JPS6345567A - 隣接パタ−ンの導通・非導通の測定機 - Google Patents

隣接パタ−ンの導通・非導通の測定機

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Publication number
JPS6345567A
JPS6345567A JP61189914A JP18991486A JPS6345567A JP S6345567 A JPS6345567 A JP S6345567A JP 61189914 A JP61189914 A JP 61189914A JP 18991486 A JP18991486 A JP 18991486A JP S6345567 A JPS6345567 A JP S6345567A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
patterns
continuity
contact terminals
common
contact
Prior art date
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Pending
Application number
JP61189914A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Takano
高野 裕次
Kunihiko Takeuchi
竹内 圀彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6345567A publication Critical patent/JPS6345567A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ICユニバーサル基板や、液晶パネルその
他、電気的導体を有する部品の製造工程における、同ピ
ツチで複数列ある隣接パターンの導通・非導通の測定機
に関する。
〔発明の概要〕
この発明は基板上に形成された導通パターンの導通、非
導通を検査する装置で、例えばパターンが列をなして形
成され、前後左右に隣接している場合の検査に特に有効
な装置で、2本の接触端子を1組としたユニットが複数
個とりつけられた検出バーを基板上で移動させて自動的
に検査する際に、lバー上にある各ユニットの一対の端
子のうちの一方の端子を、隣接するユニット間で交互に
共通端子とすることにより、前後左右に隣接するパター
ンとの導通、非導通を一度に検出する能率的な自動検査
機を提供するものである。
〔従来の技術〕
従来、図3に示すように抵抗の導通、非導通を測定する
場合は接触端子接触端子を縦及び横方向、必要としてい
る。
〔発明が解決しようとする開題点〕
多密実装パターンの導通、非導通の検査を行う場合、被
測定物に接触端子を多数接触させなければならない。
また、多密実装のため微細パターンになる場合、接触端
子の位置的精度がだしにくい等の欠点があった。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために、この発明は図2のように
2木を1祖とした接触端子の1木を交互に共通にし導通
、非導通の検査を行なうようにした。
〔作用〕
上記のようにすることにより、同ピツチで隣接したパタ
ーンの導通、非導通を測定する場合、図1のように例え
ば、■〜[F]間を測定すると、隣接した隣のパター7
0〜0間も測定できる。つまり、少ない接触端子で多方
向の導通と、非導通の測定が可能である。
〔実施例〕
以下にこの発明の実施例を図面にもとづいて説明する。
実施例は液晶パネルのパターン検査(シシート有無検査
)装置を用いる。パターン検査装置は、図1のようにガ
ラス■の表面上に付着させた数十率の金属製リードパタ
ーンに接触端子■を前後方向に2本1組としてポゴピン
取付はユニット■を取り付けて配列させる。
上記接触端子@は、検出バー■に複数組取り付けられて
おり、この検出バー■をパルスモータ■等、駆動装置で
矢印方向0に移動させながら測定する。図2は、導通、
非導通の判定回路を示す。
図2におしてe〜[F]は、図1の金属製リードパター
ン■〜0と同一のものであることを示している。
図2で示すように金属製リードパターン■、0、■をコ
モンとして接触端子を接触させて基準電圧0を与えると
反転増幅機■の出力には だけ増幅された電圧力<46出される。
この信号と比較電圧0とをコンパレータ■で比較するこ
とによりパターン間の導通、非導通を判定してCPU■
に取り込む装面である。
上記の様に■、■、■をコモンとすることによりそれぞ
れの隣接パターンの検査を行なう。
チャネル1 (@、01組)では、通常の0〜0間のほ
か0〜0間の導通、非導通の検出ができる。
またチャネル2(O,@1組)では通常の0〜0間のほ
か0−0,0−[F]間の導通、非導通が検出できる。
すなわち、少ない接触端子で多方向の導通、非導通の検
査を行なうのに有効となる。
〔発明の効果〕
この発明は、以上説明したようにそれぞれのパターン間
の4通、非導通を検出するために与える電圧のコモンを
交互のパターンとすることにより少ない接触端子で多方
向検査する効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明における接触端子と被測定物との接触
を示す図。第2図はこの発明における導通、非導通を判
定する回路図。第3図は、従来の接触端子と被σII定
吻との接触を示す図。 1・・・モータ 2・・・端子ユニット 3・・・検出バー 4・・・基板 A〜F・ ・ ・パターン電極 以上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  前後に配列された2本の接触端子を1組としたユニッ
    トを、複数組検出バーに取り付け、 前記検出バーを被測定物上で移動させ、前記ユニット内
    の一組の接触端子のうち、一方の接触端子を隣接するユ
    ニット間で交互に共通端子とすることにより、被測定物
    の前後左右に隣接するパターンの導通、非導通を自動的
    に検査することを特徴とする隣接パターンの導通・非導
    通の測定機。
JP61189914A 1986-08-13 1986-08-13 隣接パタ−ンの導通・非導通の測定機 Pending JPS6345567A (ja)

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JPS6345567A true JPS6345567A (ja) 1988-02-26

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