JPH05114631A - プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ウエハのプローブ測定を行なうプローバに於
て、プローブ針の良否判定を可能とし、尚且つコスト高
にならないプローバを提供する。 【構成】プローブカード１に平行に位置するように、平
坦で単位体積当りの抵抗が均一で複数のプローブ針を同
時に接触可能な均一抵抗板３を、従来からあるウエハス
テージ２０の横に設ける。測定する際はプローブ針２の
先端と均一抵抗板３を接触させ、電極Ａ４と電極Ｂ５の
間、叉は電極Ｃ６と電極Ｄ７との間に電流を流し、電極
Ａ４叉は電極Ｃ６とプローブ針との間か電極Ｂ５叉は電
極Ｄ７との間に発生する電圧を測定し、抵抗を算出し更
に距離に換算することでプローブ針２の先端位置と接触
抵抗を検査する。 【効果】プローブ針先端位置測定が、電気的に測定でき
るため、接触抵抗の測定もでき、従来の画像処理による
方法に比べ安価なシステムにする事が出来る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハのプローブ測定
に用いられるプローバに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来プローバは、プローブ針先の位置を
検査する場合は、プローブ針とウエハを接触させ、その
後の針後を画像処理を用いて認識し管理することは可能
であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】かかる従来の画像処理
による方法だと装置コストが高く、プローブ針が多数あ
ると測定時間も遅く、さらにプローブ針の接触抵抗測定
も不可能であった。本発明は、測定時間が短く、接触抵
抗も測定できる事により、プローブ針が使用可能かどう
かの判断が出来、しかも低コストなプローバを提供する
ことを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数のプロー
ブ針を同時に接触可能で、均一な抵抗をもつ抵抗板を有
し、その抵抗板にプローブ針を接触させ、測定対称プロ
ーブ針と抵抗板の任意位置との間の抵抗値を測定し、さ
らに距離換算する事で、プローブ針先位置と接触抵抗を
検査する事を特長とする。

【０００５】

【実施例】図１に本発明の一実施例を示す。図１に示す
ように、プローブ針２が装着されているプローブカード
１に平行に位置するように均一抵抗板３をウエハステー
ジ２０の横に設ける。

【０００６】本均一抵抗板３は、単位体積当りの抵抗値
が一定であり、平坦度が優れており、全てのプローブ針
２が同時に接触可能なだけの大きさである。

【０００７】本実施例に於てプローブ針２先端位置の測
定する際は、図１に示すように先ずウエハステージを上
方向に移動させ、均一抵抗板３にプローブ針２の先端位
置を接触させる。

【０００８】更に均一抵抗板３に設けられている、電極
Ａ４と電極Ｂ５の間に定電流を印加し、電極Ａ４または
電極Ｂ５と、測定対象プローブ針２との間に発生する電
圧を測定し、抵抗値を算出する。

【０００９】その抵抗値と、予め把握してある電極Ａ４
と電極Ｂ５の間の抵抗値との比率で距離Ａ１５を求め
る。

【００１０】この時、抵抗分Ａ１３とプローブ針の接触
抵抗１２を測定誤差としないようにするため、図２、図
３のブロック図に示すような測定回路９にする事によ
り、図３の接触抵抗１２、抵抗分Ａ１３に電流を流さな
いようにし、正確な距離を求められるようにする。

【００１１】又プローブ針２の測定対象切り替えは、図
２の、リレー８を切り離し、接続する事により実施す
る。

【００１２】以上の操作を全プローブ針分繰り返すこと
により、全てのプローブ針２の電極Ａ４、電極Ｂ５方向
の物理的距離を測定できる。

【００１３】次に、電極Ｃ６と電極Ｄ７の間に定電流を
印加し、電極Ｃ６または電極Ｄ７と、測定対象プローブ
針２との間に発生する電圧を測定し、抵抗値を算出す
る。

【００１４】その抵抗値と、予め把握してある電極Ｃ６
と電極Ｄ７の間の抵抗値との比率で距離Ｂ１６を求め
る。

【００１５】又プローブ針２の測定対象切り替えを、図
２の、リレー８により実施しながら上記操作を繰り返す
ことにより、電極Ｃ６、電極Ｄ７方向の距離を全プロー
ブ針分測定できる。

【００１６】以上により、プローブ針２の先端の水平方
向の位置が測定できる。

【００１７】更に、ステージの上方向の移動量を任意量
ずつ移動させ、その都度全プローブ針を電気的に測定す
ることにより全プローブ針先端の垂直方向の高さ位置の
測定と接触抵抗の測定が可能となる。

【００１８】以上は、均一抵抗板３に電流を印加し、電
圧を測定する事で、距離を測定する例であるが、図４に
均一抵抗板３に電圧を印加して、電流を測定する事で、
距離を測定する例を示す。

【００１９】電極Ａ４と電極Ｂ５の間に、定電圧を印加
し、電流Ａ１７を測定する。

【００２０】又、電極Ａ４とプローブ針２の間に、定電
圧を印加し電流Ｂ１８を測定する。更に、電極Ｂ５とプ
ローブ針２の間に定電圧を印加し電流Ｃ１９を測定す
る。以上操作により測定された電流Ａ１７、電流Ｂ１
８、電流Ｃ１９より抵抗分Ａ１３、抵抗分Ｂ１４と距離
Ａ１５と距離Ｂ１６を算出する。

【００２１】

【発明の効果】本発明によれば、プローブ針先端位置測
定が、電気的に測定できるため、接触抵抗の測定もで
き、従来の画像処理による方法に比べ安価なシステムに
する事が出来る。叉、複数のプローブ針を測定のための
機械的移動動作は、１回で済むため測定時間の大幅な低
減が可能となる。以上が可能となることによりプローブ
針の良否が判定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）はプローブ針とウエハステージと本発明
の均一抵抗板との位置関係を示した平面図。（ｂ）はそ
の側面図。

【図２】電気的に測定する際のブロック図。

【図３】プローブ針１本を測定する際の等価回路図。

【図４】プローブ針１本を測定する際の電圧印加、電流
測定の等価回路図

【符号の説明】

１ プローブカード ２ プローブ針 ３ 均一抵抗板 ４ 電極Ａ ５ 電極Ｂ ６ 電極Ｃ ７ 電極Ｄ ８ リレー ９ 測定回路 １０ 抵抗板の抵抗Ａ １１ 抵抗板の抵抗Ｂ １２ プローブ針の接触抵抗 １３ 抵抗分Ａ １４ 抵抗分Ｂ １５ 距離Ａ １６ 距離Ｂ １７ 電流Ａ １８ 電流Ｂ １９ 電流Ｃ ２０ ウエハステージ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プローブ測定に用いられるプローバに於
   て、複数の針を一回の接触で測定でき、均一の抵抗を持
   ち、複数ピンを同時に接触可能な大きさの抵抗板を有
   し、その抵抗板に複数のプローブ針を接触させ、その内
   の測定対象針と抵抗板の適当な位置に設けた電極に、電
   圧叉は電流を印加し、発生する電流叉は電圧を測定する
   ことで抵抗値を求め距離変換する事で位置を測定し、更
   に接触抵抗も同時に測定し、プローブ針が使用可能かど
   うかを判断できる事を特徴とする、プローバ。