JPS6315141A - 繰返しパタ−ンをもつ物品の検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は繰返しパターンをもつ物品を検査する方法及び
その装置に関し、特に、その形状、傷、汚れ等の外観を
光学的に検出して欠陥の有無を検…するための方法及び
装置に関する。この様な光学的検査は特に平面的な物品
たとえば電子部品リードフレームや印刷物その他の繰返
しパターンをもつ物品の自動検査に好適に利用される。

［従来の技術及びその問題点］ 従来、各種物品の外観検査は裸眼または場合によっては
光学顕微鏡を用いて作業者の目視により行なわれること
が多かった。しかしながら、この様な目視検査は作業者
により判定がバラつき同一作業者であっても作業条件に
より判定が／ヘラつき作業者が疲労する等の難点があり
、また検査速度の向上が望めないという難点があった。

そこで、近年、検査の自動化が要求される様になってき
ている。この自動検査は基準となるパターンと被検査パ
ターンとを比較して、その差を検出することからなる。

この様な自動検査は立体的な物品の検査にも適用するこ
とができるけれども、現実的には立体的物品の自動検査
はかなり困難であり、特に平面的な物品（実質上平面的
パターンとしてとらえ得る物品）たとえば電子部品リー
ドフレームや印刷物等の検査に最も良好に適用できる。

平面的な物品の光学的検査に関しては、たとえば特開昭
５９−７３７５８号公報に、ラインセンサカメラにより
撮像しながら被検査物品を移動させ、かくしてカメラに
よる物品読取り位置を走査して検査を行なう方法が提案
されている。また。

特開昭６０−２６３５２８号公報には複数のラインセン
サカメラを用いて広範な範囲を撮像しながら検査する方
法が提案されている。

しかし、この様な検査方法においては全パターン情報を
必要とするため大容量のメモリ等を必要とし、非常に高
価なものとならざるを得ない、しかも、全パターン範囲
について逐次比較していくので検査時間が長くなる。

ところで、被検査物品としては繰返しパターンをもつも
のが多く存在する。上記リードフレームやラベル等の印
刷物は一般に多数の繰返しパターンをもつ形態で製造さ
れることが多い。

この様な繰返しパターンをもつ物品の検査に適する検査
方法として、特開昭５９−２２０８８３号公報には１つ
のカメラを繰返しパターンの配列ピッチごとに移動させ
ながら複数のパターンの読取りを行ない基準パターンと
比較する方法が提案されている。これによれば、物品全
体の基準パターンを記憶する必要はなく、最大でも各単
位パターンの画像情報を記憶すればよいのでメモリとし
て大容量のものを用いなくてもよいという利点がある。

しかしながら、この様な検査方法では各繰返し単位パタ
ーンについて順次基準パターンとの比較を行なうため検
査時間がかなりかかるとともに鰻返しパターンの配列方
向への移動に高精度が要求されるという間通点がある。

以上の様に、従来技術においては処理速度が遅い、高価
である、異なる作業に対し順応できるフレキシビリティ
−がない、等の問題点がある。特に、近年においては製
造工程の高速ライン化が実現されており、この速度に十
分対応し得る速度で検査を行なうことが要求されている
。

また、崩返し単位パターンの検査規格としては、全体的
に均一な規格でよい物品もあるが、」二記リードフレー
ム等においては複数の領域（ゾーン）ごとに異なる規格
で検査を行なうことが要求される場合が多い。

そこで、本発明は、上記の様な従来技術の問題点を解決
して、縁返しパターンをもつ物品をゾーンごとに異なる
規格で安価且つ容易に高速にて検査する方法及び装置を
提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとして
、特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物品を検査す
る方法において、物品を上記特定の方向に関し端部どう
しが重なりあう様な複数の領域ごとに撮像し、かくして
得た複数の画像から各単位パターン像を抽出し、これら
を並行して同一の基準パターン像と比較し各単位パター
ン像と基準パターン像との差を複数のゾーンごとに検出
し、これら複数のゾーンについて異なる規格にＪ、Ｉ！
：づき判定を行なうことを特徴とする。繰返しパターン
を有する物品の検査方法、及び、 特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物品な検査する
装置において、上記特定の方向に関し端部どうしが重な
りあう様な複数の領域を撮像範囲とする複数の撮像カメ
ラと、該各カメラからの画像情報信号をそれぞれ記憶す
るための複数のメモリと、上記カメラと物品との位置関
係の情報に基づき上記メモリの画像信号から必要部分を
選択し各単位パターン像を合成する−り段と、基準パタ
ーン像のためのメモリと、該基準パターン像と各単位パ
ターン像とを比較し且つ複数のゾーンごとにその結果を
出力する手段と、該各ゾーンに関する比較結果の出力に
基づき各単位パターンに関し判定を行なう手段とを有す
ることを特徴とする、繰返しパターンを有する物品の検
査装置、が提供される。

［実施例］ 以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施例を説明
する。

第１図（ａ）は本発明検査方法の一実施例を示す概略平
面図であり、第１図（ｂ）はその正面図である。

これらの図において、２は被検査物品（たとえばＩＣリ
ードフレーム）であり、本実施例においてはＸ方向に連
結された４つの繰返し単位パターンＰｉ−Ｐ４からなる
。該被検査物品は基台４上にＡ２１されている。該基台
の載置面は水平であり、そのＸ方向及び該方向と直交す
るＹ方向に関するそれぞれ片方の端部には突当て部４ａ
、４ｂが形成されており、被検査物品２は該突当て部に
突当てられて不図示の手段により位置決め固定されてい
る。尚、基台４は不図示の手段により駆動されてＹ方向
に往復移動することができる。

被検査物品２の右斜め上方には照明光源６が配置されて
おり、該光源から発せられた光が被検査物品２の上面を
照明する様になっている。被検査物品２の左斜め上方に
はＸ方向に所定の間隔にて配置された３台のラインセン
サカメラＣＡＩ、ＣＡ２．ＣＡ３が配置されている。

第２図は各カメラの撮像状態を示す概略光学図である。

図において、８−１．８−２．８−３はそれぞれカメラ
ＣＡＩ、ＣＡ２．ＣＡ３の対物レンズであり、１０−１
．１０−２．１０−３はそれぞれ該カメラＣＡＬ、ＣＡ
２．ＣＡ３の受光素子たるラインセンサである０図示さ
れる様に、各カメラのラインセンサはＸ方向に画素配列
を有する。カメラＣＡＬのラインセンサ１０−１にはに
１からに５のライン状領域が撮像され、カメラＣＡ２の
ラインセンサ１Ｏ−２にはに３〜に８のライン状債城が
撮像され、カメラＣＡ３のラインセンサ１Ｏ−３にはに
７〜Ｋｌｌのライン状領域が撮像される。カメラＣＡＬ
の撮ｆｉ！領域とカメラＣＡ２の撮像領域とはに３〜に
５の領域が重なりあっており、同様にカメラＣＡ２の撮
像領域とカメラＣＡ３の撮像領域とはに７〜に８の領域
が重なりあっている。また、被検査物品の各単位パター
ンＰＩ〜Ｐ４はそれぞれＫＩＮＫ２．に２〜に６．に６
〜に９　、　Ｋ９〜Ｋ　Ｉ　０（７）Ｘ方向長さく即１
）を有する。尚、ＫＯ，に１１は被検査物品２のＸ方向
両端よりも外側に位２１．従って３台のカメラのによる
Ｘ方向に関する撮像範囲には被検査物品２が完全に納ま
っている。

第３図は本発明方法に用いられる本発明検査装置の一実
施例を示すブロック図である。

カメラＣＡＬにより撮像されたラインセンサ１Ｏ−１の
画像情報信号は２値化回路部ａ１に送られる様になって
いる。該２値化回路部はタイミング回路ａｌｌ、Ａ／Ｄ
変換回路ａ１２．メモリａ１３を有している。Ａ／Ｄ変
換回路ａ１２で２値化された画像情報信号はメモリａ１
３に記憶される。

該メモリａ１３からはカメラ選択回路部ｂｌ〜ｂ４にそ
れぞれ記憶内容が送られる様になっている。該カメラ選
択回路部ｂｔはタイミング回路ｂ１１、カウンタ回路ｂ
１２．カメラ選択スイッチｂ１３．ゲートｂ１４．メモ
リｂ１５を有している。Ｊ！！択スイッチｂ１３により
カメラＣＡＬが選択された場合には、上記２値化回路部
ａ１のメモリａ１３の記憶内容が該スイッチを通ってゲ
ートｂ１４に送られる。該ゲートで順次送られてくる画
像情報のうちの所要部分のみを通過させるべく、通過開
始の画素アドレスと通過終了の画素アドレスとが上記ス
イッチ選択と同時にカウンタ回路ｂ１２において設定さ
れ、該設定に従いゲートｂ１４を通過した画像情報信号
のみがメモリｂ１５に記憶される。

該メモリｂ１５からは比較回路部Ｃ１に記憶内容が送ら
れる様になっている。該比較回路部ｃ１はタイミング回
’ｉｆ、　ｃ　１１と比較回路ｃ１２との組、及びタイ
ミング回路ｃ’ｌｌと比較回路Ｃ′１２との組を有して
いる。

尚、本実施例においては、単位パターンの検査規格は中
央廓のゾーン（Ａゾーンとする）と周辺部のゾーン（パ
ターンとする）とで異なる。第４図（ａ）はこの単位パ
ターンのゾーン分けを示す図である。

上記第３図の比較回路部ｃ１において、比較回路ｃ１２
．ｃ’１２では基準パターン像メモリｆｌから基準パタ
ーン像の情報信号が送られてト記メモリｂ１５からの情
報信号と比較され、各画素アドレスに関しその差が検出
され、その値により異なる２種類の信号（即ち、基準パ
ターンとの差がある場合には２値信号「１」、基準パタ
ーンとの差がない場合には２値Ｃ号「０」）を得る。そ
して、上記比較回路ｃ１２では比較結果のうちのＡゾー
ンに関する情報信号のみをそのまま（パターンに関して
は無条件に基準パターンとの差なしとされる）出力し且
つ上記比較回路Ｃ′１２では比較結果のうちパターンに
関する情報信号のみをそのまま（Ａゾーンに関しては無
条件に基準パターンとの差なしとされる）出力する。こ
の様なゾーンマスキング処理はマスクパターン像メモリ
（Ａ）ｆ２及びマスクパターン像メモリ（Ｂ）　ｆ３の
マスクパターン像を用いて各比較回路にて行なわれる。

即ち、マスクパターン像メモリｆ２には第４図（ｂ）に
示される様にＡゾーンに対応する画素アドレス部分が２
値信号「１」であり且つその他の画素アドレス部分が２
値信号「０」であるパターン像が記憶されており、マス
クパターン像メモリｆ３には第４図（Ｃ）に示される様
にパターンに対応する画素アドレス部分が２値信号「１
」であり且つその他の画素アドレス部分が２値信号「０
」であるパターン像が記憶されている。そして、上記比
較回路ｃ１２．ｃ’１２にはそれぞれマスクパターン像
メモリｆ２　、ｆ３の記憶内容が取り込まれる様になっ
ている。比較回路ｃ１２．ｃ’１２はいづれも第５図に
示される様なゲート回路を有しており、上記メモリｂ１
５の内容がＩＮＩから及び上記基準パターン像メモリｆ
１の内容がＩＮ２から比較器に入力されて、上記の様に
その差により異なる２値信号が得られ、該２値信号とマ
スクパターン像メモリｆ２またはｆ３の内容とがＡＮＤ
ゲートに入力され、かくして比較回路ｃ１２からはＡゾ
ーンに関する２（ｒ１情報信号のみがそのまま出力され
パターンに関する情報はマスクされて全て「０」となり
且つ比較回路ｃ′１２からはパターンに関する２値情報
信号のみがそのまま出力されＡゾーンに関する情報はマ
スクされて全て「０」となる。

これらの信号は比較回路ｃ１２．ｃ′１２から比較結果
として判定回路部ｄｉに送られる様になっている。該判
定回路部はタイミング回路ｄｌｌと判定回路（即ちＣＰ
Ｕ回路部）ｄ１２との組、及びタイミング回路ｄ’ｌｌ
と判定回路ｄ′１２との組を有している。そして、上記
比較回路ｃ１２の出力信号は判定回路ｄ１２に入力され
Ｒつ上記比較回路ｃ′１２の出力信号は判定回路ｄ′１
２に入力される様になっている。これら判定回路ではそ
れぞれのゾーンの各画素アドレスに関する上記比較結果
の信号に基づきそれぞれ独自の所定の基準で（たとえば
Ａゾーンに関してはＢゾーンに関してよりも厳しい規格
で）判定が行なわれる。

カメラＣＡ２．ＣＡ３によりそれぞれ撮像されたライン
センサ１０−２　、１０−３の画像情報信号は、それぞ
れ２値化回路部ａ２　、Ａ３に送られる様になっている
。これら２　（１化回路部は上記２値化回路部ａｌと実
質上同一であり、以後各構成要素には対応する符号を付
して呼ぶこととする。

上記カメラ選択回路部ｂ２〜ｂ４は上記カメラ選択回路
部ｂｌと実質上同一であり、以後各構成要素には対応す
る符号を付して呼ぶこととする。

上記２値化回路部ａ２．Ａ３のメモリａ２３　、　Ａ３
３からはそれぞれ全ての選択回路部ｂｌ−ｂ４の選択ス
イー２チｂ１３．ｂ２３．ｂ３３．ｂ４３に記憶内容が
送られる様になっている。従って。

各選択回路部では３台のカメラのいづれの撮像情報信号
をも受は入れることができる。

上記選択回路部ｂ２〜ｂ４のメモリｂ２５　、　ｂ３５
、ｂ４５の記憶内容はそれぞれ対応する比較回路部０２
〜Ｃ４に送られる様になっている。これら比較回路部は
上記比較回路部Ｃ１と実質上同一であり、以後各構成要
素には対応する符号を付して呼ぶこととする。また、上
記）＾準パターン像メモリｆ１、マスクパターン像メモ
リ（Ａ）ｆ２及びマスクパターン像メモリ（Ｂ）ｆ３か
らも同様に比較回路部０２〜Ｃ４へと基準パターン像及
びマスクパターン像の情報信号が送られる様になってい
る。

上記比較回路部Ｃ２〜Ｃ４の比較回路Ｃ２２゜ｃ’２２
．ｃ３２．ｃ’３２．ｃ４２．ｃ′４２からはそれぞれ
対応する判定回路部ｄ２〜ｄ４に比較結果が送られる様
になっている。これら判定回路部は上記判定回路部ｄ１
と実質上同一であり、以後各構ｒ＆要素には対応する符
号を付して呼ぶこととする。

上記各タイミング回路はタイミングコントローラｅによ
り制御される。

尚１本実施例においては、上記選択回路部ｂｌのメモリ
ｂ１５の記憶内容を基準パターン像メモリｆｌへと送る
ことができる様になっている。

本実施例において、上記ｂｌ　、ｃｌ　、ｄｉの組は被
検査物品２の第１の単位パターンＰｉの画像情報を抽出
するためのものであり、上記ｂ２．ｃ２、ｄ２の組は被
検査物品２の第２の単位パターンＰ２の画像情報を抽出
するためのものであり、上記ｂ３　、ｃ３　、ｄ３の組
は被検査物品２の第３の単位パターンＰ３の画像情報を
抽出するためのものであり、上記ｂ４．ｃ４．ｄ４の組
は被検査物品２の第４の単位パターンＰ４の画像情報を
抽出するためのものである。

第６図（ａ）〜（ｃ）は本実施例装置の動作即ち本発明
方法の一実施例を説明するためのフロー図である。′以
下、第１〜５図を参照しながら第６図に基づき動作説明
を行なう。

先ず、被検査物品２を基台４上の所定の位ｌにａ置した
状態にて、動作を開始（ＳＴＡＲＴ）する、尚、開始時
における基台４のＹ方向位詮（初期位置）はカメラＣＡ
ｌ−ＣＡ３により被検査物品２の被検査領域が撮像され
るｌライフ分千萌の位置である。

本実施例においては、被検査物品２の第１の単位パター
ンＰｉを用いて基準パターン像情報を作成する。

このため、選択スイッチｂ１３で２値化回路部ａｌを選
択すると同時にカウンタ回路ｂ１２にゲートｂ１４を通
過させるべき画素情報のスタートアドレスＫｌとエンド
アドレスに２とをセットする（ステップ４１）、尚、画
素アドレスは上記撮像領域の位置に対応するラインセン
サの画素を該撮像領域位芒を示す符号で代表させている
（以下同様）。

次に、基台４をＹ方向に移動させることにより、被検査
物品２をＹ方向に栄位量（即ちカメラのラインセンサの
巾に対応する距離）だけ移動させる（ステップ４２）、
これにより、被検査領域の最初の情報が２値化されてメ
モリａ１３に記憶される、該記憶情報は直ちに選択スイ
ッチｂ１３を介してゲー）ｂ１４に送られ、画素アドレ
スが上記に１からに２までの情報のみが該ゲートを通過
してメモリｂ１５に記憶される（ステップ４３）、この
記憶情報は直ちに基準パターン像メモリｆ１に記憶され
る（ステップ４４）。

次に、カメラＣＡＬでの撮像領域がＹ方向に関し検査範
囲終了の９ｎ城に到達しているか否かを判定しくステッ
プ４５）、到達していない場合には上記ステップ４２以
降が行なわれ、到達していた場合には基やパターン像情
報のメモリｆｌへの記憶が完了したことになる。かくし
て記憶された基準パターン像は第７図（ａ）に示される
様に第１の単位パターンＰ１に対応するものである。

次に、該基準パターン像情報を基準として被検査単位パ
ターンの検査を行なう。

先ず、基台４をＹ方向に反転移動させることにより、被
検査物品２をＹ方向に移動させて上記初期位置へと戻す
（ステップ４６）。

次に、選択スイッチｂ２３で２値化回路ａｌを選択する
と同時にカウンタ回路ｂ２２にゲートｂ２４を通過させ
るべき画素情報のスタートアドレスに２とエンドアドレ
スに４とをセットする（ステップ４７）、尚、該アドレ
スに４は第２図に示されるアドレスに３とに５との間の
適宜のアドレスを設定す′ることができる。

次に、基台４をＹ方向に移動させることにより、被検査
物品２をＹ方向に単位量だけ移動させる（ステップ４８
）、これにより、被検査領域の最初の情報が２値化され
てメモリａ１３に記憶された記憶情報は直ちに選択スイ
ッチｂ２３を介してゲー）ｂ２４に送られ１画素アドレ
スが上記に２からに４までの情報のみが該ゲートを通過
してメモリｂ２５に記憶される（ステップ４９）。

次に、選択スイッチｂ２３で２値化回路ａ２を選択する
と同時にカウンタ回路ｂ２２にゲートｂ２４を通過させ
るべき画素情報のスタートアドレスに４とエンドアドレ
スに６とをセットする（ステップ５０）、これにより、
被検査領域の最初の情報が２値化されてメモリａ２３に
記憶された記憶情報は直ちに選択スイッチｂ２３を介し
てゲートｂ２４に送られ、画素アドレスが上記に４から
に６までの情報のみが該ゲートを通過してメモリｂ２５
に記憶される（ステ、プ５１）。

次に、比較回路ｃ２２．ｃ′２２において上記メモリｂ
２５の記憶内容と上記基準パターン像メモリｆ１の記憶
内容との対応する画素アドレスの情報どうしの比較を行
なう（ステップ５２）、この比較において差がある画素
に関しては２値信号「１」を得、それ以外の画素に対し
ては２値信号「０」を得る。そして、これらの比較結果
は各比較回路においてそれぞれ上記マスクパターン像メ
モリ　（Ａ）ｆ２．マスクパターン像メモリ　（Ｂ）ｆ
３の記憶内容によりマスキング処理され所定のゾーン以
外に関しては不一致画素なしとされて信号が出力される
（ステップ５３）、この比較回路ｃ２２　、ｃ　′２２
の出力は直ちにそれぞれ判定回％ｄ２２　、ｄ　′２２
に送られる。

該判定回路ｄ２２．ｄ’２２ではそれぞれ上記比較回路
ｃ２２　、ｃ　’　２２の出力である１ライン分の情報
信号を記憶する（ステップ５４）０次に、該判定回路ｄ
２２．ｄ’２２での記憶情報が８ライン分に到達したか
否かを判定しくステップ５５）、到達していない場合に
は上記ステップ４７以降が行なわれ、到達していた場合
には８ライン分について総合的判定が行なわれる（ステ
ップ５６）、この判定は予め定められたＡゾーン、Ｂゾ
ーンごとに独自の基準に従い基準パターンとの不一致画
素の連続性や集中度等に基づいて行なわれる。これらの
判定基準は判定回路ｄ２２　、　ｄ　′２２におけるプ
ログラムにより適宜設定することができる。尚、８ライ
ン分の判定時において次回の８ライン分に連続する不一
致画素があった場合には１次回の８ライン分の判定時に
も参酌するために該画素数及び該画素アドレス等がＣＰ
Ｕ回路部に記憶される。

次に、カメラＣＡＩ、ＣＡ２での撮像領域がＹ方向に関
し検査範囲終了の領域に到達しているか否かを゛」定し
くステップ５７）、到達していない場合には上記ステッ
プ４７以降が行なわれ、到達していた場合には単位パタ
ーンＰ２に関する検査が終了（ＥＮＤ）したことになる
。

本実施例においては、単位パターンＰ２は画素アドレス
に２からに４まではカメラＣＡＩにより撮像された画像
情報の一部（第７図（ｂ）に示される）が検査のために
用いられ、画素アドレスに４からに６まではカメラＣＡ
２により撮像された画像情報の一部（第７図（ｃ）に示
される）が検査のために用いられる。

第６図においては、単位パターンＰ２の検査に関しての
み記載されているが、単位パターンＰ３、Ｐ４について
も同様にして同時に並行処理することができる。

上記実施例においては、単位パターンＰｉが正確である
として、該パターンに基づき基準パターン僚を作成した
が、本発明においては他の基準パターンを撮像すること
により基準パターン像を作成したり、あるいは設計値を
もとに電気的処理により基準パターン像を作成すること
もできる。

また、上記カウンタ回路への設定アドレスは被検査物品
２を基台４上に位置決めａ２１することにより一義的に
定まるので、この値を入力する。

上記実施例においては′Ｉ判定路での判定を８ライン分
ごとに行なっているが、それ以外の数のラインごとに判
定を行なってもよいことはもちろんである。

また、続けて同一の繰返し単位パターンをもつ被検査物
品を検査する場合には、該新たな被検査物品を所定の位
置に載ｔし、上記ステップ４６から開始して単位パター
ンＰ１〜Ｐ４を全て同時に並行処理することができる。

更に、上記実施例においては各単位パターン像及び基準
パターン像の各画素は２値化により「明」または「暗」
のいずれかとされているが、本発明においては各画素を
多値化して３段階以上の濃淡画素とすることもできる。

尚、被検査物品の大きさが大きい場合にはカメラ台数を
増やして対応する２値化回路部及び各カメラ選択スイッ
チのチャンネルを増やせばよい。

また、被検査物品の縁返し単位パターンの数が多い場合
にはそれに対応してカメラ選択回路部、比較回路部及び
判定回路部を増やせばよい、更に、被検査物品の鰻返し
単位パターンの数が多い場合には、２つ以上の単位パタ
ーンを新たに１つの単位パターンとみなして取扱うこと
もでき、これによれば基準パターン像メモリとして２倍
以上の容量のものを必要とするがカメラ選択回路部、比
較回路部及び判定回路部の増設が不要となる。

尚、１つの単位パターンが３つ以上のカメラによりカバ
ーされる場合には、当該単位パターンに関するカメラ選
択回路部において３台のカメラ選択を行なって３つ以上
の画像情報信号部分の合成により当該単位パターンの像
を得ることもできる。

以上の実施例においては、単位パターンが２つのゾーン
に分けられているが１本発明においては３つ以りのゾー
ンに分けた場合にもマスクパターン像メモリ、比較回路
及び判定回路を増設すること対してにより容易に対応し
得る。

以］−の実施例においては、カメラとしてラインセンサ
カメラが用いられているが、本発明においては適宜の撮
像憤域を有する２次元センサカメラを用いることもでき
る。

もちろん、本発明が上記リードフレームのみでなく、そ
の他の繰返しパターンをもつ物品の検査に適用できるこ
とはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上の様な本発明によれば、繰返しパターンをもつ物品
の単位パターンの画像情報のみを基準パターン像として
記憶できる比較的小容量のメモリと単純なゾーンマスキ
ングパターン像を記憶できる比較的小容量のメモリと電
相いて、各単位パターンについて並列処理によりゾーン
ごとに独自の規格にて極めて高速の検査を行なうことが
できる。また、被検査物品の大きさ増加には撮像カメラ
の台数増設で対処することができ、また被検査物品の繰
返しパターン数の増加に対してはカメラ選択回路以薩の
ユニットの増設で対処することができ、また単位パター
ンの配列方向長さの変更に対しては各カウンタ回路にセ
ットするアドレスの変更のみで対処することができると
いう様に、極めてフレキシブルである。更に、本発明に
よれば、１つの判定回路でコンピュータソフトを用いて
ゾーンごとに異なる規格でｆ４定する場合に比べて、処
理速度全署しく高くすることが可ず３である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明検査方法を説明するための概略平
面図であり、第１図（ｂ）はその正面図である。 第２図は各カメラの撮像状態を示す概略光学図である。 第３図は本発明検査装置のブロック図である。 第４図（＆）は栄位パターンのゾーン分けを示す図であ
り、第４図（ｂ）、（Ｃ）はマスクパターン像を示す図
である。 第５図は比較回路の一部を示す図である。 第６図（ａ）〜（ｃ）は本実施例装置の動作を説明する
ためのフロー図である。 第７図（ａ）〜（ｃ）は抽出された画像情報を示す図で
ある。 ２：被検査物品、　　４：基台、 ６：照明光源、 ８−１〜８−３二対物レンズ。 １０−１〜１０−３ニラインセンサ、 ＣＡＬ〜ｃＡ３：撮像カメラ、 Ｐ１〜Ｐ４二単位パターン。 第１図（ａ） 第１図（ｂ） 第２　図 第６図（０） 第　　６　　図　　（ｂン （Ｃ）「論」

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物品を検
   査する方法において、物品を上記特定の方向に関し端部
   どうしが重なりあう様な複数の領域ごとに撮像し、かく
   して得た複数の画像から各単位パターン像を抽出し、こ
   れらを並行して同一の基準パターン像と比較し各単位パ
   ターン像と基準パターン像との差を複数のゾーンごとに
   検出し、これら複数のゾーンについて異なる規格に基づ
   き判定を行なうことを特徴とする、繰返しパターンを有
   する物品の検査方法。
2. （２）特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物品を検
   査する装置において、上記特定の方向に関し端部どうし
   が重なりあう様な複数の領域を撮像範囲とする複数の撮
   像カメラと、該各カメラからの画像情報信号をそれぞれ
   記憶するための複数のメモリと、上記カメラと物品との
   位置関係の情報に基づき上記メモリの画像信号から必要
   部分を選択し各単位パターン像を合成する手段と、基準
   パターン像のためのメモリと、該基準パターン像と各単
   位パターン像とを比較し且つ複数のゾーンごとにその結
   果を出力する手段と、該各ゾーンに関する比較結果の出
   力に基づき各単位パターンに関し判定を行なう手段とを
   有することを特徴とする、繰返しパターンを有する物品
   の検査装置。
3. （３）各単位パターン像を合成する手段が、画像情報信
   号記憶メモリへの接続を選択する手段、カメラと物品と
   の位置関係の情報に基づき各画像情報信号について通過
   範囲を設定するためのカウンタ回路及び該カウンタ回路
   に基づき開閉を制御されるゲートを有する、特許請求の
   範囲第２項の検査装置。
4. （４）単位パターン像を合成する手段のうちの少なくと
   も１つから単位パターン像の情報信号を基準パターン像
   メモリへと入力することができる、特許請求の範囲第２
   項の検査装置。
5. （５）基準パターン像と各単位パターン像とを比較し且
   つ複数のゾーンごとにその結果を出力する手段が、基準
   パターン像と各単位パターン像との比較結果に対し所望
   ゾーン以外のゾーンをマスクするためのパターンを有し
   ている、特許請求の範囲第２項の検査装置。