JP5190433B2 - 配線回路基板の検査方法、配線回路基板の製造方法および配線回路基板の検査装置 - Google Patents
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Description
図1は、サスペンション基板の平面図である。また、図2(a)および図2(b)は、それぞれ図1のサスペンション基板のA−A線断面図およびB−B線断面図である。
上記のサスペンション基板1は、例えば次のように作製される。なお、サスペンション基板1の製造過程においては、半製品として複数のサスペンション基板1が一体的に形成された集合体シートが作製される。集合体シートの詳細は後述する。図3は、図1のサスペンション基板1の製造工程を示す概略フローチャートである。
図3の最終検査工程におけるAVIは、以下に説明するAVI装置を用いて行われる。図5は、図3の最終検査工程で用いられるAVI装置の一構成例を示すブロック図である。
図6は、図3の最終検査工程におけるAVI時のAVI装置200の動作を説明するための図である。図6(a)〜(d)においては、AVI装置200における基板吸着台20Aの模式的側面図が示されている。
(a)本実施の形態においては、基板吸着台20Aの上面上に複数の集合体シート100が載置され、押圧板31で複数の集合体シート100が押圧されるように基板吸着台20A上の複数の集合体シート100上に押圧板31が載置される。これにより、押圧板31により複数の集合体シート100の全面が均一に押圧されるので、複数の集合体シート100が基板吸着台20Aの上面上に均一に接触するとともに平坦化される。
図5〜図8の双極型の基板吸着台20Aの代わりに、絶縁体部21の内部に正極板22aおよび負極板22bのいずれかを備える単極型の静電吸着台を用いてもよい。
本実施の形態では、複数の集合体シート100を基板吸着台20Aの上面上に押圧するための構成として板形状を有する押圧板31が用いられるが、これに限定されない。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
10 支持基板
11 絶縁層
12 クロム膜
16 導体層
18 被覆層
20 サスペンション本体部
20A 基板吸着台
21 絶縁体部
22,27 電極パッド
22a 正極板
22b 負極板
23 直流電源装置
24 タング部
25 導体パターン
26 開口部
28 孔部
31 押圧板
32 押圧板移動装置
41 CCDカメラ
42 カメラ移動装置
44 画像処理装置
45 メモリ
50 制御部50
100 集合体シート
CF 枠
JP 連結部
Claims (5)
- 配線回路基板の検査方法であって、
前記配線回路基板を吸着台の支持面上に載置する工程と、
押圧部材の絶縁性の押圧面で前記配線回路基板が押圧されるように前記支持面上の前記配線回路基板上に前記押圧部材を載置する工程と、
前記支持面上に前記配線回路基板および前記押圧部材が載置された状態で前記支持面を帯電させることにより前記配線回路基板を静電気力により前記支持面に吸着させる工程と、
前記支持面が帯電した状態で前記配線回路基板上に載置された前記押圧部材を取り外す工程と、
前記支持面上に吸着された前記配線回路基板の自動外観検査を行う工程とを備えることを特徴とする配線回路基板の検査方法。 - 前記押圧部材の押圧面は、絶縁性のガラスまたは樹脂により形成されることを特徴とする請求項1記載の配線回路基板の検査方法。
- 前記樹脂は、ポリ塩化ビニル、アクリル、ポリカーボネートおよびポリテトラフルオロエチレンの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項2記載の配線回路基板の検査方法。
- 配線回路基板の製造方法であって、
絶縁層上に導体パターンを形成することにより検査前の配線回路基板を作製する工程と、
前記検査前の配線回路基板を吸着台の支持面上に載置する工程と、
押圧部材の絶縁性の押圧面で前記検査前の配線回路基板が押圧されるように前記支持面上の前記検査前の配線回路基板上に前記押圧部材を載置する工程と、
前記支持面上に前記検査前の配線回路基板および前記押圧部材が載置された状態で前記支持面を帯電させることにより前記検査前の配線回路基板を静電気力により前記支持面に吸着させる工程と、
前記支持面が帯電した状態で前記検査前の配線回路基板上に載置された前記押圧部材を取り外す工程と、
前記支持面上に吸着された前記検査前の配線回路基板の自動外観検査を行う工程とを備えることを特徴とする配線回路基板の製造方法。 - 配線回路基板が載置される支持面を有するとともに、前記支持面が帯電状態と非帯電状態とに切り替え可能に構成された吸着台と、
絶縁性の押圧面を有する押圧部材と、
前記押圧部材を移動させる移動装置と、
前記吸着台の前記支持面上に載置された前記配線回路基板に自動外観検査を行う検出装置と、
前記吸着台、前記移動装置および前記検出装置の動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記吸着台の前記支持面上に前記配線回路基板が載置された状態で、前記押圧面で前記配線回路基板が押圧されるように前記移動装置により前記配線回路基板上に前記押圧部材を載置させ、前記支持面上に前記配線回路基板および前記押圧部材が載置された状態で前記吸着台の前記支持面を帯電状態に切り替えることにより前記配線回路基板を静電気力により前記支持面に吸着させ、前記帯電状態で前記移動装置により前記配線回路基板上に載置された前記押圧部材を取り外し、前記検出装置により前記支持面上に吸着された前記配線回路基板の自動外観検査を行うことを特徴とする配線回路基板の検査装置。
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