, 선단부와 기부를 구비하고 열 형태로 배치된 열 형상 패턴과 상기 열 형상 패턴의 상기 기부를 서로 접속시키기 위한 공통 접속 패턴으로 이루어진 빗살형 도전성 패턴과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴과 교대로 배치되어 각각이 서로 비접속되어 있는 복수의 플로우 패턴으로 이루어지는 플로우 패턴군을 검사하는 회로 패턴 검사 장치를 이용한 회로 패턴 검사 방법이며, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 접속된 상기 열 형상 패턴의 전부에 교류 신호를 공급함과 동시에 상기 플로우 패턴의 전부를 공통 전위로 유지하고, 이어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 접속된 상기 열 형상 패턴의 전부를 공통 전위로 유지함과 동시에 상기 플로우 패턴 전부에 교류 신호를 공급하여 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴 선단부 및 상기 플로우 패턴 선단부로부터 상기 공급된 교류 신호를 각각 검출하는 것을 특징으로 한다.

도1은 본 발명에 관한 발명의 일실시 형태예의 패턴 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.

도2는 본 실시 형태예의 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.

도3은 본 실시 형태예의 도전성 패턴의 검사 제어를 설명하기 위한 흐름도이다.

도4는 본 실시 형태예에 있어서의 도전성 패턴이 주변과 접촉하고 있던 쇼트 기판의 검출예를 도시하는 도면이다.

도5는 본 실시 형태예에 있어서의 도전성 패턴의 일부가 단선되어 개방 상태(오픈 상태)로 되어 있는 기판의 검출예를 도시하는 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관한 발명의 일실시 형태예를 상세하게 설명한다. 이하의 설명은, 검사해야 할 패턴으로서 액정 표시 패널을 형성하는 돗트 매트릭스 표시용 패널에 있어서의 접합 전의 돗트 매트릭스 패턴을 대상으로 하여 상기 패턴의 좋고 나쁨을 검사하는 회로 패턴 검사 장치를 예로서 기술한다.

그러나, 본 발명은 이하에 설명하는 예에 한정되는 것은 아니며, 한 쪽 단부에 있어서 용량 결합되는 센서를 배치할 수 있는 패턴이면 하등 한정되는 것은 아니다.

도1은 본 발명에 관한 발명의 일실시 형태예의 패턴 검사 원리를 설명하기 위한 도면이다.

도1에 있어서, 부호 10이 본 실시 형태예의 검사해야 할 도전성 패턴이 배치되어 있는 기판이며, 본 실시 형태예에서는 액정 표시 패널에 이용하는 유리제 기판을 이용하고 있다.

유리제 기판(10)의 표면에는, 본 실시 형태예에서 회로 패턴 검사 장치로 검사하는 돗트 매트릭스 표시 패널을 형성하기 위한 도전성 패턴, 즉, 공통 패턴(20) 및 봉 형상 플로우 패턴군(30)이 배치되어 있다.

부호 20은 선단부와 기부를 구비하고 열 형태로 배치된 열 형상 패턴(20A)과, 열 형상 패턴(20A)의 상기 기부를 서로 접속하기 위한 접속 패턴(20B)에 의해 빗살형으로 형성된 공통 패턴이다. 부호 30은 봉 형상 플로우 패턴군이며, 봉 형상 플로우 패턴군(30)은 사선으로 나타내는 공통 패턴(20)의 열 형상 패턴(20A) 사이에 배치되고, 공통 패턴(20)과는 비접속되어 있다.

도1에 도시한 예에서는, 공통 패턴(20)의, 기부의 접속 패턴(20B)을 제외한 열 형태로 배치되어 있는 각 열 형상 패턴(20A)과, 봉 형상 플로우 패턴군(30)의 개별 봉 형상 플로우 패턴(30A)은 각 패턴의 폭이 동일하고, 각 패턴 간격도 등간격으로 되어 있다.

부호 110은 검사시에 공통 패턴(20)의 접속 패턴(20B) 대향 부위에 비접촉 방식으로 위치 결정되고, 공통 패턴(20)의 접속 패턴(20B) 전체 영역을 커버하는 폭을 가지며, 결합 용량을 구비하여 용량 결합 가능한 공통부 용량 결합 수단을 구성하여 교류 신호 생성부(220)로부터의 교류 신호를 공통 패턴(20)에 공급 가능한 공통 급전 패널이다.

부호 120은 공통 패턴(20) 중 열 형상 패턴(20A)의 접속 패턴(20B)측 기부와, 봉 형상 플로우 패턴군(30)의 공통 패턴(20) 기부 방향 단부에 상기 공통 급전 패널(110)에 인접하여 비접촉 방식으로 위치 결정되고, 상기 공통 급전 패널(110)과 동일한 크기로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 플로우부 공통 용량 결합 수단을 구성하고, 교류 신호 생성부(230)로부터의 교류 신호를 공통 패턴(20)과 각 봉 형상 플로우 패턴군(30)에 공급 가능한 플로우 급전 패널이다.

본 실시 형태예에서는 공통 급전 패널(110)과 플로우 급전 패널(120)은 동일한 면적으로 하고, 상기 패널(110, 120)과 대향하는 검사 대상 도전성 패턴의 면적이 동일한 면적이 되도록 형성하여, 교류 신호 공급처 패널의 변경에 의한 검출 신호 레벨의 변동을 억제하고 있다.

부호 130은 봉 형상 플로우 패턴군(30)과 공통 패턴(20) 중 열 형상 패턴(20A)의 양 쪽 단부에 비접촉 방식으로 위치 결정되는 센서 플레이트이며, 센서 플레이트(130)에는 센서(131, 132, 133)가 등간격으로 배치되어 있다.

센서(131, 132, 133)는, 공통 패턴(20)의 열 형상 패턴(20A)과 봉 형상 플로우 패턴군(30)의 각 도전성 패턴의 배치 간격의 복수배의 간격을 두고 센서 플레이트(130)에 배치되며, 각 도전성 패턴에 대해서는 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 선단부 용량 결합 수단을 구성한다(도1의 예에서는 3개이지만 이 개수는 임의로 구성 가능).

센서(131, 132, 133)는, 공통 급전 패널(110) 또는 플로우 급전 패널(120)로부터 공급되어 도전성 패턴을 거쳐서 이송되어 온 교류 신호를 검출하도록 구성되어 있다.

본 실시 형태예에서는 공통 급전 패널(110) 또는 플로우 급전 패널(120) 중 어느 하나에 교류 신호를 공급하고, 다른 쪽을 접지 레벨로 하여 기판(10)을 화살표 방향으로, 예컨대, 일정 속도로 이동시켜 공통 패턴(20) 또는 봉 형상 플로우 패턴군(30)을 타고 오는 공통 급전 패널(110) 또는 플로우 급전 패널(120)로부터 공급된 상기 교류 신호를 각 센서(131, 132, 133)에서 검출한다.

부호 210은 센서 플레이트(130)에 배치된 각 센서(131, 132, 133)로부터 전계 강도의 변화로서 검출한 검출 신호를 증폭 정형하여, 아날로그 신호로서 혹은 필요에 따라 아날로그 - 디지털 변환을 행하여 대응하는 디지털 신호로서 출력하도록 구성되어 있는 센서 출력 처리 회로이다.

부호 220 및 230은 소정 주파수의 교류 신호를 생성하여, 생성한 교류 신호를 공통 급전 패널(110) 또는 플로우 급전 패널(120)을 거쳐서 공통 패턴(20) 혹은 각 봉 형상 플로우 패턴군(30)에 공급하는 교류 신호 생성부이다.

또, 도1의 예에서는 교류 신호 생성부(220, 230)가 별개의 구성인 것처럼 기재하고 있지만, 후술하는 바와 같이 교류 신호는 공통 급전 패널(110) 또는 플로우 급전 패널(120) 중 어느 한 쪽에 공급하는 것이고, 교류 신호를 동시에 양 쪽으로 공급하지 않는 공통의 교류 신호 발생부가 사용될 수 있다.

또한, 교류 신호 생성부를 공통화하여 공통 급전 패널(110) 또는 플로우 급전 패널(120) 중 어느 하나에 교류 신호를 공급하고, 다른 쪽은 공통 전위(예를 들 어, 접지 전위)에 접속하도록 제어해도 좋다.

또, 본 실시 형태예의 상술한 공통 급전 패널(110), 플로우 급전 패널(120), 센서 플레이트(130)는 모두 1개의 센서 패널 상에 부착되어 있고, 각 공통 급전 패널(110) 및 플로우 급전 패널(120)의 표면과 센서 플레이트(130)에 배치된 센서(131, 132, 133)의 표면과는 동일 평면이 되도록 위치 결정 배치되어 있다.

본 실시 형태예의 도전성 패턴의 검사 원리를 이하 도2를 참조하여 설명한다. 도2는 본 실시 형태예의 검사 원리를 설명하기 위한 도면이고, 도2의 (A)가 검사하는 도전성 패턴이 정상인 경우, 도2의 (B)가 패턴의 단선이 있는 경우, 도2의 (C)가 인접하는 도전성 패턴과의 접촉이 있는 경우의 각각을 도시하고 있다.

도2의 (B)는 도1의 B, C로 예시된 패턴 단선이 있는 부위를 센서로 검출한 경우를 도시하며, 도2의 (A)는 도1의 A로 예시된 도전성 패턴과의 접촉이 있는 부위를 센서로 검출한 경우를 도시하고 있다.

도2의 (A)에 도시한 바와 같이 도전성 패턴이 정상인 경우에는, 교류 신호 생성부로부터 한 쪽의 급전 패널에 공급된 교류 신호(교류 전력)는 도전성 패턴을 거쳐서 센서에 의해 검출되고, 우측 단부에 도시된 바와 같이 소정의 검출 레벨의 검출 결과가 센서 출력 처리 회로(210)에 출력된다.

또한, 도2의 (B)에 도시한 바와 같이 도전성 패턴의 일부가 단선되어 있는 상태인 경우에는, 교류 신호 생성부로부터 한 쪽의 급전 패널에 공급된 교류 신호(교류 전력)는 도전성 패턴의 단선부로부터 센서측으로는 공급되지 않고, 우측 단부에 도시된 바와 같이 센서로부터의 검출 신호는 매우 근소하거나 혹은 전혀 검출되지 않는다.

또, 도2의 (C)에 도시한 바와 같이 인접하는 도전성 패턴과 접촉하고 있는 경우에는, 교류 신호 생성부로부터 한 쪽의 급전 패널에 공급된 교류 신호(교류 전력)는 도전성 패턴을 거쳐서 센서에 도달할 뿐만 아니라, 인접 패턴에 대향하는 급전 패널이 접지 레벨로 제어되어 있는 것으로부터 인접하는 도전성 패턴과의 접촉부(쇼트부)를 통해 인접 도전성 패턴에도 교류 전류가 흘러, 우측 단부에 도시된 바와 같이 센서로부터의 검출 신호는 정상시보다 작고 단선시보다 큰 레벨이 된다.

이상에서 설명한 본 실시 형태예의 도전성 패턴의 검사 제어를 이하 도3의 흐름도를 참조하여 설명한다. 도3은 본 실시 형태예의 도전성 패턴의 검사 제어를 설명하기 위한 흐름도이다.

본 실시 형태예에서는 도전성 패턴이 배치되어 있는 기판은 유리 기판이며, 스텝 S1에 있어서 표면에 예를 들어 도1에 도시한 검사 대상 도전성 패턴이 형성된 유리 기판이 도시되지 않은 반송로 상을 본 실시 형태예의 회로 패턴 검사 장치 위치(공정 위치)로 반송되어 온다.

본 실시 형태예의 회로 패턴 검사 장치 위치에 반송되어 온 검사 대상 기판은, 스텝 S2에 있어서 도시되지 않은 지그(기판 탑재 스테이지)에 의해 보유 지지된다.

이 지그는 XYZ 각도의 4축 제어에 의해 삼차원 위치 제어가 가능하게 구성되어 있고, 검사 대상 기판을 일단 본 실시 형태예의 각 공통 급전 패널(110), 플로우 급전 패널(120) 및 센서(131, 132, 133)가 배치된 센서 패널에 접촉하는 위치까지 상승시켜, 센서 패널 접촉 위치보다 일정 거리 이격시킨 위치에 위치 결정한다. 예를 들어, 이 측정 전의 기준이 되는 위치 결정 위치는, 예를 들어 도1에 도시한 위치 관계이다.

이것으로 검사 기판을 측정 위치에 위치 결정할 수 있었으므로, 스텝 S3에 있어서 우선 플로우 급전 패널(120)이 접지 레벨이 되도록 교류 신호 생성부(230)를 제어한다.

계속해서 스텝 S4에 있어서, 교류 신호 생성부(220)를 제어하여 공통 급전 패널(110)에 교류 신호가 공급되도록 제어한다. 즉, 우선 최초에 도1에 도시한 바와 같이 플로우 급전 패널(120)을 접지 레벨로, 공통 급전 패널(110)에 교류 신호를 인가한다.

그리고, 스텝 S5에서 검사 기판을 도1에 도시한 위치로부터 화살표 방향에 있는 다음 측정 위치로 이동시킨다. 동시에, 스텝 S6에 있어서 센서 출력 회로(210)는 각 센서(131, 132, 133)로부터의 검출 신호를 각각 시계열로 검출하여 도시되지 않은 내장 메모리에 기억한다.

센서 출력 처리 회로(210)는, 예를 들어 각 센서(131, 132, 133)로부터의 검출 신호를 앰프 회로에서 일정한 신호 레벨이 되도록 증폭하고, 멀티플렉서 회로 등을 거쳐서 각 센서 출력을 시분할 검출하고, 아날로그 - 디지털 변환 회로 등으로 대응하는 디지털 신호로 변환하여 내장 메모리에 저장한다.

다음에 스텝 S7에서 검사 기판의 이동 거리가 센서 배치 간격만큼 되었는지 여부를 조사한다. 검사 기판의 이동 거리가 센서 배치 간격만큼 되어 있지 않은 경우에는 스텝 S5로 복귀하여 검사를 속행한다.

한편, 스텝 S7에서 검사 기판의 이동 거리가 센서 배치 간격만큼 된 경우에는 스텝 S8로 진행하여, 공통 급전 패널(110)이 접지 레벨이 되도록 교류 신호 생성부(220)를 제어한다.

계속해서 스텝 S9에 있어서, 교류 신호 생성부(230)를 제어하여 플로우 급전 패널(120)에 교류 신호가 공급되도록 제어한다. 이것으로 도1에 도시한 교류 신호 생성부(220, 230)의 스위치 절환 상태가 반대로 된다.

그리고 스텝 S10에서, 예를 들어 스텝 S5와 마찬가지로 검사 기판을 다음 측정 위치로 이동시킨다. 동시에, 스텝 S11에 있어서 센서 출력 회로(210)는 각 센서(131, 132, 133)로부터의 검출 신호를 각각 시계열로 검출하여 도시되지 않은 내장 메모리에 기억한다.

다음에, 스텝 S12에서 스텝 S7과 마찬가지로 하여 검사 기판의 이동 거리가 센서 배치 간격만큼이 되었는지 여부를 조사한다. 검사 기판의 이동 거리가 센서 배치 간격만큼 되지 않은 경우에는 스텝 S10으로 복귀하여 검사를 속행한다.

한편, 스텝 S12에서 검사 기판의 이동 거리가 센서 배치 간격만큼 된 경우에는 스텝 S13으로 진행하고, 스텝 S6 및 스텝 S11에서의 각 센서에 의한 검출 결과를 합성하여 검사 결과를 소정 레벨의 검출 신호로 변환하고 검출 신호의 상태를 해석한다.

그리고, 스텝 S14에서 해석을 행한 결과 모든 검출 신호의 도전성 패턴 위치에서의 센서 검출 신호의 신호 레벨이 소정 범위 내의 신호 레벨인지 여부를 조사한다. 예를 들어, 검출 신호의 신호 레벨이 도2의 (A)의 우측 단부에 도시한 소정 범위 내의 신호 레벨인 경우에는 스텝 S15로 진행하여, 기판의 모든 도전성 패턴이 정상이라고 하여 상기 처리를 종료하고, 검사 기판을 반송 위치까지 하강시켜 반송로 상에 적재하고 다음 스테이지로 반송시킨다. 또, 연속한 검사를 행하는 경우에는 다음 검사 기판이 공정 위치로 반송되어 온 시점에서 다시 스텝 S2 이하의 처리를 실행하게 된다.

한편, 스텝 S14에서 검출 신호의 신호 레벨이 소정 범위 내의 신호 레벨이 아닌 경우에는 스텝 S16으로 진행하여, 검사 대상 기판의 배치 패턴이 불량이었다고 판단하여 처리를 종료하고, 검사 기판을 반송 위치까지 하강시켜 반송로 상에 적재하여 다음 스테이지로 반송되거나, 혹은 불량 기판을 반송로로부터 떼어내는 등의 처리를 행한다.

센서 출력은 도1의 하단에 도시한 바와 같이 검출 신호의 변화로서 나타난다. 본 실시 형태예에 있어서의 실제의 검사 장치에 있어서의 검사 결과의 예를 도4 및 도5에 나타낸다. 도4는 본 실시 형태예에 있어서의 도전성 패턴이 주변과 접촉하고 있던 쇼트 기판의 검출예를 나타내는 도면, 도5는 본 실시 형태예에 있어서의 도전성 패턴의 일부가 단선되어 개방 상태(오픈 상태)가 되어 있는 기판의 검출예를 나타내는 도면이다.

도4 및 도5에 있어서, 상단에 나타낸 검출 신호가 전체 검출 결과, 하단에 나타낸 것이 일부 확대 검출 결과를 나타내고 있다.

도4의 하단 좌측에 가이던스 표시한 부분이 도전성 패턴이 주변 패턴과 쇼트하고 있는 부분의 검출 결과이며, 공통 급전 패널(110)에 교류 신호를 공급한 경우에는 2개의 패턴에서 연속하여 교류 신호가 검출되므로, 검출 레벨이 상승하고 있다.

이에 대해, 플로우 급전 패널(120)에 교류 신호를 공급한 경우에는 교류 신호의 일부가 공통 급전 패널(110)측으로 흐르기 때문에, 센서로부터의 검출 레벨이 크게 2 패턴만큼 감소하고 있다. 따라서, 양 쪽 검출 결과의 각각에 특징이 나타나기 때문에, 노이즈 등에 의한 검출 결과의 오판정을 방지할 수 있다.

또한, 도5에 있어서 「COM 오픈」으로 나타낸 검출 결과가 공통 패턴(20)의 일부가 단선되어 오픈되어 있는 패턴의 검출 결과, 「FLOW 오픈」으로 나타낸 검출 결과가 봉 형상 플로우 패턴군(30) 중 1개의 도전성 패턴이 단선되어 오픈되어 있는 패턴의 검출 결과, 「COM/FLOW 오픈」으로 나타낸 검출 결과가 인접하는 공통 패턴(20)과 봉 형상 플로우 패턴군(30)의 일부가 단선되어 오픈되어 있는 패턴의 검출 결과, 「F · C · F」로 나타낸 검출 결과가 인접하는 봉 형상 플로우 패턴군(30), 공통 패턴(20), 봉 형상 플로우 패턴군(30)과 연속하여 일부가 단선되어 오픈되어 있는 패턴의 검출 결과를 나타내고 있다.

도5에 나타낸 바와 같이, 공통 급전 패널(110)과 플로우 급전 패널(120)의 양 쪽에 교대로 교류 신호를 공급하고, 다른 쪽을 접지 레벨로 제어함으로써, 센서(131, 132, 133)의 검출 신호의 파형을 크게 다르게 할 수 있어 다른 검출 결과가 얻어지기 때문에, 용이하게 패턴의 상황을 판단할 수 있어 불량 발생 원인의 특정 등을 용이하게 행할 수 있게 된다.

특히, 연속한 인접 패턴이 단선되어 있는 경우에는, 공통 급전 패널(110)과 플로우 급전 패널(120)의 양 쪽에 각각 다른 타이밍으로 교류 신호를 공급함으로써, 센서(131, 132, 133)의 검출 결과로 단독 패턴만 단선시의 검출 결과와 크게 다른 검출 신호 파형으로 할 수 있고, 용이하게 패턴의 상황을 판단할 수 있어 수복 가능한지 여부의 불량 발생 원인의 특정 등을 용이하게 행할 수 있게 된다.

특히, 어느 쪽인지 한 쪽만 검출 신호 파형이 변화되는 것이 아니라 양 검출 파형이 다르므로, 예를 들어 검출 신호에 노이즈가 혼입된 경우의 검출 결과가 패턴 불량에 대응한 검출 결과인지를 용이하게 판별할 수 있어, 보다 신뢰성이 높은 기판 검사가 가능해진다.

또, 이상의 설명에서는 도1에 도시한 바와 같이 공통 패턴(20)과 봉 형상 플로우 패턴군(30)과는 기부로부터 단부까지 평행하게 등간격으로 배치되어 있는 예를 설명하였다. 그러나, 본 실시 형태예에서는 검사 대상 패턴의 양단부에 쌍의 급전 단자와 센서를 배치하고 있는 것은 아니며, 기부측에는 각 패턴마다 독립된 센서 패널이 아닌 검사 대상 패턴 배치 폭만큼의 공통 급전 패널을 이용하도록 구성하고 있다.

이로 인해, 양단부의 패턴 배치 피치에 제한은 없고, 양단부 사이에서 패턴 배치 피치가 달라도 개조없이 검사할 수 있다. 이로 인해, 기부에서 패턴이 교축되어 있는 기판이라도 제어 등을 바꾸는 일 없이 그대로 적용할 수 있다.

또, 이상의 설명은 검사 대상 기판에 도1에 도시한 패턴만이 배치되어 있는 예를 설명하였지만, 검사 대상 기판이 도1에 도시한 검사 패턴이 복수조 배치되어 후속 공정으로 분리하여 제품화해도 좋다. 이 경우에는, 패턴조마다 급전 패널과 센서 패널을 구비하는 것이 바람직하다. 센서 출력 처리 회로(10)는 각 센서로부터의 검출 신호를 시분할 처리함으로써 각 세트에 공통된 것으로 할 수 있다.

예를 들어, 병렬로 복수조의 패턴을 형성한 경우, 1개의 기판 상에 종횡 모두 복수조씩 많은 패턴을 배치한 것이라도 좋다. 또한, 패턴의 형성예도 도1에 도시한 예에 한정되는 것은 아니며, 매트릭스의 수가 많은 대형 패널에도 그대로 적용할 수 있는 것은 물론이다. 도4 및 도5에 도시한 예에서는 병렬로 4 세트의 동일 패턴이 형성되어 있는 경우의 검출예이다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 검사 대상 패턴의 불량을 확실하게 검출할 수 있다.

또한, 패턴의 불량 상황도 쉽게 인식하는 것이 가능해져, 가령 검사 결과에 노이즈 등이 혼입되더라도 2개의 검출 신호를 비교함으로써 쉽게 제거할 수 있다.

Claims (12)

1. 선단부와 기부를 구비하여 열 형태로 배치된 열 형상 패턴 및 상기 열 형상 패턴의 상기 기부를 서로 접속시키기 위한 공통 접속 패턴으로 이루어진 빗살형 도전성 패턴과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴 사이에 배치되어 각각이 서로 비접속되어 있는 복수의 플로우 패턴으로 이루어지는 도전성의 플로우 패턴군을 갖는 기판의 도전성 패턴의 상태를 검사하는 회로 패턴 검사 장치이며,

   상기 빗살형 도전성 패턴의 선단부에 있어서, 상기 열 형상 패턴의 선단부 및 상기 플로우 패턴의 선단부와 각 패턴마다 개별로 비접촉 방식으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 선단부 용량 결합 수단과,

   상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서, 비접촉 방식으로 상기 공통 접속 패턴의 전부와 소정 폭으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 공통부 용량 결합 수단과,

   상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서, 비접촉 방식으로 상기 플로우 패턴의 기단부로부터 소정 폭으로 결합 용량을 구비하여 용량 결합하는 플로우부 공통 용량 결합 수단과,

   상기 공통부 용량 결합 수단과 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단 중 어느 한 쪽에 검사 신호를 공급하는 검사 신호 공급 수단과,

   상기 선단부 용량 결합 수단에 의해 상기 검사 신호 공급 수단으로부터 공급되는 검사 신호에 대응한 상기 각 열 형상 패턴과 상기 각 플로우 패턴으로부터의 검출 신호의 변화를 검출하는 검출 수단을 구비하고,

   상기 공통부 용량 결합 수단 및 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단에 공급한 검사 신호를 상기 검출 수단에 의해 검출하고 각각의 검출 결과로부터 상기 빗살형 도전성 패턴과 상기 플로우 패턴군의 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판은 유리로 구성되어 있고, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴과 상기 플로우 패턴은 소정 폭으로 상기 유리 상에 막대가 교대로 나열된 형상으로 형성된 도전성 패턴인 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 각 용량 결합 수단은 도전성 패턴과 소정 간극을 갖도록 위치 결정 제어되는 비접촉 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 열 형상 패턴의 선단부 및 상기 플로우 패턴의 선단부와 각 패턴별로 결합되는 상기 선단부 용량 결합 수단의 상기 비접촉 플레이트의 폭은, 용량 결합될 각각의 패턴의 폭보다 폭이 좁은 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 공통부 용량 결합 수단과 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단의 비접촉 플레이트는, 상기 비접촉 플레이트와 대향하는 용량 결합될 도전성 패턴의 면적과 동일한 면적이 되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검사 신호는 교류 신호이고,

   상기 교류 신호는 상기 공통부 용량 결합 수단과 상기 플로우부 공통 용량 결합 수단 중 어느 한 쪽으로부터 상기 도전성 패턴에 공급되는 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
7. 선단부와 기부를 구비하고 열 형태로 배치된 열 형상 패턴 및 상기 열 형상 패턴의 상기 기부를 서로 접속시키기 위한 공통 접속 패턴으로 이루어진 빗살형 도전성 패턴과, 상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴과 교대로 배치되어 각각이 서로 비접속되어 있는 복수의 플로우 패턴으로 이루어지는 플로우 패턴군을 검사하는 회로 패턴 검사 장치이며,

   상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서, 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 접속된 상기 열 형상 패턴의 전부에 교류 신호를 공급함과 동시에 상기 플로우 패턴의 전부를 공통 전위로 유지하고, 이어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 있어서 상기 빗살형 도전성 패턴의 기부에 접속된 상기 열 형상 패턴의 전부를 공통 전위로 유지함과 동시에 상기 플로우 패턴의 전부에 교류 신호를 공급하는 교류 신호 공급 제어 수단과,

   상기 빗살형 도전성 패턴의 상기 열 형상 패턴 선단부 및 상기 플로우 패턴 선단부로부터 상기 공급된 교류 신호를 검출하는 검출 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 회로 패턴 검사 장치.
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