JPH05333357A - 液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法及び検査装置 - Google Patents
液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法及び検査装置Info
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- JPH05333357A JPH05333357A JP4164360A JP16436092A JPH05333357A JP H05333357 A JPH05333357 A JP H05333357A JP 4164360 A JP4164360 A JP 4164360A JP 16436092 A JP16436092 A JP 16436092A JP H05333357 A JPH05333357 A JP H05333357A
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- Liquid Crystal (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で基板上のストライプ電極パター
ンの断線とショートを同時に検出できるようにする。 【構成】 被検査対象となるストライプ電極パターン２
の一端に接触される電圧印加用のコンタクトプローブ３
と、ストライプ電極パターン２の他端に接触される第一
の電圧検出用のコンタクトプローブ４と、ストライプ電
極パターン２と隣り合う電極パターンに接触される第二
の電圧検出用のコンタクトプローブ５と、電圧印加用の
コンタクトプローブ３に電圧を印加する検査電圧印加回
路６と、ストライプ電極パターン２の断線の有無を第一
の電圧検出用のコンタクトプローブ３からの検出出力に
基づいて検出するとともに、ストライプ電極パターン２
のショートの有無を第二の電圧検出用のコンタクトプロ
ーブ５からの検出出力に基づいて検出する欠陥検出回路
８とを有し、三本のコンタクトプローブ３，４，５をス
トライプ電極パターン２の配列方向に接触走査しなが
ら、基板１上の全てのストライプ電極パターン２の欠陥
を検査する。
ンの断線とショートを同時に検出できるようにする。 【構成】 被検査対象となるストライプ電極パターン２
の一端に接触される電圧印加用のコンタクトプローブ３
と、ストライプ電極パターン２の他端に接触される第一
の電圧検出用のコンタクトプローブ４と、ストライプ電
極パターン２と隣り合う電極パターンに接触される第二
の電圧検出用のコンタクトプローブ５と、電圧印加用の
コンタクトプローブ３に電圧を印加する検査電圧印加回
路６と、ストライプ電極パターン２の断線の有無を第一
の電圧検出用のコンタクトプローブ３からの検出出力に
基づいて検出するとともに、ストライプ電極パターン２
のショートの有無を第二の電圧検出用のコンタクトプロ
ーブ５からの検出出力に基づいて検出する欠陥検出回路
８とを有し、三本のコンタクトプローブ３，４，５をス
トライプ電極パターン２の配列方向に接触走査しなが
ら、基板１上の全てのストライプ電極パターン２の欠陥
を検査する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板上に形成された液
晶駆動用のストライプ電極パターンの欠陥を検査するた
めの液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検
査方法とその検査装置に関し、特に、電極パターンの断
線とショートの同時検査を簡単に行なえるようにしたも
のに関する。
晶駆動用のストライプ電極パターンの欠陥を検査するた
めの液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検
査方法とその検査装置に関し、特に、電極パターンの断
線とショートの同時検査を簡単に行なえるようにしたも
のに関する。
【０００２】
【従来の技術】ドットマトリクス表示形の液晶表示素子
は、透明ストライプ電極パターンがそれぞれ形成された
基板を、互いに電極パターンが直交するように対峙させ
て、これら基板間に液晶を封入したものである。基板に
は、ガラス基板や可撓性を有するプラスチックフィルム
基板が用いられる。そして、これら直交する電極パター
ンが、制御回路から表示制御信号を受ける駆動回路によ
って駆動されることで、表示面上に文字や図形などをド
ットにより液晶表示できる。
は、透明ストライプ電極パターンがそれぞれ形成された
基板を、互いに電極パターンが直交するように対峙させ
て、これら基板間に液晶を封入したものである。基板に
は、ガラス基板や可撓性を有するプラスチックフィルム
基板が用いられる。そして、これら直交する電極パター
ンが、制御回路から表示制御信号を受ける駆動回路によ
って駆動されることで、表示面上に文字や図形などをド
ットにより液晶表示できる。
【０００３】液晶表示素子が大型であり、高細度な表示
を行なうものである場合、基板上には、多数のストライ
プ電極パターンが高ピッチに形成されている。従来、こ
の透明電極付き基板の製造工程で、ストライプ電極パタ
ーンの欠陥を検査するには、以下に述べるような２つの
方法によって行なわれていた。まず、第一の検査方法
は、図７に示すように２本のコンタクトプローブ１１，
１２を用意し、これらプローブ１１，１２を、基板１上
の隣り合うストライプ電極パターン２，２にそれぞれ接
触させて、プローブ１１，１２間に検査電圧印加回路１
３から電圧を印加したときの導通，非導通を欠陥検出回
路１４によって検出するものである。２本のプローブ１
１，１２は、電極パターン２に対して直交する方向に走
査され、基板１上の全てのストライプ電極パターン２に
ついてショートの有無が検査される。このような検査方
法は、例えば特開昭６２−６６１５２号の公報に記載さ
れている。
を行なうものである場合、基板上には、多数のストライ
プ電極パターンが高ピッチに形成されている。従来、こ
の透明電極付き基板の製造工程で、ストライプ電極パタ
ーンの欠陥を検査するには、以下に述べるような２つの
方法によって行なわれていた。まず、第一の検査方法
は、図７に示すように２本のコンタクトプローブ１１，
１２を用意し、これらプローブ１１，１２を、基板１上
の隣り合うストライプ電極パターン２，２にそれぞれ接
触させて、プローブ１１，１２間に検査電圧印加回路１
３から電圧を印加したときの導通，非導通を欠陥検出回
路１４によって検出するものである。２本のプローブ１
１，１２は、電極パターン２に対して直交する方向に走
査され、基板１上の全てのストライプ電極パターン２に
ついてショートの有無が検査される。このような検査方
法は、例えば特開昭６２−６６１５２号の公報に記載さ
れている。
【０００４】また、第二の検査方法は、図８及び図９に
示すように、プローブボード１５，１６に複数本のコン
タクトプローブ１７，１８を基板１上のストライプ電極
パターン２と同ピッチとなるように固定し、これらコン
タクトプローブ１７，１８を基板１上の全てのストライ
プ電極パターン２の両端に一斉に接触させる。このとき
一本のストライプ電極パターン２の両端に接触させるコ
ンタクトプローブ１７，１８間に検査電圧印加回路１９
から電圧を印加し、このパターン２の断線と隣り合うパ
ターンへのショートを欠陥検出回路２０で検出する。電
圧印加回路１９から電極パターン２への電圧の印加をパ
ターン配列方向（基板面に対して上下方向）に走査する
ことで、全ての電極パターン２の欠陥を検査することが
できる。
示すように、プローブボード１５，１６に複数本のコン
タクトプローブ１７，１８を基板１上のストライプ電極
パターン２と同ピッチとなるように固定し、これらコン
タクトプローブ１７，１８を基板１上の全てのストライ
プ電極パターン２の両端に一斉に接触させる。このとき
一本のストライプ電極パターン２の両端に接触させるコ
ンタクトプローブ１７，１８間に検査電圧印加回路１９
から電圧を印加し、このパターン２の断線と隣り合うパ
ターンへのショートを欠陥検出回路２０で検出する。電
圧印加回路１９から電極パターン２への電圧の印加をパ
ターン配列方向（基板面に対して上下方向）に走査する
ことで、全ての電極パターン２の欠陥を検査することが
できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の検査方
法では、次に述べるような問題点がある。まず、第一の
検査方法ではストライプ電極パターン２間のショートだ
けしか検出できないため、電極パターン２の断線を検出
するには、別途二本のコンタクトプローブをストライプ
電極パターン２の両端に接触させて電圧を印加し、これ
らプローブをパターン配列方向に走査しながら、導通、
非導通の有無を調べて全ての電極パターン２の断線を検
査する必要がある。
法では、次に述べるような問題点がある。まず、第一の
検査方法ではストライプ電極パターン２間のショートだ
けしか検出できないため、電極パターン２の断線を検出
するには、別途二本のコンタクトプローブをストライプ
電極パターン２の両端に接触させて電圧を印加し、これ
らプローブをパターン配列方向に走査しながら、導通、
非導通の有無を調べて全ての電極パターン２の断線を検
査する必要がある。
【０００６】また、第二の検査方法では、検査装置が複
雑であるとともに、検査開始時にボート１５，１６から
延びる複数のコンタクトプローブ１７，１８を各電極パ
ターン２の両端に接触させるときに、位置決め操作が必
要であり、装置に高い精度とアライメント機能が要求さ
れる。また、各プローブ１７，１８を電極パターン２上
に位置決めして接触させるために、基板１の基準位置か
らの各パターンの位置を記憶させる必要がある。
雑であるとともに、検査開始時にボート１５，１６から
延びる複数のコンタクトプローブ１７，１８を各電極パ
ターン２の両端に接触させるときに、位置決め操作が必
要であり、装置に高い精度とアライメント機能が要求さ
れる。また、各プローブ１７，１８を電極パターン２上
に位置決めして接触させるために、基板１の基準位置か
らの各パターンの位置を記憶させる必要がある。
【０００７】本発明は、このような従来の技術が有する
課題を解決するために提案されたものであり、簡単な構
成で基板上のストライプ電極パターンの断線とショート
を同時に検出できるストライプ電極パターンの検査方法
及び検査装置を提供することを目的とする。
課題を解決するために提案されたものであり、簡単な構
成で基板上のストライプ電極パターンの断線とショート
を同時に検出できるストライプ電極パターンの検査方法
及び検査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の液晶表示素子におけるストライプ電極パター
ンの検査方法は、液晶表示素子を構成する電極付き基板
に配列形成されている複数本のストライプ電極パターン
の断線及びショートの欠陥を検査する検査方法におい
て、被検査対象となるストライプ電極パターンの一端
に、電圧印加用のコンタクトプローブを接触させて電圧
を印加し、この電圧印加用のコンタクトプローブを接触
させた同一ストライプ電極パターンの他端に第一の電圧
検出用のコンタクトプローブを接触させて、このストラ
イプ電極パターンの断線の有無を第一の電圧検出用のコ
ンタクトプローブで検出し、上記被検査対象のストライ
プ電極パターンと隣り合うストライプ電極パターンに第
二の電圧検出用のコンタクトプローブを接触させて、上
記被検査対象のストライプ電極パターンのショートの有
無を第二の電圧検出用のコンタクトプローブによって検
出し、これら三本のコンタクトプローブをストライプ電
極パターンの配列方向に接触走査することで基板上のス
トライプ電極パターンの欠陥を検査する方法としてあ
る。
に本発明の液晶表示素子におけるストライプ電極パター
ンの検査方法は、液晶表示素子を構成する電極付き基板
に配列形成されている複数本のストライプ電極パターン
の断線及びショートの欠陥を検査する検査方法におい
て、被検査対象となるストライプ電極パターンの一端
に、電圧印加用のコンタクトプローブを接触させて電圧
を印加し、この電圧印加用のコンタクトプローブを接触
させた同一ストライプ電極パターンの他端に第一の電圧
検出用のコンタクトプローブを接触させて、このストラ
イプ電極パターンの断線の有無を第一の電圧検出用のコ
ンタクトプローブで検出し、上記被検査対象のストライ
プ電極パターンと隣り合うストライプ電極パターンに第
二の電圧検出用のコンタクトプローブを接触させて、上
記被検査対象のストライプ電極パターンのショートの有
無を第二の電圧検出用のコンタクトプローブによって検
出し、これら三本のコンタクトプローブをストライプ電
極パターンの配列方向に接触走査することで基板上のス
トライプ電極パターンの欠陥を検査する方法としてあ
る。
【０００９】また、本発明による液晶表示素子における
ストライプ電極パターンの検査装置は、被検査対象とな
るストライプ電極パターンの一端に接触される電圧印加
用のコンタクトプローブと、この電圧印加用のコンタク
トプローブを接触させた同一ストライプ電極パターンの
他端に接触される第一の電圧検出用のコンタクトプロー
ブと、上記被検査対象のストライプ電極パターンに隣り
合うストライプ電極パターンに接触される第二の電圧検
出用のコンタクトプローブと、上記電圧印加用のコンタ
クトプローブに接続され、このコンタクトプローブに検
査用の電圧を印加する検査電圧印加回路と、上記被検査
対象のストライプ電極パターンの断線の有無を上記第一
の電圧検出用のコンタクトプローブからの検出出力に基
づいて検出するとともに、上記被検査対象のストライプ
電極パターンのショートの有無を上記第二の電圧検出用
のコンタクトプローブからの検出出力に基づいて検出す
る欠陥検出回路と具備した構成としてある。
ストライプ電極パターンの検査装置は、被検査対象とな
るストライプ電極パターンの一端に接触される電圧印加
用のコンタクトプローブと、この電圧印加用のコンタク
トプローブを接触させた同一ストライプ電極パターンの
他端に接触される第一の電圧検出用のコンタクトプロー
ブと、上記被検査対象のストライプ電極パターンに隣り
合うストライプ電極パターンに接触される第二の電圧検
出用のコンタクトプローブと、上記電圧印加用のコンタ
クトプローブに接続され、このコンタクトプローブに検
査用の電圧を印加する検査電圧印加回路と、上記被検査
対象のストライプ電極パターンの断線の有無を上記第一
の電圧検出用のコンタクトプローブからの検出出力に基
づいて検出するとともに、上記被検査対象のストライプ
電極パターンのショートの有無を上記第二の電圧検出用
のコンタクトプローブからの検出出力に基づいて検出す
る欠陥検出回路と具備した構成としてある。
【００１０】
【作用】上述した構成によれば、被検査対象となるスト
ライプ電極パターンが断線していれば、第一の電圧検出
用のコンタクトプローブに電圧が現れないので、この電
極パターンの断線異常を検出でき、このストライプ電極
パターンが隣り合う電極パターンにショートしていれ
ば、第二の電圧検出用のコンタクトプローブに電圧が現
れないので、ストライプ電極パターンのショート異常を
検出できる。このようにして断線とショートを同時に検
出しながら、三本のコンタクトプローブをストライプ電
極パターンの配列方向に接触走査していくことで、基板
上の全てのストライプ電極パターンの欠陥を検査する。
ライプ電極パターンが断線していれば、第一の電圧検出
用のコンタクトプローブに電圧が現れないので、この電
極パターンの断線異常を検出でき、このストライプ電極
パターンが隣り合う電極パターンにショートしていれ
ば、第二の電圧検出用のコンタクトプローブに電圧が現
れないので、ストライプ電極パターンのショート異常を
検出できる。このようにして断線とショートを同時に検
出しながら、三本のコンタクトプローブをストライプ電
極パターンの配列方向に接触走査していくことで、基板
上の全てのストライプ電極パターンの欠陥を検査する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明におけるストライプ電極パター
ンの検査方法及び検査装置の具体的な実施例を、図面に
基づいて詳細に説明する。本実施例の検査方法では、ド
ットマトリクス表示形の液晶表示素子に用いられる電極
付き基板１上のストライプ電極パターン２の欠陥を検査
するにあたって、図１に示すように三本のコンタクトプ
ローブ３，４，５を用い、電極パターン２の断線とショ
ートを同時に検出できるようにしている。これら三本の
プローブ３，４，５のうち、電圧印加用のプローブ３
は、ストライプ電極パターン２ａの一端に接触させ、第
一の電圧検出用のプローブ４はこの電極パターン２ａの
他端に接触させ、残る第二の電圧検出用のプローブ５は
このパターン２ａに隣り合う電極パターン２ｂに接触さ
せる。そして、電圧印加用のプローブ３に電圧を加え、
このときに二本の電圧検出用のプローブ４，５に現れる
波形を同時に観測することで、コンタクトプローブ４に
よってパターン２ａの断線を検出し、コンタクトプロー
ブ５によってパターン２ａ，２ｂ間のショートを検出す
る。これら三本のプローブ３，４，５をストライプ電極
パターン２の配列方向すなわちパターン２と直交する方
向に接触走査しながら上記検査を繰り返して、断線とシ
ョートを検出し、基板１上の全ての電極パターン２の欠
陥を検査する。
ンの検査方法及び検査装置の具体的な実施例を、図面に
基づいて詳細に説明する。本実施例の検査方法では、ド
ットマトリクス表示形の液晶表示素子に用いられる電極
付き基板１上のストライプ電極パターン２の欠陥を検査
するにあたって、図１に示すように三本のコンタクトプ
ローブ３，４，５を用い、電極パターン２の断線とショ
ートを同時に検出できるようにしている。これら三本の
プローブ３，４，５のうち、電圧印加用のプローブ３
は、ストライプ電極パターン２ａの一端に接触させ、第
一の電圧検出用のプローブ４はこの電極パターン２ａの
他端に接触させ、残る第二の電圧検出用のプローブ５は
このパターン２ａに隣り合う電極パターン２ｂに接触さ
せる。そして、電圧印加用のプローブ３に電圧を加え、
このときに二本の電圧検出用のプローブ４，５に現れる
波形を同時に観測することで、コンタクトプローブ４に
よってパターン２ａの断線を検出し、コンタクトプロー
ブ５によってパターン２ａ，２ｂ間のショートを検出す
る。これら三本のプローブ３，４，５をストライプ電極
パターン２の配列方向すなわちパターン２と直交する方
向に接触走査しながら上記検査を繰り返して、断線とシ
ョートを検出し、基板１上の全ての電極パターン２の欠
陥を検査する。
【００１２】次に、この検査方法を実施する電極パター
ンの検査装置の構成を説明する。この実施例で用いられ
ている検査対象となる基板１上には、例えば、パターン
幅１．８ｍｍの複数本のストライプ電極パターン２が、
２ｍｍの等間隔ピッチで形成されている。電圧印加用の
コンタクトプローブ３は、ストライプ電極パターン２ａ
の一端に接触され、電圧検出用のプローブ４は同電極パ
ターン２ａ上の他端に接触されるとともに、プローブ５
は１ピッチ分間隔を開けた隣の電極パターン２ｂ上に接
触される。電圧印加用のプローブ３は、検査電圧印加回
路６に接続され、この電圧印加回路６から、例えば５Ｖ
の直流電圧がプローブ３と波形観測装置７及び欠陥検出
回路８のグランド間に印加される。また、電圧検出用の
プローブ４，５は、ストレーシスコープなどからなる波
形観測装置７と欠陥検出回路８に接続される。この波形
観測装置７では、プローブ４，５から得られる検出波形
を観測することができる。また、欠陥検出回路８では、
異常波形が入力されたときに、異常電極パターンの位置
と欠陥の種別を検出でき、欠陥記憶部９に欠陥の情報が
記憶される。また、検査内容を表示部１０に表示でき
る。
ンの検査装置の構成を説明する。この実施例で用いられ
ている検査対象となる基板１上には、例えば、パターン
幅１．８ｍｍの複数本のストライプ電極パターン２が、
２ｍｍの等間隔ピッチで形成されている。電圧印加用の
コンタクトプローブ３は、ストライプ電極パターン２ａ
の一端に接触され、電圧検出用のプローブ４は同電極パ
ターン２ａ上の他端に接触されるとともに、プローブ５
は１ピッチ分間隔を開けた隣の電極パターン２ｂ上に接
触される。電圧印加用のプローブ３は、検査電圧印加回
路６に接続され、この電圧印加回路６から、例えば５Ｖ
の直流電圧がプローブ３と波形観測装置７及び欠陥検出
回路８のグランド間に印加される。また、電圧検出用の
プローブ４，５は、ストレーシスコープなどからなる波
形観測装置７と欠陥検出回路８に接続される。この波形
観測装置７では、プローブ４，５から得られる検出波形
を観測することができる。また、欠陥検出回路８では、
異常波形が入力されたときに、異常電極パターンの位置
と欠陥の種別を検出でき、欠陥記憶部９に欠陥の情報が
記憶される。また、検査内容を表示部１０に表示でき
る。
【００１３】このように構成される電極パターンの検査
装置では、コンタクトプローブ３に電圧を印加しなが
ら、三本のプローブ３，４，５を電極パターン２の配列
方向に走査していくと、ストライプ電極パターン２が正
常な場合は、コンタクトプローブ４からは図２（ａ）に
示すように走査方向のパターン毎に正常な電圧波形（正
常電圧パルス）Ｐ１が検出される。一方、コンタクトプ
ローブ５には図２（ｂ）に示すように電圧は現れない。
波形間の無電圧期間ｔは、プローブ３，４，５を走査す
る際に、電極パターン２からプローブ３が一瞬離れるこ
とで生じたものである。
装置では、コンタクトプローブ３に電圧を印加しなが
ら、三本のプローブ３，４，５を電極パターン２の配列
方向に走査していくと、ストライプ電極パターン２が正
常な場合は、コンタクトプローブ４からは図２（ａ）に
示すように走査方向のパターン毎に正常な電圧波形（正
常電圧パルス）Ｐ１が検出される。一方、コンタクトプ
ローブ５には図２（ｂ）に示すように電圧は現れない。
波形間の無電圧期間ｔは、プローブ３，４，５を走査す
る際に、電極パターン２からプローブ３が一瞬離れるこ
とで生じたものである。
【００１４】また、図５に示すように電極パターン２中
のパターン２ｃに断線箇所Ｋ１がある場合、プローブ４
からは図３（ａ）に示すようにこの電極パターン２ｃに
対応した波形位置に正常パルスＰ１の欠落が観測される
ので、この異常波形Ｐ２からパターン２ｃの断線異常を
検出できる。なお、この場合、プローブ５には図３
（ｂ）に示すように正常時の場合と同様電圧は現れな
い。欠陥検出回路８では、異常波形Ｐ２の位置から欠陥
のあるストランプ電極パターン２ｃの位置が割り出され
る。検出された電極パターン２ｃの断線異常の情報は、
欠陥記憶部９に記憶される。
のパターン２ｃに断線箇所Ｋ１がある場合、プローブ４
からは図３（ａ）に示すようにこの電極パターン２ｃに
対応した波形位置に正常パルスＰ１の欠落が観測される
ので、この異常波形Ｐ２からパターン２ｃの断線異常を
検出できる。なお、この場合、プローブ５には図３
（ｂ）に示すように正常時の場合と同様電圧は現れな
い。欠陥検出回路８では、異常波形Ｐ２の位置から欠陥
のあるストランプ電極パターン２ｃの位置が割り出され
る。検出された電極パターン２ｃの断線異常の情報は、
欠陥記憶部９に記憶される。
【００１５】また、図６に示すように電極パターン２中
のパターン２ｄにショート箇所Ｋ２がある場合、図４
（ｂ）に示すようにこの電極パターン２ｄに対応した波
形位置に正常時には現われてはならない異常パルスＰ３
が観測されるので、パターン２ｄのショートを検出でき
る。なお、プローブ３の電圧波形は、図４（ａ）に示す
ように正常時の場合と同じ波形が現れる。欠陥検出回路
９で、電極パターン２ｄのショート異常が検出され、こ
のパターン２ｄの位置が割り出されると、検出された電
極パターン２ｄのショート異常の情報が、欠陥記憶部１
０に記憶される。
のパターン２ｄにショート箇所Ｋ２がある場合、図４
（ｂ）に示すようにこの電極パターン２ｄに対応した波
形位置に正常時には現われてはならない異常パルスＰ３
が観測されるので、パターン２ｄのショートを検出でき
る。なお、プローブ３の電圧波形は、図４（ａ）に示す
ように正常時の場合と同じ波形が現れる。欠陥検出回路
９で、電極パターン２ｄのショート異常が検出され、こ
のパターン２ｄの位置が割り出されると、検出された電
極パターン２ｄのショート異常の情報が、欠陥記憶部１
０に記憶される。
【００１６】このようにして、基板１上の全ての電極パ
ターン２の欠陥を検査することで、最終的な検査結果を
表示部１０の表示内容から確認することができる。
ターン２の欠陥を検査することで、最終的な検査結果を
表示部１０の表示内容から確認することができる。
【００１７】なお、本発明は上述した実施例に限定され
ず、要旨の範囲内で種々の変更実施が可能である。
ず、要旨の範囲内で種々の変更実施が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、三
本のプローブを用いてストライプ電極パターンの断線と
ショートを同時に検出できるため、従来に比べて効率よ
く基板上の電極パターンの欠陥を検出することができ
る。また、コンタクトボートから延びる複数本のプロー
ブを基板上の全ての電極パターンに同時に接触させて検
査を行なう検査装置とは異なり、装置の構成が簡単であ
るとともに、プローブを電極パターンに接触させる際の
位置合せ精度がそれ程要求されないという効果がある。
本のプローブを用いてストライプ電極パターンの断線と
ショートを同時に検出できるため、従来に比べて効率よ
く基板上の電極パターンの欠陥を検出することができ
る。また、コンタクトボートから延びる複数本のプロー
ブを基板上の全ての電極パターンに同時に接触させて検
査を行なう検査装置とは異なり、装置の構成が簡単であ
るとともに、プローブを電極パターンに接触させる際の
位置合せ精度がそれ程要求されないという効果がある。
【図１】本発明によるストライプ電極パターンの検査装
置の一実施例を示すブロック図である。
置の一実施例を示すブロック図である。
【図２】ストライプ電極パターンが正常時の場合のプロ
ーブの検出波形を示す波形図である。
ーブの検出波形を示す波形図である。
【図３】ストライプ電極パターンに断線がある場合のプ
ローブの検出波形を示す波形図である。
ローブの検出波形を示す波形図である。
【図４】ストライプ電極パターンにショートがある場合
のプローブの検出波形を示す波形図である。
のプローブの検出波形を示す波形図である。
【図５】ストライプ電極パターンの断線箇所を示す図で
ある。
ある。
【図６】ストライプ電極パターンのショート箇所を示す
図である。
図である。
【図７】従来の検査装置を示すブロック図である。
【図８】従来の他の検査装置を示すブロック図である。
【図９】図８の検査装置を正面方向から見た説明図であ
る。
る。
１ 電極付き基板 ２ ストライプ電極パターン ３ 電圧印加用のコンタクトプローブ ４，５ 電圧検出用のコンタクトプローブ ６ 検査電圧印加回路 ７ 波形観測装置 ８ 欠陥検出回路 ９ 欠陥記憶部 １０ 表示部 Ｐ１ 正常パルス Ｐ２ 異常波形 Ｐ３ 異常パルス Ｋ１ 断線箇所 Ｋ２ ショート箇所 ｔ 無電圧期間
Claims (2)
- 【請求項１】 液晶表示素子を構成する電極付き基板に
配列形成されている複数本のストライプ電極パターンの
断線及びショートの欠陥を検査する検査方法において、 被検査対象となるストライプ電極パターンの一端に、電
圧印加用のコンタクトプローブを接触させて電圧を印加
し、この電圧印加用のコンタクトプローブを接触させた
同一ストライプ電極パターンの他端に第一の電圧検出用
のコンタクトプローブを接触させて、このストライプ電
極パターンの断線の有無を第一の電圧検出用のコンタク
トプローブからの検出出力に基づいて検出し、 上記被検査対象のストライプ電極パターンと隣り合うス
トライプ電極パターンに第二の電圧検出用のコンタクト
プローブを接触させて、上記被検査対象のストライプ電
極パターンのショートの有無を第二の電圧検出用のコン
タクトプローブからの検出出力に基づいて検出し、 これら三本のコンタクトプローブをストライプ電極パタ
ーンの配列方向に接触走査することで基板上のストライ
プ電極パターンの欠陥を検査することを特徴とした液晶
表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法。 - 【請求項２】 液晶表示素子を構成する電極付き基板に
配列形成されている複数本のストライプ電極パターンの
断線及びショートの欠陥を検査する検査装置において、 被検査対象となるストライプ電極パターンの一端に接触
される電圧印加用のコンタクトプローブと、 この電圧印加用のコンタクトプローブを接触させた同一
ストライプ電極パターンの他端に接触される第一の電圧
検出用のコンタクトプローブと、 上記被検査対象のストライプ電極パターンと隣り合うス
トライプ電極パターンに接触される第二の電圧検出用の
コンタクトプローブと、 上記電圧印加用のコンタクトプローブに接続され、この
コンタクトプローブに検査用の電圧を印加する検査電圧
印加回路と、 上記被検査対象のストライプ電極パターンの断線の有無
を上記第一の電圧検出用のコンタクトプローブからの検
出出力に基づいて検出するとともに、上記被検査対象の
ストライプ電極パターンのショートの有無を上記第二の
電圧検出用のコンタクトプローブからの検出出力に基づ
いて検出する欠陥検出回路とを具備したことを特徴とす
る液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4164360A JPH05333357A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4164360A JPH05333357A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05333357A true JPH05333357A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15791671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4164360A Pending JPH05333357A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 液晶表示素子におけるストライプ電極パターンの検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05333357A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6369580B1 (en) | 1999-01-21 | 2002-04-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrode pattern inspection device and method for detecting voltage variation |
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-
1992
- 1992-05-29 JP JP4164360A patent/JPH05333357A/ja active Pending
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