JPH08145913A - テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法 - Google Patents
テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法Info
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- JPH08145913A JPH08145913A JP6291182A JP29118294A JPH08145913A JP H08145913 A JPH08145913 A JP H08145913A JP 6291182 A JP6291182 A JP 6291182A JP 29118294 A JP29118294 A JP 29118294A JP H08145913 A JPH08145913 A JP H08145913A
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- carrier package
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
Abstract
(57)【要約】
【目的】 テープキャリアパッケージの表裏両面の外観
検査を短時間で行う。 【構成】 テープキャリアパッケージ１が所定ピッチで
設けられているテープキャリア２を移送手段９にてピッ
チ送りし、移送手段９における移送経路１０の適所に第
１と第２のラインカメラ１１、１２を配設するとともに
それらをＸ−Ｙテーブル１３にて走査移動させることに
よったキャリアパッケージ１の表面と裏面をそれぞれ互
いに異なった位置で同時に撮像し、撮像した画像データ
に基づいて画像処理検査処理部１６にて外観検査を行う
ようにした。
検査を短時間で行う。 【構成】 テープキャリアパッケージ１が所定ピッチで
設けられているテープキャリア２を移送手段９にてピッ
チ送りし、移送手段９における移送経路１０の適所に第
１と第２のラインカメラ１１、１２を配設するとともに
それらをＸ−Ｙテーブル１３にて走査移動させることに
よったキャリアパッケージ１の表面と裏面をそれぞれ互
いに異なった位置で同時に撮像し、撮像した画像データ
に基づいて画像処理検査処理部１６にて外観検査を行う
ようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はテープキャリアにＩＣパ
ッケージを所定ピッチで配設してなるテープキャリアパ
ッケージにおけるリードやレジストや封止や文字などの
外観を検査するテープキャリアパッケージの外観検査装
置及びその検査方法に関するものである。
ッケージを所定ピッチで配設してなるテープキャリアパ
ッケージにおけるリードやレジストや封止や文字などの
外観を検査するテープキャリアパッケージの外観検査装
置及びその検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のテープキャリアパッケージの外観
検査装置においては、図１２に示すように、テープキャ
リア５２の移送経路の上部に二次元のＣＣＤカメラ５３
を配設し、撮像したテープキャリアパッケージ５１の画
像データを画像処理検査判定部５４で処理し、リードの
外観形状の検査を行うように構成されている。また、テ
ープキャリアパッケージ５１の微細なリード上にごみや
ほこりなどが付着していると、リード自体は良好であっ
ても検査結果は不良とされてしまう恐れがあるので、Ｃ
ＣＤカメラ５３の上手側にエアブロー５５を配設してご
み等を除去するようにしたものも知られている。
検査装置においては、図１２に示すように、テープキャ
リア５２の移送経路の上部に二次元のＣＣＤカメラ５３
を配設し、撮像したテープキャリアパッケージ５１の画
像データを画像処理検査判定部５４で処理し、リードの
外観形状の検査を行うように構成されている。また、テ
ープキャリアパッケージ５１の微細なリード上にごみや
ほこりなどが付着していると、リード自体は良好であっ
ても検査結果は不良とされてしまう恐れがあるので、Ｃ
ＣＤカメラ５３の上手側にエアブロー５５を配設してご
み等を除去するようにしたものも知られている。
【０００３】また、検査においては各検査部位毎に検査
エリアを設定して検査部位に対してパターンマッチング
を行ったり、面積判定や境界追跡等の周知の方法によっ
て正常、不良の判定を行っている。例えば、リードの場
合には、図１３に示すように、各リード５６毎に検査エ
リア５７を設定し、それぞれでパターンマッチングを行
って良否判定を行っている。
エリアを設定して検査部位に対してパターンマッチング
を行ったり、面積判定や境界追跡等の周知の方法によっ
て正常、不良の判定を行っている。例えば、リードの場
合には、図１３に示すように、各リード５６毎に検査エ
リア５７を設定し、それぞれでパターンマッチングを行
って良否判定を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成ではテープキャリアパッケージ５１の片面のみ
しか検査できないので、両面検査する必要がある場合に
検査に時間がかかるという問題がある。更に、テープキ
ャリアパッケージ５１の高集積化及び微小化の進展によ
り高精細度の検査が必要となっているが、二次元ＣＣＤ
カメラ５３の画素数は限られているので、所要の精度の
検査を行うにはＣＣＤカメラ５３をＸ、Ｙ２方向に順次
位置をずらせて高精度に位置決めしながら撮像するとい
う動作を繰り返す必要があるために片面の検査にも時間
がかかるという問題がある。
来の構成ではテープキャリアパッケージ５１の片面のみ
しか検査できないので、両面検査する必要がある場合に
検査に時間がかかるという問題がある。更に、テープキ
ャリアパッケージ５１の高集積化及び微小化の進展によ
り高精細度の検査が必要となっているが、二次元ＣＣＤ
カメラ５３の画素数は限られているので、所要の精度の
検査を行うにはＣＣＤカメラ５３をＸ、Ｙ２方向に順次
位置をずらせて高精度に位置決めしながら撮像するとい
う動作を繰り返す必要があるために片面の検査にも時間
がかかるという問題がある。
【０００５】また、ごみ・ほこりの付着による不良判定
を防止するために、エアブロー５５を設けたものにおい
ても、ごみ等がこびり付いていた場合には除去できずに
誤判定するという問題がある。このような問題を解消す
るためにエアブロー５５に代えてブラシを設けることも
考えられるが、５０〜８０μｍ程度の幅のリードを有す
るテープキャリアパッケージ５１においては、そのリー
ドやチップに傷を付けてしまう恐れがあるという問題が
ある。
を防止するために、エアブロー５５を設けたものにおい
ても、ごみ等がこびり付いていた場合には除去できずに
誤判定するという問題がある。このような問題を解消す
るためにエアブロー５５に代えてブラシを設けることも
考えられるが、５０〜８０μｍ程度の幅のリードを有す
るテープキャリアパッケージ５１においては、そのリー
ドやチップに傷を付けてしまう恐れがあるという問題が
ある。
【０００６】また、微細でかつ多数あるリード５６の検
査において、検査エリア５７を設定してパターンマッチ
ングにて検査する方法ではパターンデータの容量が大き
くなるとともに、パターンの合わせ込みに時間がかかる
ためにデータ処理にも時間がかかり、例えば１画面５〜
６本のリードについて検査するのに１００ｍｓｅｃ程度
の時間を要するという問題があり、また面積判定や境界
追跡等の方法による場合も検査データが複雑になるため
にデータ処理に時間がかかるとともにアルゴリズムも複
雑になるという問題があった。
査において、検査エリア５７を設定してパターンマッチ
ングにて検査する方法ではパターンデータの容量が大き
くなるとともに、パターンの合わせ込みに時間がかかる
ためにデータ処理にも時間がかかり、例えば１画面５〜
６本のリードについて検査するのに１００ｍｓｅｃ程度
の時間を要するという問題があり、また面積判定や境界
追跡等の方法による場合も検査データが複雑になるため
にデータ処理に時間がかかるとともにアルゴリズムも複
雑になるという問題があった。
【０００７】また、画像処理検査判定部５４には高分解
能の画像データが格納されているので、文字の検査にお
いて１処理画面内に全ての文字が納まらないために、順
次切り出して文字検査を行う必要があり、その場合文字
が途中で切れてしまうことがあり、データ処理が複雑に
なり、時間がかかるという問題がある。一方、文字部分
についてＣＣＤカメラ５３のレンズ倍率を変えて撮像す
ることも考えられるが、却ってその処理に時間がかかる
という問題がある。
能の画像データが格納されているので、文字の検査にお
いて１処理画面内に全ての文字が納まらないために、順
次切り出して文字検査を行う必要があり、その場合文字
が途中で切れてしまうことがあり、データ処理が複雑に
なり、時間がかかるという問題がある。一方、文字部分
についてＣＣＤカメラ５３のレンズ倍率を変えて撮像す
ることも考えられるが、却ってその処理に時間がかかる
という問題がある。
【０００８】したがって、テープキャリアパッケージの
外観検査をテープキャリアを移送しながらリアルタイム
で行い、検査結果に応じてその直後にテープキャリアパ
ッケージにマーク等を付与するという検査を実現できな
かった。
外観検査をテープキャリアを移送しながらリアルタイム
で行い、検査結果に応じてその直後にテープキャリアパ
ッケージにマーク等を付与するという検査を実現できな
かった。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、テー
プキャリアパッケージの表裏両面のリードやレジストや
封止や文字などの外観検査を短時間にリアルタイムで行
うことができるテープキャリアパッケージの外観検査装
置及びその検査方法を提供することを目的としている。
プキャリアパッケージの表裏両面のリードやレジストや
封止や文字などの外観検査を短時間にリアルタイムで行
うことができるテープキャリアパッケージの外観検査装
置及びその検査方法を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のテープキャリア
パッケージの外観検査装置は、テープキャリアパッケー
ジが所定ピッチで設けられているテープキャリアをピッ
チ送りする移送手段と、移送手段における移送経路の適
所にテープキャリアパッケージの表面と裏面をそれぞれ
互いに異なった位置で撮像する第１と第２の撮像手段
と、第１と第２の撮像手段による撮像を同時に行うよう
に移送手段及び第１と第２の撮像手段を制御する制御手
段と、撮像した画像データから外観検査を行う検査手段
とを備え、第１と第２の撮像手段が一次元のラインカメ
ラとその走査移動手段とから成ることを特徴とする。
パッケージの外観検査装置は、テープキャリアパッケー
ジが所定ピッチで設けられているテープキャリアをピッ
チ送りする移送手段と、移送手段における移送経路の適
所にテープキャリアパッケージの表面と裏面をそれぞれ
互いに異なった位置で撮像する第１と第２の撮像手段
と、第１と第２の撮像手段による撮像を同時に行うよう
に移送手段及び第１と第２の撮像手段を制御する制御手
段と、撮像した画像データから外観検査を行う検査手段
とを備え、第１と第２の撮像手段が一次元のラインカメ
ラとその走査移動手段とから成ることを特徴とする。
【００１１】好適には、ラインカメラの走査移動手段
が、テープキャリアの移動方向とそれに直交する方向の
２方向に走査可能なＸ−Ｙテーブルから成る。
が、テープキャリアの移動方向とそれに直交する方向の
２方向に走査可能なＸ−Ｙテーブルから成る。
【００１２】また、検査手段による検査結果が不良のと
きに不良箇所を表示する表示手段と、テープキャリアパ
ッケージの不良箇所を確認する顕微鏡とを有する確認ス
テーションが設けられる。
きに不良箇所を表示する表示手段と、テープキャリアパ
ッケージの不良箇所を確認する顕微鏡とを有する確認ス
テーションが設けられる。
【００１３】また、移送手段における移送経路の適所に
付着ゴミ等を除去するブラシを配設し、検査手段による
検査結果が不良のときに不良箇所がブラッシング可能な
部位か否かを判定し、ブラッシング可能な部位であると
きにのみ不良箇所をブラッシングして再検査するように
移動手段とブラシと検査手段を制御する手段が設けられ
る。
付着ゴミ等を除去するブラシを配設し、検査手段による
検査結果が不良のときに不良箇所がブラッシング可能な
部位か否かを判定し、ブラッシング可能な部位であると
きにのみ不良箇所をブラッシングして再検査するように
移動手段とブラシと検査手段を制御する手段が設けられ
る。
【００１４】また、本発明のテープキャリアパッケージ
の外観検査方法は、テープキャリアパッケージを一次元
のラインカメラを走査して撮像し、その画像データを画
像メモリに格納する工程と、検査部位毎に設けられた検
査部にそれぞれ該当箇所の画像データを伝送する工程
と、各検査部で各検査部位の検査を並列して行う工程と
を有することを特徴とする。
の外観検査方法は、テープキャリアパッケージを一次元
のラインカメラを走査して撮像し、その画像データを画
像メモリに格納する工程と、検査部位毎に設けられた検
査部にそれぞれ該当箇所の画像データを伝送する工程
と、各検査部で各検査部位の検査を並列して行う工程と
を有することを特徴とする。
【００１５】好適には、リードの検査を行うリード検査
部において、リードの外接四角形を形成してその内部を
白黒反転し、白部分の面積によって良否判定が行われ
る。
部において、リードの外接四角形を形成してその内部を
白黒反転し、白部分の面積によって良否判定が行われ
る。
【００１６】また、テープキャリアパッケージの任意の
部位の形状検査においても同様の方法が適用される。
部位の形状検査においても同様の方法が適用される。
【００１７】また、文字の検査を行う文字検査部におい
て、画像メモリから処理画面内に納まる領域毎に画像デ
ータを順次切り出し、データ縮小して処理画面内で合成
し、処理画面上で文字を順次切り出して読み取り検査が
行われる。
て、画像メモリから処理画面内に納まる領域毎に画像デ
ータを順次切り出し、データ縮小して処理画面内で合成
し、処理画面上で文字を順次切り出して読み取り検査が
行われる。
【００１８】
【作用】本発明のテープキャリアパッケージの外観検査
装置によれば、テープキャリアパッケージの表面と裏面
を第１と第２の撮像手段にて撮像し、撮像した画像デー
タから検査手段にて外観検査を行うことによりテープキ
ャリアパッケージの表裏を一度に検査でき、しかも表裏
を互いに異なった位置で同時に撮像するので撮像時の照
明等の影響を互いに受けることなく、また交互に表裏の
撮像を行う場合に比して短時間に撮像できて効率的に撮
像・検査することができ、また第１と第２の撮像手段は
一次元のラインカメラを走査移動させて撮像するように
しているので高分解能の画像を短時間で得ることができ
るとともに、テープキャリアを移動させながら撮像する
場合のように移動速度むらやテープキャリアの変動によ
る精度低下もなく、高精細度の検査を短時間で行うこと
ができる。
装置によれば、テープキャリアパッケージの表面と裏面
を第１と第２の撮像手段にて撮像し、撮像した画像デー
タから検査手段にて外観検査を行うことによりテープキ
ャリアパッケージの表裏を一度に検査でき、しかも表裏
を互いに異なった位置で同時に撮像するので撮像時の照
明等の影響を互いに受けることなく、また交互に表裏の
撮像を行う場合に比して短時間に撮像できて効率的に撮
像・検査することができ、また第１と第２の撮像手段は
一次元のラインカメラを走査移動させて撮像するように
しているので高分解能の画像を短時間で得ることができ
るとともに、テープキャリアを移動させながら撮像する
場合のように移動速度むらやテープキャリアの変動によ
る精度低下もなく、高精細度の検査を短時間で行うこと
ができる。
【００１９】また、ラインカメラをＸ−Ｙテーブルにて
テープキャリアの移動方向とそれに直交する方向の２方
向に走査できるようにすると、ラインカメラの１回の走
査によって全体をカバーできないような大型のテープキ
ャリアパッケージの検査も能率的に行うことができる。
テープキャリアの移動方向とそれに直交する方向の２方
向に走査できるようにすると、ラインカメラの１回の走
査によって全体をカバーできないような大型のテープキ
ャリアパッケージの検査も能率的に行うことができる。
【００２０】また、確認ステーションにおいて検査結果
の不良箇所を表示するようにし、その不良箇所を顕微鏡
で確認できるようにすると、単なるごみ・ほこりによる
誤判定を修正することができ、正常なテープキャリアパ
ッケージを無駄にせずに済む。なお、不良判定の発生は
通常数％以下であるので、大幅な検査効率の低下を来す
ことはない。
の不良箇所を表示するようにし、その不良箇所を顕微鏡
で確認できるようにすると、単なるごみ・ほこりによる
誤判定を修正することができ、正常なテープキャリアパ
ッケージを無駄にせずに済む。なお、不良判定の発生は
通常数％以下であるので、大幅な検査効率の低下を来す
ことはない。
【００２１】また、検査手段による検査結果が不良のと
きに不良箇所がブラッシング可能な部位か否かを判定
し、ブラッシング可能な部位であるときにのみ不良箇所
をブラッシングして再検査することにより、ごみ・ほこ
りによる不良の誤判定を減少することができるとともに
後処理なしで正常なテープキャリアパッケージが得られ
る。
きに不良箇所がブラッシング可能な部位か否かを判定
し、ブラッシング可能な部位であるときにのみ不良箇所
をブラッシングして再検査することにより、ごみ・ほこ
りによる不良の誤判定を減少することができるとともに
後処理なしで正常なテープキャリアパッケージが得られ
る。
【００２２】また、本発明のテープキャリアパッケージ
の外観検査方法によれば、テープキャリアパッケージを
一次元のラインカメラを走査して撮像し、その画像デー
タを画像メモリに格納し、検査部位毎に設けられた各検
査部で各検査部位の検査を同時に並列して行うので、検
査の高速化を実現でき、リアルタイムで検査することが
できる。
の外観検査方法によれば、テープキャリアパッケージを
一次元のラインカメラを走査して撮像し、その画像デー
タを画像メモリに格納し、検査部位毎に設けられた各検
査部で各検査部位の検査を同時に並列して行うので、検
査の高速化を実現でき、リアルタイムで検査することが
できる。
【００２３】また、リードの検査を行うリード検査部に
おいて、リードの外接四角形を形成してその内部を白黒
反転し、白部分の面積によって良否判定すると、例えば
５〜６本のリードがある１処理画面を４ｍｓｅｃ程度で
検査処理でき、従来のパターンマッチング等では１００
ｍｓｅｃ程度必要であったのに比して大幅な高速処理を
実現できる。
おいて、リードの外接四角形を形成してその内部を白黒
反転し、白部分の面積によって良否判定すると、例えば
５〜６本のリードがある１処理画面を４ｍｓｅｃ程度で
検査処理でき、従来のパターンマッチング等では１００
ｍｓｅｃ程度必要であったのに比して大幅な高速処理を
実現できる。
【００２４】また、テープキャリアパッケージの任意の
部位の形状を検査にも同様の方法を適用することにより
その検査の高速化を図ることができる。
部位の形状を検査にも同様の方法を適用することにより
その検査の高速化を図ることができる。
【００２５】また、文字の検査を行う際に、画像メモリ
中の文字部分を切り出し、データ縮小して１処理画面内
で合成し、読み取り検査を行うことにより、画像ずれな
く高速にて合成が可能でかつ縮小されているので判定処
理も短時間で行うことができ、画像メモリ中の分解能の
高い文字の検査を短時間で行うことができる。
中の文字部分を切り出し、データ縮小して１処理画面内
で合成し、読み取り検査を行うことにより、画像ずれな
く高速にて合成が可能でかつ縮小されているので判定処
理も短時間で行うことができ、画像メモリ中の分解能の
高い文字の検査を短時間で行うことができる。
【００２６】
【実施例】以下、本発明のテープキャリアパッケージの
外観検査装置の一実施例について、図１〜図９を参照し
て説明する。
外観検査装置の一実施例について、図１〜図９を参照し
て説明する。
【００２７】外観検査装置の説明に先立ってテープキャ
リアパッケージ及びそのテープキャリアについて説明す
る。テープキャリアパッケージ１は、図８に示すよう
に、インナリード４とアウタリード５ａ、５ｂを形成し
たテープキャリア２のインナーリード４にＩＣチップ３
を接合した後、ＩＣチップ３を樹脂封止して成り、その
アウタリード５ａ、５ｂを例えば液晶基板と回路基板に
それぞれ接合するように構成されたものであり、テープ
キャリア２表面の所要箇所にはレジスト（図示せず）が
塗布され、ＩＣチップ５の表面等の適所に品種名等を表
示する文字６が記されている。このテープキャリアパッ
ケージ１は、図９に示すように、長尺のテープキャリア
２に所定ピッチで設けた状態で製造され、使用時に図８
に示すように単品に切断され、外観検査は図９の状態で
行われる。
リアパッケージ及びそのテープキャリアについて説明す
る。テープキャリアパッケージ１は、図８に示すよう
に、インナリード４とアウタリード５ａ、５ｂを形成し
たテープキャリア２のインナーリード４にＩＣチップ３
を接合した後、ＩＣチップ３を樹脂封止して成り、その
アウタリード５ａ、５ｂを例えば液晶基板と回路基板に
それぞれ接合するように構成されたものであり、テープ
キャリア２表面の所要箇所にはレジスト（図示せず）が
塗布され、ＩＣチップ５の表面等の適所に品種名等を表
示する文字６が記されている。このテープキャリアパッ
ケージ１は、図９に示すように、長尺のテープキャリア
２に所定ピッチで設けた状態で製造され、使用時に図８
に示すように単品に切断され、外観検査は図９の状態で
行われる。
【００２８】このテープキャリアパッケージ１の外観検
査装置は、図１、図２に示すように、テープキャリア２
をその両側に形成された送り穴２ａを利用してをピッチ
送りするスプロケット７ａ、７ｂとその駆動手段８ａ、
８ｂから成る移送手段９を有し、その移送経路１０の上
部と下部の互いに異なる位置に第１と第２の一次元のラ
インカメラ１１、１２が配設されている。これらライン
カメラ１１、１２には５０００ビットのカラーラインカ
メラが用いられている。これらラインカメラ１１、１２
は、それぞれ移送手段９の移送方向とそれに直交する２
方向に移動可能なＸ−Ｙテーブル１３上に設置され、テ
ープキャリアパッケージ１の表面と裏面をそれぞれ撮像
するように構成されている。１４は照明手段、１５は撮
像時にテープキャリアパッケージ１を固定するクランパ
である。
査装置は、図１、図２に示すように、テープキャリア２
をその両側に形成された送り穴２ａを利用してをピッチ
送りするスプロケット７ａ、７ｂとその駆動手段８ａ、
８ｂから成る移送手段９を有し、その移送経路１０の上
部と下部の互いに異なる位置に第１と第２の一次元のラ
インカメラ１１、１２が配設されている。これらライン
カメラ１１、１２には５０００ビットのカラーラインカ
メラが用いられている。これらラインカメラ１１、１２
は、それぞれ移送手段９の移送方向とそれに直交する２
方向に移動可能なＸ−Ｙテーブル１３上に設置され、テ
ープキャリアパッケージ１の表面と裏面をそれぞれ撮像
するように構成されている。１４は照明手段、１５は撮
像時にテープキャリアパッケージ１を固定するクランパ
である。
【００２９】ラインカメラ１１、１２にて撮像されたテ
ープキャリアパッケージ１の表裏の画像データは画像処
理検査判定部１６に入力され、その画像データにより外
観検査を行うように構成されるとともに、検査の結果不
良と判定された場合にその不良箇所を表示するための表
示部１７が設けられている。また、駆動手段８ａ、８
ｂ、Ｘ−Ｙテーブル１３及びラインカメラ１１、１２を
制御してラインカメラ１１、１２による撮像を同時に行
うように制御する制御部１８が設けられている。
ープキャリアパッケージ１の表裏の画像データは画像処
理検査判定部１６に入力され、その画像データにより外
観検査を行うように構成されるとともに、検査の結果不
良と判定された場合にその不良箇所を表示するための表
示部１７が設けられている。また、駆動手段８ａ、８
ｂ、Ｘ−Ｙテーブル１３及びラインカメラ１１、１２を
制御してラインカメラ１１、１２による撮像を同時に行
うように制御する制御部１８が設けられている。
【００３０】１９は画像処理検査判定部１６と制御部１
８を内蔵した制御ユニットである。
８を内蔵した制御ユニットである。
【００３１】第２のラインカメラ１２の移送方向下手側
には、テープキャリアパッケージ１の不良箇所を確認す
るための顕微鏡を備えた確認ステーション２０（図２で
は図示省略）が配設され、表示部１７に表示された不良
箇所を作業者が顕微鏡で確認できるように構成されてい
る。なお、顕微鏡の視野が表示部１７に表示されている
不良箇所と合致するように顕微鏡の位置を制御する手段
を設けておくと、効率的に確認作業を行うことができ
る。
には、テープキャリアパッケージ１の不良箇所を確認す
るための顕微鏡を備えた確認ステーション２０（図２で
は図示省略）が配設され、表示部１７に表示された不良
箇所を作業者が顕微鏡で確認できるように構成されてい
る。なお、顕微鏡の視野が表示部１７に表示されている
不良箇所と合致するように顕微鏡の位置を制御する手段
を設けておくと、効率的に確認作業を行うことができ
る。
【００３２】また、確認ステーション２０の下手側に不
良のテープキャリアパッケージ１に対してパンチ穴を穿
孔するパンチャー２１とパンチ穴検出センサ２２が配設
されている。一方、第１のラインカメラ１１の上手側に
はテープ検出センサ２３、チップ検出センサ２４、バッ
ドマーク検出センサ２５が配設され、テープキャリア２
の有無を検出するとともに、テープキャリアパッケージ
１の検査の要・不要を予め検出するように構成されてい
る。
良のテープキャリアパッケージ１に対してパンチ穴を穿
孔するパンチャー２１とパンチ穴検出センサ２２が配設
されている。一方、第１のラインカメラ１１の上手側に
はテープ検出センサ２３、チップ検出センサ２４、バッ
ドマーク検出センサ２５が配設され、テープキャリア２
の有無を検出するとともに、テープキャリアパッケージ
１の検査の要・不要を予め検出するように構成されてい
る。
【００３３】画像処理検査判定部１６は、図３に示すよ
うに、ラインカメラ１１、１２からの画像データをライ
ンカメラインターフェース２６を介して５０００ビット
×３０００ビットの画像メモリ２７に格納し、カラープ
ロセッサ２８を介してリード検査部２９、レジスト・封
止検査部３０、文字検査部３１にそれぞれ必要な画像デ
ータを伝送し、各々の検査を同時に併行して行うように
構成されている。これらの制御は検査プログラム３２に
基づいてＣＰＵ３３にて行われ、また各検査部２９〜３
１の検査結果がＣＰＵ３３に取り込まれる。また、ＣＰ
Ｕ３３は検査プログラム３２に基づいて、検査結果が不
良の場合にその不良箇所を表示部１７に表示するととも
にその他の検査結果に応じた動作制御を行う。
うに、ラインカメラ１１、１２からの画像データをライ
ンカメラインターフェース２６を介して５０００ビット
×３０００ビットの画像メモリ２７に格納し、カラープ
ロセッサ２８を介してリード検査部２９、レジスト・封
止検査部３０、文字検査部３１にそれぞれ必要な画像デ
ータを伝送し、各々の検査を同時に併行して行うように
構成されている。これらの制御は検査プログラム３２に
基づいてＣＰＵ３３にて行われ、また各検査部２９〜３
１の検査結果がＣＰＵ３３に取り込まれる。また、ＣＰ
Ｕ３３は検査プログラム３２に基づいて、検査結果が不
良の場合にその不良箇所を表示部１７に表示するととも
にその他の検査結果に応じた動作制御を行う。
【００３４】次に、以上の構成によるテープキャリアパ
ッケージ１の外観検査動作について説明する。
ッケージ１の外観検査動作について説明する。
【００３５】移送手段９にてテープキャリア２をピッチ
送りした後、第１と第２のラインカメラ１１、１２に対
応するテープキャリアパッケージ１を矢印ａの如くクラ
ンパ１５にて固定し、Ｘ−Ｙテーブル１３にて矢印ｂ方
向に第１と第２のラインカメラ１１、１２を走査してテ
ープキャリアパッケージ１の表面と裏面を撮像する。
送りした後、第１と第２のラインカメラ１１、１２に対
応するテープキャリアパッケージ１を矢印ａの如くクラ
ンパ１５にて固定し、Ｘ−Ｙテーブル１３にて矢印ｂ方
向に第１と第２のラインカメラ１１、１２を走査してテ
ープキャリアパッケージ１の表面と裏面を撮像する。
【００３６】その画像データはラインカメラインターフ
ェース２６を介して画像メモリ２７に格納される。ＣＰ
Ｕ３３は、画像メモリ２７からリード検査部２９、レジ
スト・封止検査部３０、文字検査部３１に向けてそれぞ
れに必要な画像データを切り出して伝送し、各検査部２
９〜３１がそれぞれの検査を同時に併行して行う。
ェース２６を介して画像メモリ２７に格納される。ＣＰ
Ｕ３３は、画像メモリ２７からリード検査部２９、レジ
スト・封止検査部３０、文字検査部３１に向けてそれぞ
れに必要な画像データを切り出して伝送し、各検査部２
９〜３１がそれぞれの検査を同時に併行して行う。
【００３７】リード検査部２９におけるリード検査につ
いて、図４、図５を参照して説明する。まず、図５
（ａ）に示すように通常のテレビ画面に相当する１処理
画面分の画像データが画像メモリ２７から伝送されてく
ると、その処理画面中で検査すべきリード３４を順次指
定し（ステップ＃１）、次に図５（ｂ）に示すようにそ
のリード３４に対する外接四角形３５を形成し（ステッ
プ＃２）、次に図５（ｃ）に示すようにこの外接四角形
３５内を白黒反転した後（ステップ＃３）、図５（ｄ）
に示すようにノイズ除去し（ステップ＃４）、その後白
領域の面積を判定し（ステップ＃５）、適当に設定され
たしきい値と比較して正常又は不良の判定を行う（ステ
ップ＃６）。以上の処理を処理画面中のリード３４につ
いて順次行い、全て終了すると、次の処理画面が画像メ
モリ３７から伝送されて同様の処理を行い、テープキャ
リアパッケージ１の全てのリードの検査を行う。
いて、図４、図５を参照して説明する。まず、図５
（ａ）に示すように通常のテレビ画面に相当する１処理
画面分の画像データが画像メモリ２７から伝送されてく
ると、その処理画面中で検査すべきリード３４を順次指
定し（ステップ＃１）、次に図５（ｂ）に示すようにそ
のリード３４に対する外接四角形３５を形成し（ステッ
プ＃２）、次に図５（ｃ）に示すようにこの外接四角形
３５内を白黒反転した後（ステップ＃３）、図５（ｄ）
に示すようにノイズ除去し（ステップ＃４）、その後白
領域の面積を判定し（ステップ＃５）、適当に設定され
たしきい値と比較して正常又は不良の判定を行う（ステ
ップ＃６）。以上の処理を処理画面中のリード３４につ
いて順次行い、全て終了すると、次の処理画面が画像メ
モリ３７から伝送されて同様の処理を行い、テープキャ
リアパッケージ１の全てのリードの検査を行う。
【００３８】このような検査方法によると、リード３４
に傷や欠けや折れ曲がりがある場合や、リード表面の錫
メッキ不良のために酸化して変色した箇所がある場合
や、レジストなどが付着している場合など、接合不良を
発生する恐れのある欠陥を確実に検出することができ
る。また、検査のアルゴリズムが簡易であるため、例え
ば１処理画面を４ｍｓｅｃ程度で検査処理でき、従来の
パターンマッチング等では１００ｍｓｅｃ程度必要であ
ったのに比して大幅に高速にて処理することができ、リ
ード本数の多いテープキャリアパッケージ１の場合でも
短時間で検査でき、リアルタイムの検査が可能である。
に傷や欠けや折れ曲がりがある場合や、リード表面の錫
メッキ不良のために酸化して変色した箇所がある場合
や、レジストなどが付着している場合など、接合不良を
発生する恐れのある欠陥を確実に検出することができ
る。また、検査のアルゴリズムが簡易であるため、例え
ば１処理画面を４ｍｓｅｃ程度で検査処理でき、従来の
パターンマッチング等では１００ｍｓｅｃ程度必要であ
ったのに比して大幅に高速にて処理することができ、リ
ード本数の多いテープキャリアパッケージ１の場合でも
短時間で検査でき、リアルタイムの検査が可能である。
【００３９】なお、本実施例では図示していないが、テ
ープキャリアパッケージ１のフレックス部など、任意の
部位の形状を検査する検査部が設けられることがあり、
その検査部においても上記リード検査部２９における検
査方法と同様の方法を適用することにより検査の高速化
を図ることができる。
ープキャリアパッケージ１のフレックス部など、任意の
部位の形状を検査する検査部が設けられることがあり、
その検査部においても上記リード検査部２９における検
査方法と同様の方法を適用することにより検査の高速化
を図ることができる。
【００４０】レジスト・封止検査部３０におけるレジス
ト及び封止の検査は、単純な検査であるため従来から周
知の面積判定や境界追跡等の方法によって検査を行って
おり、ここでの説明は省略する。この方法によっても、
多数のリードの検査時間よりも長くかかるということは
ないからである。
ト及び封止の検査は、単純な検査であるため従来から周
知の面積判定や境界追跡等の方法によって検査を行って
おり、ここでの説明は省略する。この方法によっても、
多数のリードの検査時間よりも長くかかるということは
ないからである。
【００４１】次に、文字検査部３１における文字検査に
ついて、図６、図７を参照して説明する。ステップ＃１
１〜＃１４により、図７（ａ）に示す画像メモリ２７に
おける文字６の部分から図７（ｂ）に示すように処理画
面内に納まる領域毎に画像データを順次切り出し、それ
らを順次データ縮小して処理画面３６内で合成するとい
う処理を全ての文字６について処理が終了するまで行
い、図７（ｃ）に示すように処理画面３６内に全ての文
字６を格納する。次に、合成された文字画像のノイズ除
去を行った後（ステップ＃１５）、各文字を切り出し
（ステップ＃１６）、サイズ及び文字数の検査を行い
（ステップ＃１７）、その後文字の読み取りを行い（ス
テップ＃１８）、文字の品質の比較判定を行い、文字品
質の正常・不良を判定する（ステップ＃１９）。
ついて、図６、図７を参照して説明する。ステップ＃１
１〜＃１４により、図７（ａ）に示す画像メモリ２７に
おける文字６の部分から図７（ｂ）に示すように処理画
面内に納まる領域毎に画像データを順次切り出し、それ
らを順次データ縮小して処理画面３６内で合成するとい
う処理を全ての文字６について処理が終了するまで行
い、図７（ｃ）に示すように処理画面３６内に全ての文
字６を格納する。次に、合成された文字画像のノイズ除
去を行った後（ステップ＃１５）、各文字を切り出し
（ステップ＃１６）、サイズ及び文字数の検査を行い
（ステップ＃１７）、その後文字の読み取りを行い（ス
テップ＃１８）、文字の品質の比較判定を行い、文字品
質の正常・不良を判定する（ステップ＃１９）。
【００４２】このように文字品質の検査を行うことによ
り、画像ずれなく高速にて合成が可能でかつ縮小されて
いるので判定処理も短時間で行うことができ、画像メモ
リ２７に格納されていた分解能の高い文字６の検査を短
時間で行うことができる。
り、画像ずれなく高速にて合成が可能でかつ縮小されて
いるので判定処理も短時間で行うことができ、画像メモ
リ２７に格納されていた分解能の高い文字６の検査を短
時間で行うことができる。
【００４３】以上のように各検査部２９〜３１で検査さ
れた結果はＣＰＵ３３に伝送され、テープキャリアパッ
ケージ１に不良箇所が存在する場合は、そのテープキャ
リアパッケージ１が確認ステーション２０に移動したと
きに、そのテープキャリアパッケージ１の不良箇所が表
示部１７に表示される。そこで、検査作業者は顕微鏡で
その不良箇所を顕微鏡で確認し、不良判定が単なるごみ
・ほこりによる誤判定の場合は不良データの修正を行
う。これによって正常なテープキャリアパッケージ１を
無駄にせずに済む。なお、不良判定の発生は通常数％以
下であるので、大幅な効率低下を来すことはない。
れた結果はＣＰＵ３３に伝送され、テープキャリアパッ
ケージ１に不良箇所が存在する場合は、そのテープキャ
リアパッケージ１が確認ステーション２０に移動したと
きに、そのテープキャリアパッケージ１の不良箇所が表
示部１７に表示される。そこで、検査作業者は顕微鏡で
その不良箇所を顕微鏡で確認し、不良判定が単なるごみ
・ほこりによる誤判定の場合は不良データの修正を行
う。これによって正常なテープキャリアパッケージ１を
無駄にせずに済む。なお、不良判定の発生は通常数％以
下であるので、大幅な効率低下を来すことはない。
【００４４】最終的にテープキャリアパッケージ１に不
良箇所が存在する場合は、パンチャー２１にて不良であ
ることを示すパンチ穴が開けられた後搬出され、それ以
外の場合はそのまま搬出される。
良箇所が存在する場合は、パンチャー２１にて不良であ
ることを示すパンチ穴が開けられた後搬出され、それ以
外の場合はそのまま搬出される。
【００４５】本実施例によれば、以上のようにテープキ
ャリアパッケージ１の表面と裏面を第１と第２のライン
カメラ１１、１２を走査移動して撮像し、撮像した画像
データから各検査部２９〜３１にて外観検査を行うこと
によりテープキャリアパッケージ１の表裏を一度にかつ
短時間で検査でき、しかも表裏を互いに異なった位置で
同時に撮像するので撮像時の照明手段１４の影響を互い
に受けることなく、また交互に表裏の撮像を行う場合に
比して短時間に撮像できて効率的に撮像・検査すること
ができる。又、第１と第２のラインカメラ１１、１２を
走査移動させて撮像するので高分解能の画像を短時間で
得ることができるとともに、テープキャリア２を移動さ
せながら撮像する場合のように移動速度むらやテープキ
ャリア２の変動による精度低下もなく、高精細度の検査
を短時間で行うことができる。さらに、テープキャリア
パッケージ１の画像データを画像メモリ２７に格納し、
検査部位毎に設けられた各検査部２９〜３１で各検査部
位の検査を同時に並列して行うので、検査の高速化を実
現でき、リアルタイムで検査することができる。
ャリアパッケージ１の表面と裏面を第１と第２のライン
カメラ１１、１２を走査移動して撮像し、撮像した画像
データから各検査部２９〜３１にて外観検査を行うこと
によりテープキャリアパッケージ１の表裏を一度にかつ
短時間で検査でき、しかも表裏を互いに異なった位置で
同時に撮像するので撮像時の照明手段１４の影響を互い
に受けることなく、また交互に表裏の撮像を行う場合に
比して短時間に撮像できて効率的に撮像・検査すること
ができる。又、第１と第２のラインカメラ１１、１２を
走査移動させて撮像するので高分解能の画像を短時間で
得ることができるとともに、テープキャリア２を移動さ
せながら撮像する場合のように移動速度むらやテープキ
ャリア２の変動による精度低下もなく、高精細度の検査
を短時間で行うことができる。さらに、テープキャリア
パッケージ１の画像データを画像メモリ２７に格納し、
検査部位毎に設けられた各検査部２９〜３１で各検査部
位の検査を同時に並列して行うので、検査の高速化を実
現でき、リアルタイムで検査することができる。
【００４６】なお、テープキャリアパッケージ１が大型
で、ラインカメラ１１、１２の１回の走査で全体をカバ
ーできない場合には、Ｘ−Ｙテーブル１３にてラインカ
メラ１１、１２を走査方向と直交する方向に移動させて
走査することによって検査することができ、大型のテー
プキャリアパッケージ１の検査も能率的に行うことがで
きる。
で、ラインカメラ１１、１２の１回の走査で全体をカバ
ーできない場合には、Ｘ−Ｙテーブル１３にてラインカ
メラ１１、１２を走査方向と直交する方向に移動させて
走査することによって検査することができ、大型のテー
プキャリアパッケージ１の検査も能率的に行うことがで
きる。
【００４７】次に、本発明の他の実施例について図１
０、図１１を参照して説明する。
０、図１１を参照して説明する。
【００４８】この実施例では、図１０に示すように、上
記実施例における確認ステーション２０に代えて、ライ
ンカメラ１１、１２の下手側に付着ゴミ等を除去するブ
ラシ４１が配設され、このブラシ４１を駆動制御するブ
ラシ駆動制御部４２と移送手段９を駆動制御する搬送駆
動制御部４３に画像処理検査判定部１６のＣＰＵ３３か
ら指令信号が入力されている。
記実施例における確認ステーション２０に代えて、ライ
ンカメラ１１、１２の下手側に付着ゴミ等を除去するブ
ラシ４１が配設され、このブラシ４１を駆動制御するブ
ラシ駆動制御部４２と移送手段９を駆動制御する搬送駆
動制御部４３に画像処理検査判定部１６のＣＰＵ３３か
ら指令信号が入力されている。
【００４９】この実施例においては画像処理検査判定部
１６のＣＰＵ３３にて図１１に示すように動作制御され
る。即ち、上記実施例と同様にテープキャリアパッケー
ジ１の検査を行い（ステップ＃２１）、その検査結果の
正常・不良の判定を行い（ステップ＃２２）、正常の場
合はそのまま搬送し（ステップ＃２３）、不良のときに
は先にその検査結果が再検査の結果であるか否かを判定
し（ステップ＃２４）、再検査によっても不良の場合は
そのまま不良処理を行った後（ステップ＃２６）ステッ
プ＃２３に移行して搬送し、再検査済みでない場合は次
に当該不良箇所がブラッシング可能な部位か否かを判定
し（ステップ＃２５）、ブラッシング不可能な部位の場
合はステップ＃２６に移行して不良処理して搬送し、ブ
ラッシング可能な部位の場合は、不良箇所をブラッシン
グしてごみなどの付着による不良である場合にそのごみ
を確実に除去した後（ステップ＃２７）、移送手段９を
逆搬送動作させ（ステップ＃２８）、ステップ＃２１に
戻って再度検査を行う。
１６のＣＰＵ３３にて図１１に示すように動作制御され
る。即ち、上記実施例と同様にテープキャリアパッケー
ジ１の検査を行い（ステップ＃２１）、その検査結果の
正常・不良の判定を行い（ステップ＃２２）、正常の場
合はそのまま搬送し（ステップ＃２３）、不良のときに
は先にその検査結果が再検査の結果であるか否かを判定
し（ステップ＃２４）、再検査によっても不良の場合は
そのまま不良処理を行った後（ステップ＃２６）ステッ
プ＃２３に移行して搬送し、再検査済みでない場合は次
に当該不良箇所がブラッシング可能な部位か否かを判定
し（ステップ＃２５）、ブラッシング不可能な部位の場
合はステップ＃２６に移行して不良処理して搬送し、ブ
ラッシング可能な部位の場合は、不良箇所をブラッシン
グしてごみなどの付着による不良である場合にそのごみ
を確実に除去した後（ステップ＃２７）、移送手段９を
逆搬送動作させ（ステップ＃２８）、ステップ＃２１に
戻って再度検査を行う。
【００５０】本実施例によれば、人手による確認作業を
行わなくても自動的にごみ・ほこりによる不良の誤判定
を減少することができ、かつごみなどが除去されて搬出
されるので後処理なしで正常なテープキャリアパッケー
ジ１が得られる。
行わなくても自動的にごみ・ほこりによる不良の誤判定
を減少することができ、かつごみなどが除去されて搬出
されるので後処理なしで正常なテープキャリアパッケー
ジ１が得られる。
【００５１】
【発明の効果】本発明のテープキャリアパッケージの外
観検査装置によれば、以上の説明から明らかなように、
テープキャリアパッケージの表面と裏面を第１と第２の
撮像手段にて撮像し、撮像した画像データから検査手段
にて外観検査を行うことによりテープキャリアパッケー
ジの表裏を一度に検査でき、しかも表裏を互いに異なっ
た位置で同時に撮像するので撮像時の照明等の影響を互
いに受けることなく、また交互に表裏の撮像を行う場合
に比して短時間に撮像できて効率的に撮像・検査するこ
とができ、また第１と第２の撮像手段は一次元のライン
ＣＣＤカメラを走査移動させて撮像するようにしている
ので高分解能の画像を短時間で得ることができるととも
に、テープキャリアを移動させながら撮像する場合のよ
うに移動速度むらやテープキャリアの変動による精度低
下もなく、高精細度の検査を短時間で行うことができ
る。
観検査装置によれば、以上の説明から明らかなように、
テープキャリアパッケージの表面と裏面を第１と第２の
撮像手段にて撮像し、撮像した画像データから検査手段
にて外観検査を行うことによりテープキャリアパッケー
ジの表裏を一度に検査でき、しかも表裏を互いに異なっ
た位置で同時に撮像するので撮像時の照明等の影響を互
いに受けることなく、また交互に表裏の撮像を行う場合
に比して短時間に撮像できて効率的に撮像・検査するこ
とができ、また第１と第２の撮像手段は一次元のライン
ＣＣＤカメラを走査移動させて撮像するようにしている
ので高分解能の画像を短時間で得ることができるととも
に、テープキャリアを移動させながら撮像する場合のよ
うに移動速度むらやテープキャリアの変動による精度低
下もなく、高精細度の検査を短時間で行うことができ
る。
【００５２】また、ラインＣＣＤカメラをＸ−Ｙテーブ
ルにてテープキャリアの移動方向とそれに直交する方向
の２方向に走査できるようにすると、ラインカメラの１
回の走査によって全体をカバーできないような大型のテ
ープキャリアパッケージの検査も能率的に行うことがで
きる。
ルにてテープキャリアの移動方向とそれに直交する方向
の２方向に走査できるようにすると、ラインカメラの１
回の走査によって全体をカバーできないような大型のテ
ープキャリアパッケージの検査も能率的に行うことがで
きる。
【００５３】また、確認ステーションにおいて、検査結
果の不良箇所を表示し、その不良箇所を顕微鏡で確認で
きるようにすると、単なるごみ・ほこりによる誤判定を
修正することができ、正常なテープキャリアパッケージ
を無駄にせずに済む。
果の不良箇所を表示し、その不良箇所を顕微鏡で確認で
きるようにすると、単なるごみ・ほこりによる誤判定を
修正することができ、正常なテープキャリアパッケージ
を無駄にせずに済む。
【００５４】また、検査手段による検査結果が不良のと
きに不良箇所がブラッシング可能な部位か否かを判定
し、ブラッシング可能な部位であるときにのみ不良箇所
をブラッシングして再検査することにより、ごみ・ほこ
りによる不良の誤判定を減少することができるとともに
後処理なしで正常なテープキャリアパッケージが得られ
る。
きに不良箇所がブラッシング可能な部位か否かを判定
し、ブラッシング可能な部位であるときにのみ不良箇所
をブラッシングして再検査することにより、ごみ・ほこ
りによる不良の誤判定を減少することができるとともに
後処理なしで正常なテープキャリアパッケージが得られ
る。
【００５５】また、本発明のテープキャリアパッケージ
の外観検査方法によれば、テープキャリアパッケージを
一次元ラインカメラを走査して撮像し、その画像データ
を画像メモリに格納し、検査部位毎に設けられた各検査
部で各検査部位の検査を同時に並列して行うので、検査
の高速化を実現でき、リアルタイムで検査することがで
きる。
の外観検査方法によれば、テープキャリアパッケージを
一次元ラインカメラを走査して撮像し、その画像データ
を画像メモリに格納し、検査部位毎に設けられた各検査
部で各検査部位の検査を同時に並列して行うので、検査
の高速化を実現でき、リアルタイムで検査することがで
きる。
【００５６】また、リードの検査を行うリード検査部に
おいて、リードの外接四角形を形成してその内部を白黒
反転し、白部分の面積によって良否判定すると、従来の
パターンマッチング等の方法に比して大幅な高速処理を
実現できる。
おいて、リードの外接四角形を形成してその内部を白黒
反転し、白部分の面積によって良否判定すると、従来の
パターンマッチング等の方法に比して大幅な高速処理を
実現できる。
【００５７】また、テープキャリアパッケージの任意の
部位の形状を検査にも同様の方法を適用することにより
その検査の高速化を図ることができる。
部位の形状を検査にも同様の方法を適用することにより
その検査の高速化を図ることができる。
【００５８】また、文字の検査を行う際に、画像メモリ
中の文字部分を切り出し、データ縮小して１処理画面内
で合成し、読み取り検査を行うことにより、画像ずれな
く高速にて合成が可能でかつ縮小されているので判定処
理も短時間で行うことができ、画像メモリの分解能の高
い文字の検査を短時間で行うことができる。
中の文字部分を切り出し、データ縮小して１処理画面内
で合成し、読み取り検査を行うことにより、画像ずれな
く高速にて合成が可能でかつ縮小されているので判定処
理も短時間で行うことができ、画像メモリの分解能の高
い文字の検査を短時間で行うことができる。
【図１】本発明のテープキャリアパッケージの外観検査
装置の一実施例の概略構成図である。
装置の一実施例の概略構成図である。
【図２】同実施例の概略構成を示す斜視図である。
【図３】同実施例における画像処理検査判定部の構成図
である。
である。
【図４】同実施例のおけるリード検査の動作フロー図で
ある。
ある。
【図５】同実施例におけるリード検査方法の説明図であ
る。
る。
【図６】同実施例における文字検査の動作フロー図であ
る。
る。
【図７】同実施例における文字検査方法の説明図であ
る。
る。
【図８】同実施例におけるテープキャリアパッケージの
斜視図である。
斜視図である。
【図９】同実施例のテープキャリアパッケージを配設し
たテープキャリアの斜視図である。
たテープキャリアの斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施例の概略構成図である。
【図１１】同実施例における検査動作のフロー図であ
る。
る。
【図１２】従来例のテープキャリアパッケージの外観検
査装置の概略構成図である。
査装置の概略構成図である。
【図１３】従来例におけるリード検査方法の説明図であ
る。
る。
１ テープキャリアパッケージ ２ テープキャリア ９ 移送手段 １１ 第１のラインカメラ（第１の撮像手段） １２ 第２のラインカメラ（第２の撮像手段） １３ Ｘ−Ｙテーブル（走査移動手段） １６ 画像処理検査判定部（検査手段） １７ 表示部（表示手段） １８ 制御部（制御手段） ２０ 確認ステーション ２７ 画像メモリ ２９ リード検査部 ３０ レジスト・封止検査部 ３１ 文字検査部 ３４ リード ３５ 外接四角形 ３６ 処理画面 ４１ ブラシ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大崎 裕人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 河井 誠 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 安武 正憲 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 テープキャリアパッケージが所定ピッチ
で設けられているテープキャリアをピッチ送りする移送
手段と、移送手段における移送経路の適所にテープキャ
リアパッケージの表面と裏面をそれぞれ互いに異なった
位置で撮像する第１と第２の撮像手段と、第１と第２の
撮像手段による撮像を同時に行うように移送手段及び第
１と第２の撮像手段を制御する制御手段と、撮像した画
像データから外観検査を行う検査手段とを備え、第１と
第２の撮像手段が一次元のラインカメラとその走査移動
手段とから成ることを特徴とするテープキャリアパッケ
ージの外観検査装置。 - 【請求項２】 ラインカメラの走査移動手段が、テープ
キャリアの移動方向とそれに直交する方向の２方向に走
査可能なＸ−Ｙテーブルから成ることを特徴とする請求
項１記載のテープキャリアパッケージの外観検査装置。 - 【請求項３】 検査手段による検査結果が不良のときに
不良箇所を表示する表示手段と、テープキャリアパッケ
ージの不良箇所を確認する顕微鏡とを有する確認ステー
ションを設けたことを特徴とする請求項１記載のテープ
キャリアパッケージの外観検査装置。 - 【請求項４】 移送手段における移送経路の適所に付着
ゴミ等を除去するブラシを配設し、検査手段による検査
結果が不良のときに不良箇所がブラッシング可能な部位
か否かを判定し、ブラッシング可能な部位であるときに
のみ不良箇所をブラッシングして再検査するように移動
手段とブラシと検査手段を制御する手段を設けたことを
特徴とする請求項１記載のテープキャリアパッケージの
外観検査装置。 - 【請求項５】 テープキャリアパッケージを一次元のラ
インカメラを走査して撮像し、その画像データを画像メ
モリに格納する工程と、検査部位毎に設けられた検査部
にそれぞれ該当箇所の画像データを伝送する工程と、各
検査部で各検査部位の検査を並列して行う工程とを有す
ることを特徴とするテープキャリアパッケージの外観検
査方法。 - 【請求項６】 リードの検査を行うリード検査部におい
て、リードの外接四角形を形成してその内部を白黒反転
し、白部分の面積によって良否判定を行うことを特徴と
する請求項５に記載のテープキャリアパッケージの外観
検査方法。 - 【請求項７】 テープキャリアパッケージの任意の部位
の形状を検査する形状検査部において、当該部位の外接
四角形を形成してその内部を白黒反転し、白部分の面積
によって良否判定を行うことを特徴とする請求項５記載
のテープキャリアパッケージの外観検査方法。 - 【請求項８】 文字の検査を行う文字検査部において、
画像メモリから処理画面内に納まる領域毎に画像データ
を順次切り出し、データ縮小して処理画面内で合成し、
処理画面上で文字を順次切り出して読み取り検査するこ
とを特徴とする請求項５記載のテープキャリアパッケー
ジの外観検査方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291182A JPH08145913A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法 |
| KR1019950043128A KR0180269B1 (ko) | 1994-11-25 | 1995-11-23 | 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291182A JPH08145913A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145913A true JPH08145913A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17765529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6291182A Pending JPH08145913A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145913A (ja) |
| KR (1) | KR0180269B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006132490A1 (en) * | 2005-06-07 | 2006-12-14 | Intekplus Co., Ltd. | In-tray inspection apparatus and method of semiconductor package |
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