CN112130423A - 直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法。直写式光刻机吸盘压板装置控制方法包括如下步骤：压板主控模块接收到压条位置信息指令；电机初始化，设定电机运行速度和运行方向；压板主控模块接收到电机运行指令，电机通过丝杆驱动压条运动到预定位置；压板主控模块接收到运动气缸运行指令，运动气缸驱动压条运动以使压条压设于电路板的边缘处；待曝光结束后，运动气缸、电机驱动压条退出操作。根据本发明的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，通过控制运动气缸、压条将翘曲的电路板压平，从而提高了待曝光电路板的平面度。

Description

直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法

技术领域

本发明涉及激光直接成像技术领域，尤其是涉及一种直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法。

背景技术

激光直接成像技术简称LDI(Laser Direct Image)，是利用工作站输出图像数据，并通过激光器、数字微镜器件以及光学光路等成像装置，在涂有光致抗蚀剂的印制电路板上进行图形成像的一门技术。

印制电路板是放置在直写式光刻机的吸盘上进行曝光成像的，但由于直写式光刻机本身焦深有限，因此，吸盘的平面度、以及印制电路板板材的翘曲程度均会对实际曝光产品的优良率产生重要影响。

直写式光刻机在进行吸盘加工时会首先保证吸盘的平面度，另外在使用时会增加真空吸附功能，将印制电路板吸附在吸盘上，从而保证印制电路板表面的平面度，对于较薄的印制电路板这种方案是可行的，但是对于较厚的印制电路板难免会出现边缘翘曲的问题，此时真空吸附功能已经无法将印制电路板完全吸附在吸盘上，从而导致印制电路板表面平面度不能满足曝光要求，因此就会导致产品的良率下降。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出了一种直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，所述控制方法具有控制逻辑简单、产品良品率高的优点。

本发明还提出一种直写式光刻机吸盘压板装置，所述直写式光刻机吸盘压板装置具有结构简单、产品良品率高的优点。

根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，包括如下步骤：

压板主控模块接收到压条位置信息指令；

电机初始化，设定电机运行速度和运行方向；

压板主控模块接收到电机运行指令，所述电机通过丝杆驱动压条运动到预定位置；

压板主控模块接收到运动气缸运行指令，所述运动气缸驱动所述压条运动以使所述压条压设于电路板的边缘处；

待曝光结束后，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作。

根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，通过控制运动气缸、压条将翘曲的电路板压平，从而提高了待曝光电路板的平面度。

在一些实施例中，所述压板主控模块接收到压条位置信息指令之前，用于检测所述压条位置的位置传感器检测所述压条的位置，当所述压条未处于预定位置时，所述电机初始化。

在一些实施例中，所述压板主控模块接收到压条位置信息指令之前、且所述位置传感器检测所述压条的位置之前，对所述压条位置进行初始化设置。

在一些实施例中，当所述压条处于预定位置时，点亮指示灯，且所述位置传感器实时检测压条是否处于预定位置。

在一些实施例中，所述运动气缸驱动所述压条运动之前，判断所述压条是否处于抬起状态，当所述压条处于抬起状态时，所述运动气缸驱动所述压条运动以使所述压条压设于电路板的边缘处。

在一些实施例中，待曝光结束后，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作之前，确认所述压条是否处于抬起状态，当所述压条处于抬起状态时，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作。

在一些实施例中，待曝光结束后，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作之前，所述压板主控模块确认所述压条是否处于抬起状态，当所述压条未处于抬起状态时，所述运动气缸驱动所述压条处于抬起状态，所述压板主控模块再次确认所述压条是否处于抬起状态，如此循环。

在一些实施例中，所述直写式光刻机吸盘压板装置还包括光电开关和磁性开关，所述光电开关用于对所述电机进行限位，所述磁性开关用于反馈运动气缸运行位置信息。

在一些实施例中，所述直写式光刻机吸盘压板装置的运动气缸，包括横移气缸、纵移气缸及点压气缸，所述横移气缸设于所述丝杆，所述横移气缸沿所述丝杆移动，所述纵移气缸一端连接横移气缸，另一端连接压条，用于按压控制。

在一些实施例中，所述电机为两个，所述丝杆也为两个，其中一个所述电机设于其对应丝杆的左端，另一个所述电机也设于其对应丝杆的另左端，所述压板主控模块驱动所述电机运行模式为双驱模式，两个所述电机均设置为上电自使能模式。

在一些实施例中，所述电路板具有第一侧边、第二侧边和第三侧边，所述点压气缸为多个，其中一部分点压气缸为用于点压所述第二侧边，另一部分点压气缸用于点压所述第三侧边，另外的横移气缸与纵移气缸用于驱动压条动作并按压所述第一侧边。

根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置，包括：

工作台；

吸盘，所述吸盘设于所述工作台，所述吸盘适于吸附电路板；

电机，所述电机设于所述工作台；

丝杆，所述丝杆与所述电机连接，所述电机驱动所述丝杆转动；

运动气缸，包括横移气缸、纵移气缸及点压气缸，所述横移气缸设于所述丝杆，所述横移气缸沿所述丝杆移动，所述纵移气缸一端连接横移气缸，另一端连接压条，用于按压控制；

压条，所述压条与所述纵移气缸的执行端连接，所述横移气缸移动以带动所述压条运动至所述电路板的边缘位置，所述纵移气缸移动以带动所述压条进行按压动作；

点压气缸，所述点压气缸连接有单点按压结构，并执行上下移动，点压所述电路板的第二侧边及第三侧边。

根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置，通过控制运动气缸、压条对电路板的边缘进行压制、压平，从而可以防止电路板边缘翘曲，进而可以提高待曝光电路板的平面度。此外，通过利用电机与运动气缸相结合的控制方式控制压条运动，提高了压板装置的执行效率，在不影响产能的前提下，提高了直写式光刻机的产品曝光优良率。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法的基本功能框图；

图2是根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置的局部结构示意图；

图3是根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置的电机控制功能框图；

图4是根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置的气缸控制功能框图；

图5是根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置的工作流程图。

附图标记：

工作台110，吸盘111，电机112，线缆转接处1100，

点压气缸113，纵移气缸114，横移气缸115，压条116，

光电开关121，磁性开关122，

第一电磁阀1221，第二电磁阀1222，第三电磁阀1223，

压板主控模块130，压板电机控制模块131，压板气缸控制模块132，压板系统状态监测模块133，上位机模块134。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本发明的实施例。

下面参考图1-图5描述根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法。

如图2所示，根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置，包括工作台110、吸盘111、电机112、丝杆117、横移气缸115、压条116、纵移气缸114和点压气缸113。

具体而言，吸盘111设于工作台110，吸盘111适于吸附电路板，电路板可以为印制电路板。电机112设于工作台110，电机112与丝杆117连接，以驱动丝杆转动。丝杆117上设有横移气缸115，当丝杆117转动时，横移气缸115可以沿着丝杆117移动。压条116与纵移气缸114连接，纵移气缸114又与横移气缸115的执行端连接，当横移气缸115的执行端进行伸缩运动时，带动纵移气缸运动，从而带动压条116运动，这样横移气缸115的执行端移动就可以带动压条116运动至电路板的边缘位置。纵移气缸114与压条116连接，以驱动压条116按压电路板的边缘。

由此，通过控制纵移气缸114、压条116对电路板的边缘进行压制、压平，从而可以防止电路板边缘翘曲，进而可以提高待曝光电路板的平面度。此外，通过利用电机112与横移气缸115、纵移气缸114相结合的控制方式控制压条116的运动，提高了压板装置的执行效率，在不影响产能的前提下，提高了直写式光刻机的产品曝光优良率。

如图1-图5所示，根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，包括如下步骤：

对压条116位置进行初始化设置；

用于检测压条116位置的位置传感器检测压条116的位置；

压板主控模块130接收到压条116位置信息指令；

当压条116未处于预定位置时，电机112初始化，设定电机112运行速度和运行方向；当压条116处于预定位置时，点亮指示灯，调整压条116位置且位置传感器实时检测压条116是否处于预定位置；

压板主控模块130接收到电机112运行指令，电机112通过丝杆117驱动压条116运动到预定位置；

判断压条116是否处于抬起状态，当压条116处于抬起状态时，压板主控模块130接收到纵移气缸114运行指令，纵移气缸114驱动压条116运动以使压条116压设于电路板的边缘处；

待曝光结束后，确认压条116是否处于抬起状态，当压条116处于抬起状态时，纵移气缸114、横移气缸115驱动压条116退出操作；当压条116未处于抬起状态时，纵移气缸114驱动压条116处于抬起状态，压板主控模块130再次确认压条116是否处于抬起状态，如此循环。

直写式光刻机吸盘压板装置还包括光电开关121和磁性开关122，光电开关121用于对电机112进行限位，磁性开关122用于反馈纵移气缸114及横移气缸115的运行位置信息。光电开关121和磁性开关122均对应设有指示灯，用以示意光电开关121或磁性开关122状态切换。例如，当光电开关121的状态变化时，与该光电开关121对应的指示灯的状态也会发生变化；再如，当磁性开关122的状态变化时，与该磁性开关122对应的指示灯的状态也会发生变化，便于调试阶段调试人员对相关信息的直接读取。

在一些实施例中，直写式光刻机吸盘压板装置还包括横移气缸115，横移气缸115通过结构件连接在丝杆上并沿丝杆可移动，横移气缸115通过纵移气缸114与压条116连接，以驱动压条116沿丝杆移动至预定位置。在一些实施例中，电机112为两个，其中一个电机112设于其对应丝杆的左端，另一个电机112也设于其对应丝杆的左端，压板主控模块130驱动电机112运行模式为双驱模式。为了上电后电机112能够立即受控，两个电机112均设置为上电自使能模式。

例如，两个电机112可以通过压板电机112控制模块控制。例如，压板电机112控制模块通过一根CAN总线使得压板主控模块130与两个电机112通信。本实施例中压板主控模块130通过CAN总线向电机112发送控制命令，同时安装在电机112两端的光电开关121信号要同时把采集的信号反馈给对应电机112和压板主控模块130，从而便于电机112控制及压板主控逻辑控制。

两个电机112中，其中一个电机112的ID号可以为5，另一个电机112的ID号可以为6。因为电机112具备数字信号输入接口且具有对应配置功能，我们还需要对相应输入信号接口功能进行配置，每个电机112都由S1、S2、S3三个输入接口，本实施例中，我们将每个电机112的左限位信号接入S1，电机112的HOME信号接入S2、电机112的右限位信号接入S3，所以当对应传感器信号有效时电机112也会同时收到此信号，此处为了提高系统工作效率，可以对相应信号进行了配置，例如，当S1信号有效时，电机112进行左限位急停控制；当S2信号有效时，电机112急停且清零编码器数据；当S3信号有效时，电机112进行右限位急停控制。这样，当电机112遇到相应传感器时会自动按照预设方案进行操作，而不需要压板主控模块130进行干预，其执行效率也会大大提高。

此外，在电机112运行过程中，为了防止因传感器异常导致的电机112堵转损坏，我们还需要配置电机112的堵转急停功能，这样能够对电机112进行有效保护。完成电机112配置以后，可以通过压板电机112控制模块的CAN接口对电机112进行相应控制。

根据本发明的一些实施例，电路板具有第一侧边、第二侧边和第三侧边，点压气缸113为多个，其中一部分点压气缸113为用于点压第二侧边，另一部分点压气缸113用于点压第三侧边。横移气缸115和纵移气缸114用于控制压条对第一侧边进行按压，由此可以有效地防止电路板边缘发生翘曲。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。

下面以一个具体实施例详细描述根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法。值得理解的是，下述描述仅是示例性说明，而不是对本发明的具体限制。

参见图1，根据本发明实施例的直写式光刻机吸盘压板装置，包括压板主控模块130、压板电机112控制模块、压板气缸控制模块132、压板系统状态监测模块133以及上位机模块134。

压板主控模块130负责整个装置的逻辑控制及通信控制，压板主控模块130通过CAN总线接口与压板电机112控制模块相连接。压板主控模块130通过RS485接口与上位机模块134相连接。压板主控模块130通过数字信号输出接口与压板气缸控制模块132相连接。压板主控模块130通过数字信号输入接口与压板系统状态监测模块133相连接。同时压板装置还具备系统状态显示功能。

具体地，压板主控模块130的核心控制器采用的是STM32F103CBT6芯片，此芯片最高工作频率为72MHz，具有128KBFlashROM，以及20KB的SRAM。STM32F103CBT6芯片含有四个定时器，一路CAN接口，三路USART接口以及三十七路普通GPIO接口，可以满足本发明具体实施的控制需求。为了实现压板控制逻辑及系统通信功能，可以编写相应控制代码并写入核心控制器。

压板电机112控制模块主要完成压板电机112双驱控制，从而带动压条116运行至目标设定位置。压板气缸控制模块132可以包括十四个运动气缸，其中两个横移气缸115及两个纵移气缸114用于控制压条116对电路板右边缘(也即第一侧边)点压动作，五个点压气缸113用于对电路板左边缘(也即第二侧边)的点压动作，另五个点压气缸113用于电路板下边缘的点压动作。

压板系统状态监测模块133可以用于监测配套电机112使用的六个光电开关121状态以及配套所有运动气缸的十四个磁性开关122状态。上位机模块134主要用于下发电机112运行命令，运动气缸动作命令及读取系统状态命令等，使得系统能够配合曝光软件进行按压动作的控制。

具体的，如图2所示，两个电机112中的一个电机112安装在吸盘111左下角，其ID可以配置为5，另一个电机112可以安装在吸盘111的左上角，其ID我们配置为6。两个电机112均通过联轴器与各自的丝杆相连接，丝杆长度为320mm，丝杆导程为2mm。丝杆的另一端通过结构件固定在吸盘111上。

同时，在吸盘111前端左下角的电机112的附近，可以安装光电开关FLL，以用于对电机112进行的左限位；在吸盘111前端右下角处，也可以安装一个光电开关FRL，以用于对该电机112的右限位；此外，在右限位内侧，可以安装光电开关F-HOME，以用于对该电机112进行原点标记。与该电机112相同，另一个电机112也分别在对应位置安装了光电开关BLL和光电开关BRL，作为该电机112的左限位和右限位，并且也可以设置光电开关B-HOME，以用于对该电机112进行原点标记。

如图2所示，横移气缸115可以通过结构件安装在对应的丝杆上，结构件上均安装有挡片，用于触发光电开关121信号。横移气缸115可以沿着丝杠的长度方向(如图1所示的左右方向)移动，横移气缸115上设有磁性开关122，并且磁性开关122可以安装在丝杆的左移末端处，用于监测横移气缸115是否左移到位。纵移气缸114可以为上下移动的气缸，也即该气缸可以带动压条116上下移动，以实现按压电路板的动作。压条116可以通过结构件跨接在纵移气缸114的顶端，纵移气缸114上也可以安装有磁性开关122，以用于监测纵移气缸114是否将压条116顶起。

参照图2，靠近吸盘111左边缘设有五个点压气缸113，靠近吸盘111下侧边缘也设有五个点压气缸113，每个点压气缸113均设有磁性开关122，且每个磁性开关122设于对应的点压气缸113执行端的末端处，用于监测该位置处的点压是否被成功下压。

这里，需要说明的是，横移气缸115可以由同一个电磁阀控制其气路，并进行左右移动控制，从而可以带动压条116左右移动；纵移气缸114可以由同一个电磁阀控制其气路，并进行上下移动控制，从而可以使压条116按压电路板。进一步地，左边缘五个点压气缸113和下边缘五个点压气缸113可以由同一个电磁阀控制其气路，并同时进行上下移动控制。此外，光电开关121信号及磁性开关122信号均可以通过各自的线缆连接，并集中到工作台110的线缆转接处1100，并由此将信号反馈给压板主控模块130。

如图3所示，压板电机112控制模块的两个电机112是通过一根CAN总线与压板主控模块130进行通信的，压板主控模块130通过CAN总线向电机112发送控制命令，同时安装在电机112两端的光电开关121信号要同时把采集的信号反馈给对应电机112和压板主控模块130，从而便于电机112控制及压板主控逻辑控制。

另外，在使用电机112之前可以先对电机112的运行参数进行配置：压板电机112控制模块通过一根CAN总线与压板主控模块130与两个电机112通信。本实施例中压板主控模块130通过CAN总线向电机112发送控制命令，同时安装在电机112两端的光电开关121信号要同时把采集的信号反馈给对应电机112和压板主控模块130，从而便于电机112控制及压板主控逻辑控制。

两个电机112中，其中一个电机112的ID号可以为5，另一个电机112的ID号可以为6。因为电机112具备数字信号输入接口且具有对应配置功能，我们还需要对相应输入信号接口功能进行配置，每个电机112都由S1、S2、S3三个输入接口，本实施例中，我们将每个电机112的左限位信号接入S1，电机112的HOME信号接入S2、电机112的右限位信号接入S3，所以当对应传感器信号有效时电机112也会同时收到此信号，此处为了提高系统工作效率，可以对相应信号进行了配置，例如，当S1信号有效时，电机112进行左限位急停控制；当S2信号有效时，电机112急停且清零编码器数据；当S3信号有效时，电机112进行右限位急停控制。这样，当电机112遇到相应传感器时会自动按照预设方案进行操作，而不需要压板主控模块130进行干预，其执行效率也会大大提高。

此外，在电机112运行过程中，为了防止因传感器异常导致的电机112堵转损坏，还可以配置电机112的堵转急停功能，这样能够对电机112进行有效保护。完成电机112配置以后，可以通过压板电机112控制模块的CAN接口对电机112进行相应控制。

如图3-图5所示，直写式光刻机吸盘压板装置控制方法包括如下步骤：

S10：直写式光刻机吸盘压板装置首次上电后，进行一次电机112初始化工作。这里的电机112初始化包括电机112运行速度设定、电机112运行正方向设定。在本实施例中，以电机112顺时针转动方向为正方向。完成电机112运行速度及运行正方向设定后，压板主控模块130可以通过CAN接口向两个电机112发送一个向正方向运动的全局控制命令，此命令为全局期望编码器位移命令，由此可以控制电机112向原点方向移动，当丝杆结构件上的挡片触发到原点传感器后，电机112的输入接口会收到原点标记信号，电机112会急停并清零编码器数据，同时压板主控模块130也会收到此信号，压板主控模块130会将此信号保存，置位初始化完成状态标志并点亮相应指示灯(例如LED灯)。至此，电机112初始化完成。

S20：直写式光刻机吸盘压板装置初始完成后，上位机模块134可以通过RS485接口向压板主控模块130发送命令进行相应控制。例如电机112初始化命令及压条116定位设置命令，压板主控模块130接收到命令后就会通过CAN接口向电机112发送相关操作命令进行电机112控制。

当电机112运行出现异常时，需要进行一次初始化操作，此时上位机可以发送一条电机112初始化命令，接收到命令后压板主控模块130会按照上一条说明的流程执行一次电机112初始化操作。

当曝光软件读取料号信息并确定电路板尺寸后，会发送一条压条116定位设置命令，接收到命令后压板主控模块130首先会读取纵移气缸114的磁性开关122状态，先确认压条116是否处于抬起状态，由此可以避免因压条116在下压状态而开始左右移动，进而导致在运动过程中划伤吸盘111的吸盘垫。

确认压条116处于抬起状态后，压板主控模块130可以通过CAN接口发送一条全局期望编码器位移命令，同时驱动两个电机112向目标位置运行。与此同时，压板主控模块130在电机112运行过程中会分别针对两个电机112循环发动读取编码器数据命令，当读取的两编码器数据均与上位机设定的数据一致时，即可认定电机112运行到位，此时压板主控模块130会记录电机112运行到位状态。

如图4所示，图4为气缸控制功能框图。电磁阀可以包括第一电磁阀1221、第二电磁阀1222和第三电磁阀1223，其中，压条116左右移动的控制，可以通过与横移气缸115对应的第一电磁阀1221控制；压条116上下移动的控制，可以由与纵移气缸114对应的第二电磁阀1222控制，所有点压控制可以由与点压气缸113对应的第三电磁阀1223控制，压板主控模块130通过数字信号输出接口对对应的电磁阀进行控制。同时，每个运动气缸匹配的磁性开关122均可以经过数字信号输入接口将状态信号反馈给压板主控模块130。

需要说明的是，通过对磁性开关122及气缸气路的配置，系统上电后，纵移气缸114活塞杆默认是抬起状态，横移气缸115的活塞杆默认是右移状态，点压气缸113的活塞杆默认是抬起状态。结合图2可知，纵移气缸114的磁性开关122处于有效状态，横移气缸115的磁性开关122处于无效状态，点压气缸113的磁性开关122处于无效状态。

当电机112带动压条116运行至上位机模块134设定位置后，上位机模块134可通过RS485接口发送压板执行命令，接收到此命令后压板主控模块130首先会读取纵移气缸114的磁性开关122状态。先确认压条116是否处于抬起状态，目的是为了避免压条116是下压状态而在运动过程中撞到电路板右边缘。

确认压条116是抬起状态后，压板主控模块130会通过数字信号输出接口先控制与横移气缸115对应的电磁阀1121动作，横移气缸115带动压条116左移至预定位置，然后左边缘与下边缘的点压气缸113下压后，压板主控模块130会读取横移气缸115的磁性开关122状态。

先确认压条116是否处于左移状态，目的是为了保证后面的压条116下压动作能够将电路板右边缘完全压牢，确认压条116是左移状态后，压板主控模块130会通过数字信号输出接口控制第二电磁阀1222动作，从而完成压板执行操作。

待曝光结束后，上位机模块134发送压板退出命令进行退出操作，此时压板主控模块130会先控制第二电磁阀1222与第三电磁阀1223动作，将纵移气缸及点压气缸抬起，这时压条116抬起，随后压板主控模块130会读取纵移气缸114对应的磁性开关122状态，先确认压条116是否处于抬起状态，目的是为了避免压条116是下压状态而在运动过程中划伤电路板。确认压条116是抬起状态后，压板主控模块130会通过数字信号输出接口控制第一电磁阀1221动作，横移气缸115带动压条116右移，从而完成压板退出操作。

参见图5，图5是直写式光刻机吸盘压板装置控制系统的整体工作流程图，其具体工作流程如下：

系统上电后会进行一列初始化工作，主要包括RS485通信接口初始化，CAN通信初始化，数字信号输入输出接口初始化，最后是压板电机112初始化工作；

初始化完成后会进入主循环程序，主循环程序会循环扫描各传感器状态，并对传感器变化情况进行记录，同时点亮对应指示灯(例如LED灯)；

当上位机通过RS485接口下发相关控制命令，则系统会跳出主循环程序而进入相应服务子程序；

此时，可以判断收到的是否为电机112初始化命令，如果为是，则压板主控模块130会控制电机112完成一次初始化流程，如果为否，则继续判断是否为系统状态读取命令，如果为是，则向上位机反馈一次系统传感器状态，如果为否，则继续判断是否为电机112运行控制命令，如果为是，如前所述，还会判断压条116是否为抬起状态，确认压条116抬起后会控制电机112运行至目标位置，如果压条116未抬起则直接返回主循环，如果不是电机112运行控制命令，则会继续判断是否为压板执行命令，如果为是，则会按照压板执行流程控制磁性开关122进行压板操作，如果为否，则继续判断是否为压板退出命令，如果为是，则会按照压板退出流程控制磁性开关122进行退出操作，如果为否则直接返回主循环程序。

如以上具体实施例所述，本发明一种直写式光刻机吸盘压板装置控制系统可以通过控制纵移气缸114、压条116将翘曲的电路板压平，从而提高了待曝光电路板的平面度，并且以上所述实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (12)

1.一种直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

压板主控模块接收到压条位置信息指令；

电机初始化，设定电机运行速度和运行方向；

压板主控模块接收到电机运行指令，所述电机通过丝杆驱动压条运动到预定位置；

压板主控模块接收到运动气缸运行指令，所述运动气缸驱动所述压条运动以使所述压条压设于电路板的边缘处；

待曝光结束后，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作。

2.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述压板主控模块接收到压条位置信息指令之前，用于检测所述压条位置的位置传感器检测所述压条的位置，当所述压条未处于预定位置时，所述电机初始化。

3.根据权利要求2所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述压板主控模块接收到压条位置信息指令之前、且所述位置传感器检测所述压条的位置之前，对所述压条位置进行初始化设置。

4.根据权利要求2所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，当所述压条处于预定位置时，点亮指示灯，且所述位置传感器实时检测压条是否处于预定位置。

5.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述运动气缸驱动所述压条运动之前，判断所述压条是否处于抬起状态，当所述压条处于抬起状态时，所述运动气缸驱动所述压条运动以使所述压条压设于电路板的边缘处。

6.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，待曝光结束后，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作之前，确认所述压条是否处于抬起状态，当所述压条处于抬起状态时，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作。

7.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，待曝光结束后，所述运动气缸、所述电机驱动所述压条退出操作之前，所述压板主控模块确认所述压条是否处于抬起状态，当所述压条未处于抬起状态时，所述运动气缸驱动所述压条处于抬起状态，所述压板主控模块再次确认所述压条是否处于抬起状态，如此循环。

8.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述直写式光刻机吸盘压板装置还包括光电开关和磁性开关，所述光电开关用于对所述电机进行限位，所述磁性开关用于反馈运动气缸运行位置信息。

9.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述直写式光刻机吸盘压板装置的运动气缸主要包括横移气缸，纵移气缸和点压气缸。所述横移气缸沿所述丝杆可移动，所述纵移气缸与所述横移气缸连接，所述纵移气缸也与所述压条连接，以驱动所述压条沿所述丝杆移动至所述预定位置并进行按压动作。所述点压气缸用于板边的单点按压，点压气缸根据配置不同每个吸盘都配有若干个。

10.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述电机为两个，所述丝杆也为两个，其中一个所述电机设于其对应丝杆的左端，另一个所述电机也设于其对应丝杆的另左端，所述压板主控模块驱动所述电机运行模式为双驱模式，两个所述电机均设置为上电自使能模式。

11.根据权利要求1所述的直写式光刻机吸盘压板装置控制方法，其特征在于，所述电路板具有第一侧边、第二侧边和第三侧边。

所述点压气缸为多个，其中一部分点压气缸为用于点压所述第二侧边，另一部分点压气缸用于点压所述第三侧边，另外的横移气缸与纵移气缸用于驱动压条动作并按压所述第一侧边。

12.一种直写式光刻机吸盘压板装置，其特征在于，包括：

工作台；

吸盘，所述吸盘设于所述工作台，所述吸盘适于吸附电路板；

电机，所述电机设于所述工作台；

丝杆，所述丝杆与所述电机连接，所述电机驱动所述丝杆转动；

运动气缸，包括横移气缸、纵移气缸及点压气缸，所述横移气缸设于所述丝杆，所述横移气缸沿所述丝杆移动，所述纵移气缸一端连接横移气缸，另一端连接压条，用于按压控制；

压条，所述压条与所述纵移气缸的执行端连接，所述横移气缸移动以带动所述压条运动至所述电路板的边缘位置，所述纵移气缸移动以带动所述压条进行按压动作；

点压气缸，所述点压气缸连接有单点按压结构，并执行上下移动，点压所述电路板的第二侧边及第三侧边。

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