JPH03252565A - 配線基板検査装置 - Google Patents
配線基板検査装置Info
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- JPH03252565A JPH03252565A JP2050928A JP5092890A JPH03252565A JP H03252565 A JPH03252565 A JP H03252565A JP 2050928 A JP2050928 A JP 2050928A JP 5092890 A JP5092890 A JP 5092890A JP H03252565 A JPH03252565 A JP H03252565A
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- Japan
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は配線基板検査装置、特に、駆動する接触電極を
被検査パッドに接触させ、抵抗値を測定することで、パ
ターンの断線を検査する配線基板検査装置に関する。
被検査パッドに接触させ、抵抗値を測定することで、パ
ターンの断線を検査する配線基板検査装置に関する。
従来の配線基板検査装置について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
第４図は従来の配線基板の検査装置の一例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
従来の配線基板検査装置は、抵抗計６と、被検査パッド
３に接触する２本の接触電極４と、前記接触電極を駆動
する接触電極駆動部５と、フロッピーディスク８と、プ
リンタ９と、前記抵抗計６、接触電極駆動部５．フロッ
ピーディスク８゜プリンタ９を制御する検査制御部７と
を含んで構成される。
３に接触する２本の接触電極４と、前記接触電極を駆動
する接触電極駆動部５と、フロッピーディスク８と、プ
リンタ９と、前記抵抗計６、接触電極駆動部５．フロッ
ピーディスク８゜プリンタ９を制御する検査制御部７と
を含んで構成される。
フロッピーディスク８には、上記の被検査パッド３の位
置情報、被検査パターン２の接続に関する情報が収容さ
れており、検査制御部７はフロッピーディスク８に収容
されている情報に従って接触電ｆ！４を被検査パッド３
に接触電極駆動部５により位置決めし接触させ、抵抗計
６により抵抗値を測定する。
置情報、被検査パターン２の接続に関する情報が収容さ
れており、検査制御部７はフロッピーディスク８に収容
されている情報に従って接触電ｆ！４を被検査パッド３
に接触電極駆動部５により位置決めし接触させ、抵抗計
６により抵抗値を測定する。
測定された抵抗値をもとに検査制御部７は被検査パター
ン２に関するパターン接続情報及びパターン基準抵抗値
により各被検査パターン２の良否を判定し、その結果を
プリンタ９に書き出す。
ン２に関するパターン接続情報及びパターン基準抵抗値
により各被検査パターン２の良否を判定し、その結果を
プリンタ９に書き出す。
上述した従来の基板検査装置では、接触電極を被検査パ
ッドに接触させ、被検査パッド間の抵抗値を測定しパタ
ーンの良否を判定しているので、パターンの導体抵抗検
査のように低抵抗の測定をする場合、接触電極と被検査
パッド間の接触抵抗が測定値に加わってしまうため、接
触抵抗がパターン抵抗と比較して非常に大きい場合には
パターン不良と判定して、本来不良でないパターンを不
良としてしまう欠点があった。
ッドに接触させ、被検査パッド間の抵抗値を測定しパタ
ーンの良否を判定しているので、パターンの導体抵抗検
査のように低抵抗の測定をする場合、接触電極と被検査
パッド間の接触抵抗が測定値に加わってしまうため、接
触抵抗がパターン抵抗と比較して非常に大きい場合には
パターン不良と判定して、本来不良でないパターンを不
良としてしまう欠点があった。
本発明の配線基板検査装置は、被検査基板上の被検査パ
ッドに接触する４本の接触電極に接続する定電流源及び
電圧計と、前記接触電極を被検査パッドに位置決めし接
触させる接触電極駆動部と、検査情報を収容しているフ
ロッピーディスクと、検査結果を出力するプリンタと、
前記定電流源、電圧計、接触電極駆動部、フロッピーデ
ィスク及びプリンタを制御する検査制御部とを含んで構
成される。
ッドに接触する４本の接触電極に接続する定電流源及び
電圧計と、前記接触電極を被検査パッドに位置決めし接
触させる接触電極駆動部と、検査情報を収容しているフ
ロッピーディスクと、検査結果を出力するプリンタと、
前記定電流源、電圧計、接触電極駆動部、フロッピーデ
ィスク及びプリンタを制御する検査制御部とを含んで構
成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
検査制御部７はフロッピーディスク８に収容されている
被検査パッド３の位置情報、被検査パターン２の接続に
関する情報に従って、針状の接触電極４ａ、４ｂを接触
電極駆動部５により被検査基板１の被検査パッド３に位
置決めし、機械的に接触させるとともに定電流源１０に
より一定の電流を被検査パターン２に流し、接触電極４
ｂ間の電圧を測定する。
被検査パッド３の位置情報、被検査パターン２の接続に
関する情報に従って、針状の接触電極４ａ、４ｂを接触
電極駆動部５により被検査基板１の被検査パッド３に位
置決めし、機械的に接触させるとともに定電流源１０に
より一定の電流を被検査パターン２に流し、接触電極４
ｂ間の電圧を測定する。
電圧計１１の測定データは制御部７に送られ、パターン
の良否判定に利用される。
の良否判定に利用される。
次に、パターン抵抗値の求め方を説明する。
第２図は接触電極４ａ、４ｂが被検査パッド３に接触し
ている時の測定器を含めた模式図で、第３図は第２図の
電気的等価回路である。
ている時の測定器を含めた模式図で、第３図は第２図の
電気的等価回路である。
接触電極４ａ間に定電流源１ｏにより一定の電流Ｉ （
Ａ）を流し、その時の４ｂ間での電圧Ｖ （Ｖ）測定す
ると被検査パターン２のパターン抵抗３はＶ／Ｉによっ
て求められる。
Ａ）を流し、その時の４ｂ間での電圧Ｖ （Ｖ）測定す
ると被検査パターン２のパターン抵抗３はＶ／Ｉによっ
て求められる。
接触電極４ｂと被検査パッド３間の接触抵抗１２ｂは電
圧計抵抗１４と比較して非常に小さいので接触抵抗１２
ｂによる電圧降下は無視できるなめ接触電極４ｂ間の電
圧は接触抵抗１２ｂに影響されることなく測定できる。
圧計抵抗１４と比較して非常に小さいので接触抵抗１２
ｂによる電圧降下は無視できるなめ接触電極４ｂ間の電
圧は接触抵抗１２ｂに影響されることなく測定できる。
測定された電圧値■及び電流値工は検査制御部７に送ら
れ電圧値■を電流値工に除することで抵抗値に変換した
後に、被検査パターン２に関するパターン接続情報及び
パターンの基準抵抗値をもとに被検査パターン２の良否
を判定し、その結果をプリンタ９に書き出す。
れ電圧値■を電流値工に除することで抵抗値に変換した
後に、被検査パターン２に関するパターン接続情報及び
パターンの基準抵抗値をもとに被検査パターン２の良否
を判定し、その結果をプリンタ９に書き出す。
本発明の配線基板検査装置は、２本の電圧接触電極と２
本の電流接触電極を有することにより、パターン抵抗測
定時における接触抵抗の影響がなくなるので、良品パタ
ーンを不良パターンと判定してしまうことがなくなると
いう効果がある。
本の電流接触電極を有することにより、パターン抵抗測
定時における接触抵抗の影響がなくなるので、良品パタ
ーンを不良パターンと判定してしまうことがなくなると
いう効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
検査の対象となるパターンと測定器の模式図、第３図は
第２図の電気的等価回路図、第４図は従来の配線基板検
査装置の一例を示すブロック図である。 １・・・被検査基板、２・・・被検査パターン、３・・
・被検査パッド、４ａ、４ｂ・・・接触電極、５・・・
接触電極駆動部、６・・・抵抗計、７・・・検査制御部
、８・・・フロッピーディスク、９・・・プリンタ、１
ｏ・・・定電流源、１１・・・電圧計、１２ａ、１２ｂ
・・・接触抵抗、１３・・・パターン抵抗、１４・・・
電圧計抵抗。
検査の対象となるパターンと測定器の模式図、第３図は
第２図の電気的等価回路図、第４図は従来の配線基板検
査装置の一例を示すブロック図である。 １・・・被検査基板、２・・・被検査パターン、３・・
・被検査パッド、４ａ、４ｂ・・・接触電極、５・・・
接触電極駆動部、６・・・抵抗計、７・・・検査制御部
、８・・・フロッピーディスク、９・・・プリンタ、１
ｏ・・・定電流源、１１・・・電圧計、１２ａ、１２ｂ
・・・接触抵抗、１３・・・パターン抵抗、１４・・・
電圧計抵抗。
Claims (1)
- 被検査基板上の被検査パッドに接触する４本の接触電極
と、前記接触電極に接続する定電流源及び電圧計と、前
記接触電極を被検査パッドに位置決めし接触させる接触
電極駆動部と、検査情報を収容しているフロッピーディ
スクと、検査結果を出力するプリンタと、前記定電流源
、電圧計、接触電極駆動部、フロッピーディスク及びプ
リンタを制御する検査制御部とを含むことを特徴とする
配線基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050928A JPH03252565A (ja) | 1990-03-02 | 1990-03-02 | 配線基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2050928A JPH03252565A (ja) | 1990-03-02 | 1990-03-02 | 配線基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03252565A true JPH03252565A (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=12872477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2050928A Pending JPH03252565A (ja) | 1990-03-02 | 1990-03-02 | 配線基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03252565A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002286780A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属配線の検査方法および検査に適した半導体デバイスの構造 |
| JP2006071519A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法および回路基板検査装置 |
| JP4607295B2 (ja) * | 2000-08-02 | 2011-01-05 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置 |
-
1990
- 1990-03-02 JP JP2050928A patent/JPH03252565A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4607295B2 (ja) * | 2000-08-02 | 2011-01-05 | 日置電機株式会社 | 回路基板検査装置 |
| JP2002286780A (ja) * | 2001-03-23 | 2002-10-03 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 金属配線の検査方法および検査に適した半導体デバイスの構造 |
| JP2006071519A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法および回路基板検査装置 |
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