JPH0552765A - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
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- JPH0552765A JPH0552765A JP3217761A JP21776191A JPH0552765A JP H0552765 A JPH0552765 A JP H0552765A JP 3217761 A JP3217761 A JP 3217761A JP 21776191 A JP21776191 A JP 21776191A JP H0552765 A JPH0552765 A JP H0552765A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スルーホールのピッチ変更に対して極めて容
易に対処することができ、また穴詰まりを起こしている
欠陥を確実に検出すること。 【構成】 グリーンシートの平面画像を撮像し、その撮
像したグリーンシート平面画像に基づいて視野内のスル
ーホールの数、位置および各穴面積を算出し、算出した
スルーホールの数、各穴位置および穴面積によってスル
ーホールの欠陥を検出する。
易に対処することができ、また穴詰まりを起こしている
欠陥を確実に検出すること。 【構成】 グリーンシートの平面画像を撮像し、その撮
像したグリーンシート平面画像に基づいて視野内のスル
ーホールの数、位置および各穴面積を算出し、算出した
スルーホールの数、各穴位置および穴面積によってスル
ーホールの欠陥を検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック基板の製造
工程においてグリーンシートに明けたスルーホールの欠
陥の有無を検査するスルーホール検査装置に関するもの
である。
工程においてグリーンシートに明けたスルーホールの欠
陥の有無を検査するスルーホール検査装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の検査装置として、特開昭
６２−２９９７４６号公報で提案されたものがある。こ
の公報で提案されているスルーホール検査装置は、スル
ーホールの下面に遮光マスクを設け、スルーホールに直
接光が入射しないように遮光マスクの下面側から高照度
の照明光を照射し、この照射状態で欠陥部分を通じて上
面側に漏れてくる光があったならば、この漏光部分を欠
陥として判定するものである。
６２−２９９７４６号公報で提案されたものがある。こ
の公報で提案されているスルーホール検査装置は、スル
ーホールの下面に遮光マスクを設け、スルーホールに直
接光が入射しないように遮光マスクの下面側から高照度
の照明光を照射し、この照射状態で欠陥部分を通じて上
面側に漏れてくる光があったならば、この漏光部分を欠
陥として判定するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術にあっては、遮光マスクをグリーンシートの下面
に取付ける関係で、スルーホールのピッチは固定である
必要がある。このため、スルーホールのピッチが変更さ
れた場合には容易に対応できないという問題がある。
来技術にあっては、遮光マスクをグリーンシートの下面
に取付ける関係で、スルーホールのピッチは固定である
必要がある。このため、スルーホールのピッチが変更さ
れた場合には容易に対応できないという問題がある。
【０００４】また、スルーホールは０．１３ｍｍ程度と
いった極めて小径であるので、穴明け時に滓が付着する
場合が多い。しかし、上記従来技術にあっては、グリー
ンシート下面からの漏光を検出している関係で、穴明け
時の滓がスルーホールに付着し、スルーホールが穴詰ま
りを起こしているような欠陥は原理的に検出できないと
いう問題がある。
いった極めて小径であるので、穴明け時に滓が付着する
場合が多い。しかし、上記従来技術にあっては、グリー
ンシート下面からの漏光を検出している関係で、穴明け
時の滓がスルーホールに付着し、スルーホールが穴詰ま
りを起こしているような欠陥は原理的に検出できないと
いう問題がある。
【０００５】本発明の目的は、スルーホールのピッチ変
更に対して極めて容易に対処することができ、また穴詰
まりを起こしている欠陥を確実に検出することができる
スルーホール検査装置を提供することである。
更に対して極めて容易に対処することができ、また穴詰
まりを起こしている欠陥を確実に検出することができる
スルーホール検査装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、多数のスルーホールが形成されたグリーン
シートの平面画像を撮影する撮像手段と、撮像したグリ
ーンシート平面画像に基づいて視野内のスルーホールの
数、位置および各穴面積を算出し、算出したスルーホー
ルの数が規定数に一致しない時、穴位置および穴面積が
許容範囲内に収まっていない時のいずれかの条件で視野
内のスルーホールに欠陥があることを判定する画像処理
装置とから構成した。
するために、多数のスルーホールが形成されたグリーン
シートの平面画像を撮影する撮像手段と、撮像したグリ
ーンシート平面画像に基づいて視野内のスルーホールの
数、位置および各穴面積を算出し、算出したスルーホー
ルの数が規定数に一致しない時、穴位置および穴面積が
許容範囲内に収まっていない時のいずれかの条件で視野
内のスルーホールに欠陥があることを判定する画像処理
装置とから構成した。
【０００７】
【作用】上記手段によれば、グリーンシートの平面画像
を撮像し、その撮像したグリーンシート平面画像に基づ
いて視野内のスルーホールの数、位置および各穴面積を
算出し、算出したスルーホールの数、各穴位置および穴
面積によってスルーホールの欠陥を検出するので、スル
ーホールのピッチ変更に対しては視野内のスルーホール
の数のデータを変更するといった極めて簡単な操作で容
易に対処することができる。また、穴詰まりを起こして
いる欠陥については、穴面積が不足していることによっ
て確実に検出することができる。同時に、スルーホール
の数を判定しているので、スルーホールの過不足も確実
に検出することができる。
を撮像し、その撮像したグリーンシート平面画像に基づ
いて視野内のスルーホールの数、位置および各穴面積を
算出し、算出したスルーホールの数、各穴位置および穴
面積によってスルーホールの欠陥を検出するので、スル
ーホールのピッチ変更に対しては視野内のスルーホール
の数のデータを変更するといった極めて簡単な操作で容
易に対処することができる。また、穴詰まりを起こして
いる欠陥については、穴面積が不足していることによっ
て確実に検出することができる。同時に、スルーホール
の数を判定しているので、スルーホールの過不足も確実
に検出することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
【０００９】図１は、本発明のスルーホール検査装置の
一実施例を示す斜視図である。
一実施例を示す斜視図である。
【００１０】図１において、１は検査装置本体であり、
正面から見て左側には検査対象のグリーンシート２を図
示のＸ，Ｙ方向に移動可能なＸ−Ｙテーブル３に順次供
給し、また検査を終えたグリーンシート２を収納するグ
リーンシート供給／収納装置１２が設けられている。
正面から見て左側には検査対象のグリーンシート２を図
示のＸ，Ｙ方向に移動可能なＸ−Ｙテーブル３に順次供
給し、また検査を終えたグリーンシート２を収納するグ
リーンシート供給／収納装置１２が設けられている。
【００１１】検査対象のグリーンシート２を載置するＸ
−Ｙテーブル３は、薄くて可撓性のあるグリーンシート
２を平坦に置くために透明なガラス板材で構成され、そ
の下方には、グリーンシート２の下面に向けて照明光を
照射する光源４が配置されている。なお、照明光は図示
しない光拡散板によって拡散されてグリーンシート２の
下面に向けて照射されるようになっている。
−Ｙテーブル３は、薄くて可撓性のあるグリーンシート
２を平坦に置くために透明なガラス板材で構成され、そ
の下方には、グリーンシート２の下面に向けて照明光を
照射する光源４が配置されている。なお、照明光は図示
しない光拡散板によって拡散されてグリーンシート２の
下面に向けて照射されるようになっている。
【００１２】５は、Ｘ−Ｙテーブル３の上方に位置し、
グリーンシート２の平面画像を撮影する撮像カメラであ
り、倍率可変機構６が設けられている。７は撮像カメラ
５で撮像したグリーンシート平面画像に基づいて視野内
のスルーホールの数、位置および各穴面積を算出し、算
出したスルーホールの数が規定数に一致しない時、穴位
置および穴面積が許容範囲内に収まっていない時のいず
れかの条件で視野内のスルーホールに欠陥があることを
判定する画像処理装置、８はＸ−Ｙテーブル３を移動
し、撮像カメラ５の視野内にグリーンシート２の検査部
位を位置決めする等の制御を行う制御装置である。
グリーンシート２の平面画像を撮影する撮像カメラであ
り、倍率可変機構６が設けられている。７は撮像カメラ
５で撮像したグリーンシート平面画像に基づいて視野内
のスルーホールの数、位置および各穴面積を算出し、算
出したスルーホールの数が規定数に一致しない時、穴位
置および穴面積が許容範囲内に収まっていない時のいず
れかの条件で視野内のスルーホールに欠陥があることを
判定する画像処理装置、８はＸ−Ｙテーブル３を移動
し、撮像カメラ５の視野内にグリーンシート２の検査部
位を位置決めする等の制御を行う制御装置である。
【００１３】図２は検査対象のグリーンシート２と、撮
像カメラ５および光源４との関係を示す図であり、多数
のスルーホール９が明けられたグリーンシート２の鉛直
方向上方においてグリーンシート２の平面画像を撮像カ
メラ５で撮像するようになっている。図中、１０はスル
ーホール９の内壁に付着した滓を表している。
像カメラ５および光源４との関係を示す図であり、多数
のスルーホール９が明けられたグリーンシート２の鉛直
方向上方においてグリーンシート２の平面画像を撮像カ
メラ５で撮像するようになっている。図中、１０はスル
ーホール９の内壁に付着した滓を表している。
【００１４】次に、以上の構成に係る動作を図３および
図４を参照して説明する。
図４を参照して説明する。
【００１５】まず、制御装置８はＸ−Ｙテーブル３をグ
リーンシート供給／収納装置１２側に移動し、検査対象
のグリーンシート２をＸ−Ｙテーブル３の上に供給させ
る。Ｘ−Ｙテーブル３の上面にグリーンシート２が載置
されたならば、Ｘ−Ｙテーブル３を撮像カメラ５側へ移
動させる。
リーンシート供給／収納装置１２側に移動し、検査対象
のグリーンシート２をＸ−Ｙテーブル３の上に供給させ
る。Ｘ−Ｙテーブル３の上面にグリーンシート２が載置
されたならば、Ｘ−Ｙテーブル３を撮像カメラ５側へ移
動させる。
【００１６】次に、制御装置８はＸ−Ｙテーブル３をＸ
方向およびＹ方向に移動し、グリーンシート２の上面を
所定面積単位で区分けした複数の検査領域のうち最初の
検査領域が撮像カメラ５の真下に位置するように、グリ
ーンシート２を位置決めする。
方向およびＹ方向に移動し、グリーンシート２の上面を
所定面積単位で区分けした複数の検査領域のうち最初の
検査領域が撮像カメラ５の真下に位置するように、グリ
ーンシート２を位置決めする。
【００１７】この状態で、制御装置８は光源４を駆動
し、グリーンシート２の下面側に照明光を照射させる。
同時に、撮像カメラ５に撮像開始を指示する。すると、
ズ４（ａ）に示すように、撮像カメラ５の視野５０内で
最初の検査領域のグリーンシート２の平面画像１１が撮
像される。この撮像したグリーンシート２の平面画像１
１は画像処理装置７に入力される。画像処理装置７は、
入力されたグリーンシート２の平面画像１１に基づき、
検査領域内のスルーホールの数、位置および各穴面積を
算出し、算出したスルーホールの数が規定数に一致しな
い時、穴位置および穴面積が許容範囲内に収まっていな
い時のいずれかの条件で視野内のスルーホールに欠陥が
あることを判定する。
し、グリーンシート２の下面側に照明光を照射させる。
同時に、撮像カメラ５に撮像開始を指示する。すると、
ズ４（ａ）に示すように、撮像カメラ５の視野５０内で
最初の検査領域のグリーンシート２の平面画像１１が撮
像される。この撮像したグリーンシート２の平面画像１
１は画像処理装置７に入力される。画像処理装置７は、
入力されたグリーンシート２の平面画像１１に基づき、
検査領域内のスルーホールの数、位置および各穴面積を
算出し、算出したスルーホールの数が規定数に一致しな
い時、穴位置および穴面積が許容範囲内に収まっていな
い時のいずれかの条件で視野内のスルーホールに欠陥が
あることを判定する。
【００１８】ここで、穴面積の算出方法について図３を
参照して説明すると、例えば、図３（ａ）の平面図に示
すようにスルーホール９に滓１０が付着している場合、
その平面画像が図３（ｂ）に示すようなものとなる。す
なわち、各１０が付着している部分は黒、付着していな
い部分は白の画像になる。画像処理装置７は図３（ｂ）
あるいは図４（ｂ）に示すに示すピッチｂの網目の面積
単位で白画像の部分の面積を算出し、これを注目してい
るスルーホール９の穴面積とする。そして、予め設定さ
れている穴面積の規定データと比較し、規定データで示
される許容範囲内に収まっていなかった場合は、欠陥ス
ルーホールとして判定する。なお、スルーホールの面積
を測定するための網目のピッチｂは平面画像１１のスル
ーホールのピッチａの約１７倍となっている。
参照して説明すると、例えば、図３（ａ）の平面図に示
すようにスルーホール９に滓１０が付着している場合、
その平面画像が図３（ｂ）に示すようなものとなる。す
なわち、各１０が付着している部分は黒、付着していな
い部分は白の画像になる。画像処理装置７は図３（ｂ）
あるいは図４（ｂ）に示すに示すピッチｂの網目の面積
単位で白画像の部分の面積を算出し、これを注目してい
るスルーホール９の穴面積とする。そして、予め設定さ
れている穴面積の規定データと比較し、規定データで示
される許容範囲内に収まっていなかった場合は、欠陥ス
ルーホールとして判定する。なお、スルーホールの面積
を測定するための網目のピッチｂは平面画像１１のスル
ーホールのピッチａの約１７倍となっている。
【００１９】また、検査領域内のスルーホールの数につ
いては、白画像として得られたスルーホールの平面画像
をカウントし、そのカウント値が予め設定されている穴
数の規定データと一致しなかった場合は、当該検査領域
には滓によって完全に塞がったスルーホールが存在する
か、余分なスルーホールが明いている等の理由によって
欠陥領域であると判定する。この場合、滓１０が図３
（ｃ）に示すように付着している場合については、１つ
のスルーホール９につき２つの白画像が抽出されるの
で、穴面積の判定で欠陥有りとなったうえ、スルーホー
ルの数の判定においても欠陥有りとなる。
いては、白画像として得られたスルーホールの平面画像
をカウントし、そのカウント値が予め設定されている穴
数の規定データと一致しなかった場合は、当該検査領域
には滓によって完全に塞がったスルーホールが存在する
か、余分なスルーホールが明いている等の理由によって
欠陥領域であると判定する。この場合、滓１０が図３
（ｃ）に示すように付着している場合については、１つ
のスルーホール９につき２つの白画像が抽出されるの
で、穴面積の判定で欠陥有りとなったうえ、スルーホー
ルの数の判定においても欠陥有りとなる。
【００２０】さらに、スルーホール９の位置について
は、図４（ｄ）に示すように、検査領域内で基準のスル
ーホール９ａを設定し、この基準のスルーホール９ａの
中心から隣接するスルーホール９ｂ，９ｄの中心までの
距離Ｌ１，Ｌ２を測定し、この距離Ｌ１，Ｌ２をｎ倍
（ｎ＝２，３，４……）した位置に次のスルーホール９
ｃ，９ｅの中心が存在するか否かによって穴位置の欠陥
の有無を判定する。
は、図４（ｄ）に示すように、検査領域内で基準のスル
ーホール９ａを設定し、この基準のスルーホール９ａの
中心から隣接するスルーホール９ｂ，９ｄの中心までの
距離Ｌ１，Ｌ２を測定し、この距離Ｌ１，Ｌ２をｎ倍
（ｎ＝２，３，４……）した位置に次のスルーホール９
ｃ，９ｅの中心が存在するか否かによって穴位置の欠陥
の有無を判定する。
【００２１】このようにして最初の検査領域の検査が終
了したならば、制御装置８はＸ−Ｙテーブル３を移動さ
せ、撮像カメラ５の真下にグリーンシート２の次の検査
領域を位置決めする。そして、同様に欠陥の有無を検査
する。
了したならば、制御装置８はＸ−Ｙテーブル３を移動さ
せ、撮像カメラ５の真下にグリーンシート２の次の検査
領域を位置決めする。そして、同様に欠陥の有無を検査
する。
【００２２】このようにグリーンシート２の平面を所定
面積単位の小さい検査領域に区分けしてスルーホール９
の欠陥を順次検査することにより、画像処理装置７にお
ける処理データ量が少なくなり、高速で１枚のグリーン
シートの検査を終えることができる。
面積単位の小さい検査領域に区分けしてスルーホール９
の欠陥を順次検査することにより、画像処理装置７にお
ける処理データ量が少なくなり、高速で１枚のグリーン
シートの検査を終えることができる。
【００２３】また、Ｘ−Ｙテーブル３を用いて自動的に
グリーンシート２を搬送しているので、１枚につき０．
１３ｍｍのスルーホールが４６０００個以上明いている
グリーンシートを効率的に検査することができる。
グリーンシート２を搬送しているので、１枚につき０．
１３ｍｍのスルーホールが４６０００個以上明いている
グリーンシートを効率的に検査することができる。
【００２４】ここで、スルーホールの欠陥をさらに詳細
に検査する必要がある場合は、撮像カメラ５の撮像倍率
を手動で高倍率に切り換えておく。すると、図４（ｃ）
に示すように、拡大されたグリーンシート２の平面画像
１１が抽出される。画像処理装置７は、この拡大された
平面画像１１に基づいて上記と同様の検査を行うが、こ
の場合に、スルーホール９の面積を測定するための網目
のピッチｄ（図４（ｄ）参照）を拡大平面画像１１のス
ルーホールのピッチｃの約８７倍に設定して検査する。
に検査する必要がある場合は、撮像カメラ５の撮像倍率
を手動で高倍率に切り換えておく。すると、図４（ｃ）
に示すように、拡大されたグリーンシート２の平面画像
１１が抽出される。画像処理装置７は、この拡大された
平面画像１１に基づいて上記と同様の検査を行うが、こ
の場合に、スルーホール９の面積を測定するための網目
のピッチｄ（図４（ｄ）参照）を拡大平面画像１１のス
ルーホールのピッチｃの約８７倍に設定して検査する。
【００２５】このように、拡大したスルーホール９の平
面画像１１を抽出して検査を行うことにより、スルーホ
ールの欠陥をさらに高精度に検出することができる。
面画像１１を抽出して検査を行うことにより、スルーホ
ールの欠陥をさらに高精度に検出することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
グリーンシートの平面画像を撮像し、その撮像したグリ
ーンシート平面画像に基づいて視野内のスルーホールの
数、位置および各穴面積を算出し、算出したスルーホー
ルの数、各穴位置および穴面積によってスルーホールの
欠陥を検出するので、スルーホールのピッチ変更に対し
ては視野内のスルーホールの数のデータを変更するとい
った極めて簡単な操作で容易に対処することができる。
また、穴詰まりを起こしている欠陥については、穴面積
が不足していることによって確実に検出することができ
る。同時に、スルーホールの数を判定しているので、ス
ルーホールの過不足も確実に検出することができるとい
った優れた効果がある。
グリーンシートの平面画像を撮像し、その撮像したグリ
ーンシート平面画像に基づいて視野内のスルーホールの
数、位置および各穴面積を算出し、算出したスルーホー
ルの数、各穴位置および穴面積によってスルーホールの
欠陥を検出するので、スルーホールのピッチ変更に対し
ては視野内のスルーホールの数のデータを変更するとい
った極めて簡単な操作で容易に対処することができる。
また、穴詰まりを起こしている欠陥については、穴面積
が不足していることによって確実に検出することができ
る。同時に、スルーホールの数を判定しているので、ス
ルーホールの過不足も確実に検出することができるとい
った優れた効果がある。
【図１】本発明のスルーホール検査装置の一実施例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】撮像カメラ、光源および検査対象のグリーンシ
ートとの関係を示す説明図である。
ートとの関係を示す説明図である。
【図３】スルーホールの穴面積、穴数、穴位置を算出す
る方法を説明するための説明図である。
る方法を説明するための説明図である。
【図４】通常倍率のスルーホールの平面画像と拡大した
倍率のスルーホール平面画像を示す平面図である。
倍率のスルーホール平面画像を示す平面図である。
１…検査装置本体、２…グリーンシート、３…Ｘ−Ｙテ
ーブル、４…光源、５…撮像カメラ、６…倍率可変機
構、７…画像処理装置、８…制御装置、９…スルーホー
ル、１０…滓、１１…平面画像、５０…視野。
ーブル、４…光源、５…撮像カメラ、６…倍率可変機
構、７…画像処理装置、８…制御装置、９…スルーホー
ル、１０…滓、１１…平面画像、５０…視野。
フロントページの続き (72)発明者 田辺 洋男 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (72)発明者 寺田 賢一 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立コンピユータエレクトロニクス内
Claims (3)
- 【請求項１】 多数のスルーホールが形成されたグリー
ンシートの平面画像を撮影する撮像手段と、撮像したグ
リーンシート平面画像に基づいて視野内のスルーホール
の数、位置および各穴面積を算出し、算出したスルーホ
ールの数が規定数に一致しない時、穴位置および穴面積
が許容範囲内に収まっていない時のいずれかの条件で視
野内のスルーホールに欠陥があることを判定する画像処
理装置とからなるスルーホール検査装置。 - 【請求項２】 前記撮像手段は撮像倍率を任意に可変す
る倍率可変機構を有することを特徴とする請求項１記載
のスルーホール検査装置。 - 【請求項３】前記画像処理装置は、撮像したグリーンシ
ート平面画像の検査対象領域を複数の小領域に区分けし
て検査することを特徴とする請求項１記載のスルーホー
ル検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217761A JPH0552765A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217761A JPH0552765A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | スルーホール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552765A true JPH0552765A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16709323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3217761A Pending JPH0552765A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552765A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06350900A (ja) * | 1993-06-10 | 1994-12-22 | Nec Corp | 合焦装置 |
| WO1995015055A1 (fr) * | 1993-11-24 | 1995-06-01 | Yoshiro Yamada | Appareil d'imagerie |
| US5801613A (en) * | 1996-02-16 | 1998-09-01 | Alps Electric Co., Ltd. | Linear motion electric component with screw-actuated wiper |
| WO2000015406A1 (en) | 1998-09-10 | 2000-03-23 | Mold Research Institute Co., Ltd. | Insert pipe for injection molding, insert pipe processing method, and molded article |
| CN105526866A (zh) * | 2016-03-03 | 2016-04-27 | 深圳市海科瑞科技有限公司 | 一种工件尺寸检测装置及检测方法 |
| CN114441533A (zh) * | 2022-01-26 | 2022-05-06 | 泰州市龙洋木业有限公司 | 工件钻孔质量光学在线检测装置 |
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| JPH0213837A (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-18 | Narumi China Corp | スルーホールやビアホール等のホール状態を検査する際の最適視野位置の決定方法 |
| JPH0271140A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-09 | Nippon Seiko Kk | プリント基板検査方法及び装置 |
| JPH03123841A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-27 | Hitachi Ltd | 小径孔の検査方法および装置 |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP3217761A patent/JPH0552765A/ja active Pending
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