KR960019631A - 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사방법 - Google Patents
테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR960019631A KR960019631A KR1019950043128A KR19950043128A KR960019631A KR 960019631 A KR960019631 A KR 960019631A KR 1019950043128 A KR1019950043128 A KR 1019950043128A KR 19950043128 A KR19950043128 A KR 19950043128A KR 960019631 A KR960019631 A KR 960019631A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- inspection
- tape carrier
- carrier package
- inspecting
- defective
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
Abstract
본 발명은, 테이프캐리어패키지의 앞뒤양면의 외관검사를 단시간에 행할 수 있는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 그 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 테이프캐리어패키지(1)이 소정의 피치로 형성되어 있는 테이프케리어(2)를 이송수단(9)에 의해서 피치이송하고, 이송수단(9)에 있어서의 이송경로(10)의 적소에 제1과 제2의 라인카메라(11), (12)를 배설하는 동시에 그들을 X-Y테이블(13)에서 주사이동시키는데에 따른 캐리어패키지(1)의 표면과 이면을 각각 서로 다른위치에서 동시에 촬상하고, 촬상된 화상데이터에 의거해서 화상처리검사처리부(16)에서 외관검사를 행하도록 한 것을 특징으로 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 테이프캐리어패키지의 외관검사장치의 일실시예의 개략구성도.
Claims (8)
- 테이프케리어패키지가 소정피치로 형성되어 있는 테이프캐리어를 피치이송하는 이송수단과, 이송수단에 있어서의 이송경로의 적소에 테이프캐리어패키지의 표면과 이면을 각각 서로 다른 위치에서 촬상하는 제1과 제2의 촬상수단과, 제1과 제2의 촬상수단에 의한 촬상을 동시에 행하도록 이송수단 및 제1과 제2의 촬상수단을 제어하는 제어수단과, 촬상된 화상데이터로부터의 외관검사를 행하는 검수단을 구비하고, 제1과 제2의 촬상수단이 1차원의 라인카메라와 그 주사이동수단으로 이루이진 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
- 제1항에 있어서, 라이카메라의 주사이동수단이, 테이프캐리어의 이동방향과 그것에 직교하는 방향의 2방향에 주사가능한 X-Y테이블로 이루어진 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
- 제1항에 있어서, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량매소를 표시하는 표시수단과, 테이프캐리어 패키지의 불량개소를 확인하는 현미경을 가진 확인스테이션을 설치한 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
- 제1항에 있어서, 이송수단에 있어서의 이송경로의 적소에 부착티끌 등을 제거하는 부러시를 배설하고, 검사수단에 의한 검사결과가 불량일때에 불량개소가 브러싱가능한 부위인지 여부를 판정하고, 브러싱가능한 부위일때에만 불량개소를 브러싱해서 재검사하도록 이동수단과 브러시와 검시수단을 제어하는 수단이 배설된 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사장치.
- 테이프캐리어패키를 1차원의 라인카메라를 주사해서 촬상하고, 그 화상데이타를 화상 메모리에 격납하는 공정과, 검사부위마다 배설된 검사부에 각각 해당개소에 화상데이타를 전송하는 공정과, 각 검사부에 각 검사 부위의 검사를 병렬해서 행하는 공정을 가진 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
- 제5항에 있어서, 리드의 검사를 행하는 리드검사부에 있어서, 리드의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑백반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정을 행하는 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
- 제5항에 있어서, 테이프캐리어패키지의 임의의 부위의 형상을 검사하는 형상검사부에 있어서, 당해부위의 외접 4각형을 형성해서 그 내부를 흑백반전하고, 백부분의 면적에 의해서 양부판정을 행하는 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.
- 제5하에 있어서, 문자의 검사를 행하는 문자검사부에 있어서, 화상메모리로부터 처리화면내에 수납되는 영역마다 화상테이터를 차례로 잘라내고, 데이터를 축소해서 처리화면내에서 합성하고, 처리화면상에서 문자를 차례로 잘라내어 판독검사하는 것을 특징으로 하는 테이프캐리어패키지의 외관검사방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291182A JPH08145913A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | テープキャリアパッケージの外観検査装置及び検査方法 |
| JP94-291182 | 1994-11-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960019631A true KR960019631A (ko) | 1996-06-17 |
| KR0180269B1 KR0180269B1 (ko) | 1999-04-15 |
Family
ID=17765529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950043128A KR0180269B1 (ko) | 1994-11-25 | 1995-11-23 | 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사벙법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145913A (ko) |
| KR (1) | KR0180269B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020007985A (ko) * | 2000-07-19 | 2002-01-29 | 후지야마 겐지 | 전자부품의 검사방법 및 전자부품 조립장치 |
| KR100573039B1 (ko) * | 2004-04-10 | 2006-04-24 | (주)글로벌엔지니어링 | 비전 카메라를 이용한 부품의 검사장치 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100705649B1 (ko) * | 2005-06-07 | 2007-04-09 | (주) 인텍플러스 | 반도체 패키지의 인트레이 검사 장치 및 검사 방법 |
| KR100690180B1 (ko) * | 2005-11-18 | 2007-03-08 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 패키지의 몰딩 및 칩 부착상태 검사 방법 |
| KR100820917B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2008-04-10 | 스템코 주식회사 | 연성인쇄회로기판의 외관 검사 장치 및 방법 |
| JP4909691B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-04-04 | 株式会社東芝 | 電子部品の実装状態検査方法、電子部品の実装状態検査装置及び電子機器の製造方法 |
| KR101031070B1 (ko) * | 2008-07-23 | 2011-04-25 | 충북대학교 산학협력단 | 영상처리기법을 이용한 ｔｃｐ/ｃｏｆ의 불량 검출 방법 및그 시스템 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP6291182A patent/JPH08145913A/ja active Pending
-
1995
- 1995-11-23 KR KR1019950043128A patent/KR0180269B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020007985A (ko) * | 2000-07-19 | 2002-01-29 | 후지야마 겐지 | 전자부품의 검사방법 및 전자부품 조립장치 |
| KR100573039B1 (ko) * | 2004-04-10 | 2006-04-24 | (주)글로벌엔지니어링 | 비전 카메라를 이용한 부품의 검사장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0180269B1 (ko) | 1999-04-15 |
| JPH08145913A (ja) | 1996-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6198529B1 (en) | Automated inspection system for metallic surfaces | |
| KR960001824B1 (ko) | 와이어 본딩 검사 장치 | |
| JP3300479B2 (ja) | 半導体デバイス検査システム | |
| KR960019631A (ko) | 테이프캐리어패키지의 외관검사장치 및 검사방법 | |
| JPH06222012A (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法及び半導体パッケージ外観検査装置 | |
| JPS6342223B2 (ko) | ||
| KR20110046901A (ko) | 기판검사시스템 및 기판검사방법 | |
| KR950009495A (ko) | 도형검사방법 및 도형검사장치 | |
| JPH08186808A (ja) | 画像処理方法及びその装置 | |
| JP3122226B2 (ja) | 被縫物の外形認識方法及びその装置 | |
| JPS6315380A (ja) | 繰返しパタ−ンをもつ物品の検査方法及びその装置 | |
| JP2002181730A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2000028553A (ja) | Ｘ線透過検査方法及びその装置 | |
| JP2003139720A (ja) | ベリファイ装置 | |
| JPS5875961A (ja) | 画像入力装置 | |
| JPS6315141A (ja) | 繰返しパタ−ンをもつ物品の検査方法及びその装置 | |
| JP2648883B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS63106509A (ja) | 実装基板検査装置 | |
| JPS6051055B2 (ja) | 微小欠点の検出方法 | |
| JPH0428489A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH1049680A (ja) | 印刷物の印刷パターン欠陥検査方法 | |
| JPH0720065A (ja) | カラーフィルタ上の微小異物外観検査装置 | |
| WO2018146887A1 (ja) | 外観検査装置 | |
| KR20080113621A (ko) | 고해상도 카메라를 이동시키면서 ｌｃｄ 패널의 전체외관을 촬상하는 ｌｃｄ 패널의 외관 검사 장치 및 외관검사 방법 | |
| JPH06288927A (ja) | 画像処理検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20061124 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |