JP2008034620A

JP2008034620A - 基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法

Info

Publication number: JP2008034620A
Application number: JP2006206265A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Sato; 裕之佐藤; Naoki Fukuyoshi; 直樹福吉; Tokio Serikawa; 時雄芹川; Kazuhiro Hara; 和弘原; Shinji Suga; 慎司菅
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 2006-07-28
Filing date: 2006-07-28
Publication date: 2008-02-14

Abstract

【課題】実装基板の検査が完了してから次の実装基板の検査を行うまでの時間を短縮して生産性の向上が図れる基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を提供する。
【解決手段】複数の基板を順次検査するための基板検査装置１であって、基板を交換するための基板交換エリアＳ１及び基板を検査するための検査エリアＳ２を有し、基板交換エリアに互いに離間して配置され基板を搬送するための第１ステージ５及び第２ステージ６と、第１ステージ及び第２ステージを独立に駆動して基板交換エリアと検査エリアとをそれぞれ移動可能にする駆動手段９，１０と、駆動手段を制御する制御手段１１，１２と、基板が検査エリアに搬送された際に基板を検査する検査手段１３，２３とを備えた構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法に係り、特に、実装基板の外観検査を行うための半自動型の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法に関するものである。

電子部品がプリント基板等の基板に実装された、所謂、実装基板の外観検査を行うための基板検査装置として、一般的に、自動型の基板検査装置と半自動型の基板検査装置とがある。
自動型の基板検査装置は、インライン型の装置として製造ラインに組み込むことができるので、一般的に、少品種多量生産に適している。
一方、半自動型の基板検査装置は、実装基板の取り付け及び取り外しを作業者が手動で行うため、自動型の基板検査装置に対して生産性においては劣るが、品種切り替えの際の段取りが容易であるため、一般的に、多品種少量生産に適している。
また、半自動型の基板検査装置は、一般的に、設備コストが自動型の基板検査装置に比べて安価であるため、試作用基板の基板検査装置としても広く用いられている。

このような半自動型の基板検査装置の一例が特許文献１に記載されている。
特許文献１に記載されているような半自動型の基板検査装置を用いた場合、通常、次の手順に従って検査を行う。

まず、基板取り付け位置に移動したテーブルに実装基板を載置し、次にこの実装基板をテーブルと共に検査位置まで移動させて検査した後、テーブルと共に先ほどの基板取り付け位置まで移動させる。その後、検査が完了した実装基板を取り外して次に検査する実装基板を取り付けて、上述の作業を繰り返す。
ここで、実装基板の取り付け及び取り外しは作業者が行い、テーブルの移動及び実装基板の検査は予め設定されたプログラムによって基板検査装置が自動で行う。
特開２００４−２２６１２９号公報

しかしながら、特許文献１に記載されているような半自動型の基板検査装置では、実装基板の検査が終了して次の実装基板の検査を行うまでに、テーブルと共に実装基板が基板取り付け位置まで移動する時間、作業者がこの実装基板を取り外し次に検査を行う実装基板を取り付ける時間、及び実装基板がテーブルと共に検査位置まで移動する時間が必要となる。
従って、実装基板の検査が終了してから次の実装基板を検査するまでに上述した時間がかかるため、この時間が生産性を悪化させる原因となっておりその改善が望まれる。

また、特許文献１に記載されているような半自動型の基板検査装置では、テーブルに対して実装基板が非常に小さい場合、例えば、テーブルの面積に対する実装基板の面積が２分の１以下の場合、実装基板を検査する時間に対して実装基板の検査が終了してから次の実装基板を検査するまでの時間の比率がさらに大きくなるため、より生産性を悪化させる原因となっておりその改善が望まれる。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、実装基板の検査が完了してから次の実装基板の検査を行うまでの時間を短縮して生産性の向上が図れる基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本願各発明は次の手段を有する。
１）複数の基板（５０）を順次検査するための基板検査装置であって、前記基板を交換するための基板交換エリア（Ｓ１）、及び、前記基板を検査するための検査エリア（Ｓ２）を有し、前記基板交換エリアに互いに離間して配置された第１のステージ（５）及び第２のステージ（６）と、前記第１のステージに固定されて前記基板を支持する第１のテーブル（２５）と、前記第２のステージに固定されて前記基板を支持する第２のテーブル（２７）と、前記第１のステージ及び第２のステージを、独立に駆動して、前記基板交換エリアと前記検査エリアとの間でそれぞれ移動可能にする駆動手段（９，１０）と、該駆動手段を制御する制御手段（１１，１２）と、前記駆動手段を前記制御手段で制御して前記検査エリアに搬送した前記基板を検査する検査手段（１３，２３）と、を備えたことを特徴とする基板検査装置（１）である。
２）１）項記載の基板検査装置を用いた基板検査方法であって、前記基板交換エリアに前記第１のステージと共に配置された前記第１のテーブルで第１の基板（５０ａ）を支持し、前記基板交換エリアに前記第２のステージと共に配置された前記第２のテーブルで第２の基板（５０ｂ）を支持する基板支持工程と、該基板支持工程後に、前記駆動手段を前記制御手段で制御して、前記第１の基板を前記第１のテーブル及び前記第１のステージと共に前記検査エリアに移動させ、前記第２の基板を前記第２のテーブル及び前記第２のステージと共に前記検査エリアに移動させる第１の移動工程と、該第１の移動工程後に、前記第１の基板を前記検査手段により検査する第１の検査工程と、該第１の検査工程後に、前記駆動手段を前記制御手段で制御して、検査が完了した前記第１の基板を前記第１のテーブル及び第１のステージと共に前記基板交換エリアに移動させる第２の移動工程と、前記第２の移動工程後に、前記第１の基板を前記第１のテーブルから取り外し該第１のテーブルで第３の基板（５０ｃ）を支持する基板交換工程と、該基板交換工程後に、前記駆動手段を前記制御手段で制御して、前記第３の基板を前記第１のテーブル及び第１のステージと共に前記検査エリアに移動させる第３の移動工程と、前記第１の検査工程後に、前記第２の基板を前記検査手段により検査する第２の検査工程と、を有し、前記第２の移動工程から前記第３の移動工程までを前記第２の検査工程の間に行うことを特徴とする基板検査方法である。
３）複数の基板（５０，７０）を順次検査するための基板検査装置であって、前記基板を交換するための基板交換エリア（Ｓ１）、及び、前記基板を検査するための検査エリア（Ｓ２）を有し、前記基板交換エリアに互いに離間して配置された第１のステージ（５）及び第２のステージ（６）と、前記基板を支持すると共に前記第１のステージに着脱可能とされた第１のテーブル（２５）と、前記基板を支持すると共に前記第２のステージに着脱可能とされた第２のテーブル（２７）と、前記第１のステージと前記第２のステージとに亘って配置され、前記基板を支持すると共に前記第１のステージに着脱可能とされた第３のテーブル（４１）と、前記第１のステージ及び第２のステージを、独立に駆動して、前記基板交換エリアと前記検査エリアとの間でそれぞれ移動可能にする駆動手段（９，１０）と、該駆動手段を制御する制御手段（１１，１２）と、前記駆動手段を前記制御手段で制御して前記検査エリアに搬送した前記基板を検査する検査手段（１３，２３）と、を有し、前記第２のステージは、前記第３のテーブルを前記第１のステージに取り付けた際に前記第３のテーブルを支持するテーブル支持部（６ａ）を備え、前記第３のテーブルは、前記テーブル支持部に摺動自在に支持される摺動機構（４３）を備えたことを特徴とする基板検査装置（１）である。

本発明によれば、実装基板の検査が完了してから次の実装基板の検査を行うまでの時間を短縮して生産性の向上が図れるという効果を奏する。

本発明の実施の形態を、好ましい実施例により図１〜図１６を用いて説明する。
図１は本発明の基板検査装置の実施例を説明するための平面図及び側面図である。
図２は実施例に用いる実装基板を説明するための平面図及び側面図である。
図３は本発明の基板検査装置の実施例を説明するための平面図及び側面図である。
図４は本発明の基板検査装置の実施例を説明するための断面図である。
図５〜図１１は本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。

＜実施例＞
まず、本発明の基板検査装置の実施例を図１を用いて説明する。
図１は本発明の基板検査装置の実施例を説明するための図であり、（ａ）は模式的平面図、（ｂ）は模式的側面図である。
ここで、図１（ａ）、（ｂ）における左右方向をｘ方向、図１（ａ）における上下方向をｙ方向、図１（ｂ）における上下方向をｚ方向とそれぞれ称することとする。

基板検査装置１は、後述する第１の実装基板５０及び第２の実装基板７０の取り付け及び取り外しを行うための基板交換エリアＳ１と、第１の実装基板５０及び第２の実装基板７０の検査を行うための検査エリアＳ２とを有し、主として、基台３、第１のステージ５、第１のステージ５を支持する第１のレール部７、第１のステージ５を第１のレール部７に沿って移動させる第１の駆動手段９、第１の駆動手段９を制御する第１の制御部１１、第２のステージ６、第２のステージ６を支持する第２のレール部８、第２のステージ６を第２のレール部８に沿って移動させる第２の駆動手段１０、第２の駆動手段１０を制御する第２の制御部１２、第１の実装基板５０及び第２の実装基板７０を検査する検査部１３、検査部１３を支持する第３のレール部１５、第３のレール部１５を基台３に固定する支柱１７、検査部１３を第３のレール部１５に沿って移動させる第３の駆動手段１９、第３の駆動手段１９を制御する第３の制御部２１、及び検査部１３で得た情報を処理する処理部２３により構成されている。

第１のレール部７及び第２のレール部８は、所定の間隙を有して基台３に固定されている。
第１のステージ５は第１のレール部７で支持されて第１の駆動手段９に接続されており、第１の制御部１１で第１の駆動手段９を制御することによって第１のステージ５を第１のレール部７に沿ってｙ方向の任意の位置に移動させることができる。
また、第２のステージ６は第２のレール部８で支持されて第２の駆動手段１０に接続されており、第２の制御部１２で第２１の駆動手段１０を制御することによって第２のステージ６を第２のレール部８に沿ってｙ方向の任意の位置に移動させることができる。
即ち、第１のステージ５及び第２のステージ６をそれぞれ独立してｙ方向の任意の位置に移動させることができる。

また、第２のステージ６は、側面よりも突出しその表面が滑らかな平坦面であるテーブル支持体６ａを備えているが、このテーブル支持体６ａの機能については後述することとする。
実施例では、第１のステージ５の長さＬ５を８ｃｍ，幅Ｗ５を１３ｃｍとし、第２のステージ６の長さＬ６を８ｃｍ，幅Ｗ６を１３ｃｍとし、第１のステージ５と第２のステージ６との間隙幅ｄ６を５ｃｍとした。

検査部１３は第３のレール部１５で支持されて第３の駆動手段１９に接続しており、第３のレール部１５は支柱１７を介して基台３に固定されている。
そして、第３の制御部２１で第３の駆動手段１９を制御することによって検査部１３を第３のレール部１５に沿ってｘ方向の任意の位置に移動させることができる。
また、検査部１３は、主として、第１の実装基板５０及び第２の実装基板７０における検査領域を画像として検出するカメラ部１３ａと、鮮明な画像を得るためにこの検査領域に光を照射する照明部１３ｂとにより構成されている。
また、カメラ部１３ａの倍率を任意の倍率にすることができるので、検査領域を任意の範囲に設定することができる。

次に、上述した基板検査装置１を用いて第１の実装基板５０を検査する検査方法について図１〜図１１を用いて説明する。

まず、図２に示す第１の実装基板５０を複数準備する。
第１の実装基板５０は、プリント基板５２の少なくとも一面側にチップ部品５４やＱＦＰ（Quad Flat Package）５６等の電子部品が実装されたものである。
チップ部品５４の電極部５４ａはプリント基板５２の一面側に形成されたランド部５２ａに半田５８によって電気的に接続されており、ＱＦＰ５６の端子部５６ａはプリント基板５２の一面側に形成されたランド部５２ｂに半田５８によって電気的に接続されている。
また、プリント基板５２に実装されている他の電子部品については説明を省略する。
第１の実装基板５０（プリント基板５２）の長さＬ５０は２０ｃｍであり、幅Ｗ５０は１５ｃｍである。

次に、図３に示すように、第１の実装基板５０が載置される第１のテーブル２５及び第２のテーブル２７を準備し、第１のテーブル２５を上述した第１のステージ５に固定し、第２のテーブル２７を上述した第２のステージ６に固定する。
実施例では、第１のテーブル２５の長さＬ２５を２５ｃｍ，幅Ｗ２５を１７ｃｍとし、第２のテーブル２７の長さＬ２７を２５ｃｍ，幅Ｗ２７を１７ｃｍとした。

ここで、第１のテーブル２５を第１のステージ５に固定する方法を図３及び図４を用いて詳細に説明する。
なお、第２のテーブル２７を第２のステージ６に固定する方法は、以下に説明する第１のテーブル２５を第１のステージ５に固定する方法と同じである。
図３は第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）を第１のステージ５（第２のステージ６）に固定する方法を説明するための図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は（ａ）中のＡ−Ａ線における断面図である。
図４は図３（ａ）中の矢視Ｑ１における断面図であり、（ａ）は第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）が第１のステージ５（第２のステージ６）に固定されていない状態を示し、（ｂ）は固定された状態を示している。

図３及び図４に示すように、第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）は、固定クランプ３１、可動クランプ３３、及びこの可動クランプ３３を移動させるプッシャー３５を備えている。
また、図３（ａ）及び図４に示すように、第１のステージ５（第２のステージ６）は、第１のレール部７（第２のレール部８）に支持された本体部３７と、本体部３７と一体に形成されたテーブル固定部３９とを備えている。
そして、テーブル固定部３９と固定クランプ３１とが接するそれぞれの端面、及び、テーブル固定部３９と可動クランプ３３とが接するそれぞれの端面はテーパ状になっている。

次に、図４（ａ）に示すように、固定クランプ３１の端面をテーブル固定部３９の一方の端面に当接させて第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）をテーブル固定部３９に載置する。
その後、図４（ｂ）に示すように、プッシャー３５により可動クランプ３３を固定クランプ３１に接近する方向に移動させてテーブル固定部３９の他方の端面に当接させることにより、固定クランプ３１及び可動クランプ３３がテーブル固定部３９を挟持するため、第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）は第１のステージ５（第２のステージ６）に固定されて図３に示す状態になる。

また、プッシャー３５により可動クランプ３３を固定クランプ３１とは反対の方向に移動させることより、第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）を第１のステージ５（第２のステージ６）から取り外すことができる。
従って、第１のテーブル２５（第２のテーブル２７）は第１のステージ５（第２のステージ６）に対して着脱可能である。

次に、第１のテーブル２５が第１のステージ５に固定され第２のテーブル２７が第２のステージ６に固定された基板検査装置１を用いて、前述した複数の第１の実装基板５０を順次検査する検査方法を図５〜図９を用いて説明する。
ここで、図５〜図９における左右方向をｘ方向、上下方向をｙ方向とそれぞれ称することとする。
また、便宜上、検査が行われる最初の第１の実装基板を５０ａ、２番目を５０ｂ、３番目を５０ｃ、以下、５０ｄ，５０ｅ，．．．とそれぞれ符合を付す。

図５に示すように、第１のテーブル２５及び第２のテーブル２７は第１のステージ５及び第２のステージ６と共に基板交換エリアＳ１に移動しており、第１のテーブル２５に最初（１番目）に検査する第１の実装基板５０ａを載置し、第２のテーブル２７に次（２番目）に検査する第１の実装基板５０ｂを載置する。
また、第１のテーブル２５及び第２のテーブル２７に第１の実装基板５０を保持するための保持手段をそれぞれ設ける構成としてもよい。

次に、図６に示すように、１番目の第１の実装基板５０ａを第１のテーブル２５及び第１のステージ５と共に検査エリアＳ２に移動させ、２番目の第１の実装基板５０ｂを第２のテーブル２７及び第２のステージ６と共に検査エリアＳ２に移動させる。

その後、検査部１３をｘ方向に、第１のテーブル２５を第１のステージ５と共にｙ方向にそれぞれ移動させて、第１の実装基板５０ａを検査領域ごとに検査する。

ここで、第１の実装基板５０ａの検査方法について詳述する。
なお、２番目以降の第１の実装基板５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，．．．の検査方法も、以下に説明する１番目の第１の実装基板５０ａの検査方法と同じである。

例えば、以下に説明する検査方法により、第１の実装基板５０ａに実装されているチップ部品５４の位置ずれの良否判定を行うことができる。

第１の実装基板５０ａのチップ部品５４が実装されている領域上に検査部１３が位置するように、検査部１３をｘ方向に、第１のテーブル２５を第１のステージ５と共にｙ方向にそれぞれ移動させる。
チップ部品５４が実装されている領域である検査領域は上述した照明部１３ｂから光が照射されているため、カメラ部１３ａでこの検査領域を鮮明な画像として検出することができる。
そして、カメラ部１３ａで検出された画像は、処理部２３で予め設定された判定基準に基づいて検査される。
例えば、図１１（ａ）に示すように所定範囲Ｇ１内にチップ部品５４の外形が完全に含まれていれば“良”と判定し、図１１（ｂ）に示すように所定範囲Ｇ１内にチップ部品５４の外形が完全に含まれていなければ“否”と判定する。

また、以下に説明する検査方法により、第１の実装基板５０ａに実装されているＱＦＰ５６の半田付けの良否判定を行うことができる。

第１の実装基板５０ａのＱＦＰ５６が実装されている領域上に検査部１３が位置するように、検査部１３をｘ方向に、第１のテーブル２５を第１のステージ５と共にｙ方向にそれぞれ移動させる。
ＱＦＰ５６が実装されている領域である検査領域は上述した照明部１３ｂから光が照射されているため、カメラ部１３ａでこの検査領域を鮮明な画像として検出することができる。
そして、カメラ部１３ａで検出された画像は、処理部２３で予め設定された判定基準に基づいて検査される。
例えば、図１１（ｃ）に示すように所定範囲Ｇ２を２値化画像として処理し、半田がブリッジして端子間でショート不良となっている箇所があればその箇所を特定して“否”と判定し、ショート不良となっている箇所がなければ“良”と判定する。

そして、１番目の第１の実装基板５０ａに上述した検査を行った後、図７に示すように、この１番目の第１の実装基板５０ａを第１のテーブル２５及び第１のステージ５と共に基板交換エリアＳ１に移動させると共に、検査部１３をｘ方向に、第２のテーブル２７を第２のステージ６と共にｙ方向にそれぞれ移動させて、次(２番目)の第１の実装基板５０ｂを検査領域ごとに検査する。
この２番目の第１の実装基板５０ｂの検査が行われている間に、作業者は検査が完了した１番目の第１の実装基板５０ａを第１のテーブル２５から取り外し、この第１のテーブル２５に３番目の第１の実装基板５０ｃを載置する。

その後、図８に示すように、この３番目の第１の実装基板５０ｃを第１のテーブル２５及び第１のステージ５と共に検査エリアＳ２に移動させる。

そして、図９に示すように、検査が完了した２番目の第１の実装基板５０ｂを第２のテーブル２７及び第２のステージ６と共に基板交換エリアＳ１に移動させると共に、検査部１３をｘ方向に、第１のテーブル２７を第１のステージ５と共にｙ方向にそれぞれ移動させて、次(３番目)の第１の実装基板５０ｃを検査領域ごとに検査する。
この３番目の第１の実装基板５０ｃの検査が行われている間に、作業者は検査が完了した２番目の第１の実装基板５０ｂを第２のテーブル２７から取り外し、この第２のテーブル２７に４番目の第１の実装基板５０ｄを載置する。

その後、図１０に示すように、この４番目の第１の実装基板５０ｄを第２のテーブル２７及び第２のステージ６と共に検査エリアＳ２に移動させる。

さらに、上述した作業を繰り返して、４番目以降の第１の実装基板５０ｄ，５０ｅ，５０ｆ，．．．を順次検査する。

上述したように、本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法によれば、実装基板が検査されているときに、次に検査される実装基板が検査エリアで待機しているため、従来では実装基板の検査が終了して次の実装基板の検査を行うまでに必要であった、実装基板がテーブルと共に基板取り付け位置まで移動する時間、作業者がこの実装基板を取り外し次に検査を行う実装基板を取り付ける時間、及び実装基板がテーブルと共に検査位置まで移動する時間を削減することができるので、生産性を向上させることができる。

＜変形例＞
次に、上述した実施例の変形例について図１２〜図１６を用いて説明する。
変形例は、上述した基板検査装置１を用いて実施例の第１の実装基板５０よりも大きい第２の実装基板７０を検査するものである。
図１２は実施例の変形例に用いる実装基板を説明するための図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
図１３は実施例の変形例に用いるテーブルを説明するための図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
図１４〜図１６は実施例の変形例における実装基板の検査方法を説明するための平面図である。
なお、実施例と同じ構成部には実施例と同じ符号を付すこととする。

まず、図１２に示す第２の実装基板７０を準備する。
第２の実装基板７０の少なくとも一面側には、前述した第１の実装基板５０と同様にチップ部品５４やＱＦＰ５６等の電子部品が実装されている。
第２の実装基板７０の長さＬ７０は２０ｃｍであり、幅Ｗ７０は３３ｃｍである。

次に、図１３に示すように、第２の実装基板７０が載置される第３のテーブル４１を準備する。
第３のテーブル４１は、第３のテーブル４１を第１のステージ５に固定した際に、第２のステージ６のテーブル支持体６ａと接触する凸部４３と、第２のステージ６の表面と接触しないように設けられた凹部４５とを有している。
凸部４３の構成材料として、摩擦抵抗の小さい材料、例えば、ＰＯＰ(Photo-Oxidation Induced Poly-Condensation：光酸化誘起重縮合)樹脂，ＭＣナイロン(モノマーキャストナイロン)，ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の樹脂系材料やオイルレスメタルを用いることができる。
実施例では、第３のテーブル４１の長さＬ４１を２５ｃｍ，幅Ｗ４１を３５ｃｍとした。

そして、この第３のテーブル４１を第１のステージ５に固定する。
第３のテーブル４１を第１のステージ５に固定する方法は、前述した第１のテーブル２５を第１のステージ５に固定する方法と同じであり、第３のテーブル４１は第１のステージ５に対して着脱可能である。
従って、第３のテーブル４１は、第１のステージ５に固定され、第２のステージ６には固定されずに第３のテーブル４１の凸部４３が第２のステージ６のテーブル支持体６ａに接触して支持された状態となっている。

次に、第３のテーブル４１が第１のステージ５に固定されると共に第２のステージ６に支持された基板検査装置１を用いて第２の実装基板７０を検査する検査方法を図１４〜図１６を用いて説明する。
ここで、図１４〜図１６における左右方向をｘ方向、上下方向をｙ方向とそれぞれ称することとする。

図１４に示すように、第３のテーブル４１は第１のステージ５及び第２のステージ６と共に基板交換エリアＳ１に移動しており、この第３のテーブル４１に第２の実装基板７０を載置する。
また、第３のテーブル４１に第２の実装基板７０を保持するための保持手段を設ける構成としてもよい。

次に、図１５に示すように、第２の実装基板７０が載置された第３のテーブル４１を第１のステージ５及び第２のステージ６と共に検査エリアＳ２に移動させる。
第３のテーブル４１を移動させる際、第１のステージ５の移動速度及び第２のステージ６の移動速度のばらつきにより移動速度の差が生じた場合に、第２のステージ６のテーブル支持体６ａで支持されている第３のテーブル４１の凸部４３は摩擦係数の小さい材料であるので、第１のステージ５と第２のステージ６との移動速度の差に応じてこの凸部４３がテーブル支持体６ａの表面上を摺動するため、第３のテーブル４１と第２のステージ６とに応力ひずみが生じることを防止できる。

その後、検査部１３をｘ方向に、第３のテーブル４１を第１のステージ５及び第２のステージ６と共にｙ方向にそれぞれ移動させて、第２の実装基板７０を検査領域ごとに検査する。
第２の実装基板７０の検査方法は、前述した第１の実装基板５０の検査方法と同じである。

そして、第２の実装基板７０の検査を行った後、図１６に示すように、この検査が完了した第２の実装基板７０が載置された第３のテーブル４１を第１のステージ５及び第２のステージ６と共に基板交換エリアＳ１に移動させる。

さらに、上述した作業を繰り返して第２の実装基板７０を順次検査する。

上述したように、本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法によれば、２つのステージを用いて各ステージよりも大きい実装基板を検査することができる。
前述したように半自動型の基板検査装置は試作用の基板検査装置としても広く用いられており、外形サイズが異なる実装基板、例えば各ステージよりも大きい実装基板を検査することもできるので、外形サイズの許容範囲を広くすることができるため、より多品種の実装基板に対応することができる。

本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。

例えば、実施例では、１つの基板検査装置に２つのステージを設けた構成としたが、これに限定されるものではなく、１つの基板検査装置に３つ以上のステージを設けた構成としてもよい。

また、実施例では、実装基板の検査方法として、電子部品であるチップ部品及びＱＦＰの外観検査方法を一例として説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、電子部品を実装する前のプリント基板の外観検査や、実装基板及びプリント基板の電気検査等を行うこともできる。

また、変形例では、第２のステージ６のテーブル支持体６ａと接触する第３のテーブル４１の凸部４３を摩擦抵抗の小さい材料により構成したが、これに限定されるものではない。
例えば、図１７に示すように、この凸部４３をカムフロア４７としてもよい。
カムフロア４７は、主として、第３のテーブル４１に固定された固定部４７ａ、この固定部４７ａに固定された支持部４７ｂ、及びこの支持部４７ｂに支持されて回転自在とされたローラー部４７ｃにより構成されている。
このカムフロア４７を備えた第３のテーブル４１を第１のステージ５に固定した際、カムフロア４７のローラー部４７ｃは第２のステージ６のテーブル支持体６ａと接触して支持される。
そして、第３のテーブル４１を第１のステージ５及び第２のステージ６と共に移動した際、第１のステージ５の移動速度及び第２のステージ６の移動速度のばらつきにより移動速度の差が生じた場合に、第１のステージ５と第２のステージ６との移動速度の差に応じてローラー部４７ｃがテーブル支持体６ａ上を転がるため、第３のテーブル４１と第２のステージ６とに生じる応力ひずみを変形例よりもさらに低減させることができる。

本発明の基板検査装置の実施例を説明するための平面図及び側面図である。実施例に用いる実装基板を説明するための平面図及び側面図である。本発明の基板検査装置の実施例を説明するための平面図及び側面図である。本発明の基板検査装置の実施例を説明するための断面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。本発明の基板検査装置及びこの基板検査装置を用いた基板検査方法を説明するための平面図である。実施例の変形例に用いる実装基板を説明するための平面図及び断面図である。実施例の変形例に用いるテーブルを説明するための平面図及び断面図である。実施例の変形例における実装基板の検査方法を説明するための平面図である。実施例の変形例における実装基板の検査方法を説明するための平面図である。実施例の変形例における実装基板の検査方法を説明するための平面図である。実施例の他の変形例を説明するための断面図である。

符号の説明

１基板検査装置、３基台、５，６ステージ、６ａテーブル支持体、７，８，１５レール部、９，１０，１９駆動手段、１１，１２，２１制御部、１３検査部、１３ａカメラ部、１３ｂ照明部、１７支柱、２３処理部、２５，２７，４１テーブル、３１，３３クランプ、３５プッシャー、３７本体部、３９テーブル固定部、４３凸部、４５凹部、５０，７０実装基板、５２プリント基板、５２ａ，５２ｂランド部、５４チップ部品、５４ａ電極部、５６ＱＦＰ、５６ａ端子部、５８半田、Ｓ１基板交換エリア、Ｓ２検査エリア、Ｌ５，Ｌ６，Ｌ２５，Ｌ２７，Ｌ４１，Ｌ５０，Ｌ７０長さ、Ｗ５，Ｗ６，Ｗ２５，Ｗ２７，Ｗ４１，Ｗ５０，Ｗ７０幅、ｄ６間隙幅

Claims

複数の基板を順次検査するための基板検査装置であって、
前記基板を交換するための基板交換エリア、及び、前記基板を検査するための検査エリアを有し、
前記基板交換エリアに互いに離間して配置された第１のステージ及び第２のステージと、
前記第１のステージに固定されて前記基板を支持する第１のテーブルと、
前記第２のステージに固定されて前記基板を支持する第２のテーブルと、
前記第１のステージ及び第２のステージを、独立に駆動して、前記基板交換エリアと前記検査エリアとの間でそれぞれ移動可能にする駆動手段と、
該駆動手段を制御する制御手段と、
前記駆動手段を前記制御手段で制御して前記検査エリアに搬送した前記基板を検査する検査手段と、
を備えたことを特徴とする基板検査装置。
請求項１記載の基板検査装置を用いた基板検査方法であって、
前記基板交換エリアに前記第１のステージと共に配置された前記第１のテーブルで第１の基板を支持し、前記基板交換エリアに前記第２のステージと共に配置された前記第２のテーブルで第２の基板を支持する基板支持工程と、
該基板支持工程後に、前記駆動手段を前記制御手段で制御して、前記第１の基板を前記第１のテーブル及び前記第１のステージと共に前記検査エリアに移動させ、前記第２の基板を前記第２のテーブル及び前記第２のステージと共に前記検査エリアに移動させる第１の移動工程と、
該第１の移動工程後に、前記第１の基板を前記検査手段により検査する第１の検査工程と、
該第１の検査工程後に、前記駆動手段を前記制御手段で制御して、検査が完了した前記第１の基板を前記第１のテーブル及び第１のステージと共に前記基板交換エリアに移動させる第２の移動工程と、
前記第２の移動工程後に、前記第１の基板を前記第１のテーブルから取り外し該第１のテーブルで第３の基板を支持する基板交換工程と、
該基板交換工程後に、前記駆動手段を前記制御手段で制御して、前記第３の基板を前記第１のテーブル及び第１のステージと共に前記検査エリアに移動させる第３の移動工程と、
前記第１の検査工程後に、前記第２の基板を前記検査手段により検査する第２の検査工程と、
を有し、
前記第２の移動工程から前記第３の移動工程までを前記第２の検査工程の間に行うことを特徴とする基板検査方法。
複数の基板を順次検査するための基板検査装置であって、
前記基板を交換するための基板交換エリア、及び、前記基板を検査するための検査エリアを有し、
前記基板交換エリアに互いに離間して配置された第１のステージ及び第２のステージと、
前記基板を支持すると共に前記第１のステージに着脱可能とされた第１のテーブルと、
前記基板を支持すると共に前記第２のステージに着脱可能とされた第２のテーブルと、
前記第１のステージと前記第２のステージとに亘って配置され、前記基板を支持すると共に前記第１のステージに着脱可能とされた第３のテーブルと、
前記第１のステージ及び第２のステージを、独立に駆動して、前記基板交換エリアと前記検査エリアとの間でそれぞれ移動可能にする駆動手段と、
該駆動手段を制御する制御手段と、
前記駆動手段を前記制御手段で制御して前記検査エリアに搬送した前記基板を検査する検査手段と、
を有し、
前記第２のステージは、前記第３のテーブルを前記第１のステージに取り付けた際に前記第３のテーブルを支持するテーブル支持部を備え、
前記第３のテーブルは、前記テーブル支持部に摺動自在に支持される摺動機構を備えたことを特徴とする基板検査装置。