CN1175275C - 检查装置及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线，其中包括：向所述分支电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；在所述分支电路连接线的其它端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的非接触传感器的配置步骤；以及根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定步骤；在所述配置步骤中，对至少1个所述非接触传感器分配2个所述其它端部，在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测的所述检查信号而言，比较该检查信号的强度和给定的阈值，判定所述分支电路连接线有无发生断线。由此以较少数量的非接触传感器检查电路连接线。

Description

检查装置及检查方法

技术领域

本发明涉及电路连接线的检查技术。

背景技术

在检查电路衬底上的电路连接线(导电图案)的断线时，一般采用将检查信号供给到电路连接线、在电路连接线的端部等检测该信号并加以分析的方法。在此，作为在电路连接线的端部等检测检查信号的方法，人们提出了使用探针接触电路连接线的接触式和使用非接触传感器检测电路连接线的非接触式。

所谓非接触式检查，是指将随时间变化的检查信号供给到电路连接线，通过介于电路连接线和非接触传感器之间的静电电容检测出显现于该传感器的信号，以检查该电路连接线的断线等的方法，作为非接触传感器来说，例如有人建议由具有导电性的金属板等构成的电极，或由半导体组件等构成的电极。

如此的非接触式检查，其优点在于：由于未接触电路连接线，所以几乎不会导致损伤，而且，还可适应于微细间距的电路连接线。

作为非接触式检查的一例，例如有(日本专利)特开平10-239371号公报的记载。在该公报中记载一种发明，认为问题之一是如果采用非接触传感器来检查中途有分支的电路连接线时，无法准确判定是否有断线，为解决此问题，在分支的电路连接线的各端部分别布置非接触传感器，判定是否有断线。

但是，根据(日本专利)特开平10-239371号发明，由于在分支的各电路连接线端部分别布置非接触传感器，需要相当于分支数量的非接触传感器，导致非接触传感器的数量增加的倾向。因此，易导致检查装置的成本提高。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种检查装置及检查方法，可使用较少数量的非接触传感器，针对中途分支的电路连接线或其混合电路连接线进行检查。

本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部供给所述检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部、以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配2个所述其它端部，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配1个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配2个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；

在所述分支电路连接线的其它端部、与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配1个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

针对未分配所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；

在所述分支电路连接线的其它端部、与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配2个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

针对未分配所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的配置步骤；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配2个所述其它端部，

在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的配置步骤；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配1个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部。

并且，本发明提供一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的配置步骤；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配2个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的第1配置步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部、配置与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针的第2配置步骤；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述第1配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配1个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

在所述第2配置步骤中，对未分配到所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针。

并且，本发明提供一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的第1配置步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部、配置与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针的第2配置步骤；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述第1配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配2个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

在所述第2配置步骤中，对未分配到所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针，

在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

附图说明

图1(a)是表示使用非接触传感器的检查装置的图；图1(b)是表示图1(a)的等效电路的图。

图2(a)是表示使用将分支电路连接线作为检查对象的非接触传感器的检查装置的图；图2(b)是表示图2(a)的等效电路的图；图2(c)是表示在110d点断线时的(a)的等效电路的图。

图3是本发明的一实施例中的检查装置的示意图。

图4是本发明的其它实施例中的检查装置的示意图。

图5是本发明的其它实施例中的检查装置的示意图。

具体实施方式

下面，说明本发明的优选实施例。

<非接触检查的原理>

图1(a)是表示使用非接触传感器的检查装置的图。

图1(a)的检查装置是检查电路连接线100的断线的装置，包括：非接触传感器101、信号源102、电阻器103。非接触传感器101是导电性金属板等的电极，但也有人建议采用半导体组件等。非接触传感器101是以非接触方式配置于作为检查对象的电路连接线100的端部。

信号源102产生交流信号作为检查信号，将其供给至作为检查对象的电路连接线100的端部。作为检查信号，只要是随时间变化的信号就可以(例如，电压变化的频率，从1KHz至10MHz左右。)，也可采用脉冲状信号代替交流信号。

在此，非接触传感器101和电路连接线100的端部呈电性电容耦合的状态，并构成电容器。因此，图1(a)的等效电路变成图1(b)，若电路连接线100未断线，就会有与信号源102供给至电路连接线100的检查信号相应的信号出现于非接触传感器101，使其能够检测出检查信号。若电路连接线100断线，则非接触传感器101上几乎没有信号出现，由此可判定电路连接线100上有无断线。

此时，图1(b)的等效电路的输出信号Vout，可近似如下：

Vout＝Vin·R/((1/ω·C)+R)

但是，Vin为检查信号(角频率ω)；C为电路连接线100与非接触传感器101之间的静电电容。

<对于分支电路连接线的非接触检查的原理>

在图1中，作为检查对象的电路连接线100，是具有2个端部而未分支的电路连接线(在本文中称为‘单一电路连接线’)。下面，说明作为检查对象的电路连接线100在中途分支的电路连接线(在本文中称为‘分支电路连接线’)的非接触性检查。而且，在分支电路连接线的情况下，将具有3个以上的端部。

图2(a)是表示以分支电路连接线110为检查对象而使用非接触传感器的检查装置的图，其结构与图1(a)相同。

分支电路连接线110是在中途分支而具有3个端部的连接线。信号源102将检查信号供给至分支电路连接线110的一端部110c，并且，非接触传感器101非接触性配置于分支电路连接线110的其它2个端部110a和110b。

在此，非接触传感器101和电路连接线110的2个端部110a和110b分别呈电性电容耦合的状态，构成并联连接的2个电容器。因此，图2(a)的等效电路变成图2(b)。

另一方面，若分支电路连接线110例如在110d点断线，则图2(a)的等效电路变成图2(c)。因此，此时的非接触传感器101上会出现相应于检查信号的信号，而检测出检查信号。因此，只要根据非接触传感器101是否检测到检查信号为基准，来判定断线的有无，即使110d点有断线，也将判定为未断线。

可是，对于图2(b)时的非接触传感器101和电路连接线110之间的组合电容来说，假设非接触传感器101和各端部110a和110b之间的静电电容分别为C，则成为2C。因此，图2(b)等效电路可近似如下：

Vout＝Vin·R/((1/ω·2C)+R)

另一方面，图2(c)的情况与图1(c)相同。因此，若比较110d点未断线时及断线时，则断线时的输出信号强度(此处为电压)会变小。所以，若将正常时的输出信号强度和断线时的输出信号强度之间的值定为阈值，检查时将该阈值和输出信号作对比，即可判定断线的有无，而不必在分支电路连接线的各端部分别分配非接触传感器，即使分配1个非接触传感器，也仍可判定断线的有无。

然而，分配到1个非接触传感器的分支电路连接线的端部数愈增加，愈会倾向于使正常时的输出信号强度和断线时的输出信号强度之间的差距变小。例如，假设分支电路连接线的端部数为N个(分支数为N-1个)，其中一个会成为输入检查信号的端部，故分配到非接触传感器的端部数成为N-1个。因此，非接触传感器101和分支电路连接线110之间的组合电容，成为将N-1个并联连接时的组合电容。

此时，输出信号Vout可近似如下：

Vout＝Vin·R/((1/ω·(N-1)C)+R)

并且，此时若一个分支连接线中存在断线，则输出信号Vout可近似如下：

Vout＝Vin·R/((1/ω·(N-2)C)+R)

如此，分配到1个非接触传感器的分支电路连接线的端部数愈增加，愈会使正常时的输出信号强度和断线时的输出信号强度之间的差距变小，可设定阈值的范围也变窄。而且，若考虑检查时噪声的存在，就难以正确判定断线的有无了。

本发明人发现若相对于1个非接触传感器分配最多2个分支电路连接线，则不会妨害到断线检查的正确性。此时，其阈值优选采用分支电路连接线正常时输出信号强度的约30％至40％范围的值。若相对于1个非接触传感器分配2个分支电路连接线的端部，则比起分别分配时可将非接触传感器的数量最多可减为一半，可达到降低检查成本的目的。

<检查装置的例>

图3是本发明的一实施例的检查装置的示意图。

在电路衬底X上，有包括8个端部的分支电路连接线A，将其作为检查对象。

检查装置包括：将检查信号供给至分支电路连接线A的一个端部的信号源1；在分支电路连接线A的另外7个端部中检测检查信号的4个非接触传感器2a至2d；对非接触传感器2a至2d所检测出的检查信号进行信号处理的信号处理组件3；以及控制整体装置并根据来自信号处理组件3的数据而判定分支电路连接线A有无断线的计算机4。

信号源1在计算机4控制下产生检查信号，并将检查信号供给至分支电路连接线A。就检查信号来说，例如使具有导电性的探头接触分支电路连接线A的一个端部，通过该探头由信号源供给检查信号。

在非接触传感器2a至2c上，分别分配有各2个分支电路连接线A的端部，而在非接触传感器2d上，分配有1个端部，即相对于1个非接触传感器，最多分配有2个端部。

而且，非接触传感器的分配，可有各种方式，如图3所示，若相对于各非接触传感器2a至2d，尽可能分配2个端部，则最能减少非接触传感器的数量，较为适宜，但也可相对于非接触传感器2a至2d中的至少1个分配2个端部，剩下的传感器上分别分配各1个端部，或相对于非接触传感器2a至2d中的2个分配2个端部，剩下的传感器上分别分配各1个端部。

信号处理组件3例如具备将非接触传感器2a至2d所检测的检查信号放大的放大电路和进行模拟/数字转换的AD转换器，将各个非接触传感器2a至2d所检测的检查信号强度的信息提供至计算机4。

计算机4将来自信号处理组件3的由各个非接触传感器(2a)至(2d)所检测出的检查信号强度的信息与预先设置的阈值加以比较，进行分支电路连接线A是否发生断线等的判定处理。

在上述结构的检查装置所作的检查中，首先，如图3所示那样来配置各非接触传感器2a至2d。其次，计算机4控制信号源1，使其发送检查信号，并将检查信号供给至分支电路连接线A。

于是，各非接触传感器2a至2d检测出检查信号，而信号处理组件3对被检测出的检查信号进行给定的处理。信号处理组件3将各非接触传感器2a至2d所检测出的检查信号强度发送到计算机4，计算机4则对各非接触传感器2a至2d所检测出的检查信号强度与指定的阈值进行比较，判定分支电路连接线A有无断线。

例如，若非接触传感器2a所检测出的检查信号强度低于阈值，则判定为图3的分支电路连接线A上的2根分支连接线中的一根已断线。而且，在非接触传感器2d上，只分配有1个端部，故也可只根据是否检测到检查信号来判定断线的有无，也可如上述那样与阈值进行比较而予以判定。

其次，图4是本发明其它实施例的检查装置的示意图。

在电路衬底Y中，混合配置具有7个端部的分支电路连接线D和4个单一电路连接线A至C及E，将其作为检查对象。

检查装置具备：分别将检查信号供给至分支电路连接线D中的1个端部和各单一电路连接线A至C及E的1个端部的信号源11；在分支电路连接线D的其它6个端部和单一电路连接线A至C及E的另外端部中检测检查信号的3个非接触传感器12a至12c；对非接触传感器12a至12c所检测出的检测信号进行信号处理的信号处理组件13；以及控制整个装置并根据来自信号处理组件13的数据而判定分支电路连接线D及单一电路连接线A至C及E有无断线的计算机14。

信号源11、非接触传感器12a至12c、信号处理组件13以及计算机14，分别与图3所示的检查装置的信号源1、非接触传感器2a至2c、信号处理组件3以及计算机4相同，以下主要针对其相异处进行说明。

信号源11依次将检查信号供给至电路连接线A至E的各端部，而供给的时序则由计算机14所控制。

在各非接触传感器12a至12c上，最多时可分配2个分支电路连接线D的端部，及1个或多个单一电路连接线A至C及E的端部。其理由为：在互相独立的电路之间，若分别供给检查信号，由于从各端部独立地检测到检查信号，故1个非接触传感器就够了。

具体地说，例如，在单一电路连接线A至C的情况下，以给定的时序依次供给检查信号，配合其时序而观察非接触传感器12a所检测的检查信号的有无，即可分别判定各单一电路连接线A至C有无发生断线。

而且，如图4所示，除单一电路连接线A至C之外，分支电路连接线D的分支连接线中的一个连接线也可采用同一想法而用1个非接触传感器12a来检查。而且，分支电路连接线D所分支的2个连接线也可采用同样做法，并且，有无断线的判定，如上述<对于分支电路连接线的非接触检查的原理>中所述，可将检测的检查信号与给定阈值进行比较，由此可判定断线的有无。

在图4的情况中，非接触传感器12a上分配有单一电路连接线A至C的各端部和分支电路连接线D的2个端部。并且，非接触传感器12c上分配有单一电路连接线E的端部和分支电路连接线D的2个端部。而在分支电路连接线D所剩余的2个端部上，则分配有非接触传感器12b。

在上述结构的检查装置所作的检查中，首先，如图4所示那样配置各非接触传感器12a至12c。其次，计算机14控制信号源11，使其发送检查信号。此时，例如，按照单一电路连接线A→B→C→分支电路连接线D→分支电路连接线E的顺序，依次将检查信号供给至各电路连接线A至E。

于是，各非接触传感器12a至12c检测检查信号，而信号处理组件13对被检测的检查信号进行给定的处理。信号处理组件13将各非接触传感器12a至12d所检测的检查信号的信息发送至计算机14。

在此，计算机14根据信号源11向各电路连接线A至E供给检查信号的时序、和各非接触传感器12a至12c检测出检查信号的时序，判定断线的有无。

此时，单一电路连接线A至C及E有无断线的判定，可根据各非接触传感器12a及12c上是否检测出上述时序的检查信号为基准而进行判定即足够了。即，若检测到检查信号，则可判定为未断线，若未检测到检查信号，则可判定为发生断线。

另一方面，分支电路连接线D有无断线，若以是否检测出检查信号为基准则无法正确判定，所以必须将各非接触传感器12a至12c所检测出的检查信号强度与给定的阈值进行比较，来判定分支电路连接线D有无断线。

而且，在图4所示的检查装置中，非接触传感器12a至12c的分配方式，也有各种方式可考虑。例如，在图4的示例中，虽然在非接触传感器12a和12c上分配有分支电路连接线D的2个端部，但也不妨分配1个端部。此时，断线的有无，只要以是否在该等传感器上检测到检查信号为基准即足够，不一定需要加以比较。

并且，在图4的示例中，虽然在单一电路连接线A至C的端部和分支电路连接线D的2个端部上分配有1个非接触传感器12a，但也可以分别在单一电路连接线A和B的端部上分配1个非接触传感器，在单一电路连接线C和分支电路连接线D的2个端部上分配1个非接触传感器。

这样，在图4所示的检查装置中，当单一电路连接线和分支电路连接线混合存在时，相对于1个非接触传感器，分配了单一电路连接线的端部和分支电路连接线的端部的双方，故可减少非接触传感器的数量。

其次，图5是本发明的另外实施例的检查装置的示意图。

在电路衬底Z中，混合配置具有7个端部的分支电路连接线D和4个单一电路连接线A至C及E，与图4的电路衬底Y相同，将其作为检查对象。

检查装置具备：分别将检查信号供给至分支电路连接线D中的1个端部和各单一电路连接线A至C及E的1个端部的信号源21；在分支电路连接线D的其它2个端部和单一电路连接线A至C及E的另外端部中检测检查信号的2个非接触传感器22a和22b；在分支电路连接线D的另外4个端部中检测检查信号的探针25a至25d；对非接触传感器22a和22b及探针25a至25d所检测出的检测信号进行信号处理的信号处理组件23；控制整个装置并根据来自信号处理组件23的数据而判定分支电路连接线D及单一电路连接线A至C及E有无断线的计算机24。

信号源21、非接触传感器22a及22b、信号处理组件23和计算机24，分别与图4所示检查装置的信号源11、非接触传感器12a至12d、信号处理组件13和计算机14相同，以下主要针对其相异处进行说明。

对于探针25a至25d来说，例如是具有导电性的探头，接触于分支电路连接线D的端部而检测检查信号。在图5所示的检查装置中，采用此探针25a至25d代替图4所示的检查装置的非接触传感器12b等。虽然有个体的差别，但一般来说，非接触传感器比探针价格高，采用探针能以低廉价格构成检查装置。然而，如上所述，非接触传感器有其优点，可用1个非接触传感器检查多个单一电路连接线，故在图5所示的检查装置中采用两者混合的结构。

在图5的情况中，在非接触传感器22a上分配有单一电路连接线A至C的各端部和分支电路连接线D的1个端部。并且，在非接触传感器22b上分配有单一电路连接线E的端部和分支电路连接线D的1个端部。而且，在分支电路连接线D所剩余的4个端部上，则分别分配有探针25a至25d。

在上述结构的检查装置所作的检查中，首先，如图5所示那样配置各非接触传感器22a和12b，并在分支电路连接线D所剩余的端部配置探针25a至25d。

以下，与图4所示的情况的近乎相同，由计算机24控制信号源21，使其发送检查信号。此时，例如，按照单一电路连接线A→B→C→分支电路连接线D→单一电路连接线E的顺序，依次将检查信号供给至各电路连接线A至E。

于是，各非接触传感器22a和22b以及各探针25a至25d检测检查信号，而信号处理组件23对被检测出的检查信号进行给定的处理。信号处理组件23则将各非接触传感器22a和22d以及各探针25a至25d所检测的检查信号的信息发送至计算机24。

在此，计算机24根据信号源21向各电路连接线A至E供给检查信号的时序、和各非接触传感器12a至12c检测出检查信号的时序，判定断线的有无。

此时，各电路连接线A至E有无断线的判定，可根据各非接触传感器12a和12b、以及各探针25a至25d中，是否检测出上述时序的检查信号为基准而进行判定即足够了。即，若检测出检查信号，则可判定为未断线，若未检测出检查信号，则可判定为发生断线。这是因为：在图5所示的情况中，在非接触传感器22a和22b上，分别分配有分支电路连接线D的1个端部，而并非分配着2个。

而且，在图5所示的检查装置中，非接触传感器22a和22b、以及探针25a至25d的分配方式，有各种方式可考虑。

例如，在图5的示例中，虽然在非接触传感器22a和22b上分配有分支电路连接线D的1个端部，但也不妨分配2个端部。此时，对该等传感器所检测出的检查信号的强度与给定阈值进行比较，来判定断线的有无。

并且，在图5的示例中，虽然对非接触传感器22a和22b分配了单一电路连接线A等的端部和分支电路连接线D的端部双方，对分支电路连接线D的剩余端部的全部，分配了探针25a至25d，但也可对分支电路连接线D的一部分端部分配探针，而对剩余的端部则分配非接触传感器，此时，在非接触传感器上也可分配最多到2个的端部。

这样，在图5所示的检查装置中，当单一电路连接线和分支电路连接线混合存在时，相对于1个非接触传感器，分配了单一电路连接线的端部和分支电路连接线的端部的双方，故可减少非接触传感器的数量。而且，通过在分支电路连接线的剩余端部分配探针，可更减少非接触传感器的数量。

以上，针对本发明的优选实施例作了各种说明，但是，本发明当然并不局限于此。特别是有关非接触传感器的分配方式，不用说，可在不脱离本发明主旨的范围内考虑各种方式。

产业上的可利用性

如上所述，根据本发明，可使用较少数量的非接触传感器来检查中途分支的电路连接线或与混合存在的电路连接线。

Claims (12)

1.一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部供给所述检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部、以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配2个所述其它端部，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

2.一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配1个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部。

3.一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配2个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

4.一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；

在所述分支电路连接线的其它端部、与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配1个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

针对未分配所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针。

5.一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器；

在所述分支电路连接线的其它端部、与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对1个所述非接触传感器，分配2个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

针对未分配所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的检查装置，其特征在于：对每一个所述非接触传感器，尽可能分配2个所述分支电路连接线的所述其他端部。

7.如权利要求2～5中任意一项所述的检查装置，其特征在于：所述供给机构，对所述分支电路连接线的1个端部和所述单一电路连接线的1个的端部，依次供给检查信号。

8.一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的配置步骤；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配2个所述其它端部，

在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

9.一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的配置步骤；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配1个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部。

10.一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的配置步骤；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配2个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

11.一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的第1配置步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部、配置与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针的第2配置步骤；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述第1配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配1个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

在所述第2配置步骤中，对未分配到所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针。

12.一种检查方法，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部和所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、配置以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的多个非接触传感器的第1配置步骤；

在所述分支电路连接线的其它端部、配置与该分支电路连接线接触来检测所述检查信号的探针的第2配置步骤；以及

根据所述非接触传感器或所述探针检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定步骤；

在所述第1配置步骤中，对1个所述非接触传感器，分配2个所述分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

在所述第2配置步骤中，对未分配到所述非接触传感器的所述分支电路连接线的所述其它端部的一部分或全部，分别分配所述探针，

在所述判定步骤中，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

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