JPH0268667A - 基板パターン検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、プリント基板の配線パターンの欠陥を検査す
る基板パターン検査装置に関する。

〈従来の技術〉 プリント基板のパターンを検査する方法として、基準と
なるプリント基板のパターンと検査対象のプリント基板
のパターンとを比較する方法が広く用いられている。特
に、フレキシブルプリント基板のパターン検査において
は、基準となるマスターフィルム基板のパターンを画像
読取装置により読み取るために、このマスターフィルム
基板を定位置に固定して照明する必要がある。このマス
ターフィルム基板の固定及び照明の方法として、（１１
マスターフイルム基板を通気性のシートの上に載せて真
空吸着し、マスターフィルム基板の上方より照明する。

（２）透明または半透明の吸着板を有するテーブルに真
空吸着し、テーブル内部の光源により透過照明を行なう
。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記（１）の方法においては、表面反射
光によりパターンを読み取るため、コントラストの高い
画像が得られないという欠点があった。

また、上記（２）の方法においては、テーブルの真空吸
着板が吸引穴を多数有するため、全体に亘って光透過率
が均一ではな（、したがって透過照明により得られるパ
ターンの濃淡情報が不正確になるという欠点があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目
的は、透過照明でしかも吸着板の影響を受けないパター
ンの読み取りを可能にした基板パターン検査装置を提供
することである。

く課題を解決するための手段〉 上記目的を達成すたるめに、本発明による基板パターン
検査装置においては、マスター基板を支持するテーブル
は、マスター基板を静電吸着する透明電極と、この透明
電極の下側に透過照明用光源を備える。

〈作用〉 本発明による基板パターン検査装置においては、マスタ
ー基板を静電吸着する透明電極は光透過率が均一であり
、さらに、この透明電極の下側の光源による透過照明を
行なうことにより、マスター基板のパターンを表すコン
トラストの高い画像を読み取ることができる。

〈実施例〉 図は本実施例の基板パターン検査装置の構成を示してい
る。図中、１はマスターフィルム基板、２は静電吸着用
透明電極、３はマスター用テーブル、４はマスター用テ
ーブル駆動部、５は内部光源、６は静電吸着制御部、７
は光源制御部、８はマスター用画像読取部、９はテーブ
ル制御部、１０は検査基板、１１は検査用テーブル、１
２は検査用テーブル駆動部、１３は照明用光源、１４は
検査用画像読取部、１５は検査判定部である。

マスターフィルム基板１は、比較検査の基準となるパタ
ーンを透明フィルム上に有するフレキシブル基板である
。静電吸着用透明電極２は、マスター用テーブル３上に
配設されており、その表面にマスターフィルム基板１を
静電吸着する。この静電吸着用透明電極２は、はぼ全体
に亘って光透過率が均一である。マスター用テーブル３
の内部すなわち透明電極２の下側には、光源５が配設さ
れている。この光Ｒ５の点灯によって、透明電極２上に
静電吸着されたマスターフィルム基板１を透過照明する
。

マスター用画像読取部８は、透過照明されたマスターフ
ィルム基板１のパターンを読み取る。このマスター用画
像読取部８において読み取られたパターンデータは、検
査判定部１５へ転送される。

静電吸着制御部６は、透明電極２への給電を制御する。

光源制御部７は、光源５及び１３の点灯を制御する。テ
ーブル制御部９は、マスター用テーブル３と検査用テー
ブル１１の移動を制御する。

検査基板１０は、検査の対象とするフレキシブル基板で
ある。検査用テーブル１１は、検査基板１０を真空吸着
により支持する。照明用光源１３は、検査用テーブル１
１上に真空吸着された検査基板１０の表面を照明する。

検査用画像読取部１４は、照明された検査基板１０のパ
ターンを読み取る。検査用テーブル駆動部１２は、検査
用テーブル１１を所定位置へ移動させる。

検査判定部１５は、Ａ／Ｄ変換部１６、画像メモリー１
７、パターン判定部１８、検査制御部１９から構成され
る。Ａ／Ｄ変換部１６は、マスター用画像読取部８及び
検査用画像読取部１４からの画像信号をディジタル信号
に変換する。画像メモリー１７は、ディジタル化された
画像信号を記憶する。パターン判定部１８は、画像メモ
リー１７から画像信号を読み出し、マスター基板１のパ
ターンデータと検査基板１０のパターンデータを比較し
、パターンの一致度に応じて検査基板１０の良否を判定
する。検査制御部１９は、検査基板１０の所定領域の検
査が完了するごとに、パターン判定部１８からの信号を
受けて、テーブル制御部９に指令を与え、検査基板１０
とマスター基板１の次の検査領域が画像読取部１４．８
の読み取り範囲にくるようにテーブル１１，３を移動さ
せる。

さらに、この検査制御部１９は、静電吸着制御部６及び
光源制御部７に指令を与える。

以下、処理の手順を説明する。

まず、フィルム状のマスター基板１をマスター用テーブ
ル３の透明電極２の上に載せ、図示しない位置決めビン
または目印マーク等を用いて位置決めする。その後、検
査制御部１９からの指令によって静電吸着制御部６は透
明電極２に給電し、マスター基板１は透明電極２に静電
吸着される。

次に、検査制御部１日よりテーブル制御部９ヘテーブル
移動指令が与えられ、マスター用テーブル駆動部４の駆
動によりマスター用テーブル３は所定の検査開始位置ま
で移動して待機状態となる。

次に、検査基板１０を検査用テーブル１１の上に載せ、
図示しない位置決めピンまたは目印マーク等によって位
置決めした後、図示しない真空排気装置を動作させるこ
とにより、検査基板１０を検査用テーブル１１に真空吸
着する。次に、検査制御部１９よりテーブル制御部９ヘ
テーブル移動指令が与えられ、検査用テーブル駆動部１
２の駆動により検査用テーブル１１は所定の検査開始位
置まで移動する。

以上によりマスター基板１と検査基板１０とが所定位置
に位置決めされると、続いて、検査制御部１９から光源
制御部７に点灯指令が与えられ、光ａｓ、ｔ３が点灯す
る。光源５の点灯により、マスター基板１は透過照明さ
れる。一方、光源１３の点灯により、検査基板１０は反
射照明される。

ここで、マスター用画像読取部８は、透過照明されたマ
スター基板１のパターンを読み取る。また、検査用画像
読取部１４は、反射照明された検査基板１０のパターン
を読み取る。この場合、マスター基板１は光透過率の均
一な透明電極２の上に静電吸着され、その下側から光源
５により透過照明されるため、マスター用画像読取部８
に読み取られるパターンデータは、コントラスト比が高
く、マスター基板１のパターンを正確に表している。

マスター用画像読取部８により読み取られたマスター基
板１のパターンデータと検査用画像読取部１４により読
み取られた検査基板１ｏのパターンデータは、Ａ／Ｄ変
換部１６によってディジタル変換された後、画像メモリ
ー１７に記録される。

この画像メモリー１７に記録された２つの画像データは
、画像メモリー１７からパターン判定部１８へ送られ、
パターン選定部１８はこの２つの画像データを比較し、
両者の一致度があるレベル以下であるとき、検査基板１
０を欠陥品と判定する。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明においては、マスターフィ
ルム基板を光透過率が均一な透明電極上に静電吸着によ
り固定し、透明電極の下側から透過照明を行うようにし
たので、マスターフィルム基板のパターンを正確に表し
た高コントラストの画像を読み取ることができる。した
がって、フレキシブルプリント基板における比較検査の
精度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明実施例の基板パターン検査装置の構成を示
すブロック図である。 １・・・マスターフィルム基板 ２・・・透明電極 ３・・・マスター用テーブル ５・・・内部光源 ６・・・静電吸着制御部 ７・・・光源制御部 ８・・・マスター用画像読取部 １０・・・検査基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　基準となるマスター基板のパターンと検査対象のプリ
   ント基板のパターンとを読み取り、マスター基板と検査
   対象基板のパターンを比較することによりプリント基板
   の欠陥検査を行なう基板パターン検査装置において、マ
   スター基板を支持するテーブルは、マスター基板を静電
   吸着するための透明電極と、この透明電極の下側に透過
   照明用光源を備えたことを特徴とする基板パターン検査
   装置。