JPH08261737A - 網形状物検査装置及び網形状物検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、網形状物検査装置及び網形状物検査
方法において、網形状物の網目欠損や目詰りを高い精度
でかつ高速に検出し得るようにする。 【構成】網形状物を撮像する撮像手段と、撮像手段の出
力に基づいて網形状物の網目の開口状態を検出し、検出
した開口状態を基準状態と比較して、基準状態との差異
の有無を検出する検出手段とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図８及び図１１） 作用（図８及び図１１） 実施例（図１〜図１３） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は網形状物検査装置及び網
形状物検査方法に関し、例えば平板状の空気濾過用網状
フイルタを検査するものに適用し得る。

【０００３】

【従来の技術】従来、網状フイルタ（以下、ワークとい
う）の網目の欠損や目詰りは、一般に、作業者の目視に
よつて検査されていた。また目詰りの検査では、ワーク
の前後の流量比を測定することもあつた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
に目視によつて検査する場合には、作業者の個人差や検
査のときの環境等によつて、ワークの網目の欠損を見落
とすことがあると共に、網目の目詰り箇所のデジタル的
な検査に時間がかかるという問題があつた。このため目
視による検査では、１日に検査できるフイルタの数が少
ないという欠点があつた。一方、流量比で目詰りを算出
する場合には精密測定が必要となる。ところが測定装置
の構成が複雑となるため、この方法による精密測定は、
実際上、困難である。

【０００５】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、網形状物の網目欠損や目詰りを高い精度でかつ高速
に検出し得る網形状物検査装置及び網形状物検査方法を
提案しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、網形状物を撮像する撮像手段と、
撮像手段の出力に基づいて網形状物の網目の開口状態を
検出し、検出した開口状態と予め記憶した基準状態とを
比較して基準状態との差異の有無を検出する検出手段と
を設ける。

【０００７】

【作用】撮像手段は、網形状物を撮像して画像データを
出力する。検出手段は、画像データに基づいて網目の開
口状態を検出し、検出した開口状態と予め記憶した基準
状態とを比較して、開口状態が基準状態とほぼ同一であ
るか否かを検出することにより、網形状物の網目欠損や
目詰りを目視で検査する場合に比して高い精度でかつ高
速に検出できる。

【０００８】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【０００９】図１において、１は全体として網形状物、
例えば平らなワーク２を検査するフイルタ検査装置を示
す。フイルタ検査装置１は、架台上に載置した矩形のベ
ース３上に２本のレール４及び５が平行に敷設されてい
る。フイルタ検査装置１は、ワーク２を供給部６に載置
してレール４及び５に沿つて検査部７に搬送し、検査部
７で検査したワーク２をレール４及び５に沿つて排出部
８に搬送する。フイルタ検査装置１は、検査部７での検
査結果に従つて、ワーク２を排出部８によつて異なる方
向に排出して良品及び不良品に選別する。フイルタ検査
装置１は、ベース３に隣接して配設されているモニタ９
に検査状態を表示させる。

【００１０】ワーク２は、材質がプラスチツクでなり、
空気を濾過するフイルタとして使用するためほぼ矩形平
板状に一体射出成型されている。図２に示すように、ワ
ーク２は例えば幅５〜７〔mm〕の太枠１０によつて周縁
部が形成されていると共に、太枠１０によつて長手方向
及び幅方向にそれぞれ区切られて、９つのブロツク１１
〜１９に区画されている。またワーク２は、裏面のうち
短辺２０及び２１中央部を除く周辺付近に補強リブ２２
及び２３が配設されている。図３に示すように、それぞ
れのブロツク１１〜１９は、例えば幅１〔mm〕の細枠２
４によつて長手方向及び幅方向にそれぞれ複数に区切ら
れて、複数のウインドウ２５に区画されている。

【００１１】図４に示すように、それぞれのウインドウ
２５は、例えば幅 0.3〔mm〕の最小格子によつて長手方
向及び幅方向にそれぞれ等間隔で複数に区切られて、矩
形の１層の網目が複数形成されている。これにより網目
の開口２６の大きさは、長手方向及び幅方向に例えばそ
れぞれ1.25〔mm〕及び1.25〔mm〕でなる。図５に示すよ
うに、ワーク２の表側の格子２７は、ワーク２を金型か
ら容易に取り外すため、断面が金型の抜きテーパ形状と
合つたほぼＶ字形状であり、ワーク２の長手方向に形成
されている。裏側の格子２８は、断面が半円形状であ
り、ワーク２の幅方向に形成されている。

【００１２】因みに、ワーク２は、補強リブ２２及び２
３が配置されていない長手方向中央部が凹む傾向があ
る。このため図６に示すように、裏側の格子２８が反つ
て、表側の格子２７のＶ字先端の向きが揃わない。この
状態でワーク２を下方から照明すると照明光２９が表側
の格子２７の側面でそれぞれ異なる方向に反射して、図
７の斜線で示すように、表側の格子２７のエツジ部にお
いては、光量が不均一となる。このため、開口率を正し
く測定できなくなる可能性や２値化の閾値レベルを任意
の値に設定できない可能性がある。従つて、常にワーク
２の透過像が安定して撮像できるように、ワーク２を平
坦とすることが必要である。

【００１３】図１に示すように、供給部６は、ワーク２
を載置して移動する検査用枠体３０を有する。また供給
部６は、枠体３０の開口中央部で昇降するワーク受け台
（図示せず）がベース３上に配設されている。さらに供
給部６には、外部からロボツト（図示せず）や人手によ
つてワーク２が供給されるリフタ（図示せず）が隣接し
て配設されている。図８に示すように、ワーク２を載置
した枠体３０は、検査部７のモータ制御回路３２で制御
されるモータ３３によつて、光源部３４上に端部から等
間隔で順次送られる。光源部３４は、光源箱３５の底に
配設された光源３６の光束を拡散板３７に与えて拡散光
３８を射出させる。

【００１４】図８に示すように、検査部７は、下方から
拡散光３８で照明して得たワーク２の像を撮像手段、例
えばＣＣＤ（Charge Coupled Device ）を使用した第１
〜第４カメラ３９〜４２によつてそれぞれ上方から撮像
する。第１〜第４カメラ３９〜４２は、ワーク２の搬送
方向に直交する方向に沿つて並べられている。

【００１５】図９に示すように、検査部７は、検査の要
求精度を満たすため、第１〜第４カメラ３９〜４２と、
複数回（ここでは５回）の搬送方向に沿つたピツチ送り
とを併用して、ワーク２面内を複数（ここでは２０）の
矩形の撮像エリア４３〜６２に領域分けする。検査部７
は、撮像エリア４３〜６２の境界がウインドウ２５の細
枠２４に沿つて設定されていると共に、ウインドウ２５
が開口率検査の最小単位として設定されている。第１〜
第４カメラ３９〜４２は、ワーク２が１回位置決めされ
る毎に、搬送方向と直交する方向に沿つて４つずつ撮像
エリア４３〜６２をそれぞれ撮像する。但し、検査部７
は、１回の位置決めで１度に２つのカメラで２つの撮像
エリアを撮像する。

【００１６】図８に示すように、検査部７はメモリ６４
を有しており、第１〜第４カメラ３９〜４２がそれぞれ
出力した画像データＳ１〜Ｓ４を検出手段、例えば画像
処理用コンピユータ（以下、画像処理用ＣＰＵという）
６５によつてメモリ６４に記憶させる。画像処理用コン
ピユータ６５は、メモリ６４に記憶した画像データＳ１
〜Ｓ４を２値化し、この２値化データＳ５をメモリ６６
に記憶する。

【００１７】また画像処理用ＣＰＵ６５は、メモリ６６
に記憶した２値化データＳ５に基づいて開口の面積を検
出し、この面積が良品ワーク２の開口面積と異なる網目
を検出する。さらに画像処理用ＣＰＵ６５は、検出した
網目の開口面積に応じて網目欠損か目詰りかを検出し、
それぞれの数を算出して算出結果Ｓ６を判定手段、例え
ば制御用ＣＰＵ６７に通信手段で伝達する。メモリ６８
には、予め良品ワーク２の開口面積の２値化データが記
憶されている。

【００１８】画像処理用ＣＰＵ６５は、検査に先立ち、
２値化の閾値と、それぞれのウインドウ２５と、それぞ
れのウインドウ２５の開口面積（画素数）とが設定され
る。２値化の閾値は、太枠１０、細枠２４、格子２７及
び２８及び開口２６の目詰り部分が黒となり、これ以外
の正常な開口２６が白となるレベルに設定される。それ
ぞれのウインドウ２５は、良品ワーク２のスルー画像に
基づいて設定される。それぞれのウインドウ２５の開口
面積（画素数）は、予め良品ワーク２を所定の位置にセ
ツトし、第１〜第４カメラ３９〜４２で開口面積をそれ
ぞれ実測して設定される。

【００１９】検査部７は、ワーク２が搬送されて来る
と、図１１に示すワーク検査手順に従つてワーク２を検
査する。すなわち検査部７は、開始ステツプＳＰ１０か
ら入り、ステツプＳＰ１１において、例えば撮像エリア
４３及び４４を第１及び第２カメラ３９及び４０でそれ
ぞれ撮像する。これにより、画像処理用ＣＰＵ６５は、
画像データＳ１及びＳ２をメモリ６４に取り込むとステ
ツプＳＰ１２に移る。

【００２０】ステツプＳＰ１２において、画像処理用Ｃ
ＰＵ６５は、メモリ６４の画像データＳ１及びＳ２を黒
画素及び白画素に２値化してメモリ６６に転送するとス
テツプＳＰ１３に移る。ステツプＳＰ１３において、画
像処理用ＣＰＵ６５は、設定されたそれぞれのウインド
ウ２５に基づいて、検査対象の２値化データの画素の位
置を補正するとステツプＳＰ１４に移る。

【００２１】ステツプＳＰ１４において、画像処理用Ｃ
ＰＵ６５は、２値化データの白画素のみが連続する領域
を１つのラベルとしてウインドウ内の全てのラベルを認
識するとステツプＳＰ１５に移る。ステツプＳＰ１５に
おいて、画像処理用ＣＰＵ６５は、ウインドウ２５内の
それぞれのラベル面積を算出するとステツプＳＰ１６に
移る。

【００２２】ここで、図１１に示すように、格子２７及
び２８の欠損は、格子２７及び２８の一部が欠けるマイ
ナス形欠損と、格子２７及び２８の交点部が欠けるプラ
ス形欠損とに分類される。正常な開口（図中の右下がり
斜線部分）２６が単位面積Ｓを有する単位面積ラベルで
あると考えると、１つの格子欠損によるマイナス形欠損
で連続する２つの開口（図中の右上がり斜線部分）２６
は、図１２（Ａ）に示すように、約２Ｓの面積を有する
大面積ラベル７８と考えられる。

【００２３】同様に２つの格子欠損によるマイナス形欠
損で連続する３つの開口２６は、図１２（Ｂ）に示すよ
うに、約３Ｓの面積を有する大面積ラベル７９と考えら
れる。さらに１つの交点部欠損によるプラス形欠損で連
続する４つの開口２６は、図１２（Ｃ）に示すように、
約４Ｓの面積を有する大面積ラベル８０と考えられる。
一方、目詰まりした網目は、零の面積を有するラベルと
考えられる。このようにして画像処理用ＣＰＵ６５は、
単位面積のラベルの整数倍として認識することにより、
単位面積Ｓと異なる面積のラベルを容易に検出すること
ができる。

【００２４】ステツプＳＰ１６において、画像処理用Ｃ
ＰＵ６５は、それぞれのラベルの面積を単位面積Ｓと比
較し、大面積ラベル７８〜８０を検出する。画像処理用
ＣＰＵ６５は、検出した大面積ラベル７８〜８０の数を
面積２Ｓ、３Ｓ、４Ｓ毎にそれぞれ計数して欠損数とし
て測定するとステツプＳＰ１７に移る。ステツプＳＰ１
７において、画像処理用ＣＰＵ６５は、ウインドウ２５
内のラベルの面積を合計して、このウインドウ２５に設
定された開口面積と比較する。

【００２５】これにより画像処理用ＣＰＵ６５は、良品
ワーク２の開口率を100 ％として、それぞれのウインド
ウ２５の開口率を測定するとステツプＳＰ１８に移る。
ステツプＳＰ１８において、画像処理用ＣＰＵ６５は、
それぞれのウインドウ２５毎に測定して得た欠陥数及び
開口率を制御用ＣＰＵ６７に通知するとステツプＳＰ１
９に移る。

【００２６】ステツプＳＰ１９において、画像処理用Ｃ
ＰＵ６５は、次の撮像エリア（ここでは撮像エリア４５
及び４６）を第３及び第４カメラ４１及び４２によつて
撮像して画像データＳ３及びＳ４を取り込んだか否かを
判断する。ステツプＳＰ１９において、否定結果を得る
と、画像処理用ＣＰＵ６５は、ステツプＳＰ２０に移
る。ステツプＳＰ２０において、第３及び第４カメラ４
１及び４２によつて撮像エリア４５及び４６の画像デー
タＳ３及びＳ４を取り込むとステツプＳＰ１２に戻り上
述の手順を繰り返す。

【００２７】ステツプＳＰ１９において、肯定結果を得
ると、画像処理用ＣＰＵ６５は、ワーク２の搬送方向に
直交する同一方向に配列された全ての撮像エリアの画像
データＳ１〜Ｓ４を取り込んだと判断してステツプＳＰ
２１に移る。ステツプＳＰ２１において、画像処理用Ｃ
ＰＵ６５は、ワーク２の全面の検査が終了したか否かを
判断して、否定結果を得ると、ステツプＳＰ２２に移
る。ステツプＳＰ２２において、画像処理用ＣＰＵ６５
は、枠体３０を制御用ＣＰＵ６７の制御によつて所定ピ
ツチだけ搬送させてステツプＳＰ１１に戻り上述の手順
を繰り返す。

【００２８】やがてステツプＳＰ２１において肯定結果
を得ると、画像処理用ＣＰＵ６５は、ワーク２全面の検
査が終了したと判断し、ステツプＳＰ２３に移る。ステ
ツプＳＰ２３において、制御用ＣＰＵ６７は、検査済の
ワーク２を制御用ＣＰＵ６７の制御によつて排出部８に
搬送させてステツプＳＰ２４に移り、ワーク２の検査を
終了する。

【００２９】制御用ＣＰＵ６７は、良品ワーク２の基準
データに基づいて許容欠損数及び許容開口率が予め設定
される。制御用ＣＰＵ６７は、この許容欠損数及び許容
開口率と、画像処理用ＣＰＵ６５から通知された欠損数
及び開口率とを比較して、検査対象のワーク２が良品か
否かを判定する。因みに、制御用ＣＰＵ６７は、例えば
マイナス形欠損が３つ以上又はプラス形欠損が１つ以上
あると不良品と判断する。

【００３０】また制御用ＣＰＵ６７は、入出力インタフ
エース回路（図中Ｉ／Ｏ回路で示す）６９を介して、枠
体搬送制御用センサ（図示せず）や空圧機器（図示せ
ず）を制御する。制御用ＣＰＵ６７は、画像処理用ＣＰ
Ｕ６５から伝達された算出結果Ｓ６を加工して、モニタ
９に表示したり、メモリ７０に記憶させる。メモリ７０
には、良品ワーク２の基準データ、それぞれのワーク２
の測定データ及び測定に係わるパラメータ等が記憶され
ており、オペレータによつて任意に加工される。

【００３１】図１に示すように、排出部８は、枠体３０
が上方で停止して検査済のワーク２のクランプを解除す
ると、テーブル７１を上昇させる。これにより排出部８
は、テーブル７１上に配設されたワーク受け板７２及び
回り止めブラシ７３によつて、ワーク２を枠体３０から
受け取る。この後、排出部８は、制御用ＣＰＵ６７の判
定に従つてワーク受け板７２を傾斜させて、ワーク２を
シユータ７４又は７５に排出する。シユータ７４及び７
５は、それぞれベース３のレール５側の辺と、ベース３
の排出部８側の辺に配設されている。良品のワーク２は
シユータ７４を通り、コンベア７６上に落下して外部に
搬出される。不良品のワーク２はシユータ７５を通り、
収納箱７７内に落下する。

【００３２】以上の構成において、フイルタ検査装置１
は、図１３に示す全体的ワーク処理手順に従つてワーク
を良品と不良品とに選別する。すなわちフイルタ検査装
置１は、開始ステツプＳＰ０から入り、ステツプＳＰ１
において、リフタ上に、表側を下方に向けたワーク２を
供給されるとステツプＳＰ２に移る。ステツプＳＰ２に
おいて、フイルタ検査装置１は、リフタを降下させ、ワ
ーク受け台上に、ワーク２を載置するとステツプＳＰ３
に移る。

【００３３】ステツプＳＰ３において、フイルタ検査装
置１は、枠体３０上のクランパ（図示せず）によつて、
ワーク２をクランプしてワーク２の姿勢をほぼ平坦に矯
正すると共に、位置決めして枠体３０上に保持すると、
ステツプＳＰ４に移る。ステツプＳＰ４において、フイ
ルタ検査装置１は、枠体３０に保持したワーク２を検査
部７に移動させるとステツプＳＰ５に移る。

【００３４】ステツプＳＰ５において、フイルタ検査装
置１は、検査部７でワーク２を撮像して画像データを取
り込む。続いて、フイルタ検査装置１は、この画像デー
タに基づいて網目の開口面積を検出し、この開口面積を
良品ワーク２の開口面積と比較してワーク２の網目欠損
や目詰り状態の欠陥網目を検出する。これにより作業者
の個人差や検査のときの環境に影響されず、目視に比し
て一段と高精度でかつ高速に欠陥網目を検出できる。続
いて、フイルタ検査装置１は、検出した欠陥網目の数を
測定し、良品ワーク２の基準データに基づいてワーク２
の形状の良否を判定する。

【００３５】ステツプＳＰ５において、肯定結果を得る
と、フイルタ検査装置１はワーク２が良品であると判断
してステツプＳＰ６に移る。ステツプＳＰ６において、
フイルタ検査装置１は、ワーク受け板７２を傾斜させ、
良品のワーク２をシユータ７４に排出してステツプＳＰ
７に移り、１つのワーク２の処理を終了する。

【００３６】一方、ステツプＳＰ５において、否定結果
を得ると、フイルタ検査装置１はワークが不良品である
と判断してステツプＳＰ８に移る。ステツプＳＰ８にお
いて、フイルタ検査装置１は、ワーク受け板７２を回動
して、ワーク２の方向を変換すると、ステツプＳＰ９に
移る。ステツプＳＰ９において、フイルタ検査装置１
は、ワーク受け板７２を傾斜させ、不良品のワーク２を
シユータ７５に排出してステツプＳＰ７に移り、１つの
ワーク２の処理を終了する。

【００３７】以上の構成によれば、ワーク２を第１〜第
４カメラ３９〜４２で撮像して得た画像データＳ１〜Ｓ
４に基づいて網目の開口面積を検出し、検出した開口面
積が単位面積Ｓの整数倍の面積を有するものとして単位
面積Ｓと比較して、単位面積Ｓを超えたり零となる開口
面積を有する欠陥網目を検出し、この欠陥網目の数を定
量的に測定することにより、ワーク２の網目欠損や目詰
りを目視で検査する場合に比して一段と高い精度でかつ
高速に検出できる。また検出した網子欠損数及び開口率
を、任意に設定した許容欠損数及び許容開口率と比較し
て、ワーク２の形状の適否を判定することにより、均質
なレベルのワーク２を得ることができる。

【００３８】なお上述の実施例においては、ワーク２を
第１〜第４カメラ３９〜４２で撮像する際、光源３６の
光束を拡散板３７で拡散させて得た拡散光をワーク２に
照射する場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、拡散板３７に代えて、第１〜第４カメラ３９〜４２
とワーク２との間に透過スクリーンを配設し、光源３６
の光束を下方から照射してワーク２の投影像を撮像する
場合にも適用し得る。

【００３９】また上述の実施例においては、ワーク２の
長辺方向及び短辺方向に等間隔で複数配設された格子２
７及び２８によつて、開口２６がそれぞれ長辺方向及び
短辺方向に揃うように配列された場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、開口が市松状や蜂の巣状
等、任意の位置に配置されている場合にも適用できる。

【００４０】さらに上述の実施例においては、ワーク２
に同一面積の矩形の開口２６が配置されている場合につ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、ほぼ同一面積の
開口である限り、開口の形状は矩形以外の任意の形状、
例えば６角形や円形等でも良く、異なる形状の開口が混
在していても良い。

【００４１】さらに上述の実施例においては、ワーク２
の全面に亘つて１つの単位面積Ｓを設定する場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、区画した領域毎や
それぞれの開口毎に任意の単位面積を設定する場合にも
適用できる。

【００４２】さらに上述の実施例においては、空気を濾
過するフイルタとして使用するワーク２を検査する場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、水や油等、
任意の流体を濾過するフイルタとして使用する網形状物
を検査する場合にも適用できる。

【００４３】さらに上述の実施例においては、空気を濾
過するフイルタとして使用するワーク２を検査する場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば光演
算マスクの開口や液晶表示装置の画素電極用露光マスク
のパターン等、基体の有無に関わらず、任意の材料で一
体に形成した網目あるいは網目として識別可能な形状を
有する任意の網形状物を検査する場合にも広く適用でき
る。

【００４４】さらに上述の実施例においては、全体とし
て平らなワーク２を検査する場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、ワークの開口を所定の方向から撮
像して、ワーク全面の画像データを正しく取り込むこと
ができる限り、任意の形状に形成されたワークを検査す
る場合にも適用できる。例えば全体として円筒形状に形
成されたワークを検査する場合には、ワークの画像デー
タはカメラ等の撮像手段とワークとを相対的に回転走査
して取り込まれる。

【００４５】さらに上述の実施例においては、ワーク２
全面の画像データＳ１〜Ｓ４を得る際に、ワーク２を第
１〜第４カメラ３９〜４２に対して走査する場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、ワーク全面を任意
の数のカメラで一度に撮像する場合にも適用できる。

【００４６】さらに上述の実施例においては、光源部３
４をベース３上に第１〜第４カメラ３９〜４２に対向さ
せて配設する場合について述べたが、本発明はこれに限
らず、光源部３４を配設しない場合や、光源部をワーク
の上方にすなわちカメラ側に配設する場合にも適用でき
る。

【００４７】さらに上述の実施例においては、ワーク２
の網目の開口面積を検出し、この開口面積と基準開口面
積とを比較して、基準開口面積との差異の有無を検出す
る場合について述べたが、本発明はこれに限らず、網目
の開口形状を検出し、この開口形状と基準開口形状とを
比較して、基準開口形状との差異の有無を検出する場合
にも適用できる。

【００４８】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、網形状物
を撮像する撮像手段と、撮像手段の出力に基づいて網形
状物の網目の開口状態を検出し、検出した開口状態を基
準状態と比較して、基準状態との差異の有無を検出する
検出手段とを設けることにより、網形状物の網目欠損や
目詰りを一段と高い精度でかつ高速に検出し得る網形状
物検査装置及び網形状物検査方法を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による網形状物検査装置及び網形状物検
査方法の一実施例によるフイルタ検査装置を示す斜視図
である。

【図２】ワークの形状を示す斜視図である。

【図３】ブロツクの形状を示す略線図である。

【図４】ウインドウの形状を示す略線図である。

【図５】格子の形状を示す断面図である。

【図６】格子に歪みがあるときの照明光の透過状態を示
す略線図である。

【図７】格子に歪みがあるときの透過光量の状態を示す
略線図である。

【図８】検査装置の構成を示す略線図である。

【図９】それぞれのカメラの撮像エリアを示す略線図で
ある。

【図１０】実施例によるワーク検査手順の説明に供する
フローチヤートである。

【図１１】格子欠損の種類を示す略線図である。

【図１２】ラベルの形状を示す略線図である。

【図１３】全体的ワーク処理手順を示すフローチヤート
である。

【符号の説明】

１……フイルタ検査装置、２……ワーク、３……ベー
ス、４、５……レール、６……供給部、７……検査部、
８……排出部、９……モニタ、１０……太枠、１１〜１
９……ブロツク、２０、２１……短辺、２２、２３……
補強リブ、２４……細枠、２５……ウインドウ、２６…
…開口、２７……表側の格子、２８……裏側の格子、２
９……照明光、３０……枠体、３２……モータ制御回
路、３３……モータ、３４……光源部、３５……光源
箱、３６……光源、３７……拡散板、３８……拡散光、
３９〜４２……第１〜第４カメラ、４３〜６２……撮像
エリア、６４、６６、６８、７０……メモリ、６５……
画像処理用ＣＰＵ、６７……制御用ＣＰＵ、６９……Ｉ
／Ｏ回路、７１……テーブル、７２……ワーク受け板、
７３……回り止めブラシ、７４、７５……シユータ、７
６……コンベア、７７……収納箱、７８〜８０……大面
積ラベル。

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】網形状物を検査する網形状物検査装置にお
   いて、 上記網形状物を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段の出力に基づいて上記網形状物の網目の開
   口状態を検出し、当該検出した開口状態と予め記憶した
   基準状態とを比較して当該基準状態との差異の有無を検
   出する検出手段とを具えることを特徴とする網形状物検
   査装置。
2. 【請求項２】上記網形状物は、ほぼ平板形状であり、複
   数の上記網目が１層で一体に形成されていることを特徴
   とする請求項１に記載の網形状物検査装置。
3. 【請求項３】上記網目の開口状態は、当該網目の開口面
   積であり、 上記基準状態は、基準面積であり、 上記検出手段は、上記出力に基づいて上記開口面積を検
   出し、当該開口面積を上記基準面積と比較し、上記基準
   面積と異なる上記開口面積を有する上記網目の数を計測
   することを特徴とする請求項１に記載の網形状物検査装
   置。
4. 【請求項４】上記検出手段は、上記開口面積を上記基準
   面積と比較するとき、当該開口面積が上記基準面積のほ
   ぼ整数倍の面積を有するものとして比較することを特徴
   とする請求項１又は請求項３に記載の網形状物検査装
   置。
5. 【請求項５】上記検出手段は、上記基準面積と異なる上
   記開口面積を有する上記網目の数を計測するとき、上記
   基準面積のほぼ整数倍の面積を有する上記開口面積毎に
   分類して計測することを特徴とする請求項１、請求項３
   又は請求項４に記載の網形状物検査装置。
6. 【請求項６】上記検出手段の計測結果を基準計測数と比
   較して上記網形状物の形状の適否を判定する判定手段を
   有することを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４
   又は請求項５に記載の網形状物検査装置。
7. 【請求項７】網形状物を検査する網形状物検査方法にお
   いて、 上記網形状物を撮像する撮像ステツプと、 上記撮像手段の出力に基づいて上記網形状物の網目開口
   状態を検出すると共に、上記検出した網目開口状態と予
   め記憶した基準状態とを比較して当該基準状態との差異
   の有無を検出する検出ステツプとを具えることを特徴と
   する網形状物検査方法。
8. 【請求項８】上記網形状物は、ほぼ平板形状であり、複
   数の上記網目が１層で一体に形成されていることを特徴
   とする請求項７に記載の網形状物検査方法。
9. 【請求項９】上記網目の開口状態は、当該網目の開口面
   積であり、 上記基準状態は、基準面積であり、 上記検出ステツプでは、上記出力に基づいて上記開口面
   積を検出し、当該開口面積を上記基準面積と比較し、上
   記基準面積と異なる上記開口面積を有する上記網目の数
   を計測することを特徴とする請求項７に記載の網形状物
   検査方法。
10. 【請求項１０】上記検出ステツプでは、上記開口面積を
    上記基準面積と比較するとき、当該開口面積が上記基準
    面積のほぼ整数倍の面積を有するものとして比較するこ
    とを特徴とする請求項７又は請求項９に記載の網形状物
    検査方法。
11. 【請求項１１】上記検出ステツプでは、上記基準面積と
    異なる上記開口面積を有する上記網目の数を計測すると
    き、上記基準面積のほぼ整数倍の面積を有する上記開口
    面積毎に分類して計測することを特徴とする請求項７、
    請求項９又は請求項１０に記載の網形状物検査方法。
12. 【請求項１２】上記検出ステツプで得た計測結果を基準
    計測数と比較して上記網形状物の形状の適否を判定する
    ステツプを具えることを特徴とする請求項７、請求項
    ９、請求項１０又は請求項１１に記載の網形状物検査方
    法。