CN1576870A - 导电图案检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种导电图案检查装置，可以更简单进行可靠性高的导电图案的状态的检查。导电图案检查装置(10)具有与检查对象图案(14)的一端静电耦合的传感器电极(18)和与全部导电图案(14)的另一端静电耦合的馈电电极(16)。并且，经馈电电极(16)和传感器电极(18)向对象图案施加交流信号，而检测出在电源(20)和传感器电极(18)之间流过的电流值。根据所检测出的电流值检测出有无导电图案的短路和短路。

Description

导电图案检查装置

技术领域

本发明涉及检查在衬底上形成的导电图案的状态的导电图案检查装置。

背景技术

作为检查在衬底上形成的导电图案(conductive pattern)的状态的方法，现有技术中，已知使触头探针(pin probe)接触导电图案两端的方法。其在一个触头探针中流过电流而通过另一个触头探针检测电压值。并且，通过从所检测的值中求出导电图案的电阻值，而检测出导电图案的断路(disconnection)和短路(short)。

但是，该方法中，存在因触头探针的接触造成的导电图案损伤和必须根据导电图案的间距来替换触头探针的问题。

因此，日本专利申请公开2002-365325号公报中公开了非接触检查导电图案的状态的电路图案检查装置。其从与导电图案的一端静电电容耦合(electrostatic capacitory coupling)的馈电电极将交流信号馈电给导电图案。并且，通过静电电容耦合到导电图案的另一端的两种传感器电极检测出该信号，并根据所检测出的信号来检查导电图案的状态。

由此，由于可以非接触地检查，所以不会损伤图案，不需要根据间距来替换探针。

但是，该检查装置中，形成馈电的信号从馈电电极向导电图案，从导电图案流向地的电流路径。因此，导电图案上所感应的电压值非常小，很容易受到杂音的影响。因此，不能进行可靠性高的检查。另外，需要供给高电压的信号，而需要放电等的对策。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种可更简单地进行可靠性高的检查的导电图案检查装置。

根据本发明的导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：传感器电极，与检查对象图案的一端静电耦合；馈电电极，与包含检查对象图案的至少两个以上的连续导电图案的另一端电连接；信号施加单元，经馈电电极和传感器电极向对象图案施加交流信号；电流值检测单元，检测出在信号施加单元的电源和传感器电极或馈电电极间流过的电流值；缺陷检测单元，根据所检测出的电流值，检测出有无导电图案的断路或短路。

根据本发明的另一导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：一对第一电极，与包含对象图案和其两侧的导电图案的至少三个以上的导电图案的两端电连接；一对第二电极，为配置在对象图案的两侧的导电图案上的一对电极，且分别静电耦合到两侧的导电图案上；第一施加单元，经一对第一电极将第一频率的交流信号施加给导电图案；第二施加单元，经一对第二电极将第二频率的交流信号施加给导电图案；传感器电极，为设置在对象图案上的电极，且静电耦合到对象图案上；电压检测单元，检测出传感器电极的每个频率的电压值；缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测有无断路和短路。

根据本发明的其他导电图案检查装置，检查在衬底上按列状配置、并通过Cs用公共条连接其一端的多个Cs图案和与Cs图案彼此交互按列状配置的多个栅极图案，其特征在于，包括：Cs用电极，与包含对象Cs图案的至少一个以上的Cs图案的另一端静电耦合；Cs用施加单元，经Cs用公共条和Cs用电极将第一频率的交流信号施加给对象Cs图案；一对栅极用电极，与包含相邻于对象Cs图案的对象栅极图案的至少一个以上的栅极图案的两端电连接；栅极用施加单元，经一对栅极用电极将第二频率的交流信号施加给对象栅极图案；传感器电极，与对象Cs图案或对象栅极图案静电耦合；电压值检测单元，检测出传感器电极的每个频率的电压值；缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测出Cs图案和栅极图案的缺陷。

根据本发明的另一导电图案检查装置，检查在衬底上按列状配置、并通过Cs用公共条连接其一端的多个Cs图案和与Cs图案彼此交互按列状配置的多个栅极图案，其特征在于，包括：Cs用电极，与包含对象Cs图案的至少一个以上的Cs图案的另一端静电耦合；Cs用施加单元，经Cs用公共条和Cs用电极将交流信号施加给对象Cs图案；一对栅极用电极，与包含相邻于对象Cs图案的对象栅极图案的至少一个以上的栅极图案的两端电连接；栅极用施加单元，经一对栅极用电极将交流信号施加给对象栅极图案；传感器电极，与对象Cs图案或对象栅极图案静电耦合，与Cs用施加单元和栅极用施加单元的电源相连；电流值检测单元，检测出电源和传感器电极之间的电流值；电流值检测单元，根据所检测出的电流值检测出Cs图案和栅极图案的短路和断线。

另外，这里，虽然衬底最好是用于液晶显示面板等的玻璃衬底，但是若为按列状配置多个导电图案的衬底，也可以是其他衬底。另外，导电图案包含称为栅极图案(gate pattern)、Cs图案、数据图案(datapattern)等的导电图案。

根据本发明，向导电图案的交流信号的施加率变高，即使是低电压的交流信号，也可进行可靠性高的检查。因此，可以更简单地进行可靠性高度的检查。

根据其他本发明，向栅极图案和Cs图案的交流信号的施加率提高，故即使为低电压的交流信号，也可进行可靠性高的检查。因此，可以更简单进行可靠性高的栅极图案和Cs图案的检查。

附图说明

图1是作为本发明的实施例的图案检查装置的概略侧面图；

图2是作为本发明的实施例的图案检查装置的概略俯视图；

图3是示出断路位置检测原理的图；

图4是示出短路位置检测原理的图；

图5是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；

图6是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；

图7是示出断路位置检测原理的图；

图8是示出短路位置检测原理的图；

图9是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；

图10是示出短路位置检测原理的图；

图11是示出断路位置检测原理的图；

图12是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图；

图13是作为其他实施例的图案检查装置的概略俯视图。

符号说明：10图案检查装置；14导电图案；16馈电电极；18，36，62传感器电极；20，40，42，64，66电源；22电流检测器；30公共条；32第一电极；34第二电极；44电压值检测器；50栅极图案；52Cs图案；56栅极用电极；60Cs用电极；82引出电极。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施例。下面的说明中，尤其将用于液晶显示面板等的玻璃衬底上配置的导电图案作为检查对象。但是，并不限于此，若为具有彼此独立的列状导电图案，也可以其他导电图案为对象。

图1表示作为本发明的实施例的图案检查装置10的概略侧面图；图2表示概略俯视图。

该装置10检查玻璃衬底12上配置的导电图案14的状态。玻璃衬底12通过图中没有示出的吸附单元固定在基台24上。在玻璃衬底12上列状配置多个导电图案14。该导电图案14在正常状态下彼此独立，而不与相邻的导电图案14接触。另外，大致等间距配置，其两端的位置大致相同。但是，即使是具有不等间距和不等长度的导电图案的玻璃衬底，也可通过调整两种电极的大小等来对应。

在玻璃衬底12的上方间隔预定空间设置两种电极16、18。馈电电极16是检查时定位于导电图案14的一端上方的导电性片。其具有覆盖全部图案端部的宽度，并与全部导电图案14的一端静电耦合(capacitive coupling)。但是，馈电电极16(electric supplyelectrode)若为覆盖两个以上图案的端部的宽度，也可以是其他宽度。这时，可以配合后述的传感器电极18向Y方向的移动，馈电电极16也移动。

传感器电极18是大致一个图案宽的导电型片。其在检查有无断路或者短路这样的缺陷时，定位于为检查对象的导电图案14的另一端的上方。另外，在检测缺陷位置时，沿检查对象的导电图案14(X方向)移动。该传感器电极18也与导电图案14静电耦合。将移动时的传感器电极18的位置信息发送到图中没有示出的控制装置，来进行存储。

电源20是将交流信号施加给导电图案14用的交流电源。将该电源20的两端连接到传感器电极18和馈电电极16。因此，从电源20生成、输出的交流信号与导电图案14静电耦合的传感器电极18和馈电电极16施加给导电图案14。

这里，通过两电极16、18对导电图案14具有的静电电容的比来分割施加给导电图案14的电压。由于对一个图案传感器电极18和馈电电极16具有的静电电容大致相等，所以导电图案14具有的电压是所施加的交流电压的约二分之一。因此，可以高效施加电压，由电源20输出的信号的电压可以是几伏到几十伏这样的低电压。

在电源20和传感器电极18之间设置检测电流值的电流检测器22。将由该电流检测器22检测出的电流值送到控制装置，而与传感器电极18的位置信息一起存储。电流检测器22中例如可使用变压器，可通过调整所绕的线圈匝数来调整检测灵敏度。另外，也可由差动放大器检测出电阻的电压降。

接着，说明该图案检查装置10的导电图案检查原理。在检查导电图案14有无缺陷(断路和短路)的情况下，将传感器电极18定位于检查对象导电图案14的一端上方，将馈电电极16定位在另一端上方，而从电源20输出交流信号。所输出的交流信号经传感器电极18和馈电电极16施加给导电图案14。

在导电图案14是没有断路和短路的正常图案时，形成包括导电图案14的闭合电路。因此，在导电图案14上流过对应于所施加的信号的电压和电路内的电阻的预定值(大于0)的电流。由电流检测器22检测出该电流值。

另一方面，在有断路A的断路图案14a的情况下，不流过电流。因此，电流检测器22检测出大致为0的电流值。另外，在有短路B的短路图案14b的情况下，整体的电阻值降低，而检测出比正常的导电图案14高的电流。

因此，通过使传感器电极18向与图案平行的方向(图2的Y方向)移动，而得到图2的右侧所示的电流值。即，当传感器电极18位于正常的导电图案14上时，检测出预定值的电流值，当其位于断路图案14a上时，检测出大致为0的电流值，当其位于短路图案14b上时，检测出比预定值高的电流值。

将该电流值和传感器电极18的位置信息送到控制装置，在控制装置中根据这些信息来特定有短路和断路的导电图案。即，可检测出在检测出大致为0的电流值时，将与传感器电极18静电耦合的导电图案检测为断路图案，与检测出预定值以上的电流值时的传感器电极18静电耦合的导电图案检测为短路图案。

这时，如上所述，由于两端经大致相同的静电电容向导电图案14施加交流信号，所以即使施加了低电压的信号也可检测出高的电流值。因此，很难受到噪音的影响，即使为低电压也可进行高精度的检查。另外，由于为低电压，所以不需要放电对策等，可进行简单检查。进一步，可仅通过在与导电图案14平行的方向上移动一次传感器电极18而同时进行有无断路和短路的检查。

接着，用图3、图4说明检测缺陷的位置的原理。图3是表示断路位置检测原理的图，图4是表示短路位置检测原理的图。分别在图的下侧表示由电流检测器22检测出的电流值。

在检测断路位置或短路位置的情况下，沿断路图案14a或短路图案14b移动传感器电极18。

在沿断路图案14a移动传感器电极18的情况下，检测出图3的下侧所示的电流值。即，在传感器电流18处于断路A之前(图中左侧)的期间，由于没有流过电流，所以检测出大致为0的值。并且，在传感器电极18超过断路位置的时刻，检测出预定值的电流值。并且，若接近馈电电极16侧，由于整体的电阻值降低，所以电流值升高。将该电流值和传感器电极18的位置信息送到控制装置，在控制装置中根据这些信息检测出断路位置。即，将电流值从大致为0变化为预定值时的传感器电极18的位置作为断路位置检测出。

另一方面，在沿短路图案14b移动传感器电极18的情况下，检测出图4的下侧所示的电流值。即，在传感器电极18处于短路B之前期间，电流值稳步增加，在超过短路B的时刻为大致一定。并且，若传感器电极18进一步接近馈电电极16侧，重新开始缓慢增加。将控制装置中从平稳增加到一定的变化点时的传感器电极18的位置作为短路位置检测出。

这样，通过沿有缺陷的导电图案移动传感器电极，检测出这时的电流值，而可特定缺陷位置。

另外，本实施例中，虽然移动传感器电极18，但是也可移动玻璃衬底12。另外，也可在全部图案的有无缺陷检查终止后进行缺陷位置的检测，也可在每次检测出缺陷图案时进行。

[实施例2]

接着，说明将公共条(common bar)作为馈电电极来使用的情况。

通常，导电图案14中，为了防止因静电而产生的导电图案的损伤，通过被称为公共条的导电性片来连接全部导电图案的一端。在为这种玻璃衬底的情况下，也可将该公共条用作馈电电极。

具体的，如图5所示，经传感器电极18和公共条30向导电图案14施加交流信号。这时，向公共条30的馈电例如，也可使用单触头的接触式探针等。由于公共条30与全部图案的一端物理地、电气地连接，所以具有与上述馈电电极同样的作用。

因此，在使传感器电极18沿Y方向移动的情况下，由电流检测器22检测出的电流值为图5的右侧所示。即，在断路图案14a上检测出大致为0的电流值，在短路图案14b上检测出比预定值大的电流值。另外，在检测出断路A或短路B的位置的情况下，也可沿有缺陷的导电图案移动传感器电极18。

这样，通过将公共条30用作馈电电极，可以更容易地进行图案检查。另外，由于可以更可靠地进行向导电图案14的馈电，所以可以进行更正确的检查。

[实施例3]

接着，说明其他实施例。

图6是作为其他实施例的图案检查装置10的概略俯视图。该图案检查装置10中，作为馈电电极，使用设置在图案两端的一对第一电极32和设置在检查对象图案的两侧图案上的一对第二电极34。另外，根据设置在检查对象图案上的传感器电极36的电压值进行缺陷检查。

一对第一电极32为检查时定位于导电图案14的两端上方的导电性片，具有作为断路检查用的馈电电极的功能。第一电极32具有覆盖全部图案的端部的宽度，与全部导电图案14的端部静电耦合。但是，第一电极32若为覆盖包含检查对象图案和其两侧的导电图案的三个以上图案端部的宽度，也可以为其他宽度。这时，也可配合后述的传感器电极36向Y方向移动，第一电极32也移动。

一对第二电极34在检查时是定位于检查对象图案的两侧图案上方的导电性片，具有作为短路检查用的馈电电极的功能。第二电极34大致具有与1图案相同的宽度，与检查对象图案的两侧导电图案14静电耦合。该第二电极34也可配合后述的传感器电极36的移动，而移动。

传感器电极36是大致一图案宽的导电性片。其在检查有无断路或短路等缺陷时，定位于与检查对象的导电图案14的中央偏离预定距离的位置上。另外，在检测缺陷位置时，沿检查对象的导电图案14移动。该传感器电极36也与导电图案14静电耦合。将这时的传感器电极36的位置信息送到图中未示的控制装置后，进行存储。

第一电源40和第二电源42生成频率不同的第一频率f1和第二频率f2的交流信号而输出。将第一电源40的两端连接到一对第一电极32，将第二电源42的两端连接到一对第二电极34。因此，从第一电源40和第二电源42生成、输出的两个频率f1、f2的交流信号分别经一对第一电极32和第二电极32施加给导电图案14。

这里，在一对第一电极32和导电图案14之间形成的静电电容在两端大致相等。因此，导电图案14具有的第一频率f1的电压为所施加的交流电压的约二分之一。由此，由于可以高效地施加电压，所以电源40输出的信号的电压可以是几伏到几十伏的低电压。另外，由于一对第二电极34形成的静电电容也在两侧大致相等，所以第二电源42输出的信号的电压可以是几伏到几十伏的低电压。第一电源40和第二电源42最好都使用变压器，来作为中点接地。

将检测每一频率的电压值的电压值检测器44连接到传感器电极36。其由放大由传感器电极36检测出的交流信号的放大器46和取出每一频率的信号用的识别滤波器48(discriminating filter)构成。由此，可以检测出每一频率的电压值。另外，还包括可判别所检测出的信号极性的相位检波器(图中未示)。

接着，说明该图案检查装置10的导电图案检查原理。

在检查有无缺陷(断路或短路)的情况下，将传感器电极36定位于对于检查对象的导电图案14的中央偏移的位置上，从第一电源40输出交流信号。将该交流信号经一对第一电极32施加给导电图案14。

由于第一电源40是中点接地，所以一对经第一电源40施加的信号电压在其两端相位相差180度。因此，由正常的导电图案14感应的电压值因抵消，而在图案中心大致为0，越接近其两端，越慢慢增加或减小。因此，在导电图案14是没有短路或断路的正常图案的情况下，由于传感器电极36位于与导电图案14的中心偏移的位置，所以在传感器电极上具有预定的电压。由电压值检测器44检测出该电压值。

另一方面，在有断路A的断路图案14a的情况下，没有抵消从导电图案14的左右施加的反相位电压。因此，在与中央位置偏移的传感器电极36中，原样(仍没有抵消相位)检测出从一端施加的电压值。该电压值比由正常导电图案14检测出的电压值高。因此，若检测出比预定的电压值高的频率f1的电压，可以作为断路图案检测出。

另一方面，在检查有无短路的情况下，将传感器电极36定位于与检查对象导电图案14的中心偏移的位置上，从第二电源42输出第二频率f2的交流信号。在导电图案14为没有短路的正常图案情况下，传感器电极36中有频率为f2的预定值电压。由电压值检测器44检测出该电压值。另一方面，在有短路B的短路图案14b的情况下，由于从两侧施加的电压平衡破坏，所以检测出比通常值高的电压。因此，若检测出比预定的电压值高的频率f2的电压，可检测为短路图案。

因此，通过使传感器电极36向与图案平行的方向(图6的Y方向)移动，而可得到图6右侧所示的电压值。即，在传感器电极36位于正常的导电图案14上时，频率f1的电压值为预定的值，在处于断路图案14a上时，检测出比预定值高的电压值。另一方面，在传感器电极36位于正常的导电图案14上时，频率f2的电压值检测出预定值的电压值，在处于短路图案14b上时检测出比预定值高的电压。

将该电流值和传感器电极18的位置信息送到控制装置，并在控制装置中根据这些信息特定有缺陷的导电图案。即，在检测出预定值以上的频率f1的电压值时，将与传感器电极36静电耦合的图案作为断路图案检测出。另外，在检测出预定值以上的频率f2的电压值时，将与传感器电极36静电耦合的图案作为短路图案检测出。

当然，也可同时进行有无该断路和短路的检测。由于电压值检测器44具有检测每一频率的电压值用的识别滤波器48，所以即使向导电图案14施加f1和f2的电压，也可检测出各自的电压值。因此，通过使传感器电极36和第二电极34移动，而可同时检测出短路和断路。

这时，如上所述，由于两端中经大致相同的静电电容将交流信号施加给导电图案14，所以信号施加率变高。因此，即使信号为低电压，也可感应出可充分检测的电压，即使是低电压，也很难受到噪音等的影响，也可进行高精度的检查。另外，由于是低电压，所以不需要有放电等的对策，可进行简单检查。进一步，可仅通过沿与导电图案14平行的方向上移动一次传感器电极36和第二电极34而同时检测出断路A和短路B两者。

当传感器电极恰好位于断路位置的情况下，或处于断路和断路之间的情况下，不能由传感器电极检测出电压值。但是，这时，不检测出规定的电压值，而检测出0电压值。因此，可以将检测出大致为0的电压值的导电图案作为断路图案检测出。

另外，本实施例中，以电源作为中点接地，而使传感器电极定位于与中心偏离的位置上。这是因为，可以可靠地将0电压值作为异常检测出。但是，即使不这样，由于正常的图案和有缺陷的图案中电压值有一些变化，所以可以将有变化的图案作为缺陷图案检测出。

接着，使用图7、图8说明检测断路或短路位置的原理。

图7是表示断路位置检测原理的图，图8是表示短路位置检测原理的图。分别在图的下侧表示由电压值检测器44检测出的电压值。

在检测出断路的情况下，使传感器电极36沿断路图案14a移动。这时，检测出图7的下侧所示的电压值。即，传感器电极36处于断路A之前(图中左侧)期间，检测出从单侧(图中左侧)施加的信号的电压值。并且，在传感器电极36超过了断路位置的时刻，相位变化180度，而检测出从相反侧(图中右侧)施加的信号的电压值。因此，通过相位检波器判别由传感器电极36检测出的信号极性，而将极性翻转的位置作为断路位置检测出。将该检测结果和传感器电极36的位置信息送到控制装置，在控制装置中根据这些信息检测出断路位置。即，将电压的相位变化了180度时的传感器电极36的位置作为断路位置检测出。

另一方面，在使传感器电极36沿短路图案14b移动的情况下，检测出图8的下侧所示的电压值。即，传感器电极36在短路B之前为预定值的电压值，由于越接近于短路位置，平衡越破坏，所以当来到短路位置的上方时，表示急剧上升下降的峰值。并且，若超过短路B，重新回到预定值的电压值。即，在短路B的位置中检测出电压值的峰值。控制装置中将检测出该峰值电压值时的传感器电极36的位置作为短路位置检测出。

这样，使传感器电极沿有缺陷的导电图案移动，通过检测出这时的电压值，而可特定缺陷位置。

另外，本实施例中，虽然移动传感器电极36，但是也可移动玻璃衬底12。另外，也可在检查全部图案有无缺陷终止后进行缺陷位置的检测，也可每次检测出缺陷图案时进行。另外，在将公共条连接到导电图案14的情况下，也可将公共条用作第一电极。

[实施例4]

接着，说明作为其他实施例的图案检查装置10。

该图案检查装置10尤其用于液晶显示面板中使用的玻璃衬底上配置的栅极图案和Cs图案的检查。

在液晶显示面板的制造工艺中，首先同时在玻璃衬底12上配置栅极图案和Cs图案。栅极图案是在玻璃衬底上按列状配置的多个导电图案。Cs图案是与其交互按列状配置的导电图案。由于该栅极图案和Cs图案的距离小到极点(例如，几十um)，所以很容易产生短路。说明尤其适用于该短路检查的图案检查装置10。

图9表示该图案检查装置10的概略俯视图。

在检查对象的玻璃衬底12上彼此相邻配置栅极图案50和Cs图案52。另外，栅极图案50和Cs图案52都通过公共条54、58连接其一端。

在玻璃衬底12的上方设置栅极用电极56、Cs用电极60来作为馈电电极。另外，将传感器电极62设置在检查对象的导电图案上。

栅极用电极56是在检查时设置在与栅极用公共条54相反侧的栅极图案50的一端的导电性片。其具有覆盖全部栅极图案50的一端的宽度，与全部栅极图案50的一端静电耦合。但是，若为覆盖包含检查对象的栅极图案的一个以上的栅极图案的宽度，也可以是其他宽度。这时，也可配合后述的传感器电极62向Y方向的移动来移动。

Cs用电极60是检查时设置在与Cs用公共条58相反侧的Cs图案52的一端的导电性片。其也与Cs图案52静电耦合，具有覆盖全部Cs图案52的一端的宽度。当然若为覆盖包含对象Cs图案的一个以上的Cs图案的宽度，也可以是其他宽度。

传感器电极62是在检查时定位于检查对象的栅极图案50或Cs图案52上方的导电性片，并与这些图案静电耦合。传感器电极62在检查时可沿Y方向或X方向移动，将这时的位置信息送到没有图示的控制装置后，进行存储。

在传感器电极62中设置电压值检测器76，而检测出传感器电极62的位置的电压值。将所检测出的电压值与传感器62的位置信息一起送到控制装置后，进行存储。

电压值检测器76由放大由传感器电极62检测出的交流信号的放大器78和取出每一频率的信号用的识别滤波器80构成。由此，可以检查出每个频率的电压值。另外，还包括可判别所检测出的信号的极性的相位检波器(图中未示)。

经栅极用电极56和栅极用公共条54向栅极图案50施加频率f1的交流信号。其通过将一端连接到栅极用电极56、将另一端连接到栅极用公共条54的栅极用电源64来施加。另一方面，经Cs用电极60和Cs用公共条58通过Cs用电源66将频率f2的交流信号施加给Cs图案52。栅极用电源64和Cs用电源66都是中点接地。

接着，说明栅极图案50和Cs图案52的短路A和断路B的检测原理。这时，将传感器电极62定位于检查对象的栅极图案50或Cs图案52上。这时，传感器电极62最好位于与图案的中心偏移一些的位置上。

该状态下，从栅极用电源64和Cs用电源66施加频率f1、f2的交流信号。并且，由电压值检测器76检测出传感器电极62的每一频率的电压值。

这时，虽然没有短路A或断路B的正常栅极图案50上感应了频率f1(栅极用电源的频率)的电压，但没有感应频率f2(Cs用电源的频率)的电压。另外，虽然正常的Cs图案52上感应了频率f2(Cs用电源的频率)的电压，但是没有感应频率f1的电压(栅极用电源的频率)。

另一方面，在有短路A的栅极图案50a上还感应了频率f1的电压和频率f2的电压。另外，在有短路A的Cs图案52a中也感应了频率f1和频率f2的两个频率的电压。即，可判断为感应了频率f2(Cs用电源的频率)的电压的栅极图案、感应了频率f1(栅极用电源的频率)的电压的Cs图案产生了短路。

接着，说明检测有无断路B的情况。在检测有无断路B的情况下，着眼于所检测出的电压值。当栅极图案50、Cs图案52都为正常图案的情况下，检测出预定值的电压值。这是因为从图案的两侧施加了反相位的电压。由于存在电压的相位抵消，所以电压值在图案中心大致为0，越接近于两端越慢慢变高(变低)。因此，在与中心偏移了一些位置的传感器电极62的位置上，检测出预定的电压值(大于0)。

另一方面，在有断路的图案50b、52b的情况下，由于没有相位抵消，所以检测出比预定值高的电压。即，将检测出比预定值高的电压值的图案作为断路图案50b、52b检测出。

另外，当传感器电极恰好处于断路位置的情况下，或断路和断路之间的情况下，不能由传感器电极检测出电压值。但是，这时，没有检测出预定的电压值，而检测出0电压值。因此，检测出大致为0的电压值的导电图案可以作为断路图案检测出。

通过使传感器电极62沿Y方向移动而得到图9右侧所示的电压值。即，当传感器电极62位于产生了短路A的Cs图案52a上或栅极图案50a上时，频率f1和频率f2的电压都检测出预定的值。

另一方面，当位于产生了断路的栅极图案50b上时，频率f1的电压值变高。另外，当位于产生了断路的Cs图案52b上时，检测出频率为f2的高电压。

将该电压值和传感器电极62的位置信息送到控制装置后，在控制装置中，根据这些信息检测短路图案和断路图案。即，将检测出频率为f1的电压的Cs图案52或检测出频率为f2的电压的栅极图案50作为短路图案检测。另外，将检测出比预定值高的、或0电压值的图案作为断路图案检测出。

接着，说明检测缺陷位置的情况。在检测缺陷位置的情况下，使传感器电极62沿缺陷图案移动。

若使传感器电极62沿短路图案50a、52a移动，在传感器电极62位于短路A的上方时检测出最大的电压值(图10)。另一方面，若使传感器电极62沿断路图案50b、52b移动，则当传感器电极62位于断路B的上方时，相位翻转180度(图11)。控制装置中，根据电压值(相位检波结果)和传感器电极62的位置信息检测短路或断路的位置。

这样，根据本实施例，由于从图案的两端施加交流信号，故信号施加率很高。因此，检测的信号很难受噪音的影响，可以进行高精度地检查。另外，由于即使为低电压的交流信号也可进行检查，所以不需要放电对策等，可以进行简单地检查。

另外，可以容易地检测出容易产生短路的栅极图案和Cs图案的短路。进一步，通过使传感器电极62沿Y方向移动，而可同时进行有无短路或断路的检查。

另外，本实施例中，虽然使用了有栅极用公共条54的玻璃衬底12，但是当然也可以是没有栅极用公共条54的玻璃衬底12。在没有栅极用公共条54的情况下，也可以在栅极图案50的两端设置与栅极图案的端部静电耦合的一对栅极用电极56。

[实施例5]

接着，使用图12说明其他实施例。其也是适用于检测栅极图案和Cs图案的短路的图案检查装置10。

其根据电流值进行有无缺陷的检测。

在该图案检查装置10中，也可将传感器电极62连接到栅极用电源64和Cs用电源66的中点。

接着，说明使用该图案检查装置10的有无缺陷(短路或断路)的检查。

这时，将传感器电极62定位于检查对象的栅极图案50或Cs图案52上。并且，经各自的电极56、60和公共条54、58将交流信号施加给栅极图案50和Cs图案52。这时，将传感器电极62连接到两电源64、66的中心。这时，通过连接传感器电极62和电源64、66的线，而形成两个电路IR和IL。若是没有短路A或断路B的正常图案，则流过该IR和IL的电流值大致相等，并为逆向。因此，在正常图案的情况下，电流检测器68、70中检测出大致为0的电流值。

但是，在传感器电极62位于产生了短路A的图案50a、52b上的情况下，由于电压的平衡破坏(IR和IL中的电流值不相等)，所以两个电流检测器68、70中检测出高的电流值。将这时的电流值和传感器电极62的位置信息一起存储到控制装置中。

另外，有断路B的情况下也检测出高的电流值。但是，这时，与产生了断路B的图案不同的图案用的电流检测器中为大致0的电流值。即，在栅极图案有断路的情况下，在栅极用电流检测器68中检测出高的电流值，在Cs用电流检测器70中检测出大致为0的电流值。相反，在Cs图案有断路的情况下，在Cs用电流检测器中检测出高的电流值，在栅极用电流检测器68中检测出大致为0的电流值。

因此，在栅极用电流检测器68、Cs用电流检测器70两者检测出高的电流值的情况下，可判断为短路，在仅栅极用电流检测器68、Cs用电流检测器70的其中一个检测出高电流值的情况下，可判断为断路。

因此，通过使传感器电极62沿Y方向移动，而可同时进行有无断路和短路的检查。

在特定断路位置的情况下，也可使传感器电极62沿有断路的图案移动。由于从图案的两侧施加反相位的电压，所以以断路位置为边界相位不同。因此，通过由相位检波装置(图中未示)等看相位的变化而可特定断路位置。另外，由于断路位置中，电流值大致为0，所以也可以将检测出大致为0的电压值的位置作为断路位置来特定。

这样，根据本实施例，由于从图案的两端施加交流信号，所以信号施加率很高。因此，所检测出的信号很难受噪音的影响，可进行高精度的检查。另外，由于即使是低电压的交流信号也可进行检查，所以不需要放电等的对策，可以简单地进行检查。

另外，可以容易地检测出很容易产生短路的栅极图案和Cs图案的短路。

[实施例6]

接着，使用图13说明其他实施例。其用于更容易地检测出栅极图案和Cs图案的短路。

该检查装置10检测具有引出电极82的栅极图案50和通过公共条58连接一端的Cs图案52的短路。

将输出、生成交流信号的电源64的两端连接到传感器电极62和公共条58。传感器电极62是与引出电极大致具有相同宽度的导电性片，在检测出短路时，定位于连接到检查对象的导电图案的引出电极82的上方，而与引出的电极82静电耦合。

将电源64的一端连接到公共条58，将另一端连接到传感器电极62，在公共条58和电源64之间设置检测电流值用的电流检测器68。

接着，说明该图案检查装置10的短路检测原理。在检测有无短路的情况下，将传感器电极62定位于与检查对象的栅极图案50连接的引出电极82上方。并且，从电源64输出交流信号。将电源20的一端连接到公共条58，将另一端连接到传感器电极62。

这时，公共条58与Cs图案52电物理连接。另外，传感器电极62经引出电极82与栅极图案50电连接。因此，在栅极图案50和Cs图案52没有短路的情况下，不流过电流。因此，在传感器电极62位于正常图案上的情况下，检测出大致为0的电流值。

另一方面，若栅极图案50和Cs图案52短路，则经短路部A流过电流。因此，在传感器电极62处于短路图案上的情况下，检测出高的电流值。

因此，若使传感器电极62沿Y方向移动，则检测出图13的右侧所示的电流值。即，在正常的栅极图案50的情况下，检测出大致为0的电流值，在产生短路的栅极图案50a的情况下，检测出高值电流值。控制装置中，根据这时的电流值和传感器电极62的位置信息来检测有无短路。即，将与检测出高电流值时的传感器电极62电连接的栅极图案50作为有短路的图案检测出。

这样，根据本实施例，可以通过一个电源检测出有无短路。

Claims (15)

1.一种导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：

传感器电极，与检查对象图案的一端静电耦合；

馈电电极，与包含检查对象图案的至少两个以上的连续导电图案的另一端电连接；

信号施加单元，经馈电电极和传感器电极向对象图案施加交流信号；

电流值检测单元，检测出在信号施加单元的电源和传感器电极或馈电电极间流过的电流值；

缺陷检测单元，根据所检测出的电流值，检测导电图案有无断路或短路。

2.根据权利要求1所述的导电图案检测装置，其特征在于，包括：

移动单元，使传感器电极沿检测短路或断路的导电图案移动；

位置检测单元，从移动过程中的电流值的变化检测出断路或短路的位置。

3.根据权利要求1或2所述的导电图案检测装置，其特征在于：馈电电极是静电耦合到另一端的电极板。

4.根据权利要求1或2所述的导电图案检测装置，其特征在于：馈电电极是设置在导电图案的另一端的公共条。

5.一种导电图案检查装置，检查在衬底上配置的多个导电图案的状态，其特征在于，包括：

一对第一电极，与包含对象图案和其两侧的导电图案的至少三个以上的导电图案的两端电连接；

一对第二电极，为配置在对象图案两侧的导电图案上的一对电极，且分别静电耦合到两侧的导电图案上；

第一施加单元，经一对第一电极将第一频率的交流信号施加给导电图案；

第二施加单元，经一对第二电极将第二频率的交流信号施加给导电图案；

传感器电极，为设置在对象图案上的电极，且静电耦合到对象图案上；

电压检测单元，检测出传感器电极的每个频率的电压值；

缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测有无断路和短路。

6.根据权利要求5所述的导电图案检测装置，其特征在于：电压检测单元具有通过频率来识别传感器电极的电位而检测的识别单元。

7.根据权利要求5或6所述的导电图案检测装置，其特征在于：第一施加单元和第二施加单元中的至少一个电源是中点接地，传感器电极位于与对象图案的中心偏移的位置上。

8.根据权利要求5所述的导电图案检测装置，其特征在于，进一步具有：

移动单元，使传感器电极沿检测断路或短路的导电图案移动；

位置检测单元，从移动过程中的电压值变化检测出断路或短路的位置。

9.一种导电图案检查装置，检查在衬底上按列状配置的多个栅极图案和与栅极图案相邻地按列状配置、并通过Cs用公共条连接其一端的多个Cs图案，其特征在于，包括：

一对栅极用电极，与包含对象栅极图案的至少一个以上的栅极图案的两端电连接；

栅极用施加单元，经一对栅极用电极将第一频率的交流信号施加给对象栅极图案；

Cs用电极，与包含相邻于对象栅极图案的对象Cs图案的至少一个以上的Cs图案的另一端静电耦合；

Cs用施加单元，经Cs用公共条和Cs用电极将第二频率的交流信号施加给对象Cs图案；

与对象栅极图案或对象Cs图案静电耦合的电极；

短路检测单元，检测出传感器电极的电压值；

缺陷检测单元，根据所检测出的电压值检测栅极图案和Cs图案的缺陷。

10.根据权利要求9所述的导电图案检查装置，其特征在于，进一步包括：

移动单元，使传感器电极沿检测断路或短路的对象图案移动；

位置检测单元，从移动过程中的电压值变化检测断路或短路的位置。

11.根据权利要求9或10所述的导电图案检查装置，其特征在于：栅极用施加单元和Cs用施加单元的电源是中点接地，传感器用电极位于与对象图案的中点位置偏移的位置上。

12.一种导电图案检查装置，检查在衬底上按列状配置的多个栅极图案和与栅极图案相邻地按列状配置、并通过Cs用公共条连接其一端的多个Cs图案，其特征在于，包括：

一对栅极用电极，与包含对象栅极图案的至少一个以上的栅极图案的两端电连接；

栅极用施加单元，经一对栅极用电极将交流信号施加给对象栅极图案；

Cs用电极，与包含相邻于对象栅极图案的对象Cs图案的至少一个以上的Cs图案的另一端静电耦合；

Cs用施加单元，经Cs用公共条和Cs用电极将交流信号施加给对象Cs图案；

传感器电极，与对象栅极图案或对象Cs图案静电耦合，与栅极用施加单元和Cs用施加单元的电源相连；

电流值检测单元，检测在电源和传感器电极之间流过的电流值；

缺陷检测单元，根据所检测出的电流值检测出Cs图案和栅极图案的缺陷。

13.根据权利要求12所述的导电图案检查装置，其特征在于：传感器电极被连接到栅极用施加单元和Cs用施加单元的电源的中心，并处于对象图案的大致中心。

14.根据权利要求9或12所述的导电图案检查装置，其特征在于：一对栅极用电极中一个是栅极用公共条。

15.根据权利要求9或12所述的导电图案检查装置，其特征在于：一对栅极用电极中至少一个通过与栅极图案静电耦合来连接。

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