JPH0213837A - スルーホールやビアホール等のホール状態を検査する際の最適視野位置の決定方法 - Google Patents

スルーホールやビアホール等のホール状態を検査する際の最適視野位置の決定方法

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JPH0213837A
JPH0213837A JP16453288A JP16453288A JPH0213837A JP H0213837 A JPH0213837 A JP H0213837A JP 16453288 A JP16453288 A JP 16453288A JP 16453288 A JP16453288 A JP 16453288A JP H0213837 A JPH0213837 A JP H0213837A
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Masahiko Oyama
昌彦 大山
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Narumi China Corp
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    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
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    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95692Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スルーホールやビアホール等のホール状態を
検査する際の最適視野位置の決定方法に係り、より詳細
には、スルーホール用のパンチ穴の詰まりゃ、スルーホ
ールへの充填印刷、とアホ−ル印刷後のホール状態を検
査するに際し、安定でしかも高速検査が可能と・なるス
ルーホールやビアホール等のホール状態を検査する際の
最適視野位置の決定方法に関する。
〔従来の技術〕。
従来、■スルーホール用パンチ穴の詰まりゃ、スルーホ
ールへの充填印刷後におけるスルーホール状態の検査、
■ビアホール印刷後におけるビアホール状態の検査は、
通常、次ぎのような方法によって行われている。すなわ
ち、 スルーホール、ビアホール検査に際して、検査のための
基準となるデータは、各視野の中心座標を基準点より演
算し、ホールに施している実物基準テープをカメラ等の
センサーで映し、その時の視野に入るホールの大きさや
個数等を前もって記憶させる方法を用いている。そして
、視野の境界部と連なるホールは、検査の際の不安定要
素となるので、その部分についてマスキングを施すよう
にしている。
なお、ビアホールとは、印刷積層基板は、グリーンシー
ト上に導体印刷を行った上に、絶縁印刷を行い、更に、
その上に導体印刷を行うというように、絶縁印刷を挟ん
で多重に印刷を行っているが、その絶縁印刷パターンを
挟む上下導体印刷パターンの導通を計るために設けてい
る多数の抜は穴をいう、そして、これらのビアホールが
正常でない場合には、配線の導通不良(ショート、断線
)が発生するので、その検査は必要不可欠とされている
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上述した検査方法の場合、次ぎのような
問題がある。すなわち、 ■ 検査のための不安定要素を排除するためのマスキン
グを、各視野毎にカメラで撮像した後に施す必要があり
、全ての視野にわたってこの処理が必要となるため、検
査速度が遅くなる。
■ 視野内にホールがない場合の検査不要の情報や、検
査順序等の情報は、操作員による判断を多くの場合、必
要とするため、検査のために必要となる情報の事前人カ
ニ数が大きくなる。
すなわち、第1図に示すように、スルーホール、ビアホ
ール等のホールaの全体像における検査のための基準点
は、ASBの位置であり、従来の方法では、基準点A、
Hの画点より検査範囲を求め、視野位置の決定を行う、
従って、第2図に示すように、視野す内と、その境界C
付近に分布するスルーホール、ビアホール等のホールa
の重なりは、描像条件による再現性の精度と、ホール自
身の加工精度と、テープ伸縮の度合等により左右される
という問題を有している。
そこで、本発明者は、上述した点に鑑み、種々検討した
処、従来の) 基準テープを撮像するティーチング方式
では含まれる情報量が少ないということを究明すると共
に、これらのスルーホール、ビアホール等の加工データ
の設計時点へ遡り、設計データ(多くの場合、CADの
ベクトルデータ)から直接、これらの情報を得ることが
好ましいことを解明した。
本発明は、上述した点に対処し、スルーホールやビアホ
ール等のホール状態を検査するに際し、その検査処理時
間を短縮すると共に、安定した検査を可能にしたスルー
ホールやビアホール等の状態を検査する際の最適視野位
置の決定方法を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
そして、上記目的を達成するための手段としての本発明
のスルーホールやビアホール等の状態を検査する際の最
適視野位置の決定方法は、スルーホールやビアホール等
のホール状態を検査するに際し、CAD等の設計データ
より、 該ホールの平面的な広がりにより、検査対象範
囲を求める検査対象範囲設定工程と、 検査対象範囲設定工程で得た検査対象範囲をカメラの視
野毎に分割を行う視野分割工程と、検査対象範囲と、分
割視野範囲とのバランスを考慮してカメラの視野の中心
位置を決定し、視野毎の座標をずらす視野座標設定工程
と、視野毎の境界と、ホールとの重なり状態を調べ、重
なりがある場合には、その重なりがなくなるように視野
の中心座標をずらす中心座標移動工程と、 視野毎のカメラの中心座標より最適検査順序を決定する
検査順序決定工程と、 最終的に決定した各視野毎の検査対象位置と、その中に
含むホール個数、大きさ等をデータベースとして構成す
るデータベース構築工程とを有し、各視野の境界とホー
ルとの重なりを回避するようにした構成よりなる。
また、視野座標設定工程において設定、または視野座標
設定工程および中心座標移動工程において設定あるいは
移動した視野毎に含むホールの個数を求め、該ホールが
ない場合には検査対象範囲から除外する検査対象範囲除
外工程を含む構成としてもよい。
ここで、本明細書におい士、rホールJとは、rlcチ
ップにおけるスルーホール、ビアホールjに限られるも
のでなく、例えば、各種の板体等における「ドリル孔j
等を含む概念であり、また、「カメラJとは各種の揚傷
用センサー等を含む概念である。
(作用〕 そして、本発明のスルーホールやビアホール等の状態を
検査する際の最適視野位置の決定方法によれば、ホール
状態を検査するに際し、CAD等の設計データより、ホ
ールの平面的床がりを検出し、これにより設定した検査
範囲をカメラの視野によって分割すると共に、その視野
の座標を移動させ、かつ最適検査順序を決定することで
ホール状態を検出するのに最適な位置を決定できるよう
にしているので、マスキング処理等の直接、検査に必要
としない処理の時間短縮ができ、ティーチングにかかる
工数削減と、ティーチングを実施する装置が不要となり
、最適検査順序も示せるため、大幅な工数削減と安定な
検査ができるように作用する。また、検査に必要となる
光学系の倍率の決定や、撮像位置の再現精度、ホールの
加工機械精度等のシュミレーションとして利用し、光学
系、加工機械の検討用としても利用できるという作用を
奏する。
〔実施例〕
以下、図面を参照しながら、本発明を具体化した実施例
について説明する。
ここに、第1〜13図は、本発明の詳細な説明するため
の説明図であって、第1図は検査するためのスルーホー
ル、ビアホール等のホール全体像の平面図、第2図は視
野の境界付近におけるホールの模式図、第3図は基準分
割説明図、第4図は包含部分の突出状態の説明図、第5
図は視野境界と内外境界との説明図、第6図は両境界付
近のホール状態の説明図、第7図は視野のだぶりの説明
図、第8図は境界近傍におけるホール状態の説明図、第
9図は補正領域近傍におけるホール状態の説明図、第1
0図、第11図はスルーホールについての検査結果を示
す説明図、第12図、第13図はビアホールについての
検査結果を示す説明図である。
本実施例は、スルーホールのホール状態を検査するに際
しての最適視野位置の決定方法であって、概略すると、
■情報抽出工程、■検査対象範囲設定工程、■視野分割
工程、■視野座標設定工程、■第一検査対象除外工程、
■中心座標移動工程、■第二検査対象除外工程、■検査
順序決定工程、■データベース構築工程の九工程により
構成されている。なお、本実施例においては、132ピ
ンのPGA (ピングリッドアレイ)のスルーホール部
に使用したものを用いている。
−情報抽出工程− 本工程は、CAD等の設計データからの必要情報を抽出
する工程である。すなわち、スルーホールの中心座標(
X座標、y座標)と半径のベクトルデータよりなるデー
タ情報より、必要情報を抽出して、検査対象範囲を設定
するようにした工程である。
設計データからの抽出データの構造 −検査範囲設定工程− 本工程は、情報抽出工程で得たデータ情報よりスルーホ
ールのX座標、y座標の最小値、最大値、設計の基準を
求め、検査範囲を設定する工程である。すなわち、CA
D等の設計データは、基準点に対するベクトルデータの
場合が多く、また前工程で抽出したデータは相対位置情
報として抽出されるので、これらのデータ全ての位置情
報よりX座標、y座標の最小値(XMIN 、 YNI
N ) 、最大値(XMAイ、Y、、舅)、すなわち、
スルーホールaの中心位置の平面的法がりを検出し、こ
れにより設計の基準としての検査対象範囲を求めるよう
にしている。
一視野分割工程一 本工程は、カメラの視野より検査対象範囲内を一定の間
隔で分割していく工程である。これは、カメラの視野と
、検査対象範囲とが相違することに対処して該検査対象
範囲を分割することで、全ての検査対象範囲をカメラで
もって撮像できるようにしたことによる。そして、カメ
ラの視野の分割は、前工程で求めたX座標、y座標の最
小値(Xsrs + YMIN ) 、最大値(XMA
や、 YMAX )より第3図に示すように、視野す、
、b、  ・・のように分割してゆく。すなわち、XI
IAX I!:X、4+Hとの差と、Y、lA、IとY
、、、との差を視野サイズで分割し、検査の対象範囲を
全て包含するように分割するようにし、この時に、カメ
ラの視野すの中心座標す、を記憶してゆくようにしてい
る。
−視野座標設定工程− 本工程は、カメラの視野の中心位置を決定し、視野毎の
座標をずらす工程である。これは、検査対象範囲と、分
割視野とのバランスを考慮したものである。そして、X
方向のバランスの合わせについて、第3図のX方向の分
割の最後の包含部dの拡大図である第4図を用いて説明
すると、前工程では、最後の部分のカメラの視野の中心
座標(Xo、Yo)が記憶されているので、X方向への
突出量ΔXは、 Δx = X o + 5IYA X / 2 + D
ABURI量XXM□ で求められる。また、同様にして、X方向への突出量Δ
yは、 Δy寓yo +5IYAY/2 +DABURIIF−
Yに^χ で求められる。ただし、5IYAX%5IYAYはX方
向、X方向の分割量のサイズ、DABIIRI量x、D
ABURIilyは、隣接視野とのダブリサイズである
そして、基準点の分割スタート点は、座標(XWIN 
I Y141N )よりスタートとしているので、視野
の中心位置を座標が(−Δx/2.−Δy/2)だけず
らせることによりバランスの良い検査視野が決定できる
。vPに、−視野のみでの検査の際にも有効な手段であ
る。
一第一検査対処除外工程一 本工程は、視野毎のホールの個数を検出し、該ホールの
ない場合に該視野を検査対象範囲より除外する工程であ
る。これは、ホールの存在しない範囲を検査対象より予
め除外することを考慮したことによる。
しかし、カメラの視野には、損傷条件によって各種の位
置ずれ等の不安定要素が存在するため、これを考慮する
必要がある。従って、この不安定要素を包含した視野で
もって、検査対象範囲と検査対象除外範囲とするかを判
定することが必要となり、第5図を参照しながら説明す
ると、不安定要素包含範囲は第5図において、視野境界
の微小距離dx、dyの範囲に形成される内項界eと外
項界fとの間に存在するので、画境界を考慮するように
している。
ここで、内項界eと外項界fの位置は、dx=R+x d7“R+7 により計算する。なお、Rはスルーホール半径、x、y
は揚傷位置ずれ量とする。また、描像位置ずれには、ス
ルーホールの加工精度、テープの伸縮量等の位置ずれ不
安定要素をすべて包含するものとする。
そして、画境界e、f間にスルーホールaが存在し、内
項界e中にスルーホールaがない場合には、検査必要視
野とし、また、画境界e、f間になく、かつ内項界e中
にスルーホールaがない場合だけ検査対象から除外する
ようにしておく。
−中心座標移動工程− 本工程は、カメラの視野の中心座標を変動させる工程で
ある。これは、視野毎の境界とホールとに重なりがある
場合、ホール状態の検査の精度が低下するため、その重
なりをなくすように、その中心座標をずらすものである
ところで、前工程に説明したように、微小距離dx%d
yより求めた内外境界とスルーホール中心との関係を調
べることでスルーホールが、両境界間に含むかどうかを
判定することでき、それにより、視野境界にスルーホー
ルが重なるかどうかの判断を行える。この場合、理論上
型なってなくても撮像時の再現時に位置ずれが生しる場
合や、テープの伸縮の影響による場合等もあり得るため
、微小距離dx、dyに予め、これらの不安定要素を含
ませている。
従って、画境界にスルーホールを含む視野では、スルー
ホール状態の検査精度を向上させるために、その中心の
位置をずらせる必要がある。そして、その最大値はdL
/2とすればよい、これは、第7図に示すように、隣接
する視野す、と視野b2との間にだぶり1ldLが存在
し、隣接するそれぞれの視野す、 、b、もどちらかの
方向に補正する必要があるためである。
そして、どちらの方向に補正するかは、通常、第8図に
示すようにスルーホールaと境界Cとの距離ΔA〜ΔH
により決定する。すなわち、一番近いスルーホールaを
境界C内に含むか、はずすかを最初の判定にしている。
また、視野の移動に伴う境界近傍のスルーホールとの位
置関係では、全てのスルーホールデータに対して演算を
行うことを避けるために、第9図において、視野境界位
置からdL/2の範囲内外の近傍のスルーホールaのみ
のデータを一度抽出し、それらのデータに対して、視野
の移動を行いながら演算を施し、視野境界Cと重ならな
い位置を決定するようにしている。これにより、移動決
定の高速性を実現できる。
一第二検査対象除外工程一 本工程は、視野位置の移動後における視野内のスルーホ
ールの個数を検出し、該スルーホールが認められない場
合に、この視野について、検査対象より除外するための
工程である。これは、移動後において、各視野にスルー
ホールの検出ができない場合は、そのホール状態を検出
する必要性のないことを考慮したことによる。
なお、スルーホールの個数の検出は、第一検査対象除外
工程における場合と同様の処理を行うようにしている。
一検査順序決定工程一 本工程は、カメラの視野毎の中心座標より、ホール状態
検査の最適順序を決定する工程である。
すなわち、カメラの視野を考慮して検査対象範囲を分割
した分割視野についての検査順序として最も好ましい順
序を決定する工程である。
そして、その決定方法としては、視野毎のカメラの中心
座標より全ての視野に必要なX座標、y座標のトータル
を求め、基本的には移動量の少ない方向への移動を優先
させ、その最適順序を求めるようにしている。
一データベース構築工程− 本工程は、各視野の検査対象位置、その中に含むスルー
ホールの個数、大きさ等をデータベースとして構築する
工程である。
すなわち、各視野毎に、X座標、y座標、半径、スルー
ホールの個数についてデータベースを構築し、このデー
タベースを検査システムへ引き渡すことができるように
している。
データベース構造 そして、本実施例によって得た結果を、第10図の図表
に示す、ここで、視野:8×9鶴、視野ダブり量:1鶴
、印刷精度(再現精度):40μ−1検査対象ニスルー
ホール、132ビンPGA、実線・破線エリアは、視野
境界とスルーホールが重なる視野を示している。
そして、本実施例による結果を、第11図に示す従来の
方法によって視野分割して得た結果とを比較して説明す
ると、従来例の場合(すなわち、補正を施していない場
合)、基準黒人より基準点Bまでの検査対象範囲の全て
を視野分割して、それぞれについてを検査対象範囲とす
る必要があるのに対し、本実施例の場合、検査対象範囲
より予め、スルーホールが視野境界と重ならないように
設定・移動するようにしているので、10個の視野分割
でもって検査対象範囲を設定できた。
従って、本実施例によれば、検査対象範囲を最小限のカ
メラの分割視野で検査すれば良いので、その検査速度を
迅速化できる等の利点を有するものである。
また、ビアホールのホール状態についても同様の方法で
もって、具体化した。なお、この場合は、前述実施例に
おける第一検査対象除外工程、第二検査対象除外工程と
を除いた構成でもって実施した。これは、ビアホールを
作成している絶縁印刷パターン自体の検査を行う必要の
あることを対処したことによる。そして、その結果を、
第12図に示す、本実施例による操作を行わない従来手
法でもって視野分割して得た結果とを比較して説明する
と、同じ数の視野分割でもって、本実施例の場合は、「
視野境界とビアホールとが重なり、その箇所における検
査精度が低下するjという問題がなく、精度の高いビア
ホール状態の検査を行・うことができるということをi
認した。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでなく
、本発明の要旨を変更しない範囲で変形実施できるもの
を含む。
〔発明の効果〕
以上の説明より明らかなように、本発明のビアホールや
スルーホール等の印刷後における状態を検査する際の最
適視野位置の決定方法によれば、スルーホール用のパン
チ穴に詰まりゃ、スルーホールへの充填印刷後の状態を
検査するに際し、マスキング処理等の直接に検査に必要
としない処理の時間短縮と、ティーチングにかかる工数
削減と、ティーチングを実施する装置が不要となり、最
適検査順序も示せるため、大幅な工数削減と安定な検査
を提供できる。また、検査に必要となる光学系の倍率の
決定や、揚傷位置の再現精度、スルーホールの加工機械
精度等のシェミレーシツンとして利用し、光学系、加工
機械の検討用としても利用できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1〜13図は、本発明の詳細な説明図であって、第1
図は検査するためのスルーホール、ビアホール等のホー
ル全体像の平面図、第2図は視野の境界付近におけるホ
ールの模式図、第3図は基準分割の説明図、第4図は包
含部分の突出状態の説明図、第5図は視野境界と内外境
界の説明図、第6図は両境界付近のホール状態の説明図
、第7図は視野のだぶりの説明図、第8図は境界近傍に
おけるホール状態の説明図、第9図は補正領域近傍にお
けるホール状態の説明図、第10図、第11図はスルー
ホールについての検査結果を示す説明図、第12図、第
13図はビアホールについての検査結果を示す説明図で
ある。 a・・・スルーホール(ホール)、b、b、。 b、・・・視野、C・・・視野境界、d・・・包含部分
、e・・・内項界、f・・・外境界特 許 出願人  
鳴海製陶株式会社 代理人 弁理士  吉 村 博 文 j11図 1準ζ 距2コ l−””−”−−−5−1 !          1 朝 j13図 竿5図 第6図 第10図 、第11図 −に χ 第12図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)スルーホールやビアホール等のホール状態を検査
    するに際し、CAD等の設計データより、該ホールの平
    面的な広がりにより、検査対象範囲を求める検査対象範
    囲設定工程と、 検査対象範囲設定工程で得た検査対象範囲をカメラの視
    野毎に分割を行う視野分割工程と、検査対象範囲と、分
    割視野範囲とのバランスを考慮してカメラの視野の中心
    位置を決定し、視野毎の座標をずらす視野座標設定工程
    と、 視野毎の境界と、ホールとの重なり状態を調べ、重なり
    がある場合には、その重なりがなくなるように視野の中
    心座標をずらす中心座標移動工程と、 視野毎のカメラの中心座標より最適検査順序を決定する
    検査順序決定工程と、 最終的に決定した各視野毎の検査対象位置と、その中に
    含むホール個数、大きさ等をデータベースとして構成す
    るデータベース構築工程 とを有し、各視野の境界とホールとの重なりを回避する
    ようにしたことを特徴とするスルーホールやビアホール
    等のホール状態を検査する際の最適視野位置の決定方法
  2. (2)視野座標設定工程において設定、または視野座標
    設定工程および中心座標移動工程において設定あるいは
    移動した視野毎に含むホールの個数を求め、該ホールが
    ない場合には検査対象範囲から除外する検査対象範囲除
    外工程を有する請求項1に記載のスルーホールやビアホ
    ール等のホール状態を検査する際の最適視野位置の決定
    方法。
JP16453288A 1988-06-30 1988-06-30 スルーホールやビアホール等のホール状態を検査する際の最適視野位置の決定方法 Pending JPH0213837A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0552765A (ja) * 1991-08-29 1993-03-02 Hitachi Ltd スルーホール検査装置
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