JPWO2018109891A1

JPWO2018109891A1 - 基板搬送装置

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Publication number: JPWO2018109891A1
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Inventors: 立雄蛭川; 毅近藤; 祥史深草; 加藤　光昭; 光昭加藤; 淳志鳥居; 淳飯阪
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Abstract

本発明の搬送装置２０では、回路基板の搬送方向に延びるように配設されたガイドレール６０に、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８とが配設されている。そして、第１コンベアベルトと第２コンベアベルトとの両方のコンベアベルトに支持された状態の回路基板が、基板保持装置５２によって保持され、その保持された回路基板に対して作業が実行される。このような構造の搬送装置では、例えば、作業の完了した回路基板が、第２コンベアベルトによって搬出される際に、新たな回路基板が、第１コンベアベルトによって搬入される。これにより、新たな回路基板への印刷作業を早期に行うことが可能となり、サイクルタイムの短縮を図ることが可能となる。

Description

本発明は、基板を搬送するとともに、所定の位置において基板を保持し、その保持された基板に対して作業が実行される基板搬送装置に関するものである。

搬送装置には、所定の位置まで基板を搬送し、その位置において保持された基板に対して作業が実行される装置が存在する。下記特許文献には、そのような搬送装置の一例が記載されている。

特開２００９−０５４６１９号公報

搬送装置では、サイクルタイムの短縮化，装置のコンパクト化，構造の簡素化などが求められており、それらを実現することで、搬送装置の実用性が向上する。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い搬送装置の提供を課題とする。

上記課題を解決するために、本明細書は、基板の搬送方向に延びるように、互いに離間した状態で配設される１対のガイド機構と、基板の搬送方向の上流側において、前記１対のガイド機構の各々に配設され、基板を下流側に搬送する第１搬送ベルトと、基板の搬送方向の下流側において、前記１対のガイド機構の各々に配設され、前記第１搬送ベルトにより搬送された基板を更に下流側に搬送する第２搬送ベルトと、前記第１搬送ベルトの下流側の端と前記第２搬送ベルトの上流側の端との間の距離が基板の搬送方向における長さ寸法より短くされており、前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとの両方に支持された基板を保持する保持装置とを備え、前記保持装置により保持された基板に対して作業が実行される基板搬送装置を開示する。

本開示によれば、搬送装置において、サイクルタイムの短縮化，装置のコンパクト化，構造の簡素化などを図ることが可能となり、搬送装置の実用性が向上する。

はんだ印刷機を示す側面図である。はんだ印刷機を示す平面図である。搬送装置を示す斜視図である。搬送装置を示す平面図である。図４のＡＡ線における側面図である。作業位置に搬送された回路基板を示す概略図である。制御装置を示すブロック図である。印刷作業の完了した回路基板と、新たに搬入される回路基板とを示す概略図である。搬出される回路基板と、作業位置の手前まで搬送される回路基板とを示す概略図である。従来の搬送装置を示す側面図である。従来の搬送システムを示す側面図である。

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。

（Ａ）はんだ印刷機の構成
図１及び図２に、本発明のはんだ印刷機１０を示す。はんだ印刷機１０は、回路基板にクリームはんだを印刷するための装置である。はんだ印刷機１０は、搬送装置２０と、マスク保持装置２２と、撮像装置２３と、スキージ装置２４と、はんだ供給装置２６と、制御装置（図７参照）２８とを備えている。なお、図１は、はんだ印刷機１０を側方からの視点において示す図であり、図２は、はんだ印刷機１０を上方からの視点において示す図である。

搬送装置２０は、図３乃至図５に示すように、コンベア装置５０と、基板保持装置５２と、基板昇降装置５４とを有している。図３は、搬送装置２０を斜め上方からの視点において示す図であり、図４は、搬送装置２０を上方からの視点において示す図であり、図５は、図４のＡＡ線からの視点において示す図である。

コンベア装置５０は、１対のガイドレール６０，６２と、各ガイドレール６０，６２に設けられた第１コンベアベルト６６及び第２コンベアベルト６８とを有している。１対のガイドレール６０，６２は、互いに平行に配設されており、各ガイドレール６０，６２は、１対の支持脚７０を介して昇降台７２の上面において支持されている。なお、ガイドレール６０，６２の延びる方向をＸ方向、そのＸ方向に水平に直行する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向の両方に直交する方向をＺ方向と称する。

また、各ガイドレール６０，６２の側面には４個のプーリ７４，７５，７６，７７がＹ方向を軸心として配設されている。それら４個のプーリ７４，７５，７６，７７のうちの２個のプーリ７４，７７は、各ガイドレール６０，６２の両端部に配設され、残りの２個のプーリ７５，７６は、各ガイドレール６０，６２の中央部に、僅かにＸ方向に離間した状態で配設されている。なお、ガイドレール６０とガイドレール６２とは、互いのプーリ７４，７５，７６，７７の配設面が対向する状態で配設されている。

また、第１コンベアベルト６６は、各ガイドレール６０，６２のプーリ７４，７５に巻き掛けられ、第２コンベアベルト６８は、各ガイドレール６０，６２のプーリ７６，７７に巻き掛けられている。そして、第１コンベアベルト６６は、電磁モータ（図７参照）７８の駆動により周回し、第２コンベアベルト６８は、電磁モータ（図７参照）８０の駆動により周回する。なお、各コンベアベルト６６，６８の周回方向は、図５での時計回りの方向とされている。

これにより、第１コンベアベルト６６の上に回路基板（図６参照）８１を載置することで、回路基板は、第２コンベアベルト６８に向かって搬送される。このため、第１コンベアベルト６６が配設されている側を上流側、第２コンベアベルト６８が配設されている側を下流側と称する。また、第１コンベアベルト６６の下流側の端部と、第２コンベアベルト６８の上流側の端部との間の距離は、回路基板８１の搬送方向における長さ寸法より短くされている。このため、第１コンベアベルト６６から第２コンベアベルト６８に向かって搬送された回路基板８１は、図６に示すように、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方に支持された状態で、第２コンベアベルト６８に向かって搬送される。そして、回路基板は、第１コンベアベルト６６から第２コンベアベルト６８に乗り移り、第２コンベアベルト６８によって下流側に搬送される。

また、基板保持装置５２は、図３乃至図５に示すように、支持テーブル８２と、テーブル昇降機構８４と、クランプ装置８６とを有している。支持テーブル８２は、概して矩形をなし、長手方向がＸ方向と一致するように、１対のガイドレール６０，６２の間に配置されている。支持テーブル８２のＸ方向の長さ寸法は、各コンベアベルト６６，６８のＸ方向の長さ寸法と略同じとされており、支持テーブル８２の上流側の端部が、第１コンベアベルト６６の中央部とＹ方向において概ね一致し、支持テーブル８２の下流側の端部が、第２コンベアベルト６８の中央部とＹ方向において概ね一致している。また、支持テーブル８２のＹ方向の長さ寸法は、ガイドレール６０のコンベアベルト６６，６８とガイドレール６２のコンベアベルト６６，６８との間の距離より短くされており、支持テーブル８２のＹ方向における両縁が、各ガイドレール６０，６２のコンベアベルト６６，６８とＺ方向において重ならないようにされている。

このように配置された支持テーブル８２は、テーブル昇降機構８４を介して、昇降台７２の上面に配設されている。そのテーブル昇降機構８４は、電磁モータ（図７参照）８８の駆動により支持テーブル８２を昇降させる。なお、支持テーブル８２は、支持テーブル８２の上面がコンベアベルト６６，６８の上面より下方に位置する箇所と、支持テーブル８２の上面がコンベアベルト６６，６８の上面より数ｍｍ上方に位置する箇所との間でテーブル昇降機構８４によって昇降する。これにより、回路基板８１が、図６に示すように、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方によって均等に支持される位置、つまり、回路基板８１のＸ方向における中央と、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との隙間とがＹ方向において概ね一致する位置（以下、「作業位置」と記載する場合がある）まで搬送された状態で、支持テーブル８２がテーブル昇降機構８４によって上昇することで、回路基板８１が、コンベアベルト６６，６８の上面から持ち上げられる。そして、支持テーブル８２がテーブル昇降機構８４によって下降することで、回路基板８１がコンベアベルト６６，６８の上面に載置される。

また、クランプ装置８６は、図３乃至図５に示すように、固定クランパ９０と可動クランパ９２とエアシリンダ（図７参照）９４とを有している。固定クランパ９０及び可動クランパ９２は、概して矩形とされており、長手方向の寸法が、支持テーブル８２のＸ方向における長さ寸法と略同じとされている。そして、固定クランパ９０は、それのＸ方向における両端と支持テーブル８２のＸ方向における両端とがＹ方向において一致するように、ガイドレール６０の上面に固定されている。一方、可動クランパ９２は、それのＸ方向における両端と支持テーブル８２のＸ方向における両端とがＹ方向において一致するように、ガイドレール６２の上面に配設されている。つまり、固定クランパ９０と可動クランパ９２とは、上方からの視点において、支持テーブル８２を挟むように配設されている。

また、可動クランパ９２は、Ｙ方向にスライド可能とされており、固定クランパ９０から離間する方向に、コイルスプリング（図示省略）の弾性力によって付勢されている。そして、可動クランパ９２は、エアシリンダ９４の駆動により、コイルスプリングの弾性力に抗して固定クランパ９０に接近する。なお、固定クランパ９０及び可動クランパ９２の配設高さは、作業位置に搬送された回路基板８１がテーブル昇降機構８４によってコンベアベルト６６，６８から持ち上げられた高さと同じとされている。このため、回路基板８１がテーブル昇降機構８４によってコンベアベルト６６，６８から持ち上げられた際に、可動クランパ９２がエアシリンダ９４によって固定クランパ９０に接近することで、回路基板８１が固定クランパ９０と可動クランパ９２とによって挟持される。これにより、回路基板８１は、コンベアベルト６６，６８から持ち上げられた状態でクランプ装置８６によってクランプされる。

また、基板昇降装置５４は、上記昇降台７２と、台昇降機構９６とを有している。台昇降機構９６は、電磁モータ（図７参照）９８の駆動により昇降台７２を昇降させる。これにより、昇降台７２の上に配設されたコンベア装置５０及び基板保持装置５２が、基板昇降装置５４によって昇降する。つまり、クランプ装置８６によってクランプされた状態の回路基板８１が、基板昇降装置５４によって昇降する。

また、搬送装置２０は、第１センサ１００と、第２センサ１０２と、第３センサ１０４とを有している。第１センサ１００は、ガイドレール６０の第１コンベアベルト６６の上流側に配設されており、はんだ印刷機１０に搬入された回路基板８１を検出する。第２センサ１０２は、ガイドレール６０の第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との間に配設されており、第１コンベアベルト６６から第２コンベアベルト６８に受け渡される回路基板８１及び、第１コンベアベルト６６から第２コンベアベルト６８に乗り移った回路基板８１を検出する。第３センサ１０４は、ガイドレール６０の第２コンベアベルト６８の下流側に配設されており、はんだ印刷機１０から搬出される回路基板８１を検出する。

マスク保持装置２２は、図１に示すように、搬送装置２０の上方に配設されたマスク支持台１１０と、そのマスク支持台１１０の上面に配設されたマスク固定機構１１２とを有している。マスク支持台１１０の中央部には、開口部（図示省略）が形成されており、その開口部を覆うように、マスク１１６がマスク支持台１１０の上に載置される。そして、マスク支持台１１０の上に載置されたマスク１１６が、マスク固定機構１１２によって固定的に保持される。

なお、マスク支持台１１０に形成されている開口部は、搬送装置２０により搬送される回路基板８１より大きくされており、クランプ装置８６によってクランプされた回路基板８１が、基板昇降装置５４によって上昇されることで、マスク固定機構１１２によって保持されたマスク１１６の下面に密着し、基板昇降装置５４によって下降されることで、マスク１１６の下面から離間する。

撮像装置２３は、図１及び図２に示すように、カメラ移動装置１２０と、カメラ１２２と、ストッパ１２４とを有している。カメラ移動装置１２０は、１対のスライドレール１２６と、Ｙスライダ１２８と、Ｘスライダ１３０とを含む。１対のスライドレール１２６は、搬送装置２０とマスク保持装置２２との間において、互いに平行かつ、Ｙ軸方向に延びるように配設されている。Ｙスライダ１２８は、１対のスライドレール１２６によってスライド可能に保持されており、電磁モータ（図７参照）１３２の作動により、Ｙ方向にスライドする。Ｘスライダ１３０は、Ｙスライダ１２８の下面側にＸ方向にスライド可能に取り付けられており、電磁モータ（図７参照）１３６の作動により、Ｘ方向にスライドする。なお、スライドレール１２６は、搬送装置２０の基板昇降装置５４と上下方向において重なっておらず、Ｙスライダ１２８が、基板昇降装置５４の上方から移動することで、回路基板８１は、撮像装置２３と当接することなく、基板昇降装置５４により上昇される。

カメラ１２２は、Ｘスライダ１３０の下面側に、下を向いた状態で取り付けられている。ストッパ１２４は、概して棒状をなし、Ｘスライダ１３０の下面側に、下方に延び出す状態で取り付けられている。これにより、カメラ１２２及びストッパ１２４は、搬送装置２０の上方において任意の位置に移動可能とされている。なお、ストッパ１２４は、ストッパ昇降装置（図７参照）１３８を有しており、Ｘスライダ１３０から下降、若しくは、Ｘスライダ１３０に向かって上昇可能とされている。また、ストッパ１２４の先端には、接触センサ１４０が配設されており、接触センサ１４０によって、ストッパ１２４の先端への他の部材の接触が検出される。

スキージ装置２４は、スキージ移動装置１５０と、１対のスキージ１５２，１５４と、スキージ昇降装置１５６とを有している。スキージ移動装置１５０は、１対のスライドレール１５８とスライダ１６０とを含む。１対のスライドレール１５８は、マスク保持装置２２の上方において、互いに平行かつ、Ｙ軸方向に延びるように配設されている。スライダ１６０は、１対のスライドレール１５８にスライド可能に取り付けられており、電磁モータ（図７参照）１６２の作動により、Ｙ方向にスライドする。また、１対のスキージ１５２，１５４の各々は、概して矩形の板状をなし、可撓性を有する素材により形成されている。１対のスキージ１５２，１５４は、互いに向かい合うとともに、Ｘ軸方向に延びるように配設され、スライダ１６０の下方において、スキージ昇降装置１５６によって保持されている。そのスキージ昇降装置１５６は、１対のスキージ１５２，１５４を個別に昇降させる。

はんだ供給装置２６は、クリームはんだを供給する装置であり、クリームはんだを吐出する吐出口１７０が、はんだ供給装置２６の下面に形成されている。また、はんだ供給装置２６は、スライダ１６０のＹ軸方向における側面の略中央部に固定されている。これにより、はんだ供給装置２６は、スキージ移動装置１５０の作動によりＹ軸方向の任意の位置に移動する。

制御装置２８は、図７に示すように、コントローラ１８０と、複数の駆動回路１８２と、画像処理装置１８６とを備えている。複数の駆動回路１８２は、上記電磁モータ７８，８０，８８，９８，１３２，１３６，１６２、エアシリンダ９４、ストッパ昇降装置１３８、スキージ昇降装置１５６、はんだ供給装置２６に接続されている。コントローラ１８０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路１８２に接続されている。これにより、搬送装置２０、スキージ装置２４等の作動が、コントローラ１８０によって制御される。また、コントローラ１８０は、画像処理装置１８６にも接続されている。画像処理装置１８６は、カメラ１２２によって得られた画像データを処理するものであり、コントローラ１８０は、画像データから各種情報を取得する。さらに、コントローラ１８０は、第１センサ１００、第２センサ１０２、第３センサ１０４、接触センサ１４０にも接続されており、各センサからの検出値を取得する。

（Ｂ）はんだ印刷機の作動
はんだ印刷機１０では、上述した構成によって、回路基板８１が作業位置まで搬送され、クランプ装置８６によってクランプされる。続いて、クランプされた回路基板８１が、基板昇降装置５４によって上昇されることで、マスク１１６の下面に密着する。なお、マスク１１６には、回路基板８１のパッド等のパターンに合わせて貫通孔(図示省略)が形成されている。そして、マスク１１６にクリームはんだが塗布されることで、マスク１１６の貫通穴を介して、クリームはんだが回路基板８１に印刷される。

具体的には、回路基板８１がはんだ印刷機１０に搬入され、第１コンベアベルト６６によって搬送される。そして、回路基板８１の下流側の端部が、第２コンベアベルト６８の上流側の端部に乗り移る。この際、回路基板８１は、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方に支持された状態で、下流側に向かって搬送される。また、回路基板が、第２コンベアベルト６８まで搬送される前に、撮像装置２３において、Ｘスライダ１３０が、カメラ移動装置１２０によって、第２コンベアベルト６８の上方に移動され、Ｘスライダ１３０に取り付けられているストッパ１２４が下降される。この際、ストッパ１２４は、それの先端が第２コンベアベルト６８の上面より下方に位置するまで、下降される。

これにより、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方によって搬送される回路基板８１が、ストッパ１２４の先端部に当接し、接触センサ１４０によって検出信号がコントローラ１８０に送信される。そして、コントローラ１８０は、接触センサ１４０から検出信号を受信すると、第１コンベアベルト６６及び第２コンベアベルト６８の作動を停止し、回路基板８１がストッパ１２４に当接した位置において停止する。なお、ストッパ１２４の下降位置は、第２コンベアベルト６８のＸ方向における中央部とされており、その位置でストッパ１２４に当接した回路基板８１は、作業位置に停止する。つまり、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方によって搬送される回路基板８１が、ストッパ１２４によって作業位置で堰き止められ、ストッパ１２４への当接により、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方の作動が停止することで、回路基板８１が作業位置において停止する。

回路基板８１が作業位置において停止すると、ストッパ１２４が上昇される。続いて、搬送装置２０において、支持テーブル８２が上昇し、回路基板８１がコンベアベルト６６，６８から持ち上げられ、クランプ装置８６によってクランプされる。そして、回路基板８１がクランプ装置８６によってクランプされると、Ｘスライダ１３０に取り付けられているカメラ１２２によって、クランプ装置８６によってクランプされた回路基板８１が撮像される。そして、撮像データに基づいて、回路基板８１の停止位置，回路基板８１の種類等がコントローラ１８０によって分析される。その後、昇降台７２が基板昇降装置５４によって上昇される。これにより、クランプ装置８６によってクランプされた回路基板８１が、昇降台７２とともに上昇し、マスク１１６の下面に密着する。

次に、はんだ供給装置２６によって、マスク１１６の上面にクリームはんだが供給される。次に、１対のスキージ１５２，１５４の一方が、スキージ昇降装置１５６によって下降され、その下降されたスキージの先端がマスク１１６の上面に接触する。そして、そのスキージが、スキージ移動装置１５０によってＹ方向に移動することで、クリームはんだが、スキージによって、掻き取られる。この際、クリームはんだは、マスク１１６の貫通穴の内部に充填され、回路基板８１に印刷される。これにより、回路基板８１への印刷作業が完了する。

続いて、回路基板８１への印刷作業が完了すると、昇降台７２が下降され、回路基板８１が、昇降台７２とともに下降することで、マスク１１６の下面への密着が解除される。また、昇降台７２の下降中、若しくは、昇降台７２の下降が開始するタイミングで、クランプ装置８６による回路基板８１のクランプが解除され、支持テーブル８２が下降する。これにより、クランプの解除された回路基板８１が、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８とに向かって下降する。なお、昇降台７２及び支持テーブル８２が下降している最中に、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方のコンベアベルト６６，６８の作動が開始する。つまり、昇降台７２の下降によりコンベア装置５０が下降しており、そのコンベア装置５０において、支持テーブル８２の下降により回路基板が第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８とに向かって下降している最中に、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との両方のコンベアベルト６６，６８の作動が開始する。このため、支持テーブル８２に支持されている回路基板８１が、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との上に載置されると同時に、下流側に向かって搬送されるとともに、搬送装置２０の下降中に、回路基板８１が下流側に向かって搬送される。これにより、サイクルタイムの短縮を図ることが可能となる。

続いて、回路基板８１が、作業位置から下流側に向かって搬送されると、図８に示すように、回路基板８１は、第１コンベアベルト６６から第２コンベアベルト６８に乗り移る。この際、第１コンベアベルト６６から第２コンベアベルト６８への回路基板８１の乗り移りが、第２センサ１０２によって検出され、第２センサ１０２によって検出信号がコントローラ１８０に送信される。コントローラ１８０は、その検出信号を受信すると、搬送装置２０に新たな回路基板８１を搬入する。これにより、印刷作業の完了した回路基板８１が第２コンベアベルト６８によって搬送され、新たな回路基板８１が第１コンベアベルト６６によって搬送される。

そして、２枚の回路基板８１が更に搬送されることで、図９に示すように、印刷作業の完了した回路基板８１が第２コンベアベルト６８によって、搬送装置２０から搬出され、新たな回路基板８１が第１コンベアベルト６６によって、作業位置の手前まで搬送される。つまり、搬送装置２０では、印刷作業の完了した回路基板８１が搬出される際に、新たな回路基板８１が搬送装置２０に搬入され、作業位置の手前まで搬送されている。これにより、新たな回路基板８１への印刷作業を早期に行うことが可能となり、サイクルタイムの短縮を図ることが可能となる。

このように、はんだ印刷機１０では、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８とを備えた搬送装置２０を採用することで、サイクルタイムの短縮，搬送装置のコンパクト化，搬送装置の構造の簡素化等を図ることが可能となっている。詳しくは、図１０に示すように、従来の搬送装置２００は、各ガイドレール６０，６２に、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８との２つのコンベアベルトは配設されず、１つのコンベアベルト２０２のみが配設されている。なお、搬送装置２００の構成要素は、コンベアベルト２０２を除いて、はんだ印刷機１０の備える搬送装置２０と同じであり、搬送装置２００の外寸も、搬送装置２０の外寸と同じである。このため、搬送装置２０と同じ構成要素に対して、説明を省略し、同じ符号を用いる。

このような構造の搬送装置２００では、１つのコンベアベルト２０２しか配設されていないため、印刷作業の完了した回路基板８１を搬送装置２００から搬出するまで、新たな回路基板８１を搬送装置２００に搬入することができない。つまり、搬送装置２００では、搬送装置２０のように、印刷作業の完了した回路基板８１が搬送装置２００から搬出される際に、新たな回路基板８１を搬送装置２００に搬入し、作業位置の手前まで搬送することができない。このため、搬送装置２００を用いた場合には、新たな回路基板８１への印刷作業を早期に行うことができず、サイクルタイムの短縮を図ることができない。

また、図１１に示す搬送システム２１０も従来のものである。搬送システム２１０は、３台の搬送装置２１２，２１４，２１６によって構成されており、それら３台の搬送装置２１２，２１４，２１６がＸ方向に並んで配設されている。搬送装置２１４は、寸法を除いて、搬送装置２００と同じである。このため、搬送装置２１４について、説明を省略し、同じ構成要素のものに対して、搬送装置２００と同じ符号を用いる。なお、搬送装置２１４のＸ方向の寸法は、搬送装置２１４のコンベアベルト２０２と搬送装置２０のコンベアベルト６６，６８とが同じ長さとなる寸法とされている。つまり、搬送装置２１４は、Ｘ方向において搬送装置２０の半分程度の大きさとされている。また、搬送装置２１２と搬送装置２１６とは、同じ構造であり、搬送装置２１４から基板保持装置５２と基板昇降装置５４とを除いた装置である。このため、搬送装置２１２及び搬送装置２１６のついても、説明を省略し、同じ構成要素のものに対して、搬送装置２１４と同じ符号を用いる。

このような構造の搬送システム２１０では、搬送装置２１４において、回路基板８１に対する印刷作業が行われる。このため、搬送装置２１４で印刷作業が行われている間に、搬送装置２１２に新たな回路基板８１を搬入することが可能である。また、搬送装置２１４は、Ｘ方向において搬送装置２０の半分程度の大きさとされている。つまり、搬送システム２１０では、搬送装置２１４において印刷作業が完了し、搬送装置２１４から回路基板８１が搬出される際に、新たな回路基板８１を搬送装置２１４の作業位置の手前まで搬送することが可能である。このため、搬送システム２１０では、新たな回路基板８１への印刷作業を早期に行うことが可能となり、搬送装置２０と同様に、サイクルタイムの短縮を図ることが可能となる。

しかしながら、搬送装置２０のＸ方向における長さ寸法は、コンベアベルト６６の長さ寸法の２倍程度であるが、搬送システム２１０のＸ方向における長さ寸法は、コンベアベルト２０２の長さ寸法の３倍程度である。そして、コンベアベルト６６の長さ寸法と、コンベアベルト２０２の長さ寸法とは同じである。このため、搬送システム２１０のＸ方向における長さ寸法は、搬送装置２０のＸ方向における長さ寸法の１．５倍とされている。また、搬送システム２１０は、３台の搬送装置２１２，２１４，２１６によって構成されているため、構造が複雑である。つまり、搬送システム２１０を採用した場合には、サイクルタイムの短縮を図ることはできるが、コンパクト化及び構造の簡素化を図ることができない。

このように、はんだ印刷機１０では、第１コンベアベルト６６と第２コンベアベルト６８とを備えた搬送装置２０を採用することで、従来の搬送装置２００，搬送システム２１０と比較して、サイクルタイムの短縮，搬送装置のコンパクト化，搬送装置の構造の簡素化等を図ることが可能となっている。

なお、搬送装置２０は、基板搬送装置の一例である。基板保持装置５２は、保持装置の一例である。基板昇降装置５４は、昇降装置の一例である。ガイドレール６０，６２は、ガイド機構及びガイドレールの一例である。第１コンベアベルト６６は、第１搬送ベルトの一例である。第２コンベアベルト６８は、第２搬送ベルトの一例である。

また、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、本発明の搬送装置２０がはんだ印刷機１０に用いられているが、部品装着機，検査機，組立作業機など、種々の作業機に本発明の搬送装置２０を用いることが可能である。

また、上記実施例では、１本のガイドレール６０，６２に、第１コンベアベルト６６及び第２コンベアベルト６８が配設されているが、例えば、１本のガイドレールを分割し、分割された２本のガイドレールの一方に第１コンベアベルト６６を配設し、他方に第２コンベアベルト６８を配設してもよい。

２０：搬送装置（基板搬送装置）５２：基板保持装置（保持装置）５４：基板昇降装置（昇降装置）６０：ガイドレール（ガイド機構）６２：ガイドレール（ガイド機構）６６：第１コンベアベルト（第１搬送ベルト）６８：第２コンベアベルト（第２搬送ベルト）

Claims

基板の搬送方向に延びるように、互いに離間した状態で配設される１対のガイド機構と、
基板の搬送方向の上流側において、前記１対のガイド機構の各々に配設され、基板を下流側に搬送する第１搬送ベルトと、
基板の搬送方向の下流側において、前記１対のガイド機構の各々に配設され、前記第１搬送ベルトにより搬送された基板を更に下流側に搬送する第２搬送ベルトと、
前記第１搬送ベルトの下流側の端と前記第２搬送ベルトの上流側の端との間の距離が基板の搬送方向における長さ寸法より短くされており、前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとの両方に支持された基板を保持する保持装置と
を備え、前記保持装置により保持された基板に対して作業が実行される基板搬送装置。
前記１対のガイド機構の各々が、１本のガイドレールを有し、
前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとが、前記１本のガイドレールに配設された請求項１に記載の基板搬送装置。
前記基板搬送装置が、
前記１対のガイド機構と前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトと前記保持装置とを一体的に昇降させる昇降装置を備え、前記昇降装置により前記１対のガイド機構と前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトと前記保持装置とが一体的に上昇された状態で、前記保持装置により保持された基板に対して作業が実行され、
前記保持装置による保持が解除された後に、前記１対のガイド機構と前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトと前記保持装置とが前記昇降装置により一体的に下降している最中に、前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとが作動を開始する請求項１または請求項２に記載の基板搬送装置。
前記保持装置が、
前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとの両方に支持された基板を、前記第１搬送ベルト及び前記第２搬送ベルトから上昇させた状態で保持し、
前記保持装置による保持が解除された基板が前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとに向かって下降している最中に、前記第１搬送ベルトと前記第２搬送ベルトとが作動を開始する請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の基板搬送装置。