KR101823317B1

KR101823317B1 - 패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법

Info

Publication number: KR101823317B1
Application number: KR1020160083232A
Authority: KR
Inventors: 김진열
Original assignee: 로체 시스템즈(주)
Priority date: 2016-07-01
Filing date: 2016-07-01
Publication date: 2018-03-14
Also published as: CN107564827A; KR20180003749A

Abstract

데이터 배선들 상호간, 게이트 배선들 상호간의 결함(Open, Short) 뿐만 아니라, 데이터 배선들 및 게이트 배선들 상호간의 결함에 대한 검출력 또한 향상시킬 수 있는 패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법이 제공된다. 이러한 검사장치는, 급전부 및 수전부를 포함한다. 상기 급전부는, 상기 패널에 형성된 배선패턴에 적어도 2개의 서로 다른 주파수를 갖는 다수의 전기적 신호를 동시에 인가한다. 상기 수전부는, 상기 급전부로부터 인가되어 상기 배선패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 배선패턴의 결함을 검출할 수 있다.

Description

패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법{APPARTUS AND METHOD OF INSPECTING WIRES OF PANEL}

본 발명은 패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(Glass) 패널에 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과 같은 배선패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(Open) 및 쇼트(Short) 여부를 검사할 수 있는 패널의 배선패턴 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 PDP, LCD, OLED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인을 형성된 전극패턴이 형성되어 있다.

통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 배선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 배선 길이는 1m에 이르기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 열처리와 같은 제조과정에서 배선이 끊어지거나(Open) 인접한 배선과 연결(Short)되는 경우가 빈번히 발생한다.

따라서, 형성된 배선패턴의 결함 여부를 제조공정의 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위한 필수적인 과정이 된다.

상기와 같은 배선패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되는데, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 배선패턴의 양단에 접속시킨 상태에서 급전부로부터 배선패턴을 향해 검사신호를 공급하고, 그 검사신호를 수전부에서 수신하면서 다수의 배선을 가로질러 이동시킴으로써 행해진다.

그러나, 상기와 같은 종래의 검사는 급전부에서 하나의 주파수를 사용한 검사신호를 인가하여 일렬로 배치된 센서를 가진 수전부에서 하나의 주파수를 처리하는 방식을 이용함으로써 결함에 대한 검출력이 정확하지 않은 문제점이 있었다.

도 1을 참조하여 글래스 패널에 형성된 일반적인 배선패턴의 구조를 설명하면 다음과 같다.

도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 배선패턴을 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 일반적인 배선패턴(200)은 프로브의 접촉을 위한 복수개의 패드부(210)와, 상기 패드부(210)와 연결되는 액티브 에어리어(Active area)의 배선패턴(220)과 상기 액티브 에어리어의 배선패턴(220)과 연결되어 출력을 다른 곳으로 배분하는 팬 아웃 에어리어(Fan out area)의 배선패턴(230)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 액티브 에어리어에 형성된 복수개의 배선패턴(220)은 서로 일정한 간격을 갖도록 수평하게 형성되지만 상기 팬 아웃 에어리어에 형성된 배선패턴(230)은 출력을 다른 곳으로 배분하기 위하여 글래스 패널(20)의 끝단부 측으로 소정의 거리만큼 서로 이웃하는 배선패턴(230)의 간격이 점차적으로 줄어들도록 형성된 후, 다시 서로 이웃하는 배선패턴(230)이 서로 일정한 간격을 갖도록 수평하게 형성된다.

상기와 같이 일반적인 글래스 패널(20)의 배선패턴(200) 검사방법은 상기 패드부(210)에 특정 주파수를 갖는 신호를 인가하고, 일렬로 형성된 센서에 상기 신호를 처리하는 방식을 이용하여 배선이 끊어지거나(Open) 인접한 배선과 연결(Short)되는 배선패턴(200)의 결함에 대한 검사를 수행하였다. 그러나, 상기와 같은 종래의 배선패턴 검사방법은 하나의 주파수만을 사용하기 때문에 배선패턴(200)의 결함(Open, Short)에 대한 검출력이 정확하지 않은 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해서, 대한민국 공개특허 10-2007-0111330호, '기판 검사 장치 및 기판 검사 방법'에 따른 기판 검사 장치는, 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 1 전극부와, 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 2 전극부와, 해당 배선의 한쪽측에 인접하는 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 3 전극부와, 배선의 다른쪽에 인접하는 배선과 비접촉으로 배치되고 검사 신호를 인가하는 제 4 전극부와, 제 1과 제 2 전극부에 제 1 검사 신호를 인가하는 제 1 신호 공급 수단과, 제 3과 제 4 전극부에 제 1 검사 신호와는 상위한 주파수를 갖는 제 2 검사 신호를 인가하는 제 2 신호 공급 수단과, 배선의 전압을 검출하는 검출 수단과, 검출 수단에서 검출된 전압의 위상에 의거하여, 검사 대상의 배선의 양부를 판정하는 판정 수단을 갖도록 구성되어, 하나의 배선에 제1 검사신호를 인가하여, 그 배선에서의 개방(Open)을 검사하고, 상기 하나의 배선에 이웃하는 양 측의 배선에는 상기 제1 검사신호와 상이한 주파수를 갖는 제2 검사신호를 인가하여, 이웃하는 배선들과의 단락(Short)를 검사하고 있다.

그러나, 이러한 검사는 평판 디스플레이의 데이터 배선들의 개방이나, 데이터 배선들 상호간의 단락 또는 게이트 배선들의 개방이나, 게이트 배선들 상호간의 단락은 검사가 용이하지만, 데이터 배선과 게이트 배선 사이의 단락은 검사하기가 어렵다.

대한민국 공개특허 10-2007-0111330

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 데이터 배선들 상호간, 게이트 배선들 상호간의 결함(Open, Short) 뿐만 아니라, 데이터 배선들 및 게이트 배선들 상호간의 결함에 대한 검출력 또한 향상시킬 수 있는 패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 배선패턴의 검사장치는 게이트 배선 및 데이터 배선을 포함하는 배선패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사장치로서, 급전부 및 수전부를 포함한다. 상기 급전부는, 상기 패널에 형성된 배선패턴에 적어도 2개의 서로 다른 주파수를 갖는 다수의 전기적 신호를 동시에 인가한다. 상기 수전부는, 상기 급전부로부터 인가되어 상기 배선패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 배선패턴의 결함을 검출할 수 있다.

예컨대, 상기 급전부는, 제1 신호 생성부 및 제2 신호 생성부를 포함할 수 있다. 상기 제1 신호 생성부는 제1 주파수를 갖는 제1 신호를 생성하고, 상기 제2 신호 생성부는 상기 제1 주파수보다 높은 제2 주파수를 갖는 제2 신호를 생성한다.

이때, 상기 급전부는 하나의 배선에 신호를 인가하는 프로브를 더 포함하고, 상기 제1 신호 생성부 및 상기 제2 신호 생성부에서 각각 생성된 상기 제1 신호 및 상기 제2 신호는 상기 프로브를 통해서 상기 하나의 배선에 동시에 인가될 수 있다.

예컨대, 상기 프로브는 상기 하나의 배선패턴에 접촉하여 상기 제1 신호 및 상기 제2 신호를 인가할 수 있다.

또한, 상기 제1 신호의 상기 제1 주파수는 100KHz 내지 200KHZ의 범위이고, 상기 제2 신호의 상기 제2 주파수는 500KHz 내지 600KHz의 범위를 가질 수 있다.

한편, 상기 수전부는 제1 주파수 필터 및 제2 주파수 필터를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 주파수 필터는 상기 제2 신호를 배제하고, 상기 제1 신호만을 통과시키고, 상기 제2 주파수 필터는 상기 제1 신호를 배제하고, 상기 제2 신호만을 통과시킨다.

또한, 상기 수전부는 상기 제1 주파수 필터를 통과한 상기 제1 신호를 검출하기 위한 제1 주파수 센서 및 상기 제2 주파수 필터를 통과한 상기 제2 신호를 검출하기 위한 제2 주파수 센서를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 예시적인 일 실시에에 의한 배선패턴 검사방법은, 하나의 배선패턴에, 제1 주파수를 갖는 제1 신호 및 상기 제1 주파수보다 높은 제2 주파수를 갖는 제2 신호를 동시에 인가하는 단계 및 상기 급전부로부터 인가되어 상기 배선패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 배선패턴의 결함을 검출하는 단계를 포함한다.

이때, 상기 배선패턴의 결함을 검출하는 단계에서, 상기 배선패턴은 데이터 라인인 경우, 임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제1 신호가 제2 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인간의 불량으로 판정하고, 임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제2 신호가 제1 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인과 게이트 라인간의 불량으로 판정한다.

본 발명의 일 실시예에 의한 글래스 패널의 배선패턴 검사장치에 의하면, 다수의 프로브를 갖는 급전부로 배선패턴에 2개 이상의 서로 다른 주파수를 갖는 다수의 전기적 신호를 동시에 급전하여 배선패턴의 결함에 대한 검출력을 극대화할 수 있다.

또한, 데이터 라인들 상호간에 의해 유발된 불량인지, 게이트라인과 데이트 라인 상호간에 의해 유발된 불량인지 정확히 판단할 수 있다.

도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 배선패턴을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 배선패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 일실시예에 의한 검사장치에 의해 배선패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 예시적인 일실시예에 의한 검사장치가 하나의 데이터라인을 검사하는 개략도이다.
도 5a 및 도 5b는, 여러 데이터 라인들에 인가된 제1 주파수 및 제2 주파수의 전압레벨을 도시한 그래프이고, 도 5c는 도 5a 및 도 5b를 오버랩하여 도시된 그래프로서, 데이터 라인간의 불량에 대응하는 그래프이다.
도 6a 및 도 6b는, 여러 데이터 라인들에 인가된 제1 주파수 및 제2 주파수의 전압레벨을 도시한 그래프이고, 도 6c는 도 6a 및 도 6b를 오버랩하여 도시된 그래프로서, 데이터 라인 및 게이트 라인의 사이의 불량에 대응하는 그래프이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도면들에 있어서, 각 장치 또는 막(층) 및 영역들의 두께는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 막(층)이 다른 막(층) 또는 기판 상에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 다른 막(층) 또는 기판 상에 직접 형성되거나 그들 사이에 추가적인 막(층)이 개재될 수 있다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 배선패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 배선패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다. 또한, 도 4는 본 발명의 예시적인 일실시예에 의한 검사장치가 하나의 데이터라인을 검사하는 개략도이다.

도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 배선패턴 검사장치(100)는 이동블록(110), 급전부(120) 및 수전부(130)를 포함한다.

상기 이동블록(110)은 글래스 패널(20)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서 상기 이동블록(110)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(110)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것이므로 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.

상기 급전부(120)는, 예컨대 상기 글래스 패널(20)의 액티브 에어리어 내에 형성된 배선패턴(220)에 적어도 2개의 서로 다른 주파수를 갖는 다수의 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)의 일측에 설치될 수 있다.

상기 서로 다른 주파수를 갖는 다수의 전기적 신호는 제1 주파수를 갖는 제1 신호를 생성하는 제1 신호 및 상기 제1 주파수보다 높은 주파수를 갖는 제2 주파수를 갖는 제2 신호를 포함한다.

여기서, 상기 제1 신호의 상기 제1 주파수는 100KHz 내지 200KHZ의 범위이고, 상기 제2 신호의 상기 제2 주파수는 500KHz 내지 600KHz의 범위를 가질 수 있다.

이를 위하여, 상기 급전부(120)는 제1 신호 생성부(122) 및 제2 신호 생성부(123)을 포함할 수 있다. 상기 제1 신호 생성부(122)는 제1 주파수를 갖는 제1 신호를 생성하고, 상기 제2 신호 생성부(123)는 상기 제1 주파수보다 높은 주파수를 갖는 제2 주파수를 갖는 제2 신호를 생성한다.

한편, 상기 급전부(120)는 프로브(121)를 포함하며, 상기 프로브(121)는 상기 적어도 2개의 서로 다른 주파수를 갖는 상기 다수의 전기적 신호를 상기 배선패턴(220)에 동시에 인가할 수 있다. 즉, 상기 급전부(120)는 상기 제1 신호 생성부(122) 및 상기 제2 신호 생성부(123)와 전기적으로 연결되어, 상기 제1 신호 생성부(122)에서 생성된 제1 신호 및 제2 신호 생성부(123)에서 생성된 제2 신호를 인가받아, 하나의 배선에 인가할 수 있다.

예컨대, 상기 프로브(121)는 1개 만을 도시하고 있으나, 상기 급전부(120)는 동일한 구성을 갖는 다수의 프로브들을 포함할 수 있다. 즉, 각각의 프로브(121)들은 별도의 제1 신호 생성부(122) 및 제2 신호 생성부(123)와 연결될 수도 있고, 이와 다르게, 상기 제1 신호 생성부(122) 및 제2 신호 생성부(123)를 공유할 수도 있다.

또한, 상기 프로브(121)는 모두 상기 배선패턴에 접촉하는 방식을 이용하여 상기 다수의 전기적 신호를 공급하거나, 비접촉 방식을 이용하여 상기 다수의 전기적 신호를 공급하거나, 또는 다수의 프로브들로 구성되는 경우, 상기 배선패턴에 접촉과 비접촉 방식을 혼용하여 상기 다수의 전기적 신호를 공급할 수도 있다.

여기서, 상기 프로브(121)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상술한 바와 같이 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게 상기 프로브(121)는 상기 이동블록(110)의 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능 하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다.

예컨대, 상기 프로브(121)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 프로브(121)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.

또한, 상기 수전부(130)는 상기 급전부(120)로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 배선패턴(220)을 통해 전달되는 상기 다수의 전기적 신호를 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 상기 배선패턴(220)의 오픈 및 쇼트를 여부를 더욱 더 정확하게 검출할 수 있도록 상기 이동블록(110)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 수전부(130)를 상기 배선패턴(220)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(140, 150)은 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 그 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

상기 수전부(130)는 다수의 센서가 상기 액티브 에어리어 영역 내에 형성된 상기 배선패턴(220)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서(131)에 의해 형성된다. 그리하여, 각각의 상기 센서(131)는 상기 배선패턴(220)을 통해 전달되는 상기 다수의 전기적 신호에서 서로 다른 주파수를 수전하여 상기 배선패턴(220)의 오픈 및 쇼트의 검출력을 높일 수 있다.

상기 다수의 센서(131)는 T자형, I자형, -자형, ㅁ자형, O자형 중 적어도 하나의 배열형태로 형성될 수 있으나, 그 형태를 이에 한정하지는 않는다.

상기 수전부(130)는 제1 주파수 필터(132) 및 제2 주파수 필터(133)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 주파수 필터(132)는 상기 제2 신호를 배제하고, 상기 제1 신호만을 통과시키고, 상기 제2 주파수 필터(133)는 상기 제1 신호를 배제하고, 상기 제2 신호만을 통과시킨다.

또한, 상기 센서(131)는 상기 제1 주파수 필터(132)를 통과한 상기 제1 신호를 검출하기 위한 제1 주파수 센서(131a) 및 상기 제2 주파수 필터를 통과한 상기 제2 신호를 검출하기 위한 제2 주파수 센서(131b)를 포함할 수 있다.

한편, 상기 급전부(120)와 상기 수전부(130)는 상기 배선패턴(220)의 길이방향과 스캔방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 상기 배선패턴(220)에 각각 전기적 신호를 인가하여 상기 배선패턴(220)의 결함을 검출할 수 있도록 한다.

한편, 앞서 설명된 본 발명의 예시적인 일 실시에에 의한 패선패턴 검사장치는 액티브 에어리어(220) 내에서 검사를 수행하고 있으나, 반드시 이에 한정될 필요는 없다.

이때, 상기 배선패턴의 결함을 검출하는 단계에서, 상기 배선패턴은 데이터 라인인 경우, 임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제1 신호가 제2 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인간의 불량으로 판정하고, 임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제2 신호가 제1 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인과 게이트 라인간의 불량으로 판정한다. 이를 도 5a 내지 도 5c 및 도 6a 내지 도 6c를 참조로 보다 상세히 설명한다.

도 5a 및 도 5b는, 여러 데이터 라인들에 인가된 제1 주파수 및 제2 주파수의 전압레벨을 도시한 그래프이고, 도 5c는 도 5a 및 도 5b를 오버랩하여 도시된 그래프로서, 데이터 라인간의 불량에 대응하는 그래프이다. 또한, 도 6a 및 도 6b는, 여러 데이터 라인들에 인가된 제1 주파수 및 제2 주파수의 전압레벨을 도시한 그래프이고, 도 6c는 도 6a 및 도 6b를 오버랩하여 도시된 그래프로서, 데이터 라인 및 게이트 라인의 사이의 불량에 대응하는 그래프이다. 도 5a 내지 6c에서 x축은 라인번호를 y축은 전압레벨을 나타낸다.

도 5a 내지 5c에서 보면, 데이터 라인간의 전기적인 쇼트가 발생 된 경우, 정상적인 데이터 라인에 비해, 저전압의 제1 주파수의 편차가, 제2 주파수 편차에 비해 훨씬 크게 나타났다. 그에 따라서, 저전압인 제1 주파수의 편차가, 고전압인 제2 주파수 편차에 비해 훨씬 크게 나타나는 경우, 해당 데이터 라인은 이웃하는 데이터 라인과 전기적인 쇼트가 발생되었음을 판단할 수 있다.

이에 대비하여 도 6a 내지 6c에서 보면, 게이트 라인과 데이터 라인에 전기적인 쇼트가 발생된 경우, 정상적인 데이터 라인에 비해, 고전압의 제2 주파수의 편차가, 제1 주파수 편차에 비해 훨씬 크게 나타났다. 그에 따라서, 고전압인 제2 주파수의 편차가, 저전압인 제1 주파수 편차에 비해 훨씬 크게 나타나는 경우, 해당 데이터 라인은 게이트 라인과 전기적인 쇼트가 발생되었음을 판단할 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

20 : 글래스 패널
100 : 전극패턴 검사장치
110 : 이동블록 120 : 급전부
121 : 프로브 122 : 제1 신호 생성부
123: 제2 신호 생성부 130 : 수전부
131 : 센서 131a: 제1 주파수 센서
131b: 제2 주파수 센서 132: 제1 주파수 필터
133: 제2 주파수 필터
140 : 스캔방향 이동수단 150 : 배선 길이방향 이동수단
200 : 전극패턴 210 : 패드부
220 : 액티브 에어리어 배선패턴 230 : 팬 아웃 에어리어 배선패턴

Claims

게이트 라인과 데이터 라인을 포함하는 배선패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사장치에 있어서,
데이터 라인에 적어도 2개의 서로 다른 주파수를 갖는 다수의 전기적 신호를 동시에 인가하는 급전부; 및
상기 급전부로부터 인가되어 상기 데이터 라인을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 데이터 라인의 결함을 검출할 수 있는 수전부;
를 포함하고,
상기 급전부는,
제1 주파수를 갖는 제1 신호를 생성하는 제1 신호 생성부; 및
상기 제1 주파수보다 높은 제2 주파수를 갖는 제2 신호를 생성하는 제2 신호 생성부;
를 포함하며,
임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제1 신호가 제2 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인간의 불량으로 판정하고,
임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제2 신호가 제1 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인과 게이트 라인간의 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사장치.
삭제
제1 항에 있어서,
상기 급전부는 하나의 데이터 라인에 신호를 인가하는 프로브를 더 포함하고,
상기 제1 신호 생성부 및 상기 제2 신호 생성부에서 각각 생성된 상기 제1 신호 및 상기 제2 신호는 상기 프로브를 통해서 상기 하나의 데이터 라인에 동시에 인가되는 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사장치.
제3 항에 있어서,
상기 프로브는 상기 하나의 데이터 라인에 접촉하여 상기 제1 신호 및 상기 제2 신호를 인가하는 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사장치.
제1 항에 있어서,
상기 제1 신호의 상기 제1 주파수는 100KHz 내지 200KHZ의 범위이고,
상기 제2 신호의 상기 제2 주파수는 500KHz 내지 600KHz의 범위인 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사장치.
제1 항에 있어서,
상기 수전부는,
상기 제2 신호를 배제하고, 상기 제1 신호만을 통과시키는 제1 주파수 필터;
상기 제1 신호를 배제하고, 상기 제2 신호만을 통과시키는 제2 주파수 필터;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사장치.
제6 항에 있어서,
상기 수전부는,
상기 제1 주파수 필터를 통과한 상기 제1 신호를 검출하기 위한 제1 주파수 센서; 및
상기 제2 주파수 필터를 통과한 상기 제2 신호를 검출하기 위한 제2 주파수 센서;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사장치.
급전부를 통해서, 하나의 데이터 라인에, 제1 주파수를 갖는 제1 신호 및 상기 제1 주파수보다 높은 제2 주파수를 갖는 제2 신호를 동시에 인가하는 단계; 및
상기 급전부로부터 인가되어 상기 데이터 라인을 통해 전달되는 전기적 신호를 받아들여 상기 데이터 라인의 결함을 검출하는 단계;
를 포함하고,
임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제1 신호가 제2 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인간의 불량으로 판정하고,
임의의 데이터 라인에 인가된 신호중, 다른 데이터 라인에 비해서 제2 신호가 제1 신호에 비해서, 상대적으로 편차가 큰 경우, 데이터 라인과 게이트 라인간의 불량으로 판정하는 것을 특징으로 하는 배선패턴 검사방법.
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