JP2001153911A

JP2001153911A - 配線パターンの検査方法およびその装置

Info

Publication number: JP2001153911A
Application number: JP33838199A
Authority: JP
Inventors: Hajime Kuwabara; 一桑原; Satoshi Tsunoda; 聡角田
Original assignee: Yokogawa Electric Corp; Yokogawa Precision Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp; Yokogawa Precision Corp
Priority date: 1999-11-29
Filing date: 1999-11-29
Publication date: 2001-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】配線パターンの断線、短絡を検査する方法／
装置において、検査速度が遅い、任意の配線パターンの
対応できない、構成が複雑である、等の課題を解決す
る。【解決手段】複数の電極が配置されたプローブの該電
極を配線パターンの一部に電気的に接触させ、この配線
パターンと並行にかつ前記プローブの反対側に配置され
た平面電極板と前記配線パターンとの間に形成される静
電容量を測定することによって、前記配線パターンの断
線または短絡を検査することを特徴とする配線パターン
の検査方法およびその装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板等の
配線パターンの断線、隣接パターンとの短絡等を検査す
る検査方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板は絶縁板の表面および内部
に銅箔等で配線パターンを形成したものであり、この配
線パターンの断線や隣接パターンとの短絡の有無を検査
しなければならない。このようなプリント基板の検査装
置の従来例について説明する。図９はフライング・プロ
ーブ式テスタであり、少なくとも２本の電極をサーボ機
構で動かしながらパターンの導通と隣接パターンとの絶
縁を検査する装置である。図９において、８１１は検査
する対象であるプリント基板、８１２〜８１５はサーボ
モータである。また、この図では示されていないが、サ
ーボモータ８１４、８１５の下部にはそれぞれ電極Ａ，
Ｂが配置されており、プリント基板８１１の配線パター
ンと接触するようになっている。サーボモータ８１２は
電極ＡをＸ軸（横軸）方向に移動させ、サーボモータ８
１４は電極ＡをＹ軸（縦軸）方向に移動させる。また、
サーボモータ８１３は電極ＢをＸ軸方向に移動させ、サ
ーボモータ８１５は電極ＢをＹ軸方向に移動させる。す
なわち、サーボモータ８１２〜８１５を制御することに
より、電極Ａ，Ｂをプリント基板８１１上の任意の位置
に移動することができる。このようにして、電極Ａ、Ｂ
により、プリント基板８１１の任意の２点間の導通、絶
縁を測定してプリント基板を検査する。

【０００３】図１０はユニバーサル・ジグ式テスタであ
る。このテスタでは、プリント基板と導通測定ユニット
との間に可尭性の長いプローブ電極を設け、このプロー
ブ電極を変形させてその先端をプリント基板の配線パタ
ーン部分に接触させて導通、絶縁を測定するものであ
る。図１０において、８２１は検査対象のプリント基
板、８２２はプローブ電極、８２３，８２４は矯正治
具、８２５は導通測定ユニットである。矯正治具８２
３，８２４を操作してプローブ電極８２２をプリント基
板８２１の測定すべき場所に移動させてその先端を配線
パターンに接触させる。導通測定ユニット８２５はプロ
ーブ電極８２２をスキャンして、各プローブ電極間の導
通、絶縁を測定する。このようにして、プリント基板８
２１の任意の２点の導通、絶縁を測定することにより、
プリント基板の良否を判定する。

【０００４】図１１は専用ジグ式テスタである。なお、
図１０と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略す
る。この装置では、ユニバーサル・ジグ式テスタの矯正
治具８２３，８２４の代わりに専用変換治具８２６を配
置し、この専用変換治具８２６によりプローブ電極８２
２の先端をプリント基板８２１の任意の場所に位置付け
るようにしたものである。このテスタではプリント基板
の種類毎に専用変換治具を製作しなければならないが、
位置が安定し、かつフライング・プローブ式テスタのよ
うに位置決めが不要なので高速で測定できるという利点
がある。

【０００５】図１２は、これらフライング・プローブ式
テスタ、ユニバーサル・ジグ式テスタ、専用ジグ式テス
タの３方式を比較した図である。横軸は検査を行うため
の準備に要する時間、縦軸は検査個数である。目視検査
は作業者が目でチェックするものであり、準備に要する
時間は１分程度と短いが、せいぜい数枚の検査が限度で
ある。フライング・プローブ式テスタはサーボモータで
電極を移動させるための検査データが必要になるので１
時間程度の準備時間が必要である。また、電極をいちい
ち動かさなければならず時間がかかるので、数十枚の検
査が限度である。従って、これらの検査は、種類が多く
枚数が少ない試作品に適している。ユニバーサル・ジグ
式テスタはユニバーサル治具をコントロールするための
準備に数日を要するが、検査速度が比較的速いので中量
生産品に適している。専用ジグ式テスタは、専用治具を
製作するために１週間程度の準備期間が必要であるが、
検査速度が早く、大量生産品の検査に適している。

【０００６】図１３に、これらフライング・プローブ式
テスタ、ユニバーサル・ジグ式テスタ、専用ジグ式テス
タの検査の準備あるいは検査に時間がかかるという欠点
を一挙に解決したアレイ・プローブ式テスタを示す。こ
のアレイ・プローブ式テスタは特開平８−４３４７１号
に記載されている発明である。図１３（Ａ）は検査部分
の構成であり、８３１は被測定プリント基板、８３２、
８３３はこのプリント基板８３１の両側に置かれたアレ
イ・プローブ、８３４はアレイ・プローブ８３２に接続
されたスキャナ、８３５はアレイ・プローブ８３３に接
続されたスキャナである。アレイ・プローブ８３２、８
３３は検査するプリント基板よりも大きくされる。同図
（Ｂ）にアレイ・プローブ８３２、８３３の構造を示
す。図に示すように、アレイ・プローブ８３２、８３３
の底面全面に電極８３６が形成されている。この電極８
３６は例えばプリント基板の実用上の最も小さいピン間
隔である０．３ｍｍ間隔で形成される。スキャナはこれ
らの電極を電子的に選択して、測定すべき点間の導通、
絶縁を測定する。この方式では、アレイ・プローブ８３
２，８３３を移動させる必要がなく、かつスキャナ８３
４，８３５は高速で電極を選択することができるので、
高速でかつ任意のプリント基板を検査することが出来
る。

【０００７】これらのテスタは配線パターンの２点間の
抵抗を測定することによって検査を行う抵抗式を用いて
いる。図１４に抵抗式の原理を示す。図１４において、
８４１は検査するプリント基板、８４２はプリント基板
８４１上あるいは内部に形成された配線パターン、８４
３，８４４はこの配線パターン８４２と接触する電極で
ある。８４５は定電流回路であり、電極８４３と８４４
の間に定電流を流す。８４６は電極８４３，８４４の間
の電圧を測定する電圧計である。電極が接触している配
線パターンが繋がっていると電圧計８４６はその抵抗値
に応じた値を示し、繋がっていないと振り切れるので、
断線、短絡を検出することが出来る。抵抗式は短絡と断
線で何桁もの変化が生じるので、簡単に測定できるとい
う特徴がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな配線パターンの検査用テスタには次のようは課題が
あった。フライング・プローブ式テスタは、任意のプリ
ント基板に対応でき、かつ検査の準備にそれほど時間が
かからないという利点はあるが、検査に時間がかかり、
大量生産品に用いるのが難しいという課題があった。ま
た、ユニバーサル・ジグ式テスタまたは専用ジグ式テス
タは、短時間で検査が出来るので中・大量生産品に用い
ることが出来るが、専用治具を作るのに時間がかかり、
かつ製作費が高価であるという課題があった。また、図
１３に示したアレイ・プローブ式テスタは任意のプリン
ト基板に対応でき、かつ短時間で検査ができるという利
点はあるが、アレイプローブおよびスキャナの構造が複
雑になるという課題があった。例えば、５００×５００
ｍｍのプリント基板を０．３ｍｍのピッチで検査するた
めには、一辺に１６６７本（＝５００／０．３）の電極
が必要であり、全体で１６６７×１６６７＝２７８万本
もの電極を並べなければならない。更に、スキャナはこ
れらの電極を切り替えなければならないので、同数の電
子スイッチが必要になる。プリント基板の両面を同時に
検査するためには５００万本以上の電極と電子スイッチ
が必要になり、現実的とは言えない。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るための本発明は、次の通りである。請求項１記載の発
明は、複数の電極が配置されたプローブの該電極を配線
パターンの一部に電気的に接触させ、この配線パターン
と並行にかつ前記プローブの反対側に配置された平面電
極板と前記配線パターンとの間に形成される静電容量を
測定することによって、前記配線パターンの断線または
短絡を検査することを特徴とする配線パターンの検査方
法である。

【００１０】請求項２記載の発明は、前記プローブを前
記配線パターンに沿って移動させ、前記プローブの表面
積よりも広い前記配線パターンの断線または短絡を検査
することを特徴とする請求項１記載の配線パターンの検
査方法である。

【００１１】請求項３記載の発明は、前記プローブを前
記電極間の配置間隔よりも小さい距離を移動させ、高密
度の前記配線パターンの断線または短絡を検査すること
を特徴とする請求項１記載の配線パターンの検査方法で
ある。

【００１２】請求項４記載の発明は、配線パターンの断
線、短絡を検査する配線パターンの検査装置において、
複数の電極が配置されたプローブと、前記配線パターン
と並行してかつ前記プローブの反対側に配置された平行
電極板と、前記電極がその入力に接続される静電容量測
定手段とを有し、前記電極を前記配線パターンの所定の
位置に電気的に接触させて、前記平行電極板と前記配線
パターンとで形成される静電容量を前記静電容量測定手
段により測定し、前記配線パターンの断線、短絡を検査
することを特徴とする配線パターンの検査装置である。

【００１３】請求項５記載の発明は、前記プローブを前
記配線パターンに沿って移動させるアクチュエータ手段
を有し、このアクチュエータ手段によって前記プローブ
を前記配線パターンに位置付けることによって、前記プ
ローブの表面積よりも広い面積の配線パターンを検査す
ることを特徴とする請求項４記載の配線パターンの検査
装置である。

【００１４】請求項６記載の発明は、前記プローブを前
記電極間の配置間隔よりも小さい距離を移動させるアク
チュエータ手段を有し、このアクチュエータ手段によっ
て前記プローブを前記配線パターンに位置付けることに
よって、高密度の前記配線パターンの断線または短絡を
検査することを特徴とする請求項４記載の配線パターン
の検査装置である。

【００１５】請求項７記載の発明は、前記電極と前記静
電容量測定手段との間にスイッチを設け、このスイッチ
により前記電極を選択して前記静電容量測定手段に接続
することにより、この静電容量測定手段の数を減らすこ
とを特徴とする請求項４から請求項６記載の配線パター
ンの検査装置である。

【００１６】請求項８記載の発明は、前記電極と前記配
線パターンとの間に異方性加圧導電ゴムシートまたはス
プリング・ピンを挟み、前記電極と前記配線パターンと
の電気的接触を確実にすることを特徴とする請求項４か
ら請求項６記載の配線パターンの検査装置である。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、図に基づいて本発明を詳
細に説明する。本発明はフライング・プローブ式テスタ
とアレイ・プローブ式テスタの両方の長所を取り入れた
ものである。図１は本発明に係るプリント基板検査装置
の一実施例を示す構成図である。図１において、１は平
面電極板、２は高周波発振器であり、平面電極板１に例
えば１００ｋＨｚ〜５００ｋＨｚ程度の高周波を印加す
る。３は検査を行う対象であるプリント基板であり、平
面電極板１上に置かれている。４はプローブであり、そ
の底部に複数の電極（図示せず）がアレイ状に配置され
ている。このプローブ４は加圧導電ゴムシート（図示せ
ず）等の補助手段を介してプリント基板３上に置かれ
る。また、このプローブ４は図示しない駆動手段によっ
てプリント基板３上を自由に移動して、プリント基板３
の全領域を走査できるようになっている。５は容量―電
圧変換器であり、プローブ底部に形成された電極の出力
が入力され、この電極で検出した容量を電圧信号に変換
する。４１はプローブ４上に置かれたアナログ・スイッ
チであり、電極の出力を容量―電圧変換器５の入力に接
続し、また切り離す。

【００１８】図２は、図１に示した実施例を側面から見
た図を模式的に描いたものである。なお、図１と同じ要
素には同一符号を付し、説明を省略する。プリント基板
３は平面電極板１上に置かれる。３１はプリント基板３
の両面および内部に形成された配線パターンである。平
面電極板１と配線パターン３１との間で静電容量を形成
し、この静電容量の値は繋がっている配線パターンの総
面積に比例する。４２はプローブ４の底面に配置されて
いる電極であり、配線パターン３１に接触している。平
面電極板１と配線パターン３１とで形成される静電容量
の値をＣ、高周波発振器２の発振周波数をｆ、出力電圧
をＶとすると、この静電容量を流れる電流ｉは、ｉ＝２πｆＣＶで求められる。この電流ｉを電極４２で取り出し、容量
―電圧変換器５で電圧信号に変換する。すなわち、容量
―電圧変換器５の出力電圧は静電容量Ｃの値に比例す
る。配線パターン３１が途中で断線していたり、また他
の配線パターンと接触していたりすると配線パターンの
総面積が変化し、その結果静電容量が変化する。従っ
て、配線切れや接触がないプリント基板の静電容量すな
わち容量―電圧変換器５の出力と比較することにより、
配線パターンのパターン切れや接触を検出することが出
来る。容量測定による断線、短絡の検出は図１４で説明
した抵抗式に比べると変化率は小さい。しかし、（１）抵抗式では導通しているあるいは導通していない
配線パターンの各対を選んで測定しなければならない
が、容量式では配線パターンに関係なく端点に近い順に
測定していけばよいので、プローブが配線パターンの全
てをカバーする必要はない。（２）抵抗式では測定するパターンの端点に同時に電極
を当てなければならないので、これらの２点がプリント
基板の裏と表にあるときには両面からアクセスしなけれ
ばならないが、容量式ではプリント基板の表と裏を別々
に測定できるので片面からのアクセスだけで測定するこ
とができる。という特徴がある。なお、容量を測定して
プリント基板の検査を行う方法自体は、例えば特願昭５
２−９６３５８号等で既に開示されている。

【００１９】図３にプローブの構造の一例を示す。この
図はプローブの底部から見た図である。なお、図２と同
じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。この例は
プローブ４の底部に１６個の電極４２を等間隔に配置し
た例である。これらの電極は、各々図１に示すアナログ
スイッチ４１を介して容量―電圧変換器５に接続され
る。このプローブでプリント基板上を走査して検査を行
う。なお、図３ではわかり易いように電極の数を少なく
したが、実際には電極の数はもっと多く配置される。例
えば、プローブの大きさを１００×１００ｍｍとして電
極の間隔を０．３ｍｍとすると、プローブ全体で３３３
×３３３＝１１０、８９９個の電極およびアナログスイ
ッチが並ぶことになる。これは図１３で説明したアレイ
プローブ式テスタの電極の数よりかなり少ない。検査す
るプリント基板の大きさを５００×５００ｍｍとする
と、縦横各５回、合計２５回プローブを移動させればプ
リント基板全面の検査が可能である。検査点数を２万点
（高密度大型基板の場合）とすると、１回の検査での平
均測定点数は２００００／２５＝８００点になる。容量
測定に１ｍＳ程度必要とすると、測定系を２系統用意す
れば０．４秒で測定が可能である。従って、プローブの
移動時間を含めても０．５秒で１回の測定ができ、プリ
ント基板全面を１２．５秒で検査できることになる。こ
れは図１１で説明した専用ジグ式テスタの検査時間と同
程度の時間である。また、フライング・プローブ式テス
タでは２０点／秒程度の検査が可能なので、検査点数を
２万点とすると約１７分かかる。つまり、フライングプ
ローブ式テスタより８０倍早く検査できることになる。

【００２０】図４に、電極４２をプリント基板３の配線
パターン３１に接触させる機構の一例を示す。なお、図
１、図２と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略す
る。図４（Ａ），（Ｂ）において、６は異方性加圧導電
ゴムシートであり、プローブ４とプリント基板３の間に
挿入される。プローブ４は電極４２がプリント基板３側
になるように配置される。また、プリント基板３は、試
験する配線パターン３１がプローブ側になるように置か
れる。図４（Ａ）の状態で矢印７の方向に加圧してプロ
ーブ４をプリント基板３に押し付けると、電極４２が異
方性加圧導電ゴムシート６を押し付け、部分的に加圧さ
れる。異方性加圧導電ゴムシート６は、無加圧状態では
絶縁性を有するが、加圧されるとその部分が厚さ方向に
導電性を有するようになる。そのため、電極４２はプリ
ント基板３上の配線パターン３１と電気的に接触する。
図４（Ｂ）は加圧された状態を示している。図２で説明
したように、平面電極板１に高周波を印可して、この平
面電極板１と配線パターン３１との間の静電容量を測定
する。なお、図１で説明したように、プローブ４はプリ
ント基板３よりかなり小さく、プリント基板３上をＸ、
Ｙ軸方向に移動できるように構成されている。また、プ
ローブ４上にはアナログ・スイッチ４１が置かれ、ピン
４２を容量―電圧変換器５の入力端子に接続し、また切
り離す。なお、異方性加圧導電ゴムシートの代わりにス
プリング・ピン、フレキシブル基板等の変形可能な導電
手段を用いることもできる。

【００２１】次に、配線パターンの断線、短絡が検出で
きる原理を説明する。図５は配線パターンの一例であ
り、パターン３１１，３１２，３１３がスルーホール３
１４で繋がっている例である。パターン３１１，３１２
はプリント基板３の同一面に形成され、パターン３１３
は反対面に形成されている。図中Ａ，Ｂ，Ｃは電極４２
を接触させる位置を表しており、断線がない状態でこれ
らの位置での容量が各々１０ｐＦであったとする。今、
Ｂ点に近い３１５で断線が発生すると、この断線によっ
て配線パターンの面積が変化する。容量は配線パターン
の長さにほぼ比例するので、Ａ，Ｂ，Ｃ点での容量はそ
れぞれ７ｐＦ，３ｐＦ，７ｐＦに変わる。Ｂ点に近い位
置で断線が発生したので、Ｂ点での容量変化が一番大き
くなる。この容量変化は１０ｐＦから３ｐＦへと大き
く、充分安定な測定が可能である。なお、Ｃ点はＡ，Ｂ
点に対してプリント基板３の反対面にあるが、Ａ〜Ｃ点
を同時に測定する必要はないので、プリント基板３をひ
っくり返して測定することができる。このようにするこ
とにより、両面基板でも片面のみの接触で測定が可能で
ある。

【００２２】図６は短絡の場合の例である。図６におい
て、３１６，３１７は近接している配線パターンであ
り、Ａ，Ｂ点は測定点である。（Ａ）は正常状態、
（Ｂ）は×点で短絡が発生した場合を示す。（Ａ）の正
常状態でＡ、Ｂ点での容量がそれぞれ１０ｐＦ，７ｐＦ
あったとすると、（Ｂ）のように短絡が発生するとパタ
ーン３１６，３１７は繋がるので容量はＡ，Ｂ点共に１
７ｐＦに変化する。Ｂ点での容量変化は７ｐＦから１７
ｐＦへと大きく変化するので、容易に短絡を検出するこ
とが出来る。

【００２３】次に、図７（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）を用い
て実際に配線パターンを試験する例を示す。この例で
は、図３に示した１６個の電極がアレイ状に配置された
プローブを用いて配線パターンの試験を行う。なお、図
３と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。図
７（Ａ）は試験を行う配線パターンである。この配線パ
ターンは３１８，３１９および３２０の配線から構成さ
れている。従って、これらの配線の断線、短絡を試験す
るためには、（Ａ）に示したＡ〜Ｄの４点の容量を測定
すれば充分である。最初にプローブを図７（Ｂ）の位
置、すなわち、電極１がＡ点に、電極９がＢ点に、電極
１２がＤ点に来るように配置する。Ｃ点はプローブ４か
ら外れる。そして、電極１，９，１２に対応するアナロ
グ・スイッチをオンにして各容量―電圧変換器に接続
し、容量を測定する。次に、図７（Ｃ）のように電極１
がＣ点の位置に来るようにプローブ４を下方向にずら
し、電極１の容量を測定する。これらの測定した容量
を、配線パターンの断線、短絡がない基準のプリント基
板の容量と比較すると、断線、短絡を検出することがで
きる。

【００２４】図８（Ａ），（Ｂ）にプローブの変形例を
示す。図８において、３は検査すべきプリント基板、
４、４３はプローブである。同図（Ａ）は、図３と同じ
く検査すべき最小ピッチ（例えば０．３ｍｍ）間隔で電
極を１６個アレイ状に並べたプローブである。プリント
基板３の面積がプローブの面積の４倍あるとすると、こ
のプローブを用いてプリント基板全面を走査するために
は、（Ａ）の矢印に示すようにアクチュエータでプロー
ブの長さの３倍の距離を走査しなければならない。それ
に対して（Ｂ）のプローブ４３では検査すべき最小ピッ
チの２倍のピッチ（例えば０．６ｍｍ）で電極を並べて
いる。このプローブを用いると、（Ｂ）の矢印に示すよ
うに、検査すべき最小ピッチの３倍の距離だけ移動すれ
ばよいので、走査する時間を短縮することができる。ま
た、電極間隔が大きいので、回路との接続やプローブの
構成が簡単になるという利点もある。なお、これらの実
施例ではプリント基板の検査について説明したが、ＩＣ
の配線や部品を実装したプリント基板の検査にも応用す
ることが出来る。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
の効果を得る。請求項１及び請求項４の発明によれ
ば、複数の電極を検査する配線パターンの所定の位置に
電気的に接触させ、この配線パターンと平行電極板との
間の静電容量を測定して断線、短絡を検査するようにし
た。同時に複数の静電容量を測定できるので、高速にか
つ任意パターンの配線に対応することができる。また、
基板の両面に配線パターンが形成されている場合でも、
片側からのアクセスだけで検査することができる。

【００２６】請求項２及び請求項５の発明によれば、複
数の電極を有するプローブを、検査する配線パターンに
沿って移動できるようにした。プローブの底面積よりも
広い配線パターンをも検査することができる。

【００２７】請求項３及び請求項６の発明によれば、プ
ローブを電極間の配置間隔よりも小さい距離を移動させ
るようにした。高密度の配線パターンの断線または短絡
を検査することができる。

【００２８】請求項７の発明によれば、電極と静電容量
測定手段との間にスイッチを設け、複数の電極を選択し
て静電容量測定手段に接続するようにした。そのため、
電極の数に比べて静電容量測定手段の数を減らすことが
できるので、構造が簡単になり安価に製作できる。ま
た、スイッチにより電極を切り替えるので、プローブ自
体を動かす場合に比べて高速で検査できる。

【００２９】請求項８の発明によれば、電極と配線パタ
ーンとの間に異方性加圧導電ゴムシートまたはスプリン
グ・ピンを挟むようにした。配線パターンと電極との電
気的な接触が確実になり、信頼性が高まる。

【００３０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図２】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図３】プローブの構成を説明する図である。

【図４】プローブの構成を説明する図である。

【図５】検査の一例を説明する図である。

【図６】検査の一例を説明する図である。

【図７】検査の一例を説明する図である。

【図８】プローブの他の実施例の構成図である。

【図９】従来の配線パターン検査装置の構成図である。

【図１０】従来の配線パターン検査装置の構成図であ
る。

【図１１】従来の配線パターン検査装置の構成図であ
る。

【図１２】従来の配線パターン検査装置の特性を比較し
た図である。

【図１３】従来の配線パターン検査装置の構成図であ
る。

【図１４】抵抗式の検査方法を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１平行電極板２高周波発振器３被測定プリント基板４プローブ４１アナログスイッチ４２電極４３電極５容量―電圧変換器６異方性加圧導電ゴムシート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者角田聡東京都武蔵野市中町１丁目19番18号武蔵野センタービル６階横河プレシジョン東京本社内Ｆターム(参考） 2G011 AA01 AC03 AE01 2G014 AA02 AA03 AB59 AC10 AC18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の電極が配置されたプローブの該電極
を配線パターンの一部に電気的に接触させ、この配線パ
ターンと並行にかつ前記プローブの反対側に配置された
平面電極板と前記配線パターンとの間に形成される静電
容量を測定することによって、前記配線パターンの断線
または短絡を検査することを特徴とする配線パターンの
検査方法。
【請求項２】前記プローブを前記配線パターンに沿って
移動させ、前記プローブの表面積よりも広い前記配線パ
ターンの断線または短絡を検査することを特徴とする請
求項１記載の配線パターンの検査方法。
【請求項３】前記プローブを前記電極間の配置間隔より
も小さい距離を移動させ、高密度の前記配線パターンの
断線または短絡を検査することを特徴とする請求項１記
載の配線パターンの検査方法。
【請求項４】配線パターンの断線、短絡を検査する配線
パターンの検査装置において、複数の電極が配置された
プローブと、前記配線パターンと並行してかつ前記プロ
ーブの反対側に配置された平行電極板と、前記電極がそ
の入力に接続される静電容量測定手段とを有し、前記電
極を前記配線パターンの所定の位置に電気的に接触させ
て、前記平行電極板と前記配線パターンとで形成される
静電容量を前記静電容量測定手段により測定し、前記配
線パターンの断線、短絡を検査することを特徴とする配
線パターンの検査装置。
【請求項５】前記プローブを前記配線パターンに沿って
移動させるアクチュエータ手段を有し、このアクチュエ
ータ手段によって前記プローブを前記配線パターンに位
置付けることによって、前記プローブの表面積よりも広
い面積の配線パターンを検査することを特徴とする請求
項４記載の配線パターンの検査装置。
【請求項６】前記プローブを前記電極間の配置間隔より
も小さい距離を移動させるアクチュエータ手段を有し、
このアクチュエータ手段によって前記プローブを前記配
線パターンに位置付けることによって、高密度の前記配
線パターンの断線または短絡を検査することを特徴とす
る請求項４記載の配線パターンの検査装置。
【請求項７】前記電極と前記静電容量測定手段との間に
スイッチを設け、このスイッチにより前記電極を選択し
て前記静電容量測定手段に接続することにより、この静
電容量測定手段の数を減らすことを特徴とする請求項４
から請求項６記載の配線パターンの検査装置。
【請求項８】前記電極と前記配線パターンとの間に異方
性加圧導電ゴムシートまたはスプリング・ピンを挟み、
前記電極と前記配線パターンとの電気的接触を確実にす
ることを特徴とする請求項４から請求項６記載の配線パ
ターンの検査装置。