CN109856928A - 一种直写光刻机吸盘压板装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆。前挂板组件和后挂板组件均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸。压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。本发明能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。
Description
技术领域
本发明涉及直写光刻机吸盘技术领域，具体涉及一种直写光刻机吸盘压板装置。
背景技术
直写光刻机吸盘是光刻机的重要组成部分。吸盘的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素对PCB制版的实际生产制造有着重要影响。
在使用直写光刻机进行PCB制版时，由于光刻机自身焦深有限，所以都会要求曝光面有较高的平面度。除了对吸盘等有较高的平面要求外，对PCB板材也有平面度要求。但是由于种种原因，PCB板材或多或少会有边缘翘曲问题，导致仅仅依靠吸盘的吸附力无法将PCB板材吸平。
发明内容
本发明的目的在于提供一种直写光刻机吸盘压板装置，该装置能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。
为实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：
一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构。
具体地说，所述固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板。
所述移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆；所述前挂板组件和后挂板组件的结构相同，均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸；所述压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。
进一步的，所述第一气缸的进气口和出气口处分别安装有一第一接头。
进一步的，所述挂板的外壁上安装有导轨组件；所述导轨组件包括安装在挂板外壁上的导轨以及与导轨滑动配合的滑块。
进一步的，所述滚珠丝杠的两端分别通过丝杠固定侧支座和丝杠支撑侧支座安装在挂板的外壁上，且滚珠丝杠的螺杆的左端通过联轴器与电机的输出轴相连。
进一步的，所述第二气缸的进气口和出气口处分别设有一与气管相连的第二接头。
进一步的，所述挂板左右两端的内壁上分别安装有一传感器。
进一步的，所述挂板外壁上安装有拖链；所述拖链的两端分别通过拖链前支撑和拖链后支撑安装在挂板上；所述挂板外壁上还安装有气管压板。
进一步的，所述导轨的左右两端分别设有一导轨挡块；所述导轨挡块安装在挂板的外壁上。
进一步的，所述滑块上安装有连接件；所述连接件的一端与滚珠丝杠的螺母相连，另一端与第二气缸的底部相连。
进一步的，所述连接件上设有感应片。
由以上技术方案可知，本发明能够将翘曲的PCB板材压平，使PCB板材可以正常生产、曝光，提高光刻机的良率和实用性，降低对PCB板材平整度的要求。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的俯视图；
图3是固定点压机构的结构示意图；
图4是固定点压机构的安装结构示意图；
图5是移动压杆机构的结构示意图；
图6是移动压杆机构的侧视图。
其中：
100、固定点压机构，101、第一气缸，102、压板，103、第一接头，200、前挂板组件，201、挂板，202、电机，203、联轴器，204、丝杠固定侧支座，205、滚珠丝杠的螺杆，206、滚珠丝杠的螺母，207、丝杠支撑侧支座，208、传感器，209、导轨挡块，210、导轨，211、连接件，212、第二气缸，213、感应片，214、拖链后支撑，215、气管压板，216、拖链，217、拖链前支撑，218、气管，219、第二接头，300、后挂板组件，400、压杆，500、吸盘，600、PCB板材。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明：
如图1-图2所示的一种直写光刻机吸盘压板装置，包括安装在吸盘500上的若干固定点压机构100和安装在吸盘500上的移动压杆机构。
如图3和图4所示，所述固定点压机构100包括贯穿安装在吸盘500左端部的第一气缸101和安装在第一气缸101活塞杆顶部的压板102。所述第一气缸的进气口和出气口处分别安装有一第一接头103。固定点压机构100设置在吸盘500的左侧边缘开孔处，共有5个。5个固定点压机构之间的间距是固定的，从前向后依次是171mm，126mm，126mm和126mm。本实施例中所述的前后、左右和上下方向，指说明书附图中的方向。第一气缸101的活塞杆从吸盘的顶部伸出后，将吸盘安装在第一气缸101活塞杆的顶部。在第一气缸101的带动下，压板102能够上下运动，从PCB板材600边缘的上方将PCB板材600压住。压板102上下运动的最大范围为10mm，压板102下压时压在PCB板材600上的宽度为定值2.5mm。
如图5和图6所示，所述移动压杆机构包括对称安装在在吸盘500的前后两侧的侧壁上的前挂板组件200和后挂板组件300以及连接在前挂板组件200与后挂板组件300之间的压杆400。压杆400横跨吸盘500。所述前挂板组件200和后挂板组件300的结构相同，均包括挂板201、安装在挂板201左端部外壁上的电机202、与电机202的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母206相连的第二气缸212。滚珠丝杠包括螺杆205和螺母206。所述压杆400的前后两端分别与前挂板组件200中的第二气缸的活塞杆、后挂板组件300中的第二气缸的活塞杆相连。所述滚珠丝杠的两端分别通过丝杠固定侧支座204和丝杠支撑侧支座207安装在挂板左右两端201的外壁上，且滚珠丝杠的螺杆205的左端通过联轴器与电机202的输出轴相连。
前挂板组件200中的第二气缸和后挂板组件300中的第二气缸，可以在气路的控制下，同步上升和下压，这样就可以带动压杆400作出上升和下压的动作。在前挂板组件中的第二气缸和后挂板组件中的第二气缸的同步驱动下，压杆能够上下运动，压杆400可以在吸盘上方上升和下压10mm。
当电机202的输出轴转动时，滚珠丝杠中的螺杆205随电机202的输出轴一起转动，进而通过与螺杆205螺纹配合的螺母206，将回转运动转化为直线运动，使滚珠丝杠中的螺母206左右移动。
进一步的，所述挂板201的外壁上安装有导轨组件；所述导轨组件包括安装在挂板201外壁上的导轨210以及与导轨210滑动配合的滑块。所述导轨210的左右两端分别设有一导轨挡块209。导轨挡块209，用于防止滑块从导轨210上滑落。所述导轨挡块209安装在挂板201的外壁上。所述滑块上安装有连接件211；所述连接件211的一端与滚珠丝杠的螺母206相连，另一端与第二气缸212的底部相连。所述连接件211，一方面用于安装固定第二气缸212，另一方面将第二气缸212与滚珠丝杠的螺母206连接在一起。当滚珠丝杠的螺母206沿滚珠丝杠的螺杆205左右移动时，连接件211、与连接件211固定连接的第二气缸212以及与第二气缸212固定相连的压杆400，将一起移动。由于连接件211还和滑块连接在一起，因此，当连接件211运动时，受到滑块与导轨210的限位作用，连接件211、与连接件211固定连接的第二气缸212以及与第二气缸212固定相连的压杆400，只能够沿着左右水平布置的导轨210左右移动，而不会发生其他方向上的移动。滑块和导轨210的设置，对第二气缸212的运动方向起到了限位作用。电机201、滚珠丝杠以及导轨组件的设置，实现了压杆400的左右移动，压杆左右移动的范围为320mm。第二气缸的设置，实现了压杆的上下移动。前挂板组件和后挂板组件中的电机，通过电控系统实现同步驱动。
进一步的，所述挂板201左右两端的内壁上分别安装有一传感器208。所述连接件211上设有感应片213。当感应片靠近左端或右端的传感器时，说明压杆已经到达起点或终点，需要向相反方向运动。感应片和传感器的设置，用于检测压杆的运动方向进行控制。
进一步的，所述第二气缸212的进气口和出气口处分别设有一第二接头219。所述第二接头219均连接有气管218。所述挂板201外壁上安装有拖链216；所述拖链216的两端分别通过拖链前支撑217和拖链后支撑214安装在挂板201上；所述挂板201外壁上还安装有气管压板215。所述拖链216，用于约束气管218的走向，使气管218在随第二气缸212上下运动时保持稳定。所述气管压板215，用于确保气管218在随第二气缸212上下运动时的稳定性。
以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。
Claims (10)
1.一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：包括安装在吸盘上的若干固定点压机构和安装在吸盘上的移动压杆机构；
所述固定点压机构包括贯穿安装在吸盘左端部的第一气缸和安装在第一气缸活塞杆顶部的压板；
所述移动压杆机构包括对称设置在吸盘前后两侧的前挂板组件和后挂板组件以及连接在前挂板组件与后挂板组件之间的压杆；所述前挂板组件和后挂板组件的结构相同，均包括挂板、安装在挂板左端部外壁上的电机、与电机的输出轴相连的滚珠丝杠以及与滚珠丝杠的螺母相连的第二气缸；所述压杆的前后两端分别与前挂板组件、后挂板组件的第二气缸的活塞杆相连。
2.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述第一气缸的进气口和出气口处分别安装有一第一接头。
3.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述挂板的外壁上安装有导轨组件；所述导轨组件包括安装在挂板外壁上的导轨以及与导轨滑动配合的滑块。
4.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述滚珠丝杠的两端分别通过丝杠固定侧支座和丝杠支撑侧支座安装在挂板的外壁上，且滚珠丝杠的螺杆的左端通过联轴器与电机的输出轴相连。
5.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述第二气缸的进气口和出气口处分别设有一与气管相连的第二接头。
6.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述挂板左右两端的内壁上分别安装有一传感器。
7.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述挂板外壁上安装有拖链；所述拖链的两端分别通过拖链前支撑和拖链后支撑安装在挂板上；所述挂板外壁上还安装有气管压板。
8.根据权利要求1所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述导轨的左右两端分别设有一导轨挡块；所述导轨挡块安装在挂板的外壁上。
9.根据权利要求3所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述滑块上安装有连接件；所述连接件的一端与滚珠丝杠的螺母相连，另一端与第二气缸的底部相连。
10.根据权利要求9所述的一种直写光刻机吸盘压板装置，其特征在于：所述连接件上设有感应片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910262132.4A Pending CN109856928A (zh) | 2019-04-02 | 2019-04-02 | 一种直写光刻机吸盘压板装置 |
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