KR20070111330A - 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 - Google Patents

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 Download PDF

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KR20070111330A
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무네히로 야마시타
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니혼덴산리드가부시키가이샤
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Abstract

과제
플라즈마 디스플레이(PDP라고 칭한다)에서의 배면판의 전극판으로 이용되는 유리 기판에 형성되는 배선을 검사하는 기판 검사 장치를 제공한다.
해결 수단
직선형상의 배선이 복수 병설되는 피검사 기판의 기판 검사 장치로서, 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 1 전극부와, 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 2 전극부와, 해당 배선의 한쪽측에 인접하는 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 3 전극부와, 배선의 다른쪽에 인접하는 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 4 전극부와, 제 1과 제 2 전극부에 제 1 검사 신호를 인가하는 제 1 신호 공급 수단과, 제 3과 제 4 전극부에 제 1 검사 신호와는 상위한 주파수를 갖는 제 2 검사 신호를 인가하는 제 2 신호 공급 수단과, 배선의 전압을 검출하는 검출 수단과, 검출 수단에서 검출된 전압의 위상에 의거하여, 검사 대상의 배선의 양부를 판정하는 판정 수단을 갖는다.
플라즈마 디스플레이, 기판 검사 장치

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{BOARD EXAMINATION DEVICE AND BOARD EXAMINATION METHOD}
도 1은 본 발명에 관한 기판 검사 장치로 검사하는 피검사 기판의 한 실시 형태를 도시하는 도면.
도 2는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치와 피검사 기판의 관계를 도시하는 개략 블록도.
도 3은 피검사 기판과 이 기판에 배치된 기판 검사 장치의 위치 관계를 도시하는 개략도로서, (a)는 개략 평면도를 도시하고, (b)는 개략 측면도를 도시하는 도면.
도 4는 피검사 기판과 기판 검사 장치의 전기적인 위치 관계(전기 신호의 송수신)를 도시하는 개략도.
도 5는 본 발명에 관한 이동부의 한 실시 형태를 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 정면도를 도시하는 도면.
도 6은 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치의 동작을 도시하는 플로우 차트.
도 7은 본 발명에 관한 한 실시예를 도시하고, (a)는 개략 평면도, (b)는 개략 측면도, (c)는 제 1 산출 결과와 제 2 산출 결과를 도시하는 도면.
도 8은 전면판과 배면판의 2장의 대응하는 유리 기판에 의해 형성되어 있음을 도시하는 도면.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1 : 피검사 기판 장치
100 : 피검사 기판
21 : 제 1 전극부
22 : 제 2 전극부
23 : 제 3 전극부
24 : 제 4 전극부
31 : 제 1 신호 공급 수단
32 : 제 2 신호 공급 수단
4 : 검출 수단
41 : 검출 전극부
5 : 판정 수단
51 : 도통 검사부
52 : 단락 검사부
6 : 표시 수단
B : 배면판
기술 분야
본 발명은, 기판 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 플라즈마 디스플레이(PDP라고 칭한다)에서의 배면판의 전극판으로 이용되는 유리 기판에 형성되는 배선을 검사하는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명에 관한 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법은, PDP의 배면판과 같은 일정한 형상을 갖는 배선 패턴이 복수 병설하여 마련된 기판을 검사 대상으로 할 수 있고, PDP의 배면판으로 한정되는 것은 아니다.
종래의 기술
일반적으로 PDP는, 도 8에 도시되는 바와 같이, 전면판(A)과 배면판(B)의 2장의 대응하는 유리 기판에 의해 형성되어 있다.
이들의 유리 기판에 각각 규칙적으로 배열한 한 쌍의 전극을 마련하고, 그들의 사이에 Ne, Xe, He 등을 주체로 하는 가스를 봉입(封入)한 구조로 되어 있다. 그리고, 그들의 전극 사이에 전압을 인가하고, 전극 주변의 미소한 셀 내에서 방전을 발생시킴에 의해 각 셀을 발광시켜서 표시를 행하도록 하고 있다.
이 배면판에 형성되는 배선 패턴이 올바르게 형성되어 있는지의 여부를 검사하기 위해, 특허 문헌 1이나 특허 문헌 2에 개시되는 장치나 방법이 제안되어 있다.
특허 문헌 1에 개시되는 검사 방법은, 본 발명의 전극 검사 방법은, 기판상에 형성된 전극 패턴의 개개의 라인마다 접촉하여 전기적인 접속이 가능한 전압 공 급 수단으로서의 접촉 프로브를 배치함과 함께, 기판에서의 전극 형성면의 이면측에 전압 검출 수단으로서의 비접촉 프로브를 배치하고, 이들 사이에 소정의 교류 전압 또는 직류 전압 펄스를 인가함에 의해 생기는 검출 전압으로부터, 전극 패턴의 불량을 검출하고, 그 위치를 특정하는 방법이다.
또한, 특허 문헌 2에 개시되는 검사 방법은, 기판상에 형성된 전극 패턴의 개개의 라인마다 접촉하여 전기적인 접속이 가능한 전압 검출 수단으로서의 접촉 프로브를 배치함과 함께, 기판에서의 전극 형성면측에 전압 공급 수단으로서의 비접촉 프로브를 배치하고, 이들의 사이에 소정의 교류 전압 또는 직류 전압 펄스를 인가함에 의해 생기는 검출 전압으로부터, 전극 패턴의 불량을 검출하고, 그 위치를 특정하는 방법이다.
이들의 방법은, 어느것이나 종래의 검사 방법에 비하여, 유리 기판에 형성되는 배선 패턴에 접촉한 접촉 프로브의 수를 저감함에 의해, 고가의 접촉 프로브에 관한 비용을 저감하는 것을 가능하게 하고 있다.
그러나, 이들 특허 문헌 1이나 2에 개시되는 검사 장치나 검사 방법에서는, 접촉 프로부의 수를 저감시킨 것에 지나지 않고, 접촉 프로브를 이용하는 것에 변함이 없고, 고가의 접촉 프로브를 필요로 하고 있는 것, 또한, 접촉 프로브를 이용하기 위해 검사를 행하기 때문에 접촉흔적이 잔존하여 버리는 문제를 해소할 수 있는 것이 아니었다.
특허 문헌 1 : 일본 특개2001-84904호 공보
특허 문헌 2 : 일본 특개2001-84905호 공보
본 발명은, 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 접촉 프로브를 전혀 이용하는 일 없이 또한 배선 패턴의 도통 및 단락을 동시에 판정하고, 또한 불량 개소를 용이하게 인식할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.
과제를 해결하기 위한 수단
청구항 제 1항에 기재된 발명은, 직선형상의 배선 패턴이 소정 간격을 갖고서 복수 병설되는 표면을 갖는 피검사 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서, 적어도 피검사 대상이 되는 1개의 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 1 전극부와, 적어도 상기 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치되어 검사 신호를 인가하는 제 2 전극부와, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 한쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 3 전극부와, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 다른쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 4 전극부와, 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 제 1 검사 신호를 인가하는 제 1 신호 공급 수단과, 상기 제 3 전극부와 상기 제 4 전극부에 제 1 검사 신호와는 상위한 주파수를 갖는 제 2 검사 신호를 인가하는 제 2 신호 공급 수단과, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 전압을 검출하는 검출 수단과, 상기 검출 수단에서 검출된 전압의 위상에 의거하여, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 양부(良否)를 판정하는 판정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치를 제공한다.
청구항 제 2항에 기재된 발명은, 상기 제 1 전극부는, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 일단부에 대향하여, 상기 피검사 기판의 표면에 배치되고, 상기 제 2 전극부는, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 타단부에 대향하여, 상기 피검사 기판의 이면에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.
청구항 제 3항에 기재된 발명은, 상기 제 2 전극부는, 복수의 배선 패턴의 타단부에 대해 검사 신호를 인가하도록, 병설 방향으로 연장 마련되는 판형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항 또는 제 2항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.
청구항 제 4항에 기재된 발명은, 상기 판정 수단은, 상기 검출 수단이 검출하는 전압으로부터, 상기 제 1 검사 신호와의 위상을 검출하여, 상기 피검사 대상의 배선 패턴의 도통 검사를 행하는 도통 검사부와, 상기 검출 수단이 검출하는 전압으로부터, 상기 제 2 검사 신호와의 위상을 검출하여, 상기 피검사 대상의 배선 패턴의 단락 검사를 행하는 단락 검사부를 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.
청구항 제 5항에 기재된 발명은, 상기 검출 수단은, 검사 대상의 배선 패턴에 인가되는 전압을 검출하는 개략 배선 패턴과 같은 폭을 갖음과 함께 물리적으로 비접촉으로 배치되는 검출 전극부를 가지며, 상기 제 3 전극부와 상기 제 4 전극부가 소정 간격을 갖고서 대향 배치됨과 함께 측면으로 보아 해당 소정 간격으로 상 기 검출 전극부가 배치되는 이동부가 형성되고, 상기 이동부가, 상기 병설 방향에 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.
청구항 제 6항에 기재된 발명은, 직선형상의 배선 패턴이 소정 간격을 갖고서 복수 병설되는 표면을 갖는 피검사 기판을 검사하는 기판 검사 방법으로서, 적어도 피검사 대상이 되는 1개의 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 상기 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 1 전극부와, 적어도 상기 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 이면측에 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 2 전극부와, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 한쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 상기 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 3 전극부와, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 다른쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 상기 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 4 전극부를 배치하고, 상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 제 1 검사 신호를 인가하고, 상기 제 3 전극부와 상기 제 3 전극부에 제 1 검사 신호와는 상위한 주파수를 갖는 제 2 검사 신호를 인가하고, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 전압을 검출하고, 상기 검사된 전압에 의거하여, 상기 제 1 및 제 2 검사 신호의 위상을 기초로, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 양부를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법을 제공한다.
이들의 발명을 제공함으로써, 상기 과제가 모두 해결된다.
청구항 제 1항에 기재된 발명에 의하면, 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 피 검사 기판의 표면에서 제 1 전극부를 배치하고, 기판 이면에서 제 2 전극부를 배치하고, 배선 패턴의 양 이웃의 배선 패턴에 대해 제 3 전극부와 제 4 전극부를 배치하고, 각각의 전극부에 제 1 및 제 2 검사 신호를 인가함에 의해, 배선 패턴의 도통과 단락을 검사할 수 있다.
이 때문에, 접촉 프로브를 전혀 이용하는 일 없이 또한 배선 패턴의 도통 및 단락을 동시에 판정하는 것이 가능해진다.
청구항 제 2항에 기재된 발명에 의하면, 제 1 전극부가 피검사 기판의 표면에서 배선 패턴의 일단부에 검사 신호를 인가할 수 있도록 배치되고, 제 2 전극부가 피검사 기판의 이면에서 배선 패턴의 타단부에 검사 신호를 인가할 수 있도록 배치되게 되기 때문에, 배선 패턴의 처음부터 끝까지 검사를 행하는 것을 가능하게 한다.
청구항 제 3항에 기재된 발명에 의하면, 제 2 전극부가 복수의 배선 패턴의 타단부에 검사 신호를 인가할 수 있도록 형성되어 있기 때문에, 복수의 배선 패턴에 대해, 연속적으로 검사를 행할 수 있다.
청구항 제 4항에 기재된 발명에 의하면, 제 1 검사 신호와 제 2 검사 신호가 배선 패턴에 인가되고, 이들의 신호를 각각 기초로 도통 및 단락을 검사할 수 있다.
청구항 제 5항에 기재된 발명에 의하면, 제 3 전극부, 제 4 전극부와 검출 전극부가 하나의 부재로 형성되어 이루어지기 때문에, 이 부재를 이동시킴에 의해, 연속적으로 배선 패턴을 검사할 수 있음과 함께, 배선 패턴끼리 사이의 장소를 이 용하여 배선 패턴이 검사되는 위치를 파악할 수도 있다.
청구항 제 6항에 기재된 발명에 의하면, 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 피검사 기판의 표면에서 제 1 전극부를 배치하고, 기판 이면에서 제 2 전극부를 배치하고, 배선 패턴의 양 인근의 배선 패턴에 대해 제 3 전극부와 제 4 전극부를 배치하고, 각각의 전극부에 제 1 및 제 2 검사 신호를 인가함에 의해, 배선 패턴의 도통과 단락을 검사할 수 있다.
이 때문에, 접촉 프로브를 전혀 이용하는 일 없이 또한 배선 패턴의 도통 및 단락을 동시에 판정하는 것이 가능해진다.
본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.
도 1은 본 발명의 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법이 검사 대상으로 하는 피검사 기판의 한 실시 예를 도시한다. 도 2는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치와 기판의 관계를 도시하는 개략 블록도이고, 도 3은 피검사 기판과 이 기판에 배치된 기판 검사 장치의 위치 관계를 도시하는 개략도이고, 도 4는 피검사 기판과 기판 검사 장치의 전기적인 위치 관계(전기 신호의 송수신)를 도시하는 개략도이다.
본 발명의 피검사 기판에 관해 간단히 설명한다.
본 발명이 검사의 대상으로 하는 피검사 기판(100)은, 도 1에서 도시되는 바와 같이, 직선형상의 복수의 배선 패턴(8)이 병설되어 있는 기판에 대해 가장 효과를 이룬다.
예를 들면, 도 1에서 도시되는 바와 같이 기판에서는, 1개의 배선 패턴(8)이 소정 간격을 갖고서 병설되어 있다. 이 배선 패턴(8)은, 일정 길이를 갖는 선형상부(線狀部)(81)와 이 선형상부(81)의 일단에 형성되는 TAB(Tape Automated Bonding) 전극부(82)를 갖고 있다. 선형상부(81)는, 도 1에서 도시되는 바와 같이, 소정 간격을 갖고서 평행하게 복수 배치되어 있다. TAB 전극부(82)는, 선형상부(81)보다도 좁은 간격으로 평행하게 복수 배치되어 있다. 접속부(83)는, 선형상부(81)와 TAB 전극부(82)를 접속하고, 선형상부(81)와 TAB 전극부(82)의 피치 변환을 행한다.
또한, 도 1에서는 10개의 배선 패턴(8)이 도시되어 있지만, 특히 한정되지 않고, 기판의 크기에 따라 배치되는 갯수가 결정된다.
이 피검사 기판(100)은, 표면측에 상기한 배선 패턴(8)이 형성되어 있지만, 이면 측에는 배선 패턴이 형성되어 있지 않다. 이 때문에, 피검사 기판(100)은, 표면측에 배선 패턴(8)이 형성됨으로써 요철면이 되지만, 이면측에는 배선 패턴이 형성되지 않기 때문에, 같은면으로 된다.
본 발명에 관한 기판 검사 장치의 한 실시 형태의 구성을 설명한다.
도 2는 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치와 피검사 기판의 관계를 도시하는 개략 블록도이고, 도 3은 피검사 기판과 이 기판에 배치된 기판 검사 장치와 신호의 송수신를 도시하는 개략도이고, 도 4는 본 발명에 관한 기판 검사 장치와 피검사 기판의 위치 관계를 도시한다.
또한, 도 2에서는, 복수로 병설되는 배선 패턴 10개중 끝쪽측부터 2번째의 배선 패턴을 검사 대상의 배선 패턴(8x)으로 하여 설명한다.
본 발명에 관한 기판 검사 장치(1)는, 배선 패턴(8)에 소정의 검출 신호를 인가하기 위한 전극부(2), 검출 신호를 공급하기 위한 신호 공급 수단(3), 배선 패턴(8)으로부터 전압을 검출하는 검출 수단(4), 검출된 전압으로부터 배선 패턴(8)의 검사를 실시하는 판정 수단(5)과, 소정의 정보를 육안 가능한 상태로 하는 표시 수단(6)을 갖고서 이루어진다.
전극부(2)는, 제 1 전극부(21), 제 2 전극부(22), 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)를 구비하여 이루어진다.
제 1 전극부(21)는, 도 3의 (a)에서 도시되는 바와 같이, 복수의 배선 패턴(8)의 TAB 전극부(82)와 물리적으로 비접촉으로 표면측에 배치되어 있다.
이 제 1 전극부(21)는, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 TAB 전극부(82)에 검사 신호(제 1 검사 신호)를 공급할 수 있도록, 물리적으로 비접촉이 되도록 소정 간격을 가지고 배치된다. 제 1 전극부(21)가 소정 간격을 갖고서 배치되기 때문에, 배선 패턴(8)의 TAB 전극부(82)와 정전 용량(C1)을 형성한다.
이와 같이, 제 1 전극부(21)가 소정 간격을 갖고서 제 1 전극부(21)에 배치되기 때문에, 배선 패턴(8)에 대해 접촉흔적이 발생하지 않는다.
이 제 1 전극부(21)는, 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 대해, 도통 검사를 행하기 위한 제 1 검사 신호를 공급하는 것으로 되기 때문에, 적어도 제 1 전극부(21)는 배선 패턴(8)의 폭과 같은 폭을 갖을 필요가 있다.
도 3에서 도시되는 한 실시 형태로 나타나는 제 1 전극부(21)는, 5개의 배선 패턴(8)의 TAB 전극부(82)에 대해 제 1 검사 신호를 공급할 수 있음과 함께, 복수가 병설되는 배선 패턴(8)의 검사를 행할 수 있도록, 병설 방향으로 이동할 수 있도록 설정되어 있다.
제 2 전극부(22)는, 피검사 기판의 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 대해 제 1 검사 신호를 공급한다. 이 제 2 전극부(22)는, 제 1 전극부(21)와 배선 패턴(8x)의 양단에 각각 배치되고, 검사 신호를 공급하는 것이 바람직하기 때문에, 제 2 전극부(22)는 피검사 기판(100)의 이면측에 배치된다. 이와 같이, 이면측을 이용함으로써, 배선 패턴(8)에 대해 유리 기판의 두께에 의해, 소정 간격을 형성하는 것으로 된다.
이 제 2 전극부(22)는, 배선 패턴(8x)의 선형상부(81)의 TAB 전극부(82)측과 역측의 단부(8B)에 신호를 인가할 수 있다. 이 제 2 전극부(22)는, 유리 기판(100)을 유전체로 하여 배선 패턴(8)의 선형상부(81)의 단부(8B)와 정전 용량(C2)을 형성한다.
이 제 2 전극부(22)는, 적어도 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 대해 검사 신호를 인가하지만, 도 3에서 도시하는 바와 같이, 검사 대상이 되는 배선 패턴 전부에 대해 동시에 검사 신호를 인가할 수 있는 병설 방향의 길이를 갖고 있어도 상관없다.
제 3 전극부(23)는, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 한쪽측에 인접하는 배선 패턴(8y)에 대해, 물리적으로 비접촉으로 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호(제 2 검사 신호)를 인가한다.
이 제 3 전극부(23)는, 배선 패턴(8y)의 선형상부(81)와 정전 용량(C3)을 형성한다.
이 제 3 전극부(23)는, 배선 패턴(8y)의 선형상부(81)에 대해 검사 신호를 인가할 수 있으면, 배치되는 장소는 특히 한정되지 않는다.
제 4 전극부(24)는, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 다른쪽측에 인접하는 배선 패턴(8)에 대해, 물리적으로 비접촉으로 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 공급한다.
이 제 4 전극부(24)는, 배선 패턴(8)의 선형상부(81)와 정전 용량(C4)을 형성한다. 이 제 4 전극부(24)는, 배선 패턴(8)의 선형상부(81)에 대해 검사 신호를 인가할 수 있으면, 배치되는 장소는 특히 한정되지 않는다.
제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)는, 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 대해, 양 이웃에 (병설 방향으로) 인접하는 2개의 배선 패턴(8y, 8z)에 각각 검사 신호를 인가한다.
또한, 도 3에서는, 제 3 전극부(23)가 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 지면(紙面) 끝쪽측에 배치되는 배선 패턴(8y)에 대해 검사 신호를 인가할 수 있도록 도시되어 있고, 제 4 전극부(24)가 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 지면 앞쪽측에 배치되는 배선 패턴(8z)에 대해 검사 신호를 인가할 수 있도록 도시되어 있다. 또한, 이들 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)는, 복수의 배선 패턴(8)에 대해 검사 신호를 인가할 수 있도록, 소정의 폭을 갖도록 형성되어 있다.
또한, 이들 제 1 내지 제 4 전극부는, 급전 패드를 이용할 수 있다. 또한, 제 1, 제 3, 제 4 전극부가 갖는 소정 간격은, 배선 패턴에 검사 신호를 인가할 수 있는 높이라면 특히 한정되지 않지만, 50 내지 250㎛으로 설정할 수 있다.
신호 공급 수단(3)은, 배선 패턴(8)의 검사를 행하기 위한 검사 신호를 공급한다. 이 신호 공급 수단(3)은, 제 1 신호 공급 수단(31)과 제 2 신호 공급 수단(32)을 갖고서 이루어진다.
제 1 신호 공급 수단(31)은, 제 1 전극부(21)와 제 2 전극부(22)와 직렬로 접속되고, 제 1 검사 신호(f1)를 공급한다(도 3 참조). 이 때문에, 이 제 1 신호 공급 수단(31)은, 제 1 전극부(21), TAB 전극부(82), 접속부(83), 선형상부(81), 선형상부(81)의 단부(8B), 유리 기판(100)과 제 2 전극부(22)에 의해 형성된 폐회로를 흐르는 신호를 공급하게 된다.
이 제 1 신호 공급 수단(31)이 공급하는 제 1 검사 신호(f1)가, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 도통 검사를 가능하게 한다.
이 제 1 신호 공급 수단(31)이 공급한 제 1 검사 신호는, 일정한 주기를 갖고 있고, 예를 들면, 주파수 1 내지 2MHz이고, 전압 실효치 0.1 내지 7V를 이용할 수 있다.
제 2 신호 공급 수단(32)은, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)와 직렬로 접속되고, 제 2 검사 신호(f2)를 공급한다(도 3 참조). 이 때문에, 이 제 2 신호 공급 수단(32)은, 제 4 전극부(24), 다른쪽에 인접하는 배선 패턴(8z), 검사 대상의 배선 패턴(8x), 한쪽측에 인접하는 배선 패턴(8y), 제 3 전극부(23)에 의해 형성된 폐회로를 흐르는 신호를 공급하게 된다.
이 제 2 신호 공급 수단(32)이 공급하는 제 2 검사 신호(f2)가, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 좌우 이웃에 인접하는 2개의 배선 패턴(8y, 8z)과의 단락 검사를 가능하게 한다.
이 제 2 신호 공급 수단(32)이 공급하는 제 2 검사 신호(f2)는, 일정한 주기를 갖음과 함께 제 1 검사 신호(f1)와는 상위한 주파수를 갖고 있고, 예를 들면, 주파수 1 내지 2MHz이고, 전압 실효치 0.1 내지 7V로, 제 1 검사 신호(f1)와는 상위한 주파수의 신호를 이용할 수 있다.
제 1 신호 공급 수단(31)과 제 2 신호 공급 수단(32)은, 각각, 한쪽의 전극부(제 1 전극부 또는 제 3 전극부)에 인가되는 검사 신호와, 이 검사 신호와 180도 위상이 상위한 검사 신호를 다른쪽의 전극부(제 2 전극부 또는 제 4 전극부)에 인가하도록 설정된다.
검출 수단(4)은, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 전압을 검출한다.
이 검출 수단(4)은, 도 4에서 도시하는 바와 같이, 검출 전극부(41)와 측정부(42)를 갖고서 이루어진다.
검출 전극부(41)는, 배선 패턴(8x)의 도통 불량과 단락 불량을 검출하기 위해, 배선 패턴(8x)의 타단(8B)에 물리적으로 비접촉으로 되기 위해 소정 간격을 갖고서 배치된다(도 3 참조). 이 때문에, 이 검출 전극부(41)는, 배선 패턴(8x)과 정전 용량(C5)을 형성한다.
검출 전극부(41)는, 급전 패드를 이용할 수 있고, 검사 대상의 배선 패턴(8x)만의 전압을 검출하기 위해, 배선 패턴(8)과 개략 같은 폭을 갖는 사각형의 형상으로 형성된다.
측정부(42)는, 검출 전극부(41)에서 검출된 신호를 측정한다. 이 측정부(42)로는, 교류 전압계가 이용된다.
또한, 도 3에서 도시되는 실시 형태에서는, 검출 전극부(41)가 검출하는 신호의 크기를 증폭하는 앰프가 마련되어 있다.
검출 전극부(41)는, 병설되는 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 대해 신호를 검출하기 때문에, 병설 방향으로 이동하도록 설정되어 있다. 이 검출 전극부(41)는, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)의 사이에 존재하는 것으로 되는 검사 대상의 배선 패턴(8x)으로부터 전압을 측정하는 것으로 되기 때문에, 측면으로 보아 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)의 사이에 배치된다(도 3 참조).
도 5는 검출 전극부(41), 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)를, 하나의 부재로 형성한 한 실시 형태를 도시하고 있다. 이와 같이, 하나의 부재로 형성함에 의해, 이 부재를 검사 대상이 되는 배선 패턴의 병설 방향에 따라 이동시켜서, 연속적으로 배선 패턴의 검사를 행할 수 있게 된다.
이 부재(이하, 이동부(7))는, 검출 전극부(41), 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)를 구비하고, 또한, 검출 전극부(41)가 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)의 사이에 배치됨과 함께 이 사이에 존재하는 배선 패턴의 전압을 검출한다.
도 5에서는, 이동부(7)가 사각형의 형상을 갖고서 형성되고, 한쪽에 검사 전극부(41), 다른쪽에 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)의 전극부가 형성되어 있다. 도 5의 (a)에서 도시되는 바와 같이, 이동부(7)는, T자형상의 간극이 형성됨에 의해, 3 개소의 전극부가 형성되어 있다. 이 도 5의 (a)에서 도시되는 바와 같이, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)는 간극(소정 간격)(L1)을 갖고서 대향 배치되어 있다. 이 간극(L1)은, 배선 패턴(8)의 폭보다 약간 크게 형성되어 있다.
제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)와 간극(L2)을 갖고서 검출 전극부(41)가 배치되는 장소(71)가 형성되어 있다. 이 실시 형태에서는, 제 3과 제 4 전극부가 형성되는 표면에 대해 이측면(이면)에 검출 전극부(41)가 배치됨과 함께, 이동부(7)를 형성하기 위한 판부(72)를 관통하는 개구부(73)가 형성되어 있다. 검사 전극부(41)는, 이 개구부(73)를 이면측으로 덮도록 배치되어 있다.
이 개구부(73)의 폭은, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)의 간극(L1)과 갖거나 또는 보다 미세하게 형성되어 있다. 이 개구부(73)는, 배선 패턴(8x)으로부터의 전계에 지향성을 갖게 하고, 인접하는 배선 패턴(8y, 8z)의 영향을 없앨 수 있다. 이 개구부(73)를 마련하고 또한 제 3과 제 4 전극부와는 상위한 표면에 검출 전극부(41)를 배치함에 의해, 검사 대상의 배선 패턴(8x)으로부터 확실하게 전압을 검출할 수 있도록 된다.
간극(L2)의 길이는, 특히 한정되지 않지만, 제 3과 제 4 전극부의 영향을 검출 전극부(41)가 받지 않는 것이 필요하다. 또한, 도 5의 (a)에서 도시되는 검출 전극부(41)의 주위의 장소(71)는 그라운드면(GND)이 형성되어 있다.
판정 수단(5)은, 검출 수단(4)에 의해 검출된 전압의 위상에 의거하여, 검사 대상의 배선 패턴의 양부를 판정한다.
이 판정 수단(5)은, 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 도통 및 단락 검사를 행하 기 위한 도통 검사부(51)와 단락 검사부(52)를 갖고 있다.
이 도통 검사부(51)는, 검출 수단(4)에 의해 측정되는 전압으로부터, 제 1 검사 신호에 의한 전압을 산출하여(제 1 산출 결과를 얻고), 이 제 1 산출 결과로부터 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 도통 검사의 판정을 행한다.
이 경우, 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 도통 불량이 존재하지 않는 경우에는, 제 1 전극부(21)에 의해 인가되는 제 1 검사 신호와 같은 위상의 전압이 측정되게 된다. 그러나, 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 도통 불량이 존재하는 경우에는, 제 1 전극부(21)로부터의 검사 신호의 영향이 측정되지 않게 된다.
이 때문에, 검출 수단(4)에 의해 측정되는 전압을, 제 1 검사 신호를 기초로 검파함에 의해, 제 1 검사 신호와의 위상의 관계를 산출함으로써, 배선 패턴(8x)의 도통 검사의 판정을 행할 수 있다. 즉, 제 1 검사 신호와 동기하는(동위상의) 전압이 산출되면, 배선 패턴(8x)은 양품이라고 판정할 수 있고, 제 1 검사 신호와 상위한 (역위상의) 전압이 산출되면, 배선 패턴(8x)은 불량품이라고 판정할 수 있다.
단락 검사부(52)는, 검출 수단(4)에 의해 측정되는 전압으로부터, 제 2 검사 신호에 의해 전압을 산출하여(제 2 산출 결과를 얻고), 이 제 2 산출 결과로부터 검사 대상의 배선 패턴(8x)의 단락 검사의 판정을 행한다.
이 경우, 검사 대상의 배선 패턴(8x)에 단락 불량이 존재하지 않는 경우에는, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)로부터 인가되는 제 2 검사 신호의 영향 때문에, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)로부터 배선 패턴(8x)은 개략 등전위(예를 들면, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)가 인가하는 검사 신호의 크기가 같으 며 정부(正負)가 반대이면 「0 제로v」)이다. 그러나, 배선 패턴(8x)이, 인접하는 배선 패턴(8y이)나 배선 패턴(8z)과 단락 상태라면, 어느 하나의 검사 신호의 영향을 받게 된다.
이 때문에, 검출 수단(4)에 의해 측정되는 전압을, 제 2 검사 신호를 기초로 검파함에 의해, 제 2 검사 신호와의 위상의 관계를 산출함으로써, 배선 패턴(8x)의 단락 검사의 판정을 행할 수 있다. 즉, 제 2 검사 신호에 의거한 측정 신호가 제로이면, 배선 패턴(8x)은 양품이라고 판정하고, 제 2 검사 신호와의 위상의 영향을 받은 신호가 산출된 경우에는, 배선 패턴(8x)은 불량품으로서 판정된다.
표시 수단(6)은, 검출 수단(4)이 측정하는 신호를 표시하거나, 판정 수단(5)에 의해 판정되는 배선 패턴(8x)의 양품 또는 불량품의 판정 결과를 표시하거나, 또한, 도통 검사부(51)나 단락 검사부(52)가 산출하는 전압의 위상을 표시한다.
이들의 이 표시 수단(6)은, 이른바 액정 디스플레이 등의 표시 장치를 이용할 수 있다.
또한, 이 표시 수단(6)은, 제 1 산출 결과나 제 2 산출 결과를 표시함과 함께, 각 산출 결과에 대해 양품/불량품을 판정하는 판정 임계치를 설정하여 표시하고, 육안으로 도통 불량과 단락 불량을 확인할 수 있도록 하여도 좋다.
이상이 본 발명에 관한 기판 검사 장치의 구성의 설명이다.
다음에, 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치의 동작을 설명한다.
도 6은, 본 발명에 관한 한 실시 형태의 기판 검사 장치의 동작을 도시하는 플로우 차트이다.
우선, 기판 검사 장치(1)의 재치대에 유리 기판(배면판)(100)을 재치하고, 이 기판(100)의 검사를 행할 수 있도록 준비한다(S1).
이때, 제 1 전극부(21)을 복수의 배선 패턴(8)의 일단(TAB 전극(82))(8A)에 소정 간격을 갖고서 물리적으로 비접촉으로 배치한다. 또한, 제 2 전극부(22)를 복수의 배선 패턴(8)의 타단(8B)에 검사 신호를 인가할 수 있도록, 유리 기판(100)의 뒷표면에 배치한다(도 3 또는 도 4 참조).
다음에, 검출 전극부(41), 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)를 구비하는 이동부(7)를 복수의 병설되는 배선 패턴(8)의 병설 방향으로 이동하도록 유리 기판(100)의 표면에 배치되도록 준비한다.
이때, 검출 전극부(41)는, 배선 패턴(8)의 타단(8B)에 소정 간격을 갖고서 배치되고, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)도 소정 간격을 갖고서 배치된다.
또한, 이동부(7)는, 검사 대상이 되는 배선 패턴(8)의 1번째(최초에 검사되게 되는)배선 패턴의 부근에 위치된다.
또한, 기판 검사 장치(1)에는, 복수의 배선 패턴(8)의 형상이나 배치 간격에 관한 정보가 기억 장치에 기억되어 있고, 이 기억되는 정보와, 검출 수단(4)에 의해 검출되는 검출 신호를 연동시켜서, 어느 위치(몇번째)의 배선 패턴으로부터 검출된 검사 신호인지를 특정할 수 있도록 하여 두는 것이 바람직하다.
기판(100)이 준비되면, 제 1 신호 공급 수단(31)이 제 1 전극부(21)와 제 2 전극부(22)에 제 1 검사 신호를 공급한다(S2).
이 제 1 검사 신호는, 상기한 바와 같은 하나의 주기를 갖는 신호를 이용하 고, 예를 들면, 1MHz이고 2Vrms의 신호를 이용한다.
그리고, 제 2 신호 공급 수단(32)이, 제 3 전극부(23)와 제 4 전극부(24)에 제 2 검사 신호를 공급한다(S3).
이 제 2 검사 신호는, 제 1 검사 신호와 위상이 상위한 신호이고, 1MHz의 신호를 이용한다.
다음에, 이동부(7)가, 복수의 배선 패턴(8)을 검사하기 위해, 배선 패턴(8)의 병설 방향으로 이동시킨다.
이때, 검출 전극부(41)는, 배선 패턴(8)상에 위치하는 경우에, 배선 패턴(8)으로부터의 전압을 검출한다(S4).
검출 수단(4)은, 검출 전극부(41)에 의해 검출된 전압을 측정하고, 판정 수단(5)에 송신한다. 이때, 판정 수단(5)은, 제 1 신호 공급 수단(31)으로부터의 제 1 검사 신호 및 제 2 신호 공급 수단(32)로부터의 제 2 검사 신호를 수신하여 둔다.
판정 수단(5)은, 제 1 검사 신호, 제 2 검사 신호와 측정한 전압을 수신하면, 도통 판정부(51)가 제 1 검사 신호와 전압을 기초로 도통 검사를 실시하고, 단락 판정부(52)가 제 2 검사 신호와 전압을 기초로 단락 검사를 실시한다(S5).
이 경우, 예를 들면, 도 7에 도시하는 바와 같이 결과를 얻어지게 된다. 예를 들면, 도 7의 (c)에서 도시되는 제 1 산출 결과(f1)와 제 2 산출 결과(f2)에 의해, 복수의 배선 패턴(8)의 도통 및 단락의 양 불량을 판정할 수 있다(S6).
이 제 1 산출 결과(f1)로부터 이해되는 바와 같이, 배선 패턴(8)상을 검출 전극부(41)가 통과하지 않는 경우(배선 패턴과 배선 패턴의 사이를 통과하는 경우)에는, 제 1 산출 결과는, 제 2 전극부(22)의 영향을 받게 된다. 이 때문에, 제 1 전극부(21)와 제 2 전극부(22)에 공급되는 제 1 검사 신호가, 180도 위상이 상위한 검사 신호라면, 배선 패턴(8)상을 통과할 때에는 정(正)의 출력, 배선 패턴(8)끼리의 사이를 통과할 때에는 부(負)의 출력과 설정하는 것이 가능해지고, 검사 대상이 되는 배선 패턴의 위치를 결정하는 것도 가능해진다.
또한, 제 2 산출 결과(f2)에서는, 제로 출력 이외의 출력이 산출된 경우에는, 제 3 전극부(23) 또는 제 4 전극부(24)로부터의 제 2 검사 신호에 의한 전압 변화가 있고, 배선 패턴(8x)이 단락하고 있다.
도 7의 (c)에서는, 점선 둥근표시(A)에서 도시되는 장소는, 제 1 산출 결과(f1)에 이상이 존재하는 것이 이해되고, 이 배선 패턴은 도통 불량을 갖고 있다. 또한, 점선 둥근표시(B)로 도시되는 장소에서는, 제 2 산출 결과(f2)가 제로가 아니기 때문에 이상이 존재하는 것이 이해되고, 이 배선 패턴은 단락 불량을 갖고 있는 것이 이해된다.
판정 수단(5)이 양부 판정을 행하면, 그 결과에 따라, 배선 패턴 전부가 양품이라면, 피검사 기판을 양품이라고 판정하고, 표시 수단(6)에서 그 취지를 표시하도록 동작한다(S7).
한쪽, 배선 패턴에 불량이 있으면, 그 취지의 통지를 표시 수단(6)에서 표시하도록 동작한다(S8).
이때, 배선 패턴의 어느 개소가 어떤 불량을 갖고 있는지 표시하는 것이 바 람직하다.
청구항 제 1항에 기재된 발명에 의하면, 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 피검사 기판의 표면에서 제 1 전극부를 배치하고, 기판 이면에서 제 2 전극부를 배치하고, 배선 패턴의 양 이웃의 배선 패턴에 대해 제 3 전극부와 제 4 전극부를 배치하고, 각각의 전극부에 제 1 및 제 2 검사 신호를 인가함에 의해, 배선 패턴의 도통과 단락을 검사할 수 있다.
이 때문에, 접촉 프로브를 전혀 이용하는 일 없이 또한 배선 패턴의 도통 및 단락을 동시에 판정하는 것이 가능해진다.
청구항 제 2항에 기재된 발명에 의하면, 제 1 전극부가 피검사 기판의 표면에서 배선 패턴의 일단부에 검사 신호를 인가할 수 있도록 배치되고, 제 2 전극부가 피검사 기판의 이면에서 배선 패턴의 타단부에 검사 신호를 인가할 수 있도록 배치되게 되기 때문에, 배선 패턴의 처음부터 끝까지 검사를 행하는 것을 가능하게 한다.
청구항 제 3항에 기재된 발명에 의하면, 제 2 전극부가 복수의 배선 패턴의 타단부에 검사 신호를 인가할 수 있도록 형성되어 있기 때문에, 복수의 배선 패턴에 대해, 연속적으로 검사를 행할 수 있다.
청구항 제 4항에 기재된 발명에 의하면, 제 1 검사 신호와 제 2 검사 신호가 배선 패턴에 인가되고, 이들의 신호를 각각 기초로 도통 및 단락을 검사할 수 있다.
청구항 제 5항에 기재된 발명에 의하면, 제 3 전극부, 제 4 전극부와 검출 전극부가 하나의 부재로 형성되어 이루어지기 때문에, 이 부재를 이동시킴에 의해, 연속적으로 배선 패턴을 검사할 수 있음과 함께, 배선 패턴끼리 사이의 장소를 이용하여 배선 패턴이 검사되는 위치를 파악할 수도 있다.
청구항 제 6항에 기재된 발명에 의하면, 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 피검사 기판의 표면에서 제 1 전극부를 배치하고, 기판 이면에서 제 2 전극부를 배치하고, 배선 패턴의 양 인근의 배선 패턴에 대해 제 3 전극부와 제 4 전극부를 배치하고, 각각의 전극부에 제 1 및 제 2 검사 신호를 인가함에 의해, 배선 패턴의 도통과 단락을 검사할 수 있다.
이 때문에, 접촉 프로브를 전혀 이용하는 일 없이 또한 배선 패턴의 도통 및 단락을 동시에 판정하는 것이 가능해진다.

Claims (6)

  1. 직선형상의 배선 패턴이 소정 간격을 갖고서 복수 병설되는 표면을 갖는 피검사 기판을 검사하는 기판 검사 장치로서,
    적어도 피검사 대상이 되는 1개의 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 1 전극부와,
    적어도 상기 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 2 전극부와,
    상기 검사 대상의 배선 패턴의 한쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 3 전극부와,
    상기 검사 대상의 배선 패턴의 다른쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 4 전극부와,
    상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 제 1 검사 신호를 인가하는 제 1 신호 공급 수단과,
    상기 제 3 전극부와 상기 제 4 전극부에 제 1 검사 신호와는 상위한 주파수를 갖는 제 2 검사 신호를 인가하는 제 2 신호 공급 수단과,
    상기 검사 대상의 배선 패턴의 전압을 검출하는 검출 수단과,
    상기 검출 수단에서 검출된 전압의 위상에 의거하여, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 양부를 판정하는 판정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 전극부는, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 일단부에 대향하여, 상기 피검사 기판의 표면에 배치되고,
    상기 제 2 전극부는, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 타단부에 대향하여, 상기 피검사 기판의 이면에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 2 전극부는, 복수의 배선 패턴의 타단부에 대해 검사 신호를 인가하도록, 병설 방향으로 연장 마련되는 판형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 판정 수단은,
    상기 검출 수단이 검출한 전압으로부터, 상기 제 1 검사 신호와의 위상을 검출하여, 상기 피검사 대상의 배선 패턴의 도통 검사를 행하는 도통 검사부와,
    상기 검출 수단이 검출한 전압으로부터, 상기 제 2 검사 신호와의 위상을 검출하여, 상기 피검사 대상의 배선 패턴의 단락 검사를 행하는 단락 검사부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검출 수단은, 검사 대상의 배선 패턴에 인가되는 전압을 검출하는 개략 배선 패턴과 같은 폭을 갖음과 함께 물리적으로 비접촉으로 배치되는 검출 전극부를 가지며,
    상기 제 3 전극부와 상기 제 4 전극부가 소정 간격을 갖고서 대향 배치됨과 함께 측면으로 보아 해당 소정 간격으로 상기 검출 전극부가 배치되는 이동부가 형성되고,
    상기 이동부가, 상기 병설 방향에 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  6. 직선형상의 배선 패턴이 소정 간격을 갖고서 복수 병설되는 표면을 갖는 피검사 기판을 검사하는 기판 검사 방법으로서,
    적어도 피검사 대상이 되는 1개의 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 상기 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 1 전극부와,
    적어도 상기 검사 대상의 배선 패턴에 대해, 이면측에 배치되어 검사 신호를 인가하는 제 2 전극부와,
    상기 검사 대상의 배선 패턴의 한쪽에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 상기 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 3 전극부와,
    상기 검사 대상의 배선 패턴의 다른쪽측에 인접하는 배선 패턴에 대해, 물리적으로 비접촉으로 상기 표면측에 배치됨과 함께 검사 신호를 인가하는 제 4 전극부를 배치하고,
    상기 제 1 전극부와 상기 제 2 전극부에 제 1 검사 신호를 인가하고,
    상기 제 3 전극부와 상기 제 3 전극부에 제 1 검사 신호와는 상위한 주파수를 갖는 제 2 검사 신호를 인가하고,
    상기 검사 대상의 배선 패턴의 전압을 검출하고,
    상기 검사된 전압에 의거하여, 상기 제 1 및 제 2 검사 신호의 위상을 기초로, 상기 검사 대상의 배선 패턴의 양부를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
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Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101021427B1 (ko) * 2008-09-29 2011-03-15 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치
KR101259350B1 (ko) * 2012-02-24 2013-04-30 로체 시스템즈(주) Ｔ형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치
KR101316537B1 (ko) * 2012-02-06 2013-10-15 로체 시스템즈(주) 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5299037B2 (ja) * 2009-04-04 2013-09-25 日本電産リード株式会社 検査用プローブ
JP5417651B1 (ja) * 2013-01-08 2014-02-19 オー・エイチ・ティー株式会社 回路パターン検査装置
JP2019124671A (ja) * 2018-01-19 2019-07-25 浜松ホトニクス株式会社 検査装置及び検査方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101021427B1 (ko) * 2008-09-29 2011-03-15 마이크로 인스펙션 주식회사 회로기판의 검사장치
KR101316537B1 (ko) * 2012-02-06 2013-10-15 로체 시스템즈(주) 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치
KR101259350B1 (ko) * 2012-02-24 2013-04-30 로체 시스템즈(주) Ｔ형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치
WO2013125864A1 (ko) * 2012-02-24 2013-08-29 로체 시스템즈(주) 전극패턴 검사장치

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