JPH1019789A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本課題は、多品種の半導体装置に対する多項目
の検査において、検査条件を容易に変更可能にして高精
度の検査を実行して高品質の半導体装置を製造するため
の半導体装置の製造方法を提供することにある。 【解決手段】本発明は、半導体装置の濃淡画像信号を検
出し、この検出された半導体装置の濃淡画像信号に対し
て設定されたリード間における複数の検査範囲枠を合成
した検査範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてリ
ード間の導電性異物の付着を検査し、前記検出された半
導体装置の濃淡画像信号に対して設定されたリード表面
における検査範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づい
てリード表面の検査をして半導体装置を製造することを
特徴とする半導体装置の製造方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージによっ
て封止された半導体装置を検査して高品質の半導体装置
を製造する半導体装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】高品質の半導体装置を製造するための検
査に関する従来技術としては、特開平６−２２２０１２
号公報（従来技術１）や特開平５−２３１８３５号公報
（従来技術２）が知られている。従来技術１には、多品
種の半導体パッケージの外観を多項目にわたって検査す
るに際し、高速検査を可能とする外観検査が記載されて
いる。

【０００３】また従来技術２には、半導体装置のリード
の浮き上がり量を画像処理により検査することが記載さ
れている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の何れの従来技術
においては、多品種の半導体装置に対する多項目の検査
において、検査条件を容易に変更可能にして高精度の検
査を実行しようとする課題について十分考慮されていな
かった。

【０００５】本発明の目的は、上記課題を解決すべく、
多品種の半導体装置に対する多項目の検査において、検
査条件を容易に変更可能にして高精度の検査を実行して
高品質の半導体装置を製造するための半導体装置の製造
方法を提供することにある。また本発明の他の目的は、
多品種の半導体装置に対する多項目の検査において、特
にリード間の検査について検査条件を容易に変更可能に
して高精度の検査を実行して高品質の半導体装置を製造
するための半導体装置の製造方法を提供することにあ
る。また本発明の他の目的は、多品種の半導体装置に対
する多項目の検査において、特にリード表面の検査につ
いて検査条件を容易に変更可能にして高精度の検査を実
行して高品質の半導体装置を製造するための半導体装置
の製造方法を提供することにある。また本発明の他の目
的は、多品種の半導体装置に対する多項目の検査におい
て、特にパッケージ表面の検査について検査条件を容易
に変更可能にして高精度の検査を実行して高品質の半導
体装置を製造するための半導体装置の製造方法を提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、半導体装置の濃淡画像信号を検出し、こ
の検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して設定さ
れたリード間における複数の検査範囲枠を合成した検査
範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてリード間の
導電性異物の付着を検査して半導体装置を製造すること
を特徴とする半導体装置の製造方法である。また本発明
は、半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この検出され
た半導体装置の濃淡画像信号に対して設定されたリード
表面における検査範囲枠から得られる濃淡画像信号に基
づいてリード表面の検査をして半導体装置を製造するこ
とを特徴とする半導体装置の製造方法である。

【０００７】また本発明は、半導体装置の濃淡画像信号
を検出し、この検出された半導体装置の濃淡画像信号に
対して該半導体装置の品種に応じて設定されたリード間
における複数の検査範囲枠を合成した検査範囲枠から得
られる濃淡画像信号に基づいてリード間の導電性異物の
付着を検査して半導体装置を製造することを特徴とする
半導体装置の製造方法である。また本発明は、半導体装
置の濃淡画像信号を検出し、この検出された半導体装置
の濃淡画像信号に対して該半導体装置の品種に応じて設
定されたリード表面における検査範囲枠から得られる濃
淡画像信号に基づいてリード表面の検査をして半導体装
置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方法で
ある。

【０００８】また本発明は、半導体装置の濃淡画像信号
を検出し、この検出された半導体装置の濃淡画像信号に
対して設定されたパッケージ表面における検査範囲枠か
ら得られる濃淡画像信号に基づいてパッケージ表面の検
査をして半導体装置を製造することを特徴とする半導体
装置の製造方法である。また本発明は、半導体装置の濃
淡画像信号を検出し、この検出された半導体装置の濃淡
画像信号に対して該半導体装置の品種に応じて設定され
たパッケージ表面における検査範囲枠から得られる濃淡
画像信号に基づいてパッケージ表面の検査をして半導体
装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方法
である。

【０００９】また本発明は、半導体装置の濃淡画像信号
を検出し、この検出された半導体装置の濃淡画像信号に
対して該半導体装置の品種に応じて設定されたパッケー
ジ表面における検査範囲枠から得られる濃淡画像信号を
パッケージ表面を白くする閾値とパッケージ表面を黒く
する閾値との各々を用いて各２値化画像信号に変換し、
この変換された各２値化画像信号に基づいてパッケージ
表面の検査をして半導体装置を製造することを特徴とす
る半導体装置の製造方法である。また本発明は、半導体
装置の濃淡画像信号を検出し、この検出された半導体装
置の濃淡画像信号に対して該半導体装置の品種に応じて
設定されたパッケージ表面における検査範囲枠から得ら
れる濃淡画像信号をパッケージ表面を白くする閾値とパ
ッケージ表面を黒くする閾値との各々を用いて各２値化
画像信号に変換し、この変換された各２値化画像信号に
基づいてパッケージ表面の検査をして半導体装置を製造
することを特徴とする半導体装置の製造方法である。

【００１０】また本発明は、半導体装置の濃淡画像信号
を検出する濃淡画像信号検出工程と、該濃淡画像信号検
出工程で検出された半導体装置の濃淡画像信号からリー
ドの平坦度およびスタンドオフを検査する第１の検査工
程と、前記濃淡画像信号検出工程で検出された半導体装
置の濃淡画像信号からリードの不揃いおよびリードのピ
ッチについて検査する第２の検査工程と、前記濃淡画像
信号検出工程で検出された半導体装置の濃淡画像信号に
対して設定されたリード間における複数の検査範囲枠を
合成した検査範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づい
てリード間の導電性異物の付着を検査する第３の検査工
程と、前記濃淡画像信号検出工程で検出された半導体装
置の濃淡画像信号に対して設定された検査範囲枠から得
られる濃淡画像信号に基づいてリード表面の検査を行う
第４の検査工程と、前記濃淡画像信号検出工程で検出さ
れた半導体装置の濃淡画像信号に対して設定されたパッ
ケージ表面における検査範囲枠から得られる濃淡画像信
号に基づいてパッケージ表面の検査を行う第５の検査工
程とを有する半導体装置の検査方法により半導体装置を
検査して半導体装置を製造することを特徴とする半導体
装置の製造方法である。

【００１１】また本発明は、前記半導体装置の製造方法
において、検査範囲枠をモニタ画面上で設定できるよう
にしたことを特徴とするものである。また本発明は、前
記半導体装置の製造方法において、濃淡画像信号を２値
化画像に変換する閾値をモニタ画面上で設定できるよう
にしたことを特徴とするものである。

【００１２】以上説明したように、本発明によれば、多
品種の半導体装置に対する多項目の検査において、検査
条件を容易に変更可能にして高精度の検査を実行して高
品質の半導体装置を製造することができる。また本発明
によれば、多品種の半導体装置に対する多項目の検査に
おいて、特にリード間の検査について検査条件を容易に
変更可能にして高精度の検査を実行して高品質の半導体
装置を製造することができる。また本発明によれば、多
品種の半導体装置に対する多項目の検査において、特に
リード表面の検査について検査条件を容易に変更可能に
して高精度の検査を実行して高品質の半導体装置を製造
することができる。また本発明によれば、多品種の半導
体装置に対する多項目の検査において、特にパッケージ
表面の検査について検査条件を容易に変更可能にして高
精度の検査を実行して高品質の半導体装置を製造するこ
とができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るパッケージで
封止した半導体装置の製造方法の一実施の形態について
図１〜図２９を用いて説明する。図１は本発明に係るパ
ッケージで封止した半導体装置の製造方法を実現するた
めの半導体パッケージ外観検査装置の一実施の形態を示
す構成図である。この半導体パッケージ外観検査装置
は、半導体パッケージ（半導体装置）１（図３、図４参
照）の外観検査を画像処理により行う画像処理装置２、
半導体パッケージ（半導体装置）１の搬送，反転，位置
決め等を行う機構部３、機構部３の駆動部分を制御する
機構制御部４、運転開始スイッチや運転停止スイッチ等
の操作スイッチを有し操作指令を機構制御部４に出力し
たり、機構部３や機構制御部４の状態を表示する操作表
示部５、検査条件入力や検査結果出力を行う入出力端末
６、半導体パッケージ１の画像を良好に取り込めるよう
に適切に照明する照明装置７、被検査物である半導体パ
ッケージ１の画像を取り込む画像取り込み手段であるカ
メラ９、及びオペレータの目視による監視を可能とする
ために検査状態や検査不良個所を表示したり、検査条件
等の設定に用いられるモニタＴＶ１０から主として構成
されている。

【００１４】また、画像処理装置２内には、複数枚の基
板の共通伝送路であるシステムバス２１、このシステム
バス２１に挿入設置され画像処理装置２全体を制御する
ＣＰＵ基板２２、ＣＰＵ基板２２の指令によりカメラ９
の動作を制御するカメラコントローラ基板２３、半導体
パッケージ１の画像を記憶し画像処理する画像処理基板
であるＤＳＰ基板２４、及び照明装置７の光量調整及び
機構制御部４との交信を行う照明コントローラ＆Ｉ／Ｏ
基板２５、外部記憶装置であるハードディスク装置２６
とフロッピーディスク装置２７が具備されている。図１
に示すように、本実施例の半導体パッケージ外観検査装
置は、半導体パッケージ１の側面を検査する第１検査部
１３ａ（Ｓｔ．１）、半導体パッケージ１の上面を検査
する第２検査部１３ｂ（Ｓｔ．２）、及び半導体パッケ
ージ１の下面を検査する第３検査部１３ｃ（Ｓｔ．３）
の３つの検査部１３を持っている。各検査部１３ａ〜１
３ｃは、カメラ９を１台（Ｓｔ．１はカメラ９ａ、Ｓ
ｔ．２はカメラ９ｂ、Ｓｔ．３はカメラ９ｃ）、カメラ
コントローラ基板２３を１枚（Ｓｔ．１はカメラコント
ローラ基板２３ａ、Ｓｔ．２はカメラコントローラ基板
２３ｂ、Ｓｔ．３はカメラコントローラ基板２３ｃ）、
ＤＳＰ基板２４を１枚ないし数枚（Ｓｔ．１はＤＳＰ基
板２４ａの１枚、Ｓｔ．２はＤＳＰ基板２４ｂ１，２４
ｂ２，２４ｂ３の３枚、Ｓｔ．３はＤＳＰ基板２４ｃ
１，２４ｃ２の２枚）、照明装置を１個ないし数個（Ｓ
ｔ．１は７ａ１，７ａ２の２個、Ｓｔ．２は７ｂ１，７
ｂ２の２個、Ｓｔ．３は７ｃの１個）から、それぞれ構
成されている。切り替え回路１０ｂは、ＣＰＵ部２２か
らの指令により各ＤＳＰ部２４ａ〜２４ｃから得られる
モニタＴＶ１０に表示する画像データを切り替えられる
ものである。

【００１５】ＤＳＰ基板２４内には（図８参照）、カメ
ラ９で取り込んだ半導体パッケージ１の画像を記憶する
画像メモリ６２、画像メモリ６２を使用して半導体パッ
ケージ外観検査を行う処理ユニット６３、処理ユニット
６３のプログラムを格納するプログラムメモリ６４、及
び半導体パッケージの品種も含め該品種に対応させて検
査条件に関するデータを格納するデータメモリ６５、検
査範囲枠（検査マスク）に関するデータを格納するマス
クメモリ７３などがローカルバス６１に接続して配置さ
れている。なお、データメモリ６５とマスクメモリ７３
とを一つのメモリによって構成しても良い。そして画像
バスＩ／Ｆ６８は画像バス２９とローカルバス６１との
間を接続するインターフェースである。モニタＴＶ１０
に表示する画面を記憶するビデオＲＡＭ６９は、ローカ
ルバス６１に接続されている。モニタバスＩ／Ｆ７０
は、モニタＴＶ１０に切り替え回路１０ｂを介して接続
されるモニタバス８４とビデオＲＡＭ６９およびローカ
ルバス６１との間を接続するインターフェースである。
デュアルポートメモリ６６は、ローカルバス６１とシス
テムバス２１との間に設けられ、ＣＰＵ部２２等からシ
ステムバス２１を介して得られる制御情報や検査条件等
の設定・変更等に必要とするベース情報等を一時記憶す
るメモリである。システムバスＩ／Ｆ６７は、ローカル
バス６１とシステムバス２１との間を接続するインター
フェースである。

【００１６】被検査物である半導体パッケージ（半導体
装置）１は、機構部３により３つの検査部１３に順次搬
送・位置決めされる。ＣＰＵ基板２２は半導体パッケー
ジ１の搬送・位置決め後、システムバス２１を介して各
検査部１３のカメラコントローラ基板２３ａ，２３ｂ，
２３ｃに画像入力指令を出力する。第１検査部１３ａ
（Ｓｔ．１）においては、カメラコントローラ基板２３
ａがカメラ９ａを制御して半導体パッケージ１の側面画
像を取り込むと共に、ＤＳＰ基板２４ａ内の画像メモリ
６２ａのアドレスを出力して、側面画像データを順次画
像メモリ６２ａに記憶していく。第２検査部１３ｂ（Ｓ
ｔ．２）においては、カメラコントローラ基板２３ｂが
カメラ９ｂを制御して半導体パッケージ１の上面画像を
取り込むと共に、ＤＳＰ基板２４ｂ１，２４ｂ２，２４
ｂ３内の画像メモリ６２ｂ１，６２ｂ２，６２ｂ３のア
ドレスを出力して、上面画像データをＤＳＰ基板２４ｂ
１，２４ｂ２，２４ｂ３内の画像メモリ６２ｂ１，６２
ｂ２，６２ｂ３に同時に記憶させる。第３検査部１３ｃ
（Ｓｔ．３）においても、同様にカメラコントローラ基
板２３ｃがカメラ９ｃを制御して半導体パッケージ１の
下面画像を取り込むと共に、ＤＳＰ基板２４ｃ１，２４
ｃ２内の画像メモリ６２ｃ１，６２ｃ２のアドレスを出
力して、下面画像データをＤＳＰ基板２４ｃ１，２４ｃ
２内の画像メモリ６２ｃ１，６２ｃ２に同時に記憶させ
る。

【００１７】ＣＰＵ基板２２は、各検査部１３ａ〜１３
ｃのカメラコントローラ基板２３ａ，２３ｂ，２３ｃを
監視し、画像取り込みが終了した検査部１３ａ〜１３ｃ
に対して検査スタート指令をＤＳＰ基板２４に出力す
る。検査スタート指令を受けたＤＳＰ基板２４は、内部
の処理ユニット６３により画像メモリ６２内の画像デー
タを用いて検査を開始する。このため、第２検査部１３
ｂ（Ｓｔ．２）においては、ＤＳＰ基板２４ｂ１，２４
ｂ２，２４ｂ３内の画像メモリ６２ｂ１，６２ｂ２，６
２ｂ３に同時に同一の上面画像データを記憶させると共
に、ＤＳＰ基板２４ｂ１，２４ｂ２，２４ｂ３内の処理
ユニット６３ｂ１，６３ｂ２，６３ｂ３により並行して
検査処理を行うことができる。また、第３検査部１３ｃ
（Ｓｔ．３）においては、ＤＳＰ基板２４ｃ１，２４ｃ
２内の画像メモリ６２ｃ１，６２ｃ２に同時に同一の上
面画像データを記憶させると共に、ＤＳＰ基板２４ｃ
１，２４ｃ２内の処理ユニット６３ｃ１，６３ｃ２によ
り並行して検査処理を行うことができる。すなわち、半
導体パッケージ１の外観検査の並行処理が、ＤＳＰ基板
２４の枚数分だけ可能となり、検査項目の追加削除がＤ
ＳＰ基板２４の基板枚数の増減で対処可能となる。

【００１８】図２は半導体パッケージ外観検査装置の機
構部３における半導体パッケージ１の移動手順等を示す
ブロック説明図である。図２に示すように機構部３は、
ローダ１１、リード修正部１２、３つの検査部１３ａ，
１３ｂ，１３ｃを持つ検査部１３、アンローダ１４、回
転移動部１５、搬送反転部１６等から構成されている。
機構部３のローダ１１から供給されリード修正部１２
で予めリード修正された被検査物たる半導体パッケージ
１は、検査部１３の第１検査部１３ａ，第２検査部１３
ｂ，第３検査部１３ｃにおいて位置決めされ、それぞれ
所定の外観検査が実施される。半導体パッケージ１のロ
ーダ１１からリード修正部１２までの搬送、リード修正
部１２から第１検査部１３ａまでの搬送、第１検査部１
３ａから第２検査部１３ｂまでの搬送、第２検査部１３
ｂから第３検査部１３ｃまでの搬送、第３検査部１３ｃ
からアンローダ１４までの搬送は、搬送部によって行わ
れる。また、第２検査部１３ｂと第３検査部１３ｃとの
間、及び第３検査部１３ｃとアンローダ１４との間には
半導体パッケージ１を反転させる反転部がある。この半
導体パッケージ１の移動は、例えばコンベア等の搬送手
段やモータ等の反転手段によって行なわれ、これらは機
構制御部４によって制御されている。また、機構制御部
４と画像処理装置２との間は同期をとるために交信して
いる。

【００１９】図３は被検査物である半導体パッケージ１
の１例を示す外観図である。図３に示す半導体パッケー
ジ１ａは、パッケージ名称がフラットパッケージと呼ば
れる半導体パッケージであり、リード９１ａがガルウィ
ングと称される形態を示す。このガルウィングの形態で
もリード９１ａはパッケージ９２ａから４方向に（４辺
から）出るものと２方向に（２辺から）出るものとがあ
り、またリード９１ａの本数や長さが異なった様々な品
種がある。９２ａは樹脂封止されたパッケージ部を示
す。９３ａは半導体パッケージ１ａの方向性を示すイン
デックスである。９４ａは半導体パッケージ１ａを樹脂
封止金型から突出して取り出す際、パッケージ部９２ａ
の表面に残るイジェクタピンの跡を示す。９５ａはマー
クや製品番号等がパッケージ部９２ａの表面に刻印（マ
ーキング）された領域を示す。図４は被検査物である半
導体パッケージ１の他の例を示す外観図である。図４に
示す半導体パッケージ１ｂは、リード９１ｂがＪリード
と称される形態を示す。このＪリードの形態でもリード
９１ｂはパッケージ９２ｂから４方向に（４辺から）出
るものと２方向に（２辺から）出るものとがあり、また
リード９１ｂの本数や長さや幅やピッチが異なった様々
な品種がある。９２ｂは樹脂封止されたパッケージ部を
示す。９３ｂは半導体パッケージ１ｂの方向性を示すイ
ンデックスである。９４ｂは半導体パッケージ１ｂを樹
脂封止金型から突出して取り出す際、パッケージ部９２
ｂの表面に残るイジェクタピンの跡を示す。９５ｂはマ
ークや製品番号等がパッケージ部９２ｂの表面に刻印
（マーキング）された領域を示す。

【００２０】このように半導体パッケージ１としては、
ガルウィングの形態（ＱＦＰ，ＳＯＰ）とＪリードの形
態（ＰＬＣＣ，ＳＯＪ）とに大別され、それぞれにおい
て４方向に（４辺から）に出るものと２方向に（２辺か
ら）出るものとに分けられ、更に夫々においてリードピ
ッチやリード幅やリード長さやリード本数（ピン数）が
異なるものがある。従って、このような多品種の半導体
パッケージに対して検査できることが望まれる。図５
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、図１及び図２の検査部１３
のそれぞれ第１検査部１３ａ，第２検査部１３ｂ，第３
検査部１３ｃにおける被検査対象物の半導体パッケージ
１とカメラ９との位置関係を示す斜視図である。図５に
おいて、図５（ａ）に示す第１検査部１３ａの位置関係
では、半導体パッケージ１の側面方向にカメラ９が配置
されており、回転移動部１５により半導体パッケージ１
を載置したθ・Ｙテーブルを回転、移動して、リードの
平坦度等のリード形状検査、パッケージ側面のボイド等
のモールド表面検査、リード根本部分の半田付着等のリ
ード表面検査、リード間のリードから突出したバリやリ
ードに付着した導電性異物を検査するリード間異物検査
が行われる。図５（ｂ）に示す第２検査部１３ｂの位置
関係では、半導体パッケージ１の上方にカメラ９が配置
されており、主としてパッケージ表面のボイド、異物付
着、パッケージの欠け／くぼみ、パッケージクラック等
のモールド表面検査、パッケージの大幅な欠けを検査す
るモールド形状検査、マーキング状態を検査するマーク
検査、リードのピッチや曲がりを検査するリード形状検
査、リードの打痕等を検査するリード表面検査、リード
間のリードから突出したバリやリードに付着した導電性
異物を検査するリード間異物検査が行われる。図５
（ｃ）に示す第３検査部１３ｃの位置関係では、反転さ
れた半導体パッケージ１の上方にカメラ９が配置されて
おり、半導体パッケージ１の裏面側からマーク検査を除
く図５（ｂ）に示した第２検査部１３ｂでのものと同様
の検査項目（マーク検査を除く）を実施する。

【００２１】図６は画像入力方法とその光学系の構造図
である。図６において、被検査物の半導体パッケージ１
に対して上方に反射光を受光可能な位置に、カメラ等の
撮像手段９と、光を照射する１段または複数段のリング
状の照明装置からなる照明手段７とが設置され、他方に
半導体パッケージ１のパッケージ部９２を吸着保持する
チャック部１７ａを有し、照明手段７からの光による半
導体パッケージ１の背面からの反射光をカメラ９に戻さ
ないための一定角度のテーパを持つ円錐状の背面１７ｂ
を成す検査ステージ１７が設置されている。即ち、検査
ステージ１７に設けられた円錐状の背面１７ｂにより上
方からの照明光が全反射しても、その反射光は撮像手段
（カメラ）９に戻らないため、撮像した画像の背景は暗
くなり、半導体パッケージ１の画像に対して良好なコン
トラストが得られる。そして照明手段７によって適切に
照明された半導体パッケージ１を撮像手段９によって撮
像し、この撮像画像信号８３がカメラコントローラ基板
２３の画像入力となる。このとき、撮像手段９は、カメ
ラコントローラ基板２３からガルバノミラー３２の揺動
を駆動制御するガルバノモータ３１へのミラー制御信号
８２によりガルバノミラー３２の動作が制御され、カメ
ラコントローラ基板２３の出力のクロック８１に同期し
てリニアセンサ３３から２次元の画像信号８３を出力す
る。即ち、ガルバノミラー３２の走査とリニアセンサ３
３による自己走査によって、撮像手段（カメラ）９か
ら、被検査物である半導体パッケージ１に対する最大視
野サイズを５１．２ｍｍ×５１．２ｍｍと想定し、分解
能２５μｍを得るために２０４８画素×２０４８画素か
らなる２次元の画像信号８３を得てカメラコントローラ
基板２３に入力するように構成している。そして、カメ
ラコントローラ基板２３において、入力された２次元の
画像信号８３をＡ／Ｄ変換回路において２次元のディジ
タル画像信号に変換して、画像メモリアドレスを付与し
て画像バス２９を介してＤＳＰ基板２４に送信される。
またカメラコントローラ基板２３は、システムバス２１
から得られる指令信号に基づいてカメラ９による撮像を
すべく、ミラー制御信号８２およびクロック信号８１を
発生するように構成されている。

【００２２】図７はカメラ９の構成を示す説明図であ
る。即ちカメラ９は、レンズ３０、ガルバノミラー３
２、ガルバノモータ３１、リニアセンサ３３などから構
成されている。リニアセンサ３３は、被検査物である半
導体パッケージ１の最大視野サイズを５１．２ｍｍ×５
１．２ｍｍと想定し、分解能２５μｍを得るために２０
４８×１画素のリニアセンサとしている。半導体パッケ
ージ１で反射した光は、レンズ３０を通過し、ガルバノ
ミラー３２で反射しリニアセンサ３３に結ばれる。この
リニアセンサ３３の光軸上に入れたガルバノミラー３２
の角度を、ミラー制御信号８２をガルバノモータ３１に
与えることによって変化させ、これによって半導体パッ
ケージ１のＹ軸方向の走査を行いリニアセンサ３３で撮
像する。このように、リニアセンサ３３でＸ軸方向の撮
像を行い、プログラマブルにガルバノミラー３２の角度
を変化させることによってＹ軸方向の走査を行う。それ
によって、半導体パッケージ１の平面画像がリニアセン
サ３３で撮像される。カメラコントローラ基板２３はガ
ルバノミラー３２の角度変化と同期して、クロック８１
をカメラ９に出力しているので、このクロック８１に同
期して画像信号８３を取り込めば、ガルバノミラー３２
の角度変化と同期した画像がカメラコントローラ基板２
３に取り込める。

【００２３】図８はＤＳＰ基板２４の構成の一実施の形
態を示すブロック図である。ＤＳＰ基板２４は、カメラ
コントローラ基板２３が画像バス２９に出力した画像メ
モリアドレス８５と画像データを受信し、画像メモリ６
２に記憶すると共に、処理ユニット６３でこの画像デー
タを使用して半導体パッケージ１の検査を行うことを目
的とする基板である。ＤＳＰ基板２４は、画像バス２９
から画像データと画像アドレス８５とを受信する画像バ
スＩ／Ｆ６８、基板内部のローカルバス６１、半導体パ
ッケージ１の画像データを記憶する画像メモリ６２、処
理ユニットであるＤＳＰ（Digital Signal Processor）
６３、システムバスＩ／Ｆ６７、ＤＳＰ６３のプログラ
ムを格納するプログラムメモリ６４、ＤＳＰ６３が処理
する検査条件等を格納するデータメモリ６５、システム
バス２１を使用してＣＰＵ基板２２と交信するためのデ
ュアルポートメモリ６６、モニタバス８４を介してモニ
タＴＶ１０に表示する画像メモリ６２の内容及び検査範
囲枠（検査マスク）のデータも含む検査条件を設定・変
更するためのメニュー情報等を記憶するビデオＲＡＭ６
９、及びモニタバスＩ／Ｆ（ビデオＲＡＭＩ／Ｆ）７
０、検査範囲枠（検査マスク）のデータ等を格納するマ
スクメモリ７３から構成されている。

【００２４】このＤＳＰ基板２４の動作を説明する。カ
メラコントローラ基板２３から画像バス２９経由でＤＳ
Ｐ基板２４に転送された半導体パッケージ１の画像デー
タは、画像メモリ６２の画像アドレス８５で示されるア
ドレスに記憶される。ＣＰＵ基板２２は被検査物の半導
体パッケージ１の画像データをＤＳＰ基板２４の画像メ
モリ６２に記憶後、デュアルポートメモリ６６に検査ス
タート指令フラグを書き込むことにより検査開始をＤＳ
Ｐ（処理ユニット）６３に指示する。ＤＳＰ６３は、デ
ュアルポートメモリ６６からスタート指令を読み込む
と、画像メモリ６２に記憶された半導体パッケージ１の
画像データを使用し、検査（画像処理）を開始する。Ｄ
ＳＰ基板２４は、基板毎に画像メモリ６２と処理ユニッ
ト（ＤＳＰ）６３の対を有しているので、半導体パッケ
ージ１の検査はＤＳＰ基板２４毎に行うことができる。
従って、カメラコントローラ基板２３から伝送された同
一の画像データを使用して、ＤＳＰ基板２４毎に別個の
検査項目を並行して検査できる。

【００２５】ＤＳＰ基板２４内の検査（画像処理）が終
了すると、ＤＳＰ６３は検査結果と検査終了フラグをデ
ュアルポートメモリ６６に書き込む。ＣＰＵ基板２２
は、例えば第２検査部１３ｂ内の３枚のＤＳＰ基板２４
ｂ１，２４ｂ２，２４ｂ３の全てが検査終了になるのを
監視し、全てが検査終了になった時その半導体パッケー
ジ１に対する第２検査部１３ｂの検査は終了したとす
る。なおこれは、第１，第３検査部１３ａ，１３ｃに対
しても同様である。ＤＳＰ基板２４には、検査状態およ
び検査条件をモニタＴＶ１０に表示する機能が具備され
ている。ＤＳＰ６３がビデオＲＡＭ６９に表示したい画
像を書き込み、この内容がモニタバスＩ／Ｆ７０を通し
てモニタＴＶ１０へ送出されて表示される。この表示
時、画像メモリ６２は２０４８画素×２０４８画素の半
導体パッケージ画像を有しているが、通常のモニタＴＶ
１０は５１２画素×５１２画素しか表示出来ないので、
半導体パッケージ１の全体像を表示するときには、画像
メモリ６２内の画像データを間引いてビデオＲＡＭ６９
に書き込み表示しなくてはならない。半導体パッケージ
１の部分像をそのまま表示するときは、画像メモリ６２
内の画像データを間引かずビデオＲＡＭ６９に書き込
む。このときは、２０４８画素×２０４８画素の画像デ
ータの中の５１２画素×５１２画素しか表示出来ない。
全体像を表示するか部分像を表示するかは、ＤＳＰ６３
のプログラムで決めることができ、通常の状態表示時は
全体像を、不良検出時は不良検出個所の部分画像を表示
する。またモニタＴＶ１０は、具体的には後述するよう
に検査範囲枠（検査マスク）を設定するなど検査条件の
設定や変更に用いられる。

【００２６】ところで、半導体パッケージ外観検査装置
（システム）に投入される半導体パッケージ１の品種
は、前述した通り様々なもの（ガルウィング型、Ｊリー
ド型、リードが４辺から出るもの（４辺）、リードが２
辺から出るもの（２辺）、リードの本数（ピン数）や長
さが異なったもの等）がある。一方、第１検査部（Ｓ
ｔ．１）１３ａ、第２検査部（Ｓｔ．２）１３ｂ、第３
検査部（Ｓｔ．３）１３ｃの各々は、投入される様々な
品種の半導体パッケージ１に対応させて様々な検査項目
について検査する必要がある。ハードディスク（ＨＤ）
２６やフレキシブルディスクドライブ（ＦＤＤ）２７等
の外部記憶装置には、検査項目毎の処理プログラムが多
種の検査項目に亘って処理プログラム群として格納され
ている。

【００２７】そこで、図９に示すように、入出力端末６
等から、第１検査部（Ｓｔ．１：側面検査）１３ａ、第
２検査部（Ｓｔ．２：上面検査）１３ｂ、第３検査部
（Ｓｔ．３：下面検査）１３ｃの各々において必要とす
る検査項目を入力指定する（ステップ９０１）ことによ
って、ＣＰＵ２２は外部記憶装置２６、２７に格納され
たた処理プログラム群から各検査部における検査項目に
対応する処理プログラムを選択して抽出し（ステップ９
０２）、システムバス２１を介して送信して各検査部の
ＤＳＰ基板２４のプログラムメモリ６４にロードする
（ステップ９０３）。また半導体パッケージ外観検査装
置（システム）に投入される半導体パッケージ１の品種
の情報についても、入出力端末６等から入力されて外部
記憶装置２６、２７に格納される。そして半導体パッケ
ージ外観検査装置（システム）に投入される半導体パッ
ケージ１のＩＤが入出力端末６等から指定されると、Ｃ
ＰＵ２２は、この半導体パッケージ１のＩＤに関する半
導体パッケージ１の品種の情報が外部記憶装置２６、２
７から読み出してシステムバス２１を介して送信して各
検査部のＤＳＰ基板２４のデータメモリ６５にロードす
る。

【００２８】このように、ＣＰＵ２２は、カメラコント
ローラ２３、ＤＳＰ基板２４、および照明コントローラ
＆Ｉ／Ｏ２５をシーケンシャルに制御することになる。
即ち、ＣＰＵ２２は、画像取り込み指令をシステムバス
２１を介して各検査部１３のカメラコントローラ基板２
３に送信する。各検査部１３のカメラコントローラ基板
２３は、カメラ９により半導体パッケージ１の画像を取
り込み、Ａ／Ｄ変換した後、画像データ２９を各検査部
１３のＤＳＰ基板２４に転送して画像メモリ６２に格納
する。ＣＰＵ２２は、各検査部１３のカメラコントロー
ラ基板２３を監視し、画像取り込み終了を確認後、ＤＳ
Ｐ基板２４に検査スタート指令を出す。ＤＳＰ基板２４
は、画像メモリ６２に格納された画像データに対して各
々異種の検査項目の検査を行う。ＣＰＵ２２は、各検査
部１３における検査が終了すると機構制御部４と交信し
て半導体パッケージ１の搬送，反転を行わせる。またＣ
ＰＵ２２は、各検査部１３のＤＳＰ基板２４において得
られる検査結果をシステムバス２１介して受信して例え
ば入出力端末６に対して出力する。前記した如く、半導
体パッケージの外観検査装置において、画像処理装置２
はソフトウェア全体を管理するＣＰＵ部２２と実際に検
査を行うＤＳＰ部２４からなっている。

【００２９】次に、第１検査部１３ａのＤＳＰ部２４ａ
におけるＤＳＰ６３が行う検査の内容について図１０を
用いて説明する。まずステップ１０１において、リード
修正部１２でリードの曲げが修正された半導体パッケー
ジ１が第１検査部１３ａの検査ステージ１７に搬入され
て保持される。ステップ１０２において、図５（ａ）に
示すように検査ステージを構成するθ（回転）・Ｙステ
ージが機構制御部４によって駆動制御されて半導体パッ
ケージ１の４辺の側面がカメラ１によって撮像され、図
１１に示す４つの側面濃淡画像が得られる。ステップ１
０３において、４つの側面濃淡画像の各々から、全ての
リードについて先端の下端位置（下端座標）を検出す
る。角部のリードについては、一方の側面濃淡画像にお
いてはサイドリードとして検出されるので先端の下端位
置（最下点位置）は、重複して検出される。この際半導
体パッケージの品種に応じてピン数（リード数）、リー
ド幅、２辺または４辺等が変わるので、半導体パッケー
ジのＩＤから対応するピン数（リード数）、リード幅、
２辺または４辺等のデータをデータメモリ６５から読み
出してこれらのデータを用いて、４つの側面濃淡画像の
各々から、全てのリードについて先端の下端位置（下端
座標）を検出することになる。リードの先端は背景より
明かる検出されるから先端の下端位置（下端座標）を検
出することができる。サイドリードについても、背景よ
り明るく検出されるので、最下点位置を検出できる。次
に４つの側面濃淡画像から得られる同一リードの下端座
標の合わせ込みを行って４つの側面濃淡画像に対して設
定される基準座標系を合わせる。ステップ１０４におい
て、合わせられた基準座標系で少なくとも３個所のリー
ドの下端座標を結ぶことによって仮想平面１２１を作成
する。ステップ１０５において、仮想平面１２１に対す
る全てのリードの先端の下端のずれ量δを算出し、この
算出されたずれ量が許容範囲内にあるかどうかを検査す
る平坦度の検査と、パッケージ（モールド）の下面が仮
想平面１２１に対して許容値以上間隔ｈが空いているス
タンドオフ検査とが行われる。半導体パッケージの品種
に応じてパッケージ寸法が変わるので、パッケージ（モ
ールド）の下面を側面濃淡画像から算出する際、半導体
パッケージのＩＤから対応するパッケージ寸法をデータ
メモリ６５から読み出してこのデータを用いる。次に全
てのリードについてその表面の傷、異物付着等を検査を
行う。即ち、ステップ１０６において、モニタ１０に表
示される４つの側面濃淡画像の各々に対して、画面上に
おいてリード表面を示す領域に対して検査範囲枠をマウ
ス等の入力手段を用いて設定する。この検査範囲枠の設
定は、ＣＰＵ２２において実行しても良い。続いてステ
ップ１０７において、ＤＳＰ６３は、設定された検査範
囲枠内における濃淡画像信号に対して傷、異物付着等を
顕在化する画像処理を施して（例えば所定の閾値で２値
化画像信号に変換して）、傷、異物付着等を顕在化した
信号を得てこの面積等を求めることによってリード表面
検査を行う。次にパッケージの側面についてその表面の
ボイド、欠け、クラック、傷、汚れ等を検査を行う。即
ち、ステップ１０８において、モニタ１０に表示される
４つの側面濃淡画像の各々に対して、画面上においてパ
ッケージの側面を示す領域に対して検査範囲枠をマウス
等の入力手段を用いて設定する。このとき、インデック
スの位置と大きさのデータを用いる。この検査範囲枠の
設定は、ＣＰＵ２２において実行しても良い。続いてス
テップ１０９において、ＤＳＰ６３は、設定された検査
範囲枠内における濃淡画像信号に対してボイド、欠け、
クラック、傷、汚れ等を顕在化する画像処理を施して
（例えば所定の閾値で２値化画像信号に変換して）、ボ
イド、欠け、クラック、傷、汚れ等を顕在化した信号を
得てこの面積等を求めることによってパッケージ表面検
査を行う。次にリード間において導電性異物付着等を検
査を行う。即ち、ステップ１１０において、モニタ１０
に表示される４つの側面濃淡画像の各々に対して、画面
上においてリード間を示す領域に対して検査範囲枠をマ
ウス等の入力手段を用いて設定する。この検査範囲枠の
設定は、ＣＰＵ２２において実行しても良い。続いてス
テップ１１１において、ＤＳＰ６３は、設定された検査
範囲枠内における濃淡画像信号に対して導電性異物付着
等を顕在化する画像処理を施して（例えば所定の閾値で
２値化画像信号に変換して）、導電性異物付着等が存在
するか否かを判定してリード間の異物検査を行う。

【００３０】次に、第２検査部１３ｂのＤＳＰ部２４ｂ
１〜２４ｂ３におけるＤＳＰ６３が行う検査の内容につ
いて図１３を用いて説明する。まずステップ１３１にお
いて、第１検査部１３ａで側面が検査された半導体パッ
ケージ１が第２検査部１３ｂの検査ステージ１７に搬入
されて保持される。ステップ１３２において、図５
（ｂ）に示すように検査ステージ１７に保持された半導
体パッケージ１の上面がカメラ１によって撮像され、上
面濃淡画像が得られる。ステップ１３３〜ステップ１３
９については、ＤＳＰ部２４ｂ１において実行される。
ステップ１３３において、上面濃淡画像からパッケージ
の概略位置を算出し、算出されたパッケージの概略位置
からリードの部分の濃淡画像が順次図１４に示す検出ウ
インドウによって全てのリードに亘って切りだされる。
このステップ１３３には、半導体パッケージの品種によ
って決まっているパッケージ寸法が用いられる。次にス
テップ１３４において、順次切り出された検出ウインド
ウの濃淡画像からパッケージにおける角部のエッジ座標
を算出し、それを直線で結ぶことによってパッケージの
直線エッジ座標を算出し、各リードの先端の座標を算出
すると共に各リードの幅方向のエッジの座標をリードの
長手方向に亘って複数点について算出するリード座標検
出である。この際半導体パッケージの品種に応じてピン
数（リード数）、リード幅、２辺または４辺等が変わる
ので、半導体パッケージのＩＤから対応するピン数（リ
ード数）、リード幅、２辺または４辺等のデータをデー
タメモリ６５から読み出して用いられる。次にステップ
１３５において、上記算出されたパッケージの直線エッ
ジ座標から各リードの先端の座標までの長さｌを算出す
ることによって並設された多数のリードに亘ってのリー
ドの長さの不揃いを算出し、このリードの長さの不揃い
が許容値以内であるか否かの検査が行われる。更にステ
ップ１３５において、上記算出された各リードについて
長手方向に亘って複数点からなる幅方向のエッジの座標
からリードの中心線を求め、これら各リードの中心線の
間隔ｐを算出し、この算出されたリードの間隔が許容値
以内であるか否かの検査が行われると共に各リードの中
心線のパッケージの直線に対する直角度の検査も行われ
る。次に全てのリードについてその表面の傷、異物付着
等を検査を行う。即ち、ステップ１３６において、モニ
タ１０に表示される検出ウインドウで切り出された上面
濃淡画像に対して、画面上においてリード表面を示す領
域に対して検査範囲枠をマウス等の入力手段を用いて設
定する。この検査範囲枠の設定は、ＣＰＵ２２において
実行しても良い。続いてステップ１３７において、ＤＳ
Ｐ６３は、設定された検査範囲枠内における濃淡画像信
号に対して傷、異物付着等を顕在化する画像処理を施し
て（例えば所定の閾値で２値化画像信号に変換して）、
傷、異物付着等を顕在化した信号を得てこの面積等を求
めることによってリード表面検査を行う。次にリード間
において導電性異物付着等を検査を行う。即ち、ステッ
プ１３８において、モニタ１０に表示される検出ウイン
ドウで切り出された上面濃淡画像に対して、画面上にお
いてリード間を示す領域に対して検査範囲枠をマウス等
の入力手段を用いて設定する。この検査範囲枠の設定
は、ＣＰＵ２２において実行しても良い。続いてステッ
プ１３９において、ＤＳＰ６３は、設定された検査範囲
枠内における濃淡画像信号に対して導電性異物付着等を
顕在化する画像処理を施して（例えば所定の閾値で２値
化画像信号に変換して）、導電性異物付着等が存在する
か否かを判定してリード間の異物検査を行う。

【００３１】ステップ１４０〜ステップ１４２について
は、ＤＳＰ部２４ｂ２において実行される。ステップ１
４０において、上面濃淡画像からパッケージの概略位置
を算出し、算出されたパッケージの概略位置からパッケ
ージの上面の濃淡画像が順次検出ウインドウによって切
りだされる。ステップ１４１において、順次切り出され
た検出ウインドウの濃淡画像からパッケージ上面に形成
されたマークブロックを検出する。ステップ１４２にお
いて、マークブロックに刻印されたマークについて文字
認識してマークの検査が行われる。ステップ１４４〜ス
テップ１４６については、ＤＳＰ部２４ｂ３において実
行される。ステップ１４４において、ステップ１４０と
同様に上面濃淡画像からパッケージの概略位置を算出
し、算出されたパッケージの概略位置からパッケージの
上面の濃淡画像が順次検出ウインドウによって切りださ
れる。ステップ１４５において、モニタ１０に表示され
る検出ウインドウで切り出された上面濃淡画像に対し
て、画面上においてパッケージの上面においてマークブ
ロック、インデックスおよびイジェクトピン跡を除いた
領域に対して検査範囲枠をマウス等の入力手段を用いて
設定する。この検査範囲枠の設定は、ＣＰＵ２２におい
て実行しても良い。上記検査範囲枠の設定には、ステッ
プ１４１で検出されたマークブロックの位置データ、イ
ンデックスの位置と大きさのデータおよびイジェクトピ
ンの位置と大きさのデータが用いられる。ステップ１４
６において、ＤＳＰ６３は、設定された検査範囲枠内に
おける濃淡画像信号に対してボイド、欠け、クラック、
傷、汚れ等を顕在化する画像処理を施して（例えば所定
の閾値で２値化画像信号に変換して）、ボイド、欠け、
クラック、傷、汚れ等を顕在化した信号を得てこの面積
等を求めることによってパッケージ表面検査を行う。

【００３２】次に、第３検査部１３ｃのＤＳＰ部２４ｃ
１〜２４ｃ２におけるＤＳＰ６３が行う検査の内容につ
いて図１５を用いて説明する。まずステップ１５１にお
いて、第２検査部１３ｂで上面が検査された半導体パッ
ケージ１が第３検査部１３ｃの検査ステージ１７に反
転、搬入されて保持される。ステップ１５２において、
図５（ｃ）に示すように検査ステージ１７に保持された
半導体パッケージ１の裏面がカメラ１によって撮像さ
れ、裏面濃淡画像が得られる。ステップ１５３〜ステッ
プ１５９については、ＤＳＰ部２４ｃ１において実行さ
れる。ステップ１５３において、裏面濃淡画像からパッ
ケージの概略位置を算出し、算出されたパッケージの概
略位置からリードの部分の濃淡画像が順次図１４に示す
検出ウインドウによって全てのリードに亘って切りださ
れる。このステップ１５３には、半導体パッケージの品
種によって決まっているパッケージ寸法が用いられる。
次にステップ１５４において、順次切り出された検出ウ
インドウの濃淡画像からパッケージにおける角部のエッ
ジ座標を算出し、それを直線で結ぶことによってパッケ
ージの直線エッジ座標を算出し、各リードの先端の座標
を算出すると共に各リードの幅方向のエッジの座標をリ
ードの長手方向に亘って複数点について算出するリード
座標検出である。この際半導体パッケージの品種に応じ
てピン数（リード数）、リード幅、２辺または４辺等が
変わるので、半導体パッケージのＩＤから対応するピン
数（リード数）、リード幅、２辺または４辺等のデータ
をデータメモリ６５から読み出して用いられる。次にス
テップ１５５においては、半導体パッケージがＪリード
の場合に実行される。ステップ１５５において、上記算
出されたパッケージの直線エッジ座標から各リードの先
端の座標までの長さｌを算出することによって並設され
た多数のリードに亘ってのリードの長さの不揃いを算出
し、このリードの長さの不揃いが許容値以内であるか否
かの検査が行われる。更にステップ１５５において、上
記算出された各リードについて長手方向に亘って複数点
からなる幅方向のエッジの座標からリードの中心線を求
め、これら各リードの中心線の間隔ｐを算出し、この算
出されたリードの間隔が許容値以内であるか否かの検査
が行われると共に各リードの中心線のパッケージの直線
に対する直角度の検査も行われる。次に全てのリードに
ついてその表面の傷、異物付着等を検査を行う。即ち、
ステップ１５６において、モニタ１０に表示される検出
ウインドウで切り出された裏面濃淡画像に対して、画面
上においてリード表面を示す領域に対して検査範囲枠を
マウス等の入力手段を用いて設定する。この検査範囲枠
の設定は、ＣＰＵ２２において実行しても良い。続いて
ステップ１５７において、ＤＳＰ６３は、設定された検
査範囲枠内における濃淡画像信号に対して傷、異物付着
等を顕在化する画像処理を施して（例えば所定の閾値で
２値化画像信号に変換して）、傷、異物付着等を顕在化
した信号を得てこの面積等を求めることによってリード
表面検査を行う。次にリード間において導電性異物付着
等を検査を行う。即ち、ステップ１５８において、モニ
タ１０に表示される検出ウインドウで切り出された裏面
濃淡画像に対して、画面上においてリード間を示す領域
に対して検査範囲枠をマウス等の入力手段を用いて設定
する。この検査範囲枠の設定は、ＣＰＵ２２において実
行しても良い。続いてステップ１５９において、ＤＳＰ
６３は、設定された検査範囲枠内における濃淡画像信号
に対して導電性異物付着等を顕在化する画像処理を施し
て（例えば所定の閾値で２値化画像信号に変換して）、
導電性異物付着等が存在するか否かを判定してリード間
の異物検査を行う。

【００３３】ステップ１６０〜ステップ１６２について
は、ＤＳＰ部２４ｃ２において実行される。ステップ１
６０において、裏面濃淡画像からパッケージの概略位置
を算出し、算出されたパッケージの概略位置からパッケ
ージの裏面の濃淡画像が順次検出ウインドウによって切
りだされる。ステップ１６１において、モニタ１０に表
示される検出ウインドウで切り出された裏面濃淡画像に
対して、画面上においてパッケージの上面において、イ
ンデックスおよびイジェクトピン跡を除いた領域に対し
て検査範囲枠をマウス等の入力手段を用いて設定する。
この検査範囲枠の設定は、ＣＰＵ２２において実行して
も良い。上記検査範囲枠の設定には、インデックスの位
置と大きさのデータおよびイジェクトピンの位置と大き
さのデータが用いられる。ステップ１６２において、Ｄ
ＳＰ６３は、設定された検査範囲枠内における濃淡画像
信号に対してボイド、欠け、クラック、傷、汚れ等を顕
在化する画像処理を施して（例えば所定の閾値で２値化
画像信号に変換して）、ボイド、欠け、クラック、傷、
汚れ等を顕在化した信号を得てこの面積等を求めること
によってパッケージ表面検査を行う。

【００３４】次にパッケージの表面におけるボイド、欠
け、クラック、傷、汚れ等の検査について図１６および
図１７を用いて具体的に説明する。図１７には、正常な
パッケージの表面の明るさ（濃度）の分布とパッケージ
表面に存在する傷や汚れや異物等における明るさ（濃
度）の分布とパッケージ表面に存在するボイド、欠け、
クラック等における明るさ（濃度）の分布とを示す。正
常なパッケージの表面の明るさ（濃度）は、ほぼ正規分
布で分布することになる。一方、パッケージ表面に存在
する傷や汚れや異物等の分布は、明るい方にシフトして
得られる。パッケージ表面に存在するボイド、欠け、ク
ラック等の分布は、逆に暗い方にシフトして得られる。
そこで、ステップ１６４において設定された検査範囲枠
内の濃淡画像信号に対して、ステップ１６５において閾
値ＴＨ１で２値化することによってボイド、欠け、クラ
ック等についてはより多く黒（暗く）として検出され、
パッケージの表面はほとんどが白く（明るく）検出され
る。ステップ１６６において黒の画素数を係数し（黒の
面積を算出し）、ステップ１６７において判定値と比較
することによってボイド、欠け、クラック等について検
査することができる。そして、ステップ１６８において
閾値ＴＨ２で２値化することによって傷や汚れや異物等
についてはより多く白として検出され、パッケージの表
面はほとんどが黒く検出される。ステップ１６９におい
て白の画素数を係数し（白の面積を算出し）、ステップ
１７０において判定値と比較することによって傷や汚れ
や異物等について検査することができる。またリードの
表面についても、傷、異物付着等による濃度（明かる）
の分布は、正常なリード表面の濃度（明かる）の分布よ
り暗い方かまたは明かる方に大幅にシフトして得られる
ので、図１６に示すのと同様な処理によって、リード表
面に存在する傷、異物付着等について検査することがで
きる。

【００３５】次に前述した検査範囲枠の設定方法の一実
施の形態について説明する。図１８には、画像処理装置
２におけるソフトウェアの全体構成（機能構成）の一実
施の形態を示す。画像処理装置２は、ソフトウェア全体
を管理するＣＰＵ部２２とリード、パッケージ（モール
ド）等の検査を行うＤＳＰ部２４とにより構成される。
ＣＰＵ部２２は、全体を制御する認識部タスク１８１が
あり、Ｍ／Ｃ（メカコントローラ）マネージャ１８２で
Ｍ／Ｃ４、２５との通信を行い、パソコンマネージャ１
８３でパソコン６との通信をＲＳ２３２Ｃにより行い、
また、シーケンスマネージャ１８４は各ＤＳＰ２４ａ〜
２４ｃに対する制御を行い、メニューマネージャ１８５
は、本発明に係る検査条件の設定・変更メニューの動作
を行う。認識部タスク１８１と各シーケンスタスク１８
６ａ〜１８６ｃはタスクインターフェースエリア１８７
により通信を行う。検査条件設定メニューはマウスによ
り動作し、マウスコントローラ１８８によりマウスの各
機能の制御を行い、マウスドライバ１８９によりマウス
を操作する。マウスインターフェースエリア１９０は認
識部タスク１８１とマウスコントローラ１８８との通信
に使用され、マウスドライバインターフェースエリア１
９１はマウスコントローラ１８８とシステムバス２１及
びＤＳＰ２４を介してモニタ１０に接続されるマウスド
ライバ１８９との通信に使用する。また、イニシャライ
ズタスク１９２は、システムのイニシャライズを行う。
各シーケンスタスク１８６ａ〜１８６ｃとＤＳＰプログ
ラム１９３ａ〜１９３ｃは、各ＤＳＰ２４ａ〜２４ｃの
インターフェーステーブル１９４ａ〜１９４ｃにより通
信を行う。

【００３６】図１９にＣＰＵ部２２における検査条件の
設定処理及び変更処理についての処理手順を示す。検査
実行時にパソコン６からの処理中断要求（ステップ２０
１）により、認識部タスク１８１は中断処理（ステップ
２０２）を行う。パソコン６から検査条件変更を指示す
る（ステップ２０３）と認識部タスク１８１が受信し
（ステップ２０４）、図２０に示すメインメニューがモ
ニタ１０に表示される（ステップ２０５）。メインメニ
ューにおいてマウス１０ａからマウスドライバ１８９お
よびマウスコントローラ１８８を介しての入力により
（ステップ２０６）、認識部タスク１８１はリード、パ
ッケージ（モールド）検査条件の設定・変更メニュー
（ステップ２０９）、マーク検査条件の設定・変更メニ
ュー（ステップ２０７）、メニュー終了（ステップ２１
７）の処理が行われる。認識部タスク１８１はリード、
パッケージ（モールド）検査条件の設定・変更メニュー
ではメニューをモニタ１０に表示し、各ＤＳＰ２４ａ、
２４ｂ、２４ｃに対してインターフェーステーブル１９
４ａ〜１９４ｃ（画像メモリ６２、データメモリ６５お
よびマスクメモリ７３）からデータをロードし（ステッ
プ２１０）、濃淡画像及び２値化画像（処理画像）と現
在使用されている数値（現在数値、画像の表示）をモニ
タ１０に表示するように制御する（ステップ２１１）。
認識部タスク１８１は、ステップ２１２において、モニ
タ１０に表示された画面（濃淡画像及び２値化画像（処
理画像）と現在使用されている数値（現在数値、画像の
表示））に対するデータ変更、確認、中止の指示をマウ
ス１０ａを用いて行う。即ちデータ変更を、マウス１０
ａからマウスドライバ１８９およびマウスコントローラ
１８８を介しての入力により、認識部タスク１８１は、
変更数値をインターフェーステーブル１９４ａ〜１９４
ｃに格納し（ステップ２１３）、ＤＳＰ２４ａ〜２４ｃ
により、数値に応じた画像を表示するように制御する
（ステップ２１４）。認識部タスク１８１は、変更終了
後ステップ２１２においてマウス１０ａを用いて確認す
ると、変更されたデータ（数値）がデータメモリ６５お
よびマスクメモリ７３に保存されるように制御し（ステ
ップ２１５）、メインメニューに戻る（ステップ２１
６）。パソコン６から処理再開２１７を指示すると認識
部タスク１８１が検査の再開を行う（ステップ２１
８）。

【００３７】次に、認識部タスク１８１がステップ２０
５において処理する検査条件の設定・変更メニューにお
けるメインメニューの処理手順を図２１を用いて説明す
る。まず認識部タスク１８１は、ステップ２２１におい
てモニタ１分割画面にするように制御する。次に認識部
タスク１８１は、ステップ２２２においてモニタ１０の
画面全体に対して図２０に示すウィンドウをウインドウ
ファイル（ビデオＲＡＭ）６９から読出して表示するよ
うに制御する。なお、モニタ１０に表示されるメインメ
ニューの画面は、ＣＰＵ部２２からシステムバス２１、
デュアルポートメモリ６６、ローカルバス６１を介して
ビデオＲＡＭ６９に格納される。認識部タスク１８１
は、ステップ２２３においてマウス１０ａによる入力に
より、ステップ２２４においてリード、モールドの選択
を行い、ステップ２２５においてマークの選択を行い、
ステップ２２６において終了を選択すると画面クリアが
行なわれて処理が終了するように制御する。ステップ２
２４においてリード、モールドの選択を行うと半導体パ
ッケージの品種も含めて検査項目（例えば半導体パッケ
ージの品種、リードについては側面、上面、下面、リー
ド表面、リード間、パッケージについては側面、上面、
下面）に応じた検査エリアの設定・変更メニューを実行
することになる。ステップ２２５においてマークの選択
を行うとマーク設定メニューを実行することになる。ス
テップ２２６において終了を選択すると画面クリアが行
なわれてモニタ４分割に移行する。

【００３８】次に、認識部タスク１８１がステップ２０
９〜２１５において処理する検査条件の設定・変更メニ
ューにおけるリードの表面検査エリアの検査条件の設定
・変更メニューおよびリード間異物検査の検査条件の設
定・変更メニューの処理手順を図２２および図２３を用
いて説明する。まず、認識部タスク１８１は、ステップ
２３１においてモニタ１０の画面に対して図２４、図２
５に示す４分割のウィンドウをウインドウファイル（ビ
デオＲＡＭ）６９から読出して表示するように制御す
る。図２４は半導体パッケージ１がガルウィング型にお
いて、上面濃淡画像に対してリード表面に検査範囲枠
（検査マスク）を設定する場合を示す。図２５は半導体
パッケージ１がガルウィング型において、上面濃淡画像
に対してリード間に検査範囲枠（検査マスク）を設定す
る場合を示す。図２４および図２５の左上のウィンドウ
１６１はカメラ９ｂから取り込まれて画像メモリ６２に
記憶された原濃淡画像から検出ウインドウによって切り
出された原濃淡画像であり、右上のウィンドウ２６２は
ＤＳＰ６３が原濃淡画像を閾値で２値化処理し、検査範
囲枠（検査マスク）が設定された処理画像であり、左下
のウィンドウ２６３は各検査エリアを示す説明図（ＣＰ
Ｕ部２２からシステムバス２１、デュアルポートメモリ
６６、ローカルバス６１を介してビデオＲＡＭ６９に格
納されて得られる。）であり、右下のウィンドウ２６４
は現在設定された設定値の表示及び設定値を変更するウ
ィンドウ（ＣＰＵ部２２からシステムバス２１、デュア
ルポートメモリ６６、ローカルバス６１を介してビデオ
ＲＡＭ６９に格納されて得られる。）である。

【００３９】次に認識部タスク１８１は検査エリア設定
ファイルを読み出してグローバルテーブルに保存し（ス
テップ２３２）、初期データを右下のウィンドウ２６４
に表示し（ステップ２３３）、初期画面を右上のウィン
ドウ２６２および左下のウィンドウ２６３に表示する
（ステップ２３４）。マウス１０ａにより、各アイコン
を選択し（ステップ２１２）処理する。有効／無効アイ
コン２３６では指定した検査範囲枠内で検査を行うか行
わないかの切り換えを行い、その結果をインターフェー
ステーブル１９４（検査条件データメモリ６５）に格納
する。

【００４０】図２４では、各リードの表面について検査
範囲枠ＡおよびＢにおいて傷、異物付着等を検査するた
めに有効とする。検査範囲マージン値設定アイコン２３
７では選択された検査範囲（検査マスク）のマージン値
を設定・変更可能にする。基準位置設定アイコン２３９
ではリード表面に対する検査範囲枠をリード中心から設
定するかリード端から設定するかを設定する。図２４で
は、検査範囲枠Ａについては、リードの先端座標からの
寸法と、折れ曲がった部分（暗くなる部分）の端から
の寸法と、基準位置をリードの端（幅方向）とした場
合リード端からの寸法または基準位置をリードの中心線
とした場合リードの中心線からの寸法とを設定するこ
とによって決定される。検査範囲枠Ｂについては、折れ
曲がった部分（暗くなる部分）の端からの寸法と、パ
ッケージの端からの寸法と、基準位置をリードの端
（幅方向）とした場合リード端からの寸法または基準位
置をリードの中心線とした場合リードの中心線からの寸
法とを設定することによって決定される。また閾値ア
イコン２３８では選択された濃淡画像信号を２値化する
閾値を設定・変更可能にする。閾値において上はパッケ
ージの上辺におけるリード群部分から得られる濃淡画像
信号を２値化信号に変換する閾値を示し、左はパッケー
ジの左辺におけるリード群部分から得られる濃淡画像信
号を２値化信号に変換する閾値を示し、下はパッケージ
の下辺におけるリード群部分から得られる濃淡画像信号
を２値化信号に変換する閾値を示し、右はパッケージの
右辺におけるリード群部分から得られる濃淡画像信号を
２値化信号に変換する閾値を示す。ＵＰ、ＤＯＷＮ２４
０ａ〜２４０ｃキーで検査範囲マージン値または閾値を
上下させて設定してインターフェーステーブル１９４
（検査条件データメモリ６５およびマスクメモリ７３）
に格納し、これら格納された数値に応じてＤＳＰ６３に
よる画像処理（濃淡画像信号を設定された閾値で２値化
画像信号に変換し、この変換されたリードの表面を示す
２値化画像信号に対して検査範囲枠Ａ１'，Ａ２'，Ａ
ｎ'，Ｂ１'，Ｂ２'，Ｂｎ'が設定された）された処理画
像２６２を表示する。そしてこの処理画像２６２を見て
不適当な場合には、検査範囲マージン値または閾値を修
正する。

【００４１】図２５では、リード間について検査範囲枠
Ａ，Ｃ，Ｅ，ＦおよびＧにおいて導電性異物付着等を検
査するために有効とする。検査範囲マージン値設定アイ
コン２３７では選択された検査範囲（検査マスク）のマ
ージン値を設定・変更可能にする。基準位置設定アイコ
ン２３９ではリード表面に対する検査範囲枠をリード中
心から設定するかリード端から設定するかを設定する。
図２５では、検査範囲枠ＡおよびＥの端（検査範囲枠Ｄ
の端）については、リードの先端座標からの寸法を設
定することによって決定される。検査範囲枠Ｅと検査範
囲枠Ｆとの境界については、折れ曲がった部分（暗くな
る部分）の端からの寸法を設定することによって決定
される。検査範囲枠Ａの中心（検査範囲枠Ｄの端）およ
び検査範囲枠Ａの端については、基準位置をリードの端
（幅方向）とした場合リード端からの寸法または基準位
置をリードの中心線とした場合リードの中心線からの寸
法を設定することによって決定される。検査範囲枠Ｆ
と検査範囲枠Ｇとの境界については、折れ曲がった部分
（暗くなる部分）の端からの寸法を設定することによ
って決定される。検査範囲枠Ｇの端については、折れ曲
がった部分（暗くなる部分）の端からの寸法を設定す
ることによって決定される。検査範囲枠Ｃの中心および
端については、基準位置をリードの端（幅方向）とした
場合リード端からの寸法または基準位置をリードの中心
線とした場合リードの中心線からの寸法を設定するこ
とによって決定される。検査範囲枠Ｄについては、上下
の幅寸法を設定することによって決定される。検査範
囲枠Ｇについては、左右の幅寸法を設定することによ
って決定される。また閾値アイコン２３８では選択され
た濃淡画像信号を２値化する閾値を設定・変更可能にす
る。閾値において上はパッケージの上辺におけるリード
群部分から得られる濃淡画像信号を２値化信号に変換す
る閾値を示し、左はパッケージの左辺におけるリード群
部分から得られる濃淡画像信号を２値化信号に変換する
閾値を示し、下はパッケージの下辺におけるリード群部
分から得られる濃淡画像信号を２値化信号に変換する閾
値を示し、右はパッケージの右辺におけるリード群部分
から得られる濃淡画像信号を２値化信号に変換する閾値
を示す。ＵＰ、ＤＯＷＮ２４０ａ〜２４０ｃキーで検査
範囲マージン値または閾値を上下させて設定してインタ
ーフェーステーブル１９４（検査条件データメモリ６５
およびマスクメモリ７３）に格納し、これら格納された
数値に応じてＤＳＰ６３による画像処理（濃淡画像信号
を設定された閾値で２値化画像信号に変換し、この変換
されたリードの表面を示す２値化画像信号に対して検査
範囲枠Ａ１'，Ｃ１'，Ｅ'〜Ｇ'が設定された）された処
理画像２６２を表示する。そしてこの処理画像２６２を
見て不適当な場合には、検査範囲マージン値または閾値
を修正する。

【００４２】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、リード間について、検査範囲枠（検査マスク）を小
さな検査範囲枠Ａ，Ｂ，Ｃをつなげて設定するようにし
たので、リードピッチのばらつきやリードの曲がり等の
変形を許容値以内を許容したうえでリードに重なること
無く最適に設定することができ、リード間に存在する導
電性異物等を誤検出することなく高信頼度で検査を実現
することができる。

【００４３】ＳＴＯＰキー２４１は変更値を初期値に戻
すために用いられる。スクロールアイコン２４２ａ〜２
４２ｄは濃淡画像２６１及び処理画像２６２をスクロー
ルし、確認アイコン２１５はインターフェーステーブル
１９４の内容をファイルに保存して検査メニューに戻
し、中止アイコン２１６ではメインメニューに戻し、全
体表示アイコン２４３では濃淡画像を全画面に表示す
る。ところで、閾値アイコン２３８の上、下、左、右は
各半導体パッケージの辺を示し、上辺、左辺が画像表示
されている場合でも、右を指定すればスクロールアイコ
ン２４２ａ〜２４２ｄを使用しなくても右辺の画像を表
示する。なお、図２２と図２３とでは２３５でつながっ
ている。

【００４４】また認識部タスク１８１は、ステップ２３
１においてモニタ１０の画面に対して図２６、図２７に
示す４分割のウィンドウをウインドウファイル（ビデオ
ＲＡＭ）６９から読出して表示するように制御する。図
２６は半導体パッケージ１がＪリード（Ｊベンド）型に
おいて、裏面濃淡画像に対してリード表面に検査範囲枠
（検査マスク）を設定する場合を示す。図２７は半導体
パッケージ１がＪリード型において、裏面濃淡画像に対
してリード間に検査範囲枠（検査マスク）を設定する場
合を示す。図２６および図２７の左上のウィンドウ１６
１はカメラ９ｂから取り込まれて画像メモリ６２に記憶
された原濃淡画像から検出ウインドウによって切り出さ
れた原濃淡画像であり、右上のウィンドウ２６２はＤＳ
Ｐ６３が原濃淡画像を閾値で２値化処理し、検査範囲枠
（検査マスク）が設定された処理画像であり、左下のウ
ィンドウ２６３は各検査エリアを示す説明図（ＣＰＵ部
２２からシステムバス２１、デュアルポートメモリ６
６、ローカルバス６１を介してビデオＲＡＭ６９に格納
されて得られる。）であり、右下のウィンドウ２６４は
現在設定された設定値の表示及び設定値を変更するウィ
ンドウ（ＣＰＵ部２２からシステムバス２１、デュアル
ポートメモリ６６、ローカルバス６１を介してビデオＲ
ＡＭ６９に格納されて得られる。）である。

【００４５】認識部タスク１８１がＪリード型半導体パ
ッケージに対してステップ２０９〜２１５において処理
する検査条件の設定・変更メニューにおけるリードの表
面検査エリアの検査条件の設定・変更メニューおよびリ
ード間異物検査の検査条件の設定・変更メニューの処理
手順は図２１および図２２と同様とする。

【００４６】次に、認識部タスク１８１がステップ２０
９〜２１５において処理する検査条件の設定・変更メニ
ューにおけるパッケージ表面検査エリアの検査条件の設
定・変更メニューの処理手順は図２２および図２３と同
様とする。まず、認識部タスク１８１は、ステップ２３
１においてモニタ１０の画面に対して図２８に示す４分
割のウィンドウをウインドウファイル（ビデオＲＡＭ）
６９から読出して表示するように制御する。図２８は半
導体パッケージ１がガルウィング型において、上面濃淡
画像に対してパッケージ表面に検査範囲枠（検査マス
ク）を設定する場合を示す。図２８の左上のウィンドウ
１６１はカメラ９ａから取り込まれて画像メモリ６２に
記憶された原濃淡画像から検出ウインドウによって切り
出された原濃淡画像であり、右上のウィンドウ２６２は
ＤＳＰ６３が原濃淡画像を閾値で２値化処理し、検査範
囲枠（検査マスク）が設定された処理画像であり、左下
のウィンドウ２６３は各検査エリアを示す説明図（ＣＰ
Ｕ部２２からシステムバス２１、デュアルポートメモリ
６６、ローカルバス６１を介してビデオＲＡＭ６９に格
納されて得られる。）であり、右下のウィンドウ２６４
は現在設定された設定値の表示及び設定値を変更するウ
ィンドウ（ＣＰＵ部２２からシステムバス２１、デュア
ルポートメモリ６６、ローカルバス６１を介してビデオ
ＲＡＭ６９に格納されて得られる。）である。

【００４７】次に認識部タスク１８１は検査エリア設定
ファイルを読み出してグローバルテーブルに保存し（ス
テップ２３２）、初期データを右下のウィンドウ２６４
に表示し（ステップ２３３）、初期画面を右上のウィン
ドウ２６２および左下のウィンドウ２６３に表示する
（ステップ２３４）。マウス１０ａにより、各アイコン
を選択し（ステップ２１２）処理する。有効／無効アイ
コン２３６では指定した検査範囲枠内で検査を行うか行
わないかの切り換えを行い、その結果をインターフェー
ステーブル１９４（検査条件データメモリ６５）に格納
する。

【００４８】図２８では、パッケージの表面について検
査範囲枠Ｊにおいてボイド、欠け、クラック、傷、汚れ
等を検査するために有効とする。検査範囲マージン値設
定アイコン２３７では選択された検査範囲（検査マス
ク）のマージン値を設定・変更可能にする。図２８で
は、検査範囲枠Ｊについては、パッケージの外形からの
寸法とインデックスとの寸法とエジエクタピ
ンの跡との寸法とマーク領域との寸法とコーナの寸
法とを設定することによって決定される。また閾値ア
イコン２３８では選択された濃淡画像信号を２値化する
閾値を設定・変更可能にする。閾値において白はパッケ
ージの表面から得られる濃淡画像信号を、パッケージの
表面を白くした２値化信号に変換する閾値を示し、黒は
パッケージの表面から得られる濃淡画像信号を、パッケ
ージの表面を黒くした２値化信号に変換する閾値を示
す。

【００４９】以上説明したように、ガルウイング型およ
びＪリード（Ｊベンド）型の各々において、側面、上
面、裏面の濃淡画像の各々に対してリードの表面、リー
ドの間、パッケージの表面に対する検査範囲枠（検査マ
スク）の設定・変更を行うことができる。

【００５０】なお、前記したように半導体パッケージ１
には様々な品種があり、特に大きさも様々なものがあ
る。特に第２検査部１３ｂおよび１３ｃに投入される半
導体パッケージ１の品種（ＩＤ）が予め入出力端末６等
から入力されてＣＰＵ部２２に格納されている。そこ
で、ＣＰＵ部２２は、入力された特に第２検査部１３ｂ
および１３ｃに投入される半導体パッケージ１の品種
（ＩＤ）に基づいて、半導体パッケージ１の大きさを算
出することができる。

【００５１】ところで、図７に示すように、半導体パッ
ケージ１の上面および裏面からの２次元の濃淡画像を、
ガルバノミラー３２を走査しながらリニアイメージセン
サ３３で撮像する際、ＣＰＵ部２２は算出された半導体
パッケージの大きさの情報に基づいて、例えばガルバノ
ミラー３２の揺動させる範囲を、図２９に示すように変
えることによって、リニアイメージセンサ３３から得ら
れる２次元の濃淡画像信号量を低減することができ、画
像メモリ６２に格納するデータ量を低減すると共にＤＳ
Ｐ６３で処理するデータ量も大幅に低減して高速化を実
現することができる。更にリニアイメージセンサ３３か
ら得られる２次元の濃淡画像信号をゲート回路を組み込
むことによって斜線で示す不要な２次元の濃淡画像信号
を除去することもできる。いずれにしても、ＣＰＵ部２
２は算出された半導体パッケージの大きさの情報に基づ
いて、半導体パッケージ１が小形になった場合、不使用
な２次元の濃淡画像をＤＳＰ２４へ取り込むのを防止す
ることによって、画像メモリ６２に格納するデータ量を
低減すると共にＤＳＰ６３で処理するデータ量も大幅に
低減して高速化を実現することができる。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、パッケージによって封
止された多品種の半導体装置に対する多項目の検査にお
いて、検査条件を容易に変更可能にして高精度の検査を
実行して高品質の半導体装置を製造することができる効
果を奏する。

【００５３】また本発明によれば、パッケージによって
封止された多品種の半導体装置に対する多項目の検査に
おいて、特にリード間の検査について検査条件を容易に
変更可能にして高精度の検査を実行して高品質の半導体
装置を製造することができる効果を奏する。

【００５４】また本発明によれば、パッケージによって
封止された多品種の半導体装置に対する多項目の検査に
おいて、特にリード表面の検査について検査条件を容易
に変更可能にして高精度の検査を実行して高品質の半導
体装置を製造することができる効果を奏する。

【００５５】また本発明によれば、パッケージによって
封止された多品種の半導体装置に対する多項目の検査に
おいて、特にパッケージ表面の検査について検査条件を
容易に変更可能にして高精度の検査を実行して高品質の
半導体装置を製造することができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の半導体装置の製造方法に係る半導体パ
ッケージ外観検査装置の一実施の形態を示す構成部であ
る。

【図２】本発明の半導体装置の製造方法に係る機構部も
含めた半導体パッケージの検査工程を示す説明図であ
る。

【図３】本発明の半導体装置の製造方法に係るガルウィ
ング型の半導体パッケージを示す説明図である。

【図４】本発明の半導体装置の製造方法に係るＪリード
（Ｊベンダ）型の半導体パッケージを示す説明図であ
る。

【図５】本発明に係る第１検査部〜第３検査部の各々に
おける半導体装置とカメラとの位置関係を示す斜視図で
ある。

【図６】本発明に係る第１検査部〜第３検査部の各々に
おける光学系の一実施の形態をを示す正面図である。

【図７】本発明に係る第１検査部〜第３検査部の各々に
おけるカメラの具体的構成を示す説明図である。

【図８】本発明に係る第１検査部〜第３検査部の各々に
おけるＤＳＰ基板の構成を示すブロック図である。

【図９】本発明に係る第１検査部〜第３検査部の各々の
ＤＳＰ基板にＣＰＵ部からプログラムをロードする方法
を説明するためのフロー図である。

【図１０】本発明に係る第１検査部において半導体パッ
ケージの側面濃淡画像に基づいて検査するフローの一実
施の形態を示す図である。

【図１１】本発明に係る第１検査部においてカメラによ
って半導体パッケージを４辺から撮像する濃淡画像を示
す図である。

【図１２】本発明に係る第１検査部において検査するリ
ードの平坦度およびスタンドオフを示す図である。

【図１３】本発明に係る第２検査部において半導体パッ
ケージの上面濃淡画像に基づいて検査するフローの一実
施の形態を示す図である。

【図１４】本発明に係る第２検査部において検査するリ
ードの不揃いおよびリードピッチを示す図である。

【図１５】本発明に係る第３検査部において半導体パッ
ケージの裏面濃淡画像に基づいて検査するフローの一実
施の形態を示す図である。

【図１６】本発明に係る半導体パッケージのパッケージ
表面の検査をするフローの一実施の形態を示す図であ
る。

【図１７】パッケージ表面の濃淡画像信号を２値化画像
信号に変換する閾値について説明するための図である。

【図１８】図１に示すＣＰＵ部の具体的機能を示す機能
ブロック図である。

【図１９】本発明に係るパソコンとＣＰＵ部の認識部タ
スクとの間で行う検査条件の設定・変更の処理フローを
示す図である。

【図２０】モニタに表示されるメインメニューを示す図
である。

【図２１】本発明に係るパソコンとＣＰＵ部の認識部タ
スクとの間で行う検査条件の設定・変更の処理におい
て、メインメニューの処理フローを示す図である。

【図２２】本発明に係るパソコンとＣＰＵ部の認識部タ
スクとの間で行う検査条件の設定・変更の処理におい
て、検査範囲枠（検査マスク）の設定・変更の処理フロ
ーの前半を示す図である。

【図２３】本発明に係るパソコンとＣＰＵ部の認識部タ
スクとの間で行う検査条件の設定・変更の処理におい
て、検査範囲枠（検査マスク）の設定・変更の処理フロ
ーの前半を示す図である。

【図２４】ガルウイング型の半導体パッケージの上面濃
淡画像信号に対してリード表面に検査範囲枠およびリー
ド部分に対して閾値を設定するためのモニタ画面を示す
図である。

【図２５】ガルウイング型の半導体パッケージの上面濃
淡画像信号に対してリード間に検査範囲枠およびリード
部分に対して閾値を設定するためのモニタ画面を示す図
である。

【図２６】Ｊリード型の半導体パッケージの裏面濃淡画
像信号に対してリード表面に検査範囲枠およびリード部
分に対して閾値を設定するためのモニタ画面を示す図で
ある。

【図２７】Ｊリード型の半導体パッケージの裏面濃淡画
像信号に対してリード間に検査範囲枠およびリード部分
に対して閾値を設定するためのモニタ画面を示す図であ
る。

【図２８】半導体パッケージの上面濃淡画像信号に対し
てパッケージ表面に検査範囲枠およびパッケージ表面部
分に対して閾値を設定するためのモニタ画面を示す図で
ある。

【図２９】カメラにより半導体パッケージの濃淡画像信
号を検出する際、半導体パッケージの大きさに合わせて
抽出する実施の形態を説明するための図である。

【符号の説明】

１…半導体パッケージ（半導体装置）、２…画像処理装
置、３…機構部 ４…機構制御部、６…入出力端末（パソコン） ９…画像取り込み手段（カメラ）、１０…モニタＴＶ、
１０ａ…マウス １０ｂ…切り替え回路、１２…リード修正部、１３…検
査部 ２１…システムバス、２２…ＣＰＵ部（ＣＰＵ基板） ２４…ＤＳＰ部（ＤＳＰ基板）、２５…Ｉ／Ｏ ２６…ハードディスク装置、２９…画像バス、６１…ロ
ーカルバス ６２…画像メモリ、６３…処理ユニット（ＤＳＰ）、６
４…プログラムメモリ ６５…検査条件データメモリ、６６…デュアルポートメ
モリ ６７…システムバスＩ／Ｆ、６９…ビデオＲＡＭ、７０
…モニタバスＩ／Ｆ、７３…マスクメモリ、８４…モニ
タバス、１８１…認識部タスク １８４…シーケンスマネージャ、１８５…メニューマネ
ージャ １８６…シーケンスタスク、１８８…マウスコントロー
ラ １８９…マウスドライバ、１９４…インタフェーステー
ブル １９３…ＤＳＰプログラム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横内 哲司 東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式 会社日立製作所半導体事業部内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して設定され
   たリード間における複数の検査範囲枠を合成した検査範
   囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてリード間の導
   電性異物の付着を検査して半導体装置を製造することを
   特徴とする半導体装置の製造方法。
2. 【請求項２】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して設定され
   たリード表面における検査範囲枠から得られる濃淡画像
   信号に基づいてリード表面の検査をして半導体装置を製
   造することを特徴とする半導体装置の製造方法。
3. 【請求項３】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して該半導体
   装置の品種に応じて設定されたリード間における複数の
   検査範囲枠を合成した検査範囲枠から得られる濃淡画像
   信号に基づいてリード間の導電性異物の付着を検査して
   半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の製
   造方法。
4. 【請求項４】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して該半導体
   装置の品種に応じて設定されたリード表面における検査
   範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてリード表面
   の検査をして半導体装置を製造することを特徴とする半
   導体装置の製造方法。
5. 【請求項５】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して設定され
   たパッケージ表面における検査範囲枠から得られる濃淡
   画像信号に基づいてパッケージ表面の検査をして半導体
   装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方
   法。
6. 【請求項６】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して該半導体
   装置の品種に応じて設定されたパッケージ表面における
   検査範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてパッケ
   ージ表面の検査をして半導体装置を製造することを特徴
   とする半導体装置の製造方法。
7. 【請求項７】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して該半導体
   装置の品種に応じて設定されたパッケージ表面における
   検査範囲枠から得られる濃淡画像信号をパッケージ表面
   を白くする閾値とパッケージ表面を黒くする閾値との各
   々を用いて各２値化画像信号に変換し、この変換された
   各２値化画像信号に基づいてパッケージ表面の検査をし
   て半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の
   製造方法。
8. 【請求項８】半導体装置の濃淡画像信号を検出し、この
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して該半導体
   装置の品種に応じて設定されたパッケージ表面における
   検査範囲枠から得られる濃淡画像信号をパッケージ表面
   を白くする閾値とパッケージ表面を黒くする閾値との各
   々を用いて各２値化画像信号に変換し、この変換された
   各２値化画像信号に基づいてパッケージ表面の検査をし
   て半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の
   製造方法。
9. 【請求項９】半導体装置の濃淡画像信号を検出する濃淡
   画像信号検出工程と、該濃淡画像信号検出工程で検出さ
   れた半導体装置の濃淡画像信号からリードの平坦度およ
   びスタンドオフを検査する第１の検査工程と、前記濃淡
   画像信号検出工程で検出された半導体装置の濃淡画像信
   号からリードの不揃いおよびリードのピッチについて検
   査する第２の検査工程と、前記濃淡画像信号検出工程で
   検出された半導体装置の濃淡画像信号に対して設定され
   たリード間における複数の検査範囲枠を合成した検査範
   囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてリード間の導
   電性異物の付着を検査する第３の検査工程と、前記濃淡
   画像信号検出工程で検出された半導体装置の濃淡画像信
   号に対して設定された検査範囲枠から得られる濃淡画像
   信号に基づいてリード表面の検査を行う第４の検査工程
   と、前記濃淡画像信号検出工程で検出された半導体装置
   の濃淡画像信号に対して設定されたパッケージ表面にお
   ける検査範囲枠から得られる濃淡画像信号に基づいてパ
   ッケージ表面の検査を行う第５の検査工程とを有する半
   導体装置の検査方法により半導体装置を検査して半導体
   装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方
   法。