CN107564827A - 板的布线图案检查装置及布线图案检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种不仅能够检查数据布线之间、栅极布线之间的缺陷(断开、短路)，还能够提高对数据布线及栅极布线之间的缺陷的检测力的板的布线图案检查装置及布线图案检查方法。该检查装置包括馈电部及受电部。所述馈电部同时向形成于所述板的布线图案施加具有至少两个不同频率的多个电子信号。所述受电部能够接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷。

Description

板的布线图案检查装置及布线图案检查方法

技术领域

本发明涉及板的布线图案检查装置及布线图案检查方法，尤其涉及一种对形成于平面TV用玻璃(Glass)板的栅极布线及数据布线等布线图案进行电子检查，即能够检查有无断开(Open)及短路(Short)的板的布线图案检查装置及布线图案检查方法。

背景技术

通常，等离子显示板(Plasma Display Panel，PDP)、液晶显示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)、有机发光显示器(OLED)等平面TV用玻璃板的表面具有形成数据布线与栅极布线的电极图案。

通常，以42英寸的PDP为例，一个电极图案的布线宽度与布线距离分别是50μm及300μm，而线长则达到1m，因此形成电极图案的工序乃至后续反复进行的热处理等制造过程中频繁发生布线断开(Open)或与相邻的布线连接(Short)的情况。

因此，在制造过程中检查形成的布线图案有无缺陷是提高成品率所必不可少的过程。

通常用测试针模块检查上述布线图案的电子特性，用测试针模块检查是指将测试针模块的多个探针接入布线图案的两端的状态下，从馈电部向布线图案提供检查信号，受电部在接收该检查信号的同时横穿多个布线移动进行检查。

然而，上述的现有检查是从馈电部施加使用一个频率的检查信号并由具有配置成一列的传感器的受电部处理一个频率的方式，因此具有对缺陷的检测力不准确的问题。

以下参见图1说明形成于玻璃板的一般布线图案的结构。

图1为显示形成于一般的玻璃板的布线图案的示意图。

参见图1，一般的布线图案200可包括用于接触探针的多个垫片部210、连接于所述垫片部210的有源区域(Active area)的布线图案220、连接于所述有源区域的布线图案220将输出分配到他处的扇出区域(Fan out area)的布线图案230。此处，形成于所述有源区域的多个布线图案220水平形成且彼此具有预定间隔，而形成于所述扇出区域的布线图案230则为了向他处分配输出而具有彼此相邻的布线图案230的间隔向玻璃板20的末端部侧逐渐减小至预定距离后，彼此相邻的布线图案230再彼此具有预定间隔的水平结构。

如上，一般的玻璃板20的布线图案200检查方法利用向所述垫片部210施加具有特定频率的信号，由形成一列的传感器处理所述信号的方式检查布线断开(Open)或与相邻的布线连接(Short)的布线图案200的缺陷。然而，由于上述的现有布线图案检查方法只使用一个频率，因此对布线图案200的缺陷(断开、短路)的检测力不准确的缺点。

为解决这种问题，韩国公开专利10-2007-0111330号，′基板检查装置及基板检查方法′所公开的基板检查装置具有：配置成不接触布线且施加检查信号的第一电极部、配置成不接触布线且施加检查信号的第二电极部、配置成不接触与该布线的一侧相邻的布线且施加检查信号的第三电极部、配置成不接触与该布线的另一侧相邻的布线且施加检查信号的第四电极部、向第一电极部与第二电极部施加第一检查信号的第一信号提供部件、向第三电极部与第四电极部施加具有与第一检查信号不同的频率的第二检查信号的第二信号提供部件、检测布线的电压的检测部件、根据检测部件检测的电压的相位判断检查对象的布线良否的判定部件，通过向一个布线施加第一检查信号检测该线是否断开(Open)，向与所述一个布线相邻的两侧布线施加具有不同于所述第一检查信号的频率的第二检查信号，检查是否与相邻的布线发生了短路(Short)。

然而，虽然这种检查容易检查平板显示器的数据布线的断开或数据布线之间的短路或栅极布线的断开或栅极布线之间的短路，但不容易检查数据布线与栅极布线之间的短路。

【现有技术文献】【专利文献】

(专利文献0001)韩国公开专利10-2007-0111330

发明内容

技术问题

因此，本发明要解决的技术问题是提供一种不仅能够检查数据布线之间、栅极布线之间的缺陷(断开、短路)，还能够提高对数据布线及栅极布线之间的缺陷的检测力的板的布线图案检查装置及布线图案检查方法。

技术方案

根据本发明一个实施例的布线图案的检查装置，其对包括栅极布线及数据布线的布线图案执行电子检查，包括馈电部及受电部。所述馈电部同时向形成于板的布线图案施加具有至少两个不同频率的多个电子信号。所述受电部能够接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷。

例如，所述馈电部可包括第一信号生成部及第二信号生成部。所述第一信号生成部生成具有第一频率的第一信号，所述第二信号生成部生成具有高于所述第一频率的第二频率的第二信号。

此处，所述馈电部还包括向一个布线施加信号的探针，分别由所述第一信号生成部及所述第二信号生成部生成的所述第一信号及所述第二信号能够通过所述探针同时施加到所述一个布线。

例如，所述探针能够通过接触所述一个布线施加所述第一信号及所述第二信号。

并且，所述第一信号的所述第一频率的范围可以是100KHz至200KHz，所述第二信号的所述第二频率的范围可以是500KHz至600KHz。

另外，所述受电部可包括第一频率滤波器及第二频率滤波器。所述第一频率滤波器排除所述第二信号，仅允许所述第一信号通过，第二频率滤波器排除所述第一信号，仅允许所述第二信号通过。

并且，所述受电部还可以包括用于检测通过所述第一频率滤波器的所述第一信号的第一频率传感器及用于检测通过所述第二频率滤波器的所述第二信号的第二频率传感器。

根据本发明一个实施例的布线图案检查方法包括：向一个布线图案同时施加具有第一频率的第一信号及具有高于所述第一频率的第二频率的第二信号的步骤；以及接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷的步骤。

此处，在检测所述布线图案的缺陷的步骤中，所述布线图案为数据布线，施加到任意的数据布线的信号中，相比于其他数据布线，第一信号的偏差大于第二信号的偏差的情况下判定为数据布线之间的不良，施加到任意的数据布线的信号中，相比于其他数据布线，第二信号的偏差大于第一信号的偏差情况下判定为数据布线与栅极布线之间的不良。

技术效果

根据本发明一个实施例的板的布线图案检查装置，通过具有多个探针的馈电部同时向布线图案施加具有两个以上不同频率的多个电子信号，因此能够极大化对布线图案的缺陷的检测力。

并且，能够准确判断是数据布线之间引发的不良还是栅极布线与数据布线之间引发的不良。

附图说明

图1为显示形成于一般玻璃板的布线图案的示意图；

图2为说明根据本发明一个实施例的布线图案检查装置的简要示意图；

图3为显示根据本发明一个实施例的检查装置对布线图案进行电子检查的一个例子的示意图；

图4为根据本发明一个实施例的检查装置检测一个数据布线的简要示意图；

图5a及图5b显示施加于多个数据布线的第一频率及第二频率的电压水平的曲线图；

图5c为重叠显示图5a及图5b的曲线图，是对应于数据布线之间的不良的曲线图；

图6a及图6b为显示施加于多个数据布线的第一频率及第二频率的电压水平的曲线图；

图6c为重叠显示图6a及图6b的曲线图，是对应于数据布线与栅极布线之间的不良的曲线图。

附图标记说明

20：玻璃板 100：布线图案检查装置

110：移动模块 120：馈电部

121：探针 122：第一信号生成部

123：第二信号生成部 130：受电部

131：传感器 131a：第一频率传感器

131b：第二频率传感器 132：第一频率滤波器

133：第二频率滤波器 140：扫描方向移动部件

150：布线长度方向移动部件 200：布线图案

210：垫片部 220：有源区域布线图案

230：扇出区域布线图案

具体实施方式

本发明可以进行多种变更，可具有多种形态，以下在附图中示出特定实施例并在说明书中进行具体说明。但其目的并非将本发明限定于所公开的形态，实际上应该理解为包括本发明思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。

第一、第二等用语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得限定于所述用语。所述用语只是用于区分一个构成要素与其他构成要素。例如，在不脱离本发明技术方案的前提下，可以把第一构成要素命名为第二构成要素，同样也可以把第二构成要素命名为第一构成要素。

本申请中所使用的用语只是用于说明特定实施例，而并非限定本发明。单数的表现形式在无特殊说明的情况下还包括复数。应该将本申请中的“包括”或“具有”等用语理解为存在说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部分或其组合，而不应理解为预先排除一个或多个其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、部分或其组合。

为了本发明的明确性，放大显示了附图中各装置或膜(层)及区域的厚度，另外，各装置可包括本说明书中未说明的多种附加装置，当记载膜(层)位于其他膜(层)或基板上的情况下，可以直接形成于其他膜(层)或基板上，或者它们之间还可以具有其他膜(层)。

另外若无另行定义，包括技术用语或科学用语在内的所有用语均表示与本领域普通技术人员通常理解相同的意思。

通常使用的词典中定义过的用语应解释为与相关技术的文章脉络相一致的意思，本申请在没有明确定义的情况下不得解释为怪异或过度形式性的意思。

以下参见附图说明本发明的优选实施例。

图2为说明根据本发明一个实施例的布线图案检查装置的简要示意图，图3为显示根据本发明一个实施例的检查装置对布线图案进行电子检查的一个例子的示意图，图4为根据本发明一个实施例的检查装置检测一个数据布线的简要示意图。

参见图2、图3及图4，根据本发明一个实施例的布线图案检查装置100包括移动模块110、馈电部120及受电部130。

所述移动模块110设置成能够位于玻璃板20的上部。此处，所述移动模块110可设置在能够向三轴方向移动的三轴移动部件上。能够向三轴方向移动所述移动模块110的三轴移动部件常规适用于布线图案检查装置，因此为便于说明，附图及具体说明中省略示出和说明其构成。

所述馈电部120例如可以设置在所述移动模块110的一侧使得能够向形成于所述玻璃板20的有源区域内的布线图案220施加具有至少两个不同频率的多个电子信号。

具有不同频率的所述多个电子信号包括具有第一频率的第一信号及具有频率高于所述第一频率的第二频率的第二信号。

此处，所述第一信号的所述第一频率的范围为100KHz至200KHz，所述第二信号的所述第二频率的范围为500KHz至600KHz。

为此，所述馈电部120可包括第一信号生成部122及第二信号生成部123。所述第一信号生成部122生成具有第一频率的第一信号，所述第二信号生成部123生成具有频率高于所述第一频率的第二频率的第二信号。

另外，所述馈电部120包括探针121，所述探针121能够将具有所述至少两个不同频率的所述多个电子信号同时施加到所述布线图案220。即，所述馈电部120与所述第一信号生成部122及所述第二信号生成部123电连接，能够接收所述第一信号生成部122生成的第一信号及第二信号生成部123生成的第二信号并施加到一个布线。

例如，虽然图中只显示一个所述探针121，但所述馈电部120可包括具有相同构成的多个探针。即，各探针121可连接到另外的第一信号生成部122及第二信号生成部123，也可共用所述第一信号生成部122及第二信号生成部123。

并且，所述探针121可以通过全部接触所述布线图案的方式提供所述多个电子信号，或者利用非接触方式提供所述多个电子信号，而当由多个探针构成的情况下，可混用与所述布线图案接触的方式和不接触的方式提供所述多个电子信号。

此处，优选的是所述探针121如上所述地直接设置于所述移动模块110使得能够与所述移动模块110连动移动，但所述探针121也可以设置在设置于所述移动模块110的一侧旁边且能够向三轴方向移动地设置的测试针模块(未示出)上。

例如，所述探针121可以通过引线接合方式附着于所述测试针模块或所述移动模块110。并且，所述探针121可通过多个固定部件固定于所述测试针模块或所述移动模块110。

并且，所述受电部130可设置在所述移动模块110的另一侧，接收从所述馈电部120施加后通过形成于所述有源区域内的布线图案220传输的所述多个电子信号，确保能够更加准确地检测形成于所述有源区域内的所述布线图案220是否断开及短路。能够沿所述布线图案220移动所述受电部130的移动部件140、150常规适用于通常的机械装置，为便于说明，此处省略对其构成的具体说明。

所述受电部130由沿形成于所述有源区域内的所述布线图案220的长度方向配置的多个传感器构成的阵列传感器131形成。因此，各所述传感器131能够从通过所述布线图案220传输的所述多个电子信号接收不同的频率以提高所述布线图案220的断开及短路检测力。

所述多个传感器131可排列成T字型、I字型、-字型、□字型、O字型中至少一种排列形态，其不受排列形态的限制。

所述受电部130可包括第一频率滤波器132及第二频率滤波器133。此处，所述第一频率滤波器132排除所述第二信号，仅允许所述第一信号通过，所述第二频率滤波器133排除所述第一信号，仅允许所述第二信号通过。

并且，所述传感器131可包括用于检测通过所述第一频率滤波器132的所述第一信号的第一频率传感器131a及用于检测通过所述第二频率滤波器的所述第二信号的第二频率传感器131b。

另外，所述馈电部120与所述受电部130设置成能够沿所述布线图案220的长度方向与扫描方向移动，能够分别向形成于所述有源区域内的所述布线图案220施加电子信号且检测所述布线图案220的缺陷。

另外，以上说明的根据本发明一个实施例的布线图案检查装置在有源区域220内进行检查，但不必受限于此。

根据本发明一个实施例的布线图案检查方法包括向一个布线图案同时施加具有第一频率的第一信号及具有高于所述第一频率的第二频率的第二信号的步骤，以及接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷的步骤。

此处，在检测所述布线图案的缺陷的步骤，所述布线图案为数据布线的情况下，施加到任意的数据布线的信号中，相比于其他数据布线，第一信号的偏差大于第二信号的偏差的情况下，判定为数据布线之间的不良，施加到任意的数据布线的信号中，相比于其他数据布线，第二信号的偏差大于第一信号的偏差情况下，判定为数据布线与栅极布线之间的不良。以下参见图5a至图5c及图6a至图6c对此进行具体说明。

图5a及图5b显示施加于多个数据布线的第一频率及第二频率的电压水平的曲线图，图5c为重叠显示5a及图5b的曲线图，是对应于数据布线之间的不良的曲线图。并且，图6a及图6b为显示施加于多个数据布线的第一频率及第二频率的电压水平的曲线图，图6c为重叠显示图6a及图6b的曲线图，是对应于数据布线与栅极布线之间的不良的曲线图。图5a至图6c中x轴表示布线编号，y轴表示电压水平。

参见图5a至5c，数据布线之间发生电短路的情况下，相比于正常数据布线，低电压的第一频率的偏差明显大于第二频率的偏差。因此，低电压的第一频率的偏差明显大于高电压的第二频率偏差的情况下，可以判断出该数据布线与相邻的数据布线发生了电短路。

相比于此，参见图6a至6c，栅极布线与数据布线发生电短路的情况下，相比于正常数据布线，高电压的第二频率的偏差明显大于第一频率的偏差。因此，高电压的第二频率的偏差明显大于低电压的第一频率的偏差的情况下，可以判断出该数据布线与栅极布线发生了电短路。

以上参见本发明的优选实施例进行了说明，但本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以在不脱离技术方案记载的本发明思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变形。

Claims (9)

1.一种布线图案检查装置，其对包括栅极布线及数据布线的布线图案执行电子检查，其特征在于，包括：

馈电部，其同时向形成于板的布线图案施加具有至少两个不同频率的多个电子信号；以及

受电部，其接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷。

2.根据权利要求1所述的布线图案检查装置，其特征在于，所述馈电部包括：

第一信号生成部，其生成具有第一频率的第一信号；以及

第二信号生成部，其生成具有高于所述第一频率的第二频率的第二信号。

3.根据权利要求2所述的布线图案检查装置，其特征在于，所述馈电部还包括：

探针，其向一个布线施加信号，

分别由所述第一信号生成部及所述第二信号生成部生成的所述第一信号及所述第二信号通过所述探针同时施加到所述一个布线。

4.根据权利要求3所述的布线图案检查装置，其特征在于：

所述探针接触所述一个布线施加所述第一信号及所述第二信号。

5.根据权利要求2所述的布线图案检查装置，其特征在于：

所述第一信号的所述第一频率的范围为100KHz至200KHz，

所述第二信号的所述第二频率的范围为500KHz至600KHz。

6.根据权利要求2所述的布线图案检查装置，其特征在于，所述受电部包括：

第一频率滤波器，其排除所述第二信号，仅允许所述第一信号通过；

第二频率滤波器，其排除所述第一信号，仅允许所述第二信号通过。

7.根据权利要求6所述的布线图案检查装置，其特征在于，所述受电部还包括：

第一频率传感器，其用于检测通过所述第一频率滤波器的所述第一信号；以及

第二频率传感器，其用于检测通过所述第二频率滤波器的所述第二信号。

8.一种布线图案检查方法，其特征在于，包括：

向一个布线图案同时施加具有第一频率的第一信号及具有高于所述第一频率的第二频率的第二信号的步骤；以及

接收从所述馈电部施加后通过所述布线图案传输的电子信号以检测所述布线图案的缺陷的步骤。

9.根据权利要求8所述的布线图案检查方法，其特征在于：

在检测所述布线图案的缺陷的步骤中，

所述布线图案为数据布线，

施加到任意的数据布线的信号中，相比于其他数据布线，第一信号的偏差大于第二信号的偏差的情况下判定为数据布线之间的不良，

施加到任意的数据布线的信号中，相比于其他数据布线，第二信号的偏差大于第一信号的偏差情况下判定为数据布线与栅极布线之间的不良。