KR0180269B1 - 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법 - Google Patents

테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법 Download PDF

Info

Publication number
KR0180269B1
KR0180269B1 KR1019950043128A KR19950043128A KR0180269B1 KR 0180269 B1 KR0180269 B1 KR 0180269B1 KR 1019950043128 A KR1019950043128 A KR 1019950043128A KR 19950043128 A KR19950043128 A KR 19950043128A KR 0180269 B1 KR0180269 B1 KR 0180269B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
tape carrier
carrier package
defective
inspecting
Prior art date
Application number
KR1019950043128A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960019631A (ko
Inventor
켄지 오카모토
요이치로 우에다
토시아키 야마우찌
히로토 오오사키
마코토 카와이
마사노리 야스타케
Original Assignee
모리시타 요이찌
미쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 모리시타 요이찌, 미쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 filed Critical 모리시타 요이찌
Publication of KR960019631A publication Critical patent/KR960019631A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0180269B1 publication Critical patent/KR0180269B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은, 테이프캐리어패키지의 앞뒤양면의 외관검사를 단시간에 행할 수 있는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 그 검사방법을 제공하는 것을 목적으로한 것이며, 그 구성에 있어서, 테이프캐리어패키지(1)이 소정의 피치로 형성되어 있는 테이프캐리어(2)를 이송수단(9)에 의해서 피치이송하고, 이송수단(9)에 있어서의 이송경로(10)의 적소에 제1과 제2의 라인카메라(11),(12)를 배설하는 동시에 그들을 X-Y테이블(13)에서 주사이동시키는데에 따른 캐리어패키지(1)의 표면과 이면을 각각 서로 다른위치에서 동시에 촬상하고, 촬상된 화상데이터에 의거해서 화상처리검사처리부(16)에서 외관검사를 행하도록 한 것을 특징으로 한 것이다.

Description

테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사방법
제1도는 본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치의 일실시예의 개략구성도.
제2도는 동 실시예의 개략구성을 표시한 사시도.
제3도는 동 실시예에 있어서의 화상처리검사판정부의 구성도.
제4도는 동 실시예에 있어서의 리드검사의 동작순서도.
제5도는 동 실시예에 있어서의 리드검사방법의 설명도.
제6도는 동 실시예에 있어서의 문자검사의 동작순서도.
제7도는 동 실시예에 있어서의 문자검사방법의 설명도.
제8도는 동 실시예에 있어서의 테이프캐리어패키지의 사시도.
제9도는 동 실시예의 테이프캐리어패키지를 배설한 테이프캐리어의 사시도.
제10도는 본 발명의 다른 실시예의 개략구성도.
제11도는 동실시예에 있어서의 검사동작의 순서도.
제12도는 종래예의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치의 개략구성도.
제13도는 종래예에 있어서의 리드검사방법의 설명도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 테이프캐리어패키지 2 : 테이프캐리어
9 : 이동수단 11 : 제1라인카메라(제1촬상수단)
12 : 제2라인카메라(제2촬상수단) 13 : X-Y테이블(주사이동수단)
16 : 화상처리검사판정부(검사수단) 17 : 표시부(표시수단)
18 : 제어부(제어수단) 20 : 확인스테이션
27 : 화상메모리 29 : 리드검사부
30 : 레지스트·실링검사부 31 : 문자검사부
34 : 리드 35 : 회접(外接)4각형
36 : 처리화면 41 : 브러시
본 발명은 테이프캐리어패키지에 IC패키지를 소정피치로 배설해서 이루어진 테이프캐리어패키지에 있어서의 리드나 레지스트나 실링이나 문자등의 외관을 검사하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다.
종래의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치에 있어서는, 제12도에 표시한 바와 같이, 테이프캐리어(52)의 이송경로의 상부에 2차원의 CCD카메라(53)을 배설하고, 촬상된 테이프캐리어 패키지(51)의 화상데이터를 화상처리검사판정부(54)에서 처리하고, 리드의 외관형상의 검사를 행하도록 구성되어 있다. 또, 데이터캐리어패키지(51)의 미세한 리드상에 티끌이나 먼지등이 부차하고 있으면, 리드자체는 양호하더라도 검사결과는 불량으로 되어버리는 두려움이 있으므로, CCD카메라(53)의 위쪽에 에어블로(55)를 배설해서 티끌등을 제거하도록 한것도 알려지고 있다.
또, 검사에 있어서는, 각검사부위마다 검사구역을 설정해서 검사부위에 대해서 패턴매칭을 행하거나, 면적판정이나 경계추적등의 주지의 방법에 의해서 정상, 불량의 판정을 행하고 있다. 예를들면, 리드의 경우에는, 제13도에 표시한 바와 같이, 각 리드(56)마다 검사구역(57)을 설정하고, 각각으로 패턴매칭을 행하여 양부판정을 행하고 있다.
그러나, 상기 종래의 구성에서는 테이프캐리어패키지(51)의 한쪽면 밖에 검사할 수 없으므로, 양면검사할 필요가 있는 경우에 검사에 시간이 걸린다고하는 문제가 있다. 또, 테이프캐리어패키지(51)의 고집적화 및 미소화의 진전에 의해 고정밀도의 검사가 필요하게 되어있으나, 2차원CCD카메라(53)의 화소수는 한정되어 있으므로, 소정의 정밀도의 검사를 행할려면 CCD카메라(53)을 X,Y 2방향으로 차례로 위치를 비겨놓고 고정밀도로 위치결정하면서 촬상한다고 하는 동작을 반복할 필요가 있기 때문에 한쪽면의 검사에도 시간이 걸린다고하는 문제가 있다.
또, 티끌·먼지의 부착에 의한 불량판정을 방지하기 위하여, 에어블로(55)를 설치한 것에 있어서도, 티끌등이 달라붙어있을 경우에는 제거할 수 없이 오판정한다고하는 문제가 있다. 이와 같은 문제를 해소하기 위하여 에어블로(55)에 대신해서 브러시를 설치하는 일도 생각할 수 있으나, 50∼80μm정도의 폭의 리드를 가진 테이프캐리어패키지(51)에 있어서는, 그리드나칩에 상처를 입혀버리는 염려가 있다는 문제가 있다.
또, 미세하고 또한 다수인 리드(56)의 검사에 있어서, 검사구역(57)을 설정해서 패턴매칭에 의해서 검사하는 방법에서는 패턴데이터의 용량이 크게되는 동시에, 패턴의 맞추어넣기에 시간이 걸리기 때문에 데이터처리에도 시간이 걸리고, 예를들면 1화면 5∼6개의 리드에 대해서 검사하는데에 100msec정도의 시간을 요한다고하는 문제가 있고, 또 면적판정이나 경계추적등의 방법에 의한 경우도 검사데이터가 복잡하게 되기 때문에 데이터처리에 시간이 걸리는 동시에 알고리즘도 복잡하게된다고 하는 문제가 있었다.
또, 화상처리검사판정부(54)에는 고분해능의 화상데이터가 격납되어 있으므로, 문자의 검사에 있어서 1처리화면내에 모든 문자가 수납되지 않기 때문에, 차례로 잘라내어서 문자검사를 행할 필요가 있으며, 그 경우 문자가 도중에서 끊어져버리는 일이 있고, 데이터처리가 복잡하게되어, 시간이 걸린다고하는 문제가 있다. 한편, 문자부분에 대해서 CCD카메라(53)의 렌즈배율을 바꾸어서 촬상하는 일도 생각할 수 있으나, 도리어 그 처리에 시간이 걸린다고하는 문제가 있다.
따라서, 테이프캐리어패키지의 외관검사를 테이프캐리어를 이송하면서 리얼타임으로 행하고, 검사결과에 따라서 그직후에 테이프캐리어패키지에 마크등을 부여한다고 하는 검사를 실현할 수 없었다.
본 발명은, 상기 종래의 문제점에 비추어, 테이프캐리어패키지의 앞뒤양면의 리드나 레지스트나 실링이나 문자등의 외관검사를 단시간에 리얼타임으로 행할 수 있는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 그 검사방법을 제공하는 일을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치는, 테이프캐리어패키지가 소정피치로 형성되어 있는 테이프캐리어를 피치이송하는 이송수단과, 이송수단에 있어서의 이송경로의 적소에 테이프캐리어패키지의 표면과 이면을 각각 서로 다른 위치에서 촬상하는 제1과 제2의 촬상수단과, 제1과 제2의 촬상수단에 의한 촬상을 동시에 행하도록 이송수단 및 제1과 제2의 촬상수단을 제어하는 제어수단과, 촬상된 화상데이터로부터 외관검사를 행하는 검사수단을 구비하고, 제1과 제2의 촬상수단이 1차원의 라인카메라와 그 주사이동수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
효적하게는, 라인카메라의 주사이동수단이, 테이프캐리어의 이동방향과 그것에 직교하는 방향의 2방향에 주사가능한 X-Y테이블로 이루어진다.
또, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량개소를 표시하는 표시수단과, 테이프캐리어패키지의 불량개소를 확인하는 현미경을 가진 확인스테이션이 설치된다.
또, 이송수단에 있어서의 이송경로의 적소에 부착티끌 등을 제거하는 부러시를 배설하고, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량개소가 브러싱가능한 부위인지 여부를 판정하고, 브러싱가능한 부위일때에만 불량개소를 브러싱해서 재검사하도록 이송수단과 브러시와 검사수단을 제어하는 수단이 배설된다.
또, 본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사방법은, 테이프캐리어패키지를 1차원의 라인카메라를 주사해서 촬상하고, 그 화상데이터를 화상메모리에 격납하는 공정과, 검사부위마다 배설된 검사부에 각각 해당개소의 화상데이터를 전송하는 공정과, 각 검사부에서 각 검사부위의 검사를 병렬해서 행하는 공정을 가진 것을 특징으로 한다.
효적하게는, 리드의 검사를 행하는 리드검사부에 있어서, 리드의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑백반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정이 행하여진다.
또, 테이프캐리어패키지의 임의의 부위의 형상검사에 있어서도 마찬가지의 방법이 적용된다.
또, 문자의 검사를 행하는 문자검사부에 있어서, 화상메모리로부터 처리화면내에 수납되는 영역마다 화상데이터를 차례로 잘라내고, 데이터를 축소해서 처리화면내에서 합성하고, 처리화면상에서 문자를 차례로 잘라내어서 판독검사가 행하여진다.
본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치에 의하면, 테이프캐리어패키지의 표면과 이면을 제1과 제2의 촬상수단에 의해서 촬상하고, 촬상된 화상데이터로부터 검사수단에 의해서 외관검사를 행하므로서 데이터캐리어패키지의 앞뒤를 한꺼번에 검사할 수 있고, 또한 앞뒤를 서로 다른 위치에서 동시에 촬상함으로 촬상시의 조명등의 영향을 서로 받는 일이 없고, 또 교호로 앞뒤의 촬상을 행할 경우에 비해서 단시간으로 촬상할 수 있어서 효율적으로 촬상·검사할 수 있고, 또 제1과 제2의 촬상수단은 1차원의 라인카메라를 주사이동시켜서 촬상하도록 하고 있으므로 고분해능의 화상을 단시간에 얻을 수 있는 동시에, 테이프캐리어를 이동시키면서 촬상하는 경우와 같이 이동속도의 고르지 못함이나 테이프캐리어의 변동에 의한 정밀도저하도 없이, 고정밀도의 검사를 단시간에 행할 수 있다.
또, 라인카메라를 X-Y테이블에 의해서 테이프캐리어의 이동방향과 그것에 직교하는 방향의 2방향으로 주사할 수 있도록 하면, 라인카메라의 1회의 주사에 의해서 전체를 커버할 수 없게 되는 대형의 테이프캐리어패키지의 검사도 능률적으로 행할 수 있다.
또, 확인스테이션에 있어서 검사결과의 불량개소를 표시하도록하고, 그 불량개소를 현미경으로 확인할 수 있도록하면, 단순한 티끌·먼지에 의한 오판정을 수정할 수 있고, 정상적인 테이프캐리어패키지를 헛됨이없이 해결된다. 또한, 불량판정의 발생은 통상수%이하이므로, 대폭적인 검사효율의 저하를 초래하는 일은 없다.
또, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량개소가 브러싱가능한 부위인지 여부를 판정하고, 브러싱가능한 부위일때에만 불량개소를 브러싱해서 재검사하므로서, 티끌·먼지에 의한 불량의 오판정을 감소할수 있는 동시에 후처리없이도 정상적인 테이프캐리어패키지를 얻을 수 있다.
또, 본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사방법에 의하면, 테이프캐리어패키지를 1차원의 라인 카메라를 주사해서 촬상하고, 그 화상데이터를 화상메모리에 격납하고, 검사부위마다 배설된 각검사부에서 각검사부위의 검사를 동시에 병렬해서 행하므로, 검사의 고도화를 실현할 수 있어, 리얼타임으로 검사할 수 있다.
또, 리드의 검사를 행하는 리드검사부에 있어서, 리드의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑색반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정하면, 예를들면 5∼6개의 리드가 있는 1처리화면을 4msec정도로 검사할 수 있고, 종래의 패턴매칭등에서는 100ms정도 필요했던 것에 비해서 대포적인 고속처리를 실현할 수 있다.
또, 테이프캐리어패키지의 임의의 부위의 형상을 검사에도 마찬가지의 방법을 적용하므로서 그 검사의 고속화를 도모할 수 있다.
또, 문자의 검사를 행할때에, 화상메모리중의 문자부분을 잘라내고, 데이터를 축소해서 1처리화면내에서 합성하고, 판독검사를 행하므로서, 화상어긋남이 없이 고속으로 합성이 가능하고 또한 축소되어 있으므로 판정처리도 단시간으로 행할 수 있고, 화상메모리중의 분해능이 높은 문자의 검사를 단시간에 행할 수 있다.
이하, 본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치의 일실시예에 대해서, 제1도∼제9도를 참조해서 설명한다.
외관검사장치의 설명에 앞서서 테이프캐리어패키지 및 그 테이프캐리어에 대해서 설명한다. 테이프캐리어패키지(1)은, 제8도에 표시한 바와같이, 내부리드(4)와 외부리드(5a), (5b)를 형성한 테이프캐리어(2)의 내부리드(4)에 IC칩(3)을 접합한 후, IC칩(3)을 수지로 실링해서 이루어지고, 그 외부리드(5a), (5b)를 예를들면 액정기판과 회로기판에 각각 접합하도록 구성된 것이며, 테이프캐리어(2)표면의 소요개소에는 레지스트(도시생략)가 도포되고, IC칩(5)의 표면등의 적소에 품종명등을 표시하는 문자(6)이 기록되어 있다. 이 테이프캐리어패키지(1)은, 제9도에 표시한 바와 같이, 장척(長尺)의 테이프캐리어(2)에 소정의 피치로 배설된 상태로 제조되고, 사용시에 제8도에 표시한 바와 같이 단일품으로 절단되고, 외관검사는 제9도의 상태로 행하여 진다.
이 테이프캐리어패키지(1)의 외관검사장치는, 제1도, 제2도에 표시한 바와 같이, 테이프캐리어(2)를 그 양쪽에 형성된 이송구멍(2a)를 이용해서 피치이송하는 스프로킷(7a), (7b)와 그 구동수단(8a), (8b)로 이루어진 이송수단(9)를 가지고, 그 이송경로(10)의 상부와 하부의 서로 다른 위치에 제1과 제2의 1차원의 라인카메라(11), (12)가 배설되어 있다. 이들 라인카메라(11), (12)에는 5000비트의 컬러라인카메라가 사용되어 있다. 이들 라인카메라(11), (12)는, 각각 이송수단(9)의 이송방향과 그에 직교하는 2방향으로 이동가능한 X-Y테이블(13)위에 설치되어, 테이프캐리어패키지(1)의 표면과 이면을 각각 촬상하도록 구성되어 있다.
(14)는 조명수단, (15)는 촬상시에 테이프캐리어패키지(1)을 고정하는 클램퍼이다.
라인카메라(11), (12)에 의해서 촬상된 테이프캐리어패키지(1)의 앞뒤의 화상데이터는 화상처리검사판정부(16)에 입력되고, 그 화상데이터에 의해 외관검사를 행하도록 구성되는 동시에, 검사의 결과불량이라 판정되었을 경우에 그 불량개소를 표시하기 위한 표시부(17)이 설치되어 있다. 또, 구동수단(8a), (8b), X-Y테이블(13) 및 라인카메라(11), (12)를 제어해서 라인카메라(11), (12)에 의한 촬상을 동시에 행하도록 제어하는 제어부(18)이 설치되어 있다.
(19)는 화상처리검사판정부(16)과 제어부(18)을 내장한 제어유닛이다.
제2의 라인카메라(12)의 이송방향아래쪽에는, 테이프캐리어패키지(1)의 불량개소를 확인하기 위한 현미경을 구비한 확인스테이션(20)(제2도에서는 도시생략)이 배설되고, 표시부(17)에 표시된 불량개소를 작업자가 현미경으로 확인할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 현미경의 시야가 표시부(17)에 표시되어 있는 불량개소와 합치하도록 현미경의 위치를 제어하는 수단을 설치해두면, 효율적으로 확인작업을 행할 수 있다.
또, 확인스테이션(20)의 아래쪽에 불량한 테이프캐리어패키지(1)에 대해서 펀치구멍을 구멍 뚫는 펀쳐(2)과 펀치구멍검출센서(22)가 배설되어 있다. 한편, 제1의 라인카메라(11)의 위쪽에는 테이프검출센서(23), 칩검출센서(24), 버드마크검출센서(25)가 배설되고, 테이프캐리어(2)의 유무를 검출하는 동시에, 테이프캐리어패키지(1)의 검사의 필요·불필요를 미리 검출하도록 구성되어 있다.
화상처리검사판정부(16)는, 제3도에 표시한 바와 같이, 라인카메라(11), (12)로부터의 화상데이터를 라인카메라인터페이스(26)를 개재해서 5000비트x3000비트의 화상메모리(27)에 격납하고, 컬러플로세서(28)을 개재해서 리드검사부(29), 레지스트·실링검사부(30), 문자검사부(31)에 각각 필요한 화상데이터를 전송하고, 각각의 검사를 동시에 병행해서 행하도록 구성되어 있다. 이들의 제어는 검사프로그램(32)에 의거해서 CPU(33)에서 행해지고, 또 각검사부(29)∼(31)의 검사결과가 CPU(33)에 도입된다. 또, CPU(33)은 검사프로그램(32)에 의거해서, 검사결과가 불량한 경우에 그 불량개소를 표시부(17)에 표시하는 동시에 그외의 검사결과에 따른 동작제어를 행한다.
다음에, 이상의 구성에 의한 테이프캐리어패키지(1)의 외관검사동작에 대해서 설명한다.
이송수단(9)에 의해서 테이프캐리어(2)를 피치이송한 후, 제1과 제2의 라인카메라(11), (12)에 대응하는 테이프캐리어패키지(1)을 화상표(a)와 같이 클램퍼(15)에 의해서 고정하고, X-Y테이블(13)에 의해서 화살표b방향으로 제1과 제2의 라인카메라(11), (12)를 주사해서 테이프캐리어패키지(1)의 표면과 이면을 촬상한다.
그 화상데이터는 라인카메라인터페이스(26)를 개재해서 화상메모리(27)에 격납된다.
CPU(33)은, 화상메모리(27)로부터 리드검사부(29), 레지스트·실링검사부(30), 문자검사부(31)을 향해서 각각에 필요한 화상데이터를 잘라내어서 전송하고, 각검사부(29)∼(31)이 각각의 검사를 동시에 병행해서 행한다.
리드검사부(29)에 있어서의 리드검사에 대해서, 제4도, 제5도를 참조해서 설명한다.
먼저, 제5a도에 표시한 바와같이 통상의 텔레비젼화면에 상당하는 1처리화면분의 화상데이터가 화상메모리(27)로부터 전송되어오면, 그 처리화면중에서 검사해야할 리드(34)를 차례로 지정하고(스텝#1), 다음에 제5b도에 표시한 바와같이 그리드(34)에 대한 외접 4각형(35)를 형성하고(스텝#2), 다음에 제5c도에 표시한 바와같이 이외접4각형(35)내를 흑백반전한 후(스텝#3), 제5d도에 표시한 바와 같이 노이즈제거하고(스텝#4), 그후 백영역의 면접을 판정하고(스텝#5), 적당히 설정된 임계치와 비교해서 정상 또는 불량의 판정을 행한다(스텝#6). 이상의 처리를 처리화면중의 리드(34)에 대해서 차례로 행하고, 모두 종료화면, 다음의 처리화면이 화상메모리(37)로부터 전송되어서 마찬가지의 처리를 행하고, 테이프캐리어패키지(1)의 모든 리드의 검사를 행한다.
이와 같은 검사방법에 의하면, 리드(34)에 상처나 빠짐이나 절곡이 있을 경우나, 리드표면의 주석도금불량 때문에 산화해서 변색된 개소가 있을 경우나, 레지스트등이 부착하고 있는 경우 등, 접합불량을 발생할 염려가 있는 결함을 확실하게 검출할 수 있다. 또, 검사의 알고리즘이 간이하기 때문에, 예를들면 1처리화면을 4msec정도로 검사처리할 수 있고, 종래의 패턴매칭등에서는 100msec정도 필요했던 것에 비해 대폭으로 고속에 의해서 처리할 수 있고, 리드개수가 많은 테이프캐리어패키지(1)의 경우에도 단시간으로 검사할 수 있어, 리얼타임의 검사가 가능하게 된다.
또한, 본 실시예에서는 도시하고 있지않으나, 테이프캐리어패키지(1)의 플렉스부등, 임의의 부위의 형상을 검사하는 검사부가 설치되는 일이 있으며, 그 검사부에 있어서도 상기 리드검사부(29)에 있어서의 검사방법과 마찬가지의 방법을 적용하므로서 검사의 고속화를 도모할 수 있다.
레지스트·실링검사부(30)에 있어서의 레지스트 및 실링의 검사는, 단순한 검사이기 때문에 종래부터 주지의 면적판정이나 경계추적등의 방법에 의해서 검사를 행하고 있으며, 여기서의 설명은 생략한다. 이 방법에 의해서도, 다수의 리드의 검사시간보다도 길게걸린다고 하는 일은 없기 때문이다.
다음에, 문자검사부(31)에 있어서의 문자검사에 대해서, 제6도, 제7도를 참조해서 설명한다. 스텝#11∼#14에 의해, 제7a도에 표시한 화상메모리(27)에 있어서의 문자(6)의 부분으로부터 제7b도에 표시한 바와 같이 처리화면내에 수납되는 영역마다 화상데이터를 차례로 잘라내고, 그들을 차례로 데이터축소해서 처리화면(36)내에서 합성한다고하는 처리를 모든 문자(6)에 대해서 처리가 종료할때까지 행하고, 제7c도에 표시한 바와 같이 처리화면(36)내에 모든 문자(6)을 격납한다. 다음에, 합성된 문자화상의 노이즈제거를 행한 후(스텝#15), 각문자를 잘라내고(스텝#16), 사이즈 및 문자수의 검사를 행하고(스텝#17), 그후 문자의 판독을 행하고(스텝#18), 문자의 품질의 비교판정을 행하고, 문자품질의 정상·불량을 판정한다(스텝#19).
이와 같이 문자품질의 검사를 행하므로서, 화상어긋남없이 고속으로 합성이 가능하고 또한 축소되어 있으므로 판정처리도 단시간으로 행할 수 있고, 화상메모리(27)에 격납되어 있었던 분해능이 높은 문자(6)의 검사를 단시간에 행할 수 있다.
이상과 같이 각 검사부(29)∼(31)에서 검사된 결과는 CPU(33)에 전송되고, 테이프캐리어패키지(1)에 불량개소가 존재할 경우는, 그 테이프캐리어패키지(1)이 확인스테이션(20)에 이동하였을때에, 그 테이프캐리어패키지(1)의 불량개소가 표시부(17)에 표시된다. 그래서, 검사작업자는 현미경에 의해서 그 불량개소를 현미경으로 확인하고, 불량판정이 단순한 티끌·먼지에 의한 오판정의 경우는 불량데이터의 수정을 행한다. 이에 의해서 정상적인 테이프캐리어패키지(1)을 헛됨이 없이 해결된다. 또한, 불량판정의 발생은 통상적으로 수%이하이므로, 대폭적인 효율저하를 초래하는 일은 없다.
최종적으로 테이프캐리어패키지(1)에 불량개소가 존재하는 경우는, 펀쳐(21)에 의해서 불량인 것을 표시한 펀치구멍이 뚫린 후 반출되고, 그이외의 경우는 그대로 반출된다.
본 실시예에 의하면, 이상과 같이 테이프캐리어패키지(1)의 표면과 이면을 제1과 제2의 라인카메라(11), (12)를 주사이동해서 촬상하고, 촬상된 화상데이터로부터 각검사부(29)∼(31)에서 외관검사를 행하므로서 테이프캐리어패키지(1)의 앞뒤를 한꺼번에 또한 단시간으로 검사할 수 있고, 또한 앞뒤를 서로 상이한 위치에서 동시에 촬상하므로 촬상시의 조명수단(14)의 영향을 서로 받는 일없고, 또 교호로 앞뒤의 촬상을 행하는 경우에 비해서 단시간으로 촬상할 수 있어 효율적으로 촬상·검사할 수 있다. 또 제1과 제2의 라인카메라(11), (12)를 주사이동시켜서 촬상하므로 고분해능의 화상을 단시간에 얻을 수 있는 동시에, 테이프캐리어(2)를 이동시키면서 촬상하는 경우와 같이 이동속도의 고르지못함이나 테이프캐리어(2)의 변동에 의한 정밀도저하도 없고, 고정밀도의 검사를 단시간에 행할 수 있다. 또, 테이프캐리어패키지(1)의 화상데이터를 화상메모리(27)에 격납하고, 검사부위마다 배설된 각 검사부(29)∼(31)에서 각검사부위의 검사를 동시에 병렬해서 행하므로, 검사의 고속화를 실현할 수 있어, 리얼타임으로 검사할 수 있다.
또한, 테이프캐리어패키지(1)이 대형이고, 라인카메라(11), (12)의 1회의 주사에서 전체를 커버할 수 없을 경우에는, X-Y테이블(13)에 의해서 라인카메라(11), (12)를 주사방향과 직교하는 방향으로 이동시켜서 주사하므로서 검사할 수 있고, 대형의 테이프캐리어패키지(1)의 검사도 능률적으로 행할 수 있다.
다음에, 본 발명의 다른 실시예에 대해서 제10도, 제11도를 참조해서 설명한다.
이 실시예에서는, 제10도에 표시한 바와 같이, 상기 실시예에 있어서의 확인스테이션(20)에 대신해서, 라인카메라(11), (12)의 아래쪽에 부착티끌 등을 제거하는 브러시가 배설되고, 이 브러시(41)을 구동제어하는 브러시구동제어부(42)와 이송수단(9)를 구동제어하는 반송구동제어부(43)에 화상처리검사판정부(16)의 CPU(33)으로부터 지령신호가 입력되어 있다.
이 실시예에 있어서는 화상처리검사판정부(16)의 CPU(33)에 의해서 제11도에 표시한 바와 같이 동작제어된다. 즉, 상기 실시예와 마찬가지로 테이프캐리어패키지(1)의 검사를 행하고(스텝#21), 그 검사결과의 정상·불량의 판정을 행하고(스텝#22), 정상의 경우는 그대로 반송하고(스텝#23), 불량일때에는 먼저 그 검사결과가 재검사의 결과인지 여부를 판정하고(스텝#24), 재검사에 의해서도 불량의 경우는 그대로 불량처리를 행한 후(스텝#26) 스텝#23으로 이행해서 반송하고, 재검사가 끝나지 않을 경우는 다음에 당해 불량개소가 브러싱가능한 부위인지 여부를 판정하고(스텝#25), 브러싱불가능한 부위의 경우는 스텝#26으로 이행해서 불량처리해서 반송하고, 브러싱가능한 부위의 경우는, 불량개소를 브러싱해서 티끌등의 부착에 의한 불량인 경우에 그 티끌을 확실하게 제거한 후(스텝#27), 이송수단(9)를 반대반송동작시키고(스텝#28), 스텝#21로 복귀시켜서 재차 검사를 행한다.
본 실시예에 의하면, 수동에 의한 확인작업을 행하지 않아도 자동적으로 티끌·먼지에 의한 불량의 오판정을 감소시킬 수 있고, 또한 티끌등이 제거되어서 반출되므로 후처리없이 정상적인 테이프캐리어패키지(1)을 얻을 수 있다.
본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치에 의하면, 이상의 설명에서 명백한 바와 같이, 테이프캐리어패키지의 표면과 이면을 제1과 제2의 촬상수단에 의해서 촬상하고, 촬상된 화상데이터로부터 검사수단에 의해서 외관검사를 행하므로서 테이프캐리어패키지의 앞뒤를 한꺼번에 검사할 수 있고, 또한 앞뒤를 서로 상이한 위치에서 동시에 촬상하므로 촬상시의 조명등의 영향을 서로 받는 일없고, 또 교호로 앞뒤의 촬상을 하는 경우에 비해서 단시간으로 촬상할 수 있어 효율적으로 촬상·검사할 수 있고, 또 제1과 제2의 촬상수단은 1차원의 라인CCD카메라를 주사이동시켜서 촬상하도록 하고 있으므로 고분해능의 화상을 단시간에 얻을 수 있는 동시에, 테이프캐리어를 이동시키면서 촬상하는 경우와 같이 이동속도의 고르지못함이나 테이프캐리어의 변동에 의한 정밀도저하도없어, 고정밀도의 검사를 단시간에 행할 수 있다.
또, 라인CCD카메라를 X-Y테이블에 의해서 테이프캐리어의 이동방향과 그에 직교하는 방향의 2방향으로 주사할 수 있도록 하면, 라인카메라의 1회의 주사에 의해서 전체를 커버할 수 없게 되는 대형의 테이프캐리어패키지의 검사도 능률적으로 행할 수 있다.
또, 확인스테이션에 있어서, 검사결과의 불량개소를 표시하고, 그 불량개소를 현미경으로 확인할 수 있도록하면, 단순한 티끌·먼지에 의한 오판정을 수정할 수 있어, 정상적인 테이프캐리어패키지를 헛됨이 없이 해결된다.
또, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량개소가 브러싱가능한 부위인지 여부를 판정하고, 브러싱가능한 부위일때만 불량개소를 브러싱해서 재검사하므로서, 티끌·먼지에 의한 불량의 오판정을 감소할 수 있는 동시에 후처리없이 정상적인 테이프캐리어패키지를 얻을 수 있다.
또, 본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사방법에 의하면, 테이프캐리어패키지를 1차원라인카메라를 주사해서 촬상하고, 그 화상데이터를 화상메모리에 격납하고, 검사부위마다 설치된 각 검사부에서 각 검사부위의 검사를 동시에 병렬해서 행하므로, 검사의 고속화를 실현할 수 있어, 리얼타임으로 검사할 수 있다.
또, 리이드의 검사를 행하는 리이드검사부에 있어서, 리드의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑백반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정하면, 종래의 패턴매칭등의 방법에 비해서 대폭적인 고속처리를 실현할 수 있다.
또, 테이프캐리어패키지의 임의의 부위의 형상을 검사에도 마찬가지의 방법을 적용하므로서 그 검사의 고속화를 도모할 수 있다.
또, 문자의 검사를 행할때에, 화상메모리중의 문자부분을 잘라내고, 데이터를 축소해서 1처리화면내에서 합성하고, 판독검사를 행하므로서, 화상어긋남없이 고속으로 합성이 가능하고 또한 축소되어 있으므로 판정처리도 단시간으로 행할 수 있어, 화상메모리의 분해능이 높은 문자의 검사를 단시간에 행할 수 있다.

Claims (8)

  1. 테이프캐리어패키지가 소정피치로 형성되어 있는 테이프캐리어를 피치이송하는 이송수단과, 이송수단에 있어서의 이송경로의 적소에 테이프캐리어패키지의 표면과 이면을 각각 서로 다른 위치에서 촬상하는 제1과 제2의 촬상수단과, 제1과 제2의 촬상수단에 의한 촬상을 동시에 행하도록 이송수단 및 제1과 제2의 촬상수단을 제어하는 제어수단과, 촬상된 화상데이터로부터 외관검사를 행하는 검사수단을 구비하고, 제1과 제2의 촬상수단이 1차원의 라인카메라와 그 주사이동수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 라인카메라의 주사이동수단이, 테이프캐리어의 이동방향과 그것에 직교하는 방향의 2방향에 주사가능한 X-Y테이블로 이루어진 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량매소를 표시하는 표시수단과, 테이프캐리어패키지의 불량개소를 확인하는 현미경을 가진 확인스테이션을 설치한 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 이송수단에 있어서의 이송경로의 적소에 부착티끌 등을 제거하는 부러시를 배설하고, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량개소가 브러싱가능한 부위인지 여부를 판정하고, 브러싱가능한 부위일때에만 불량개소를 브러싱해서 재검사하도록 이동수단과 브러시와 검시수단을 제어하는 수단이 배설된 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
  5. 테이프캐리어패키지를 1차원의 라인카메라를 주사해서 촬상하고, 그 화상데이터를 화상메모리에 격납하는 공정과, 검사부위마다 배설된 검사부에 각각 해당개소의 화상데이터를 전송하는 공정과, 각 검사부에서 각검사부위의 검사를 병렬해서 행하는 공정을 가진 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
  6. 제5항에 있어서, 리드의 검사를 행하는 리드검사부에 있어서, 리드의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑백반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정을 행하는 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
  7. 제5항에 있어서, 테이프캐리어패키지의 임의의 부위의 형상을 검사하는 형상검사부에 있어서, 당해부위의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑백반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정을 행하는 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
  8. 제5항에 있어서, 문자의 검사를 행하는 문자검사부에 있어서, 화상메모리로부터 처리화면내에 수납되는 영역마다 화상데이터를 차례로 잘라내고, 데이터를 축소해서 처리화면내에서 합성하고, 처리화면상에서 문자를 차례로 잘라내어 판독검사하는 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
KR1019950043128A 1994-11-25 1995-11-23 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법 KR0180269B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6291182A JPH08145913A (ja) 1994-11-25 1994-11-25 テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法
JP94-291182 1994-11-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960019631A KR960019631A (ko) 1996-06-17
KR0180269B1 true KR0180269B1 (ko) 1999-04-15

Family

ID=17765529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950043128A KR0180269B1 (ko) 1994-11-25 1995-11-23 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH08145913A (ko)
KR (1) KR0180269B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100690180B1 (ko) * 2005-11-18 2007-03-08 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지의 몰딩 및 칩 부착상태 검사 방법

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002043376A (ja) * 2000-07-19 2002-02-08 Shinkawa Ltd 電子部品の検査方法および電子部品組立装置
KR100573039B1 (ko) * 2004-04-10 2006-04-24 (주)글로벌엔지니어링 비전 카메라를 이용한 부품의 검사장치
KR100705649B1 (ko) * 2005-06-07 2007-04-09 (주) 인텍플러스 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법
KR100820917B1 (ko) * 2005-12-28 2008-04-10 스템코 주식회사 연성인쇄회로기판의 외관 검사 장치 및 방법
JP4909691B2 (ja) * 2006-09-20 2012-04-04 株式会社東芝 電子部品の実装状態検査方法、電子部品の実装状態検査装置及び電子機器の製造方法
KR101031070B1 (ko) * 2008-07-23 2011-04-25 충북대학교 산학협력단 영상처리기법을 이용한 ｔｃｐ/ｃｏｆ의 불량 검출 방법 및그 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100690180B1 (ko) * 2005-11-18 2007-03-08 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지의 몰딩 및 칩 부착상태 검사 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR960019631A (ko) 1996-06-17
JPH08145913A (ja) 1996-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6198529B1 (en) Automated inspection system for metallic surfaces
US6324298B1 (en) Automated wafer defect inspection system and a process of performing such inspection
CA2008378C (en) Method and apparatus for inspection of substrates
JPS60215286A (ja) 対象物における面模様をオプトエレクトロニクス検査する方法とその装置
JPH07111998B2 (ja) ワイヤボンディング検査装置
KR960001824B1 (ko) 와이어 본딩 검사 장치
KR101802843B1 (ko) 자동 비전 검사 시스템
KR0180269B1 (ko) 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법
KR101119278B1 (ko) 기판검사시스템 및 기판검사방법
JP2000009447A (ja) テープキャリアの欠陥検出装置および欠陥検出方法
KR20220044741A (ko) 웨이퍼 외관 검사 장치 및 방법
US6119337A (en) Method of mounting conductive balls
JP3223546B2 (ja) 基板の回路パターンの検査方法
JP2847351B2 (ja) 実装済印刷配線板自動検査装置
JPH0899401A (ja) スクリーン印刷装置
JP2536745B2 (ja) 基板のカツト状態検査方法
JPH06305110A (ja) 印刷スクリーンの目詰まり検査装置及び方法
TWI663412B (zh) 協助陣列排版之電路板辨識且記錄缺陷位置的系統
JP3126159B2 (ja) 連続検査装置
JPH04316346A (ja) パターン認識方法
JP2701872B2 (ja) 面付パターンの欠陥検査装置
JPH08118596A (ja) スクリーン印刷装置
JPH0516585B2 (ko)
JP2010071941A (ja) 検査装置
JPH0619252B2 (ja) 印刷配線基板のはんだ付検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20061124

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee