JPH0676969B2 - 繰返しパタ−ンをもつ物品の検査方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は繰返しパターンをもつ物品を検査する方法及び
その装置に関し、特に、その形状、傷、汚れ等の外観を
光学的に検出して欠陥の有無を検出するための方法及び
装置に関する。この様な光学的検査は特に平面的な物品
たとえば電子部品リードフレームや印刷物その他の繰返
しパターンをもつ物品の自動検査に好適に利用される。

［従来の技術及びその問題点］ 従来、各種物品の外観検査は裸眼または場合によっては
光学顕微鏡を用いて作業者の目視により行なわれること
が多かった。しかしながら、この様な目視検査は作業者
により判定がバラつき同一作業者であっても作業条件に
より判定がバラつき作業者が疲労する等の難点があり、
また検査速度の向上が望めないという難点があった。

そこで、近年、検査の自動化が要求される様になってき
ている。この自動検査は基準となるパターンと被検査パ
ターンとを比較して、その差を検出することからなる。
この様な自動検査は立体的な物品の検査にも適用するこ
とできるけれども、現実的には立体的物品の自動検査は
かなり困難であり、特に平面的な物品（実質上平面的パ
ターンとしてとらえ得る物品）たとえば電子部品リード
フレームや印刷物等の検査に最も良好に適用できる。

平面的な物品の光学的検査に関しては、たとえば特開昭
59−73758号公報に、ラインセンサカメラにより撮像し
ながら被検査物品を移動させ、かくしてカメラによる物
品読取り位置を走査して検査を行なう方法が提案されて
いる。また、特開昭60−263528号公報には複数のライン
センサカメラを用いて広範な範囲を撮像しながら検査す
る方法が提案されている。

しかし、この様な検査方法においては全パターン情報を
必要とするため大容量のメモリ等を必要とし、非常に高
価なものとならざるを得ない。しかも、全パターン範囲
について逐次比較していくので検査時間が長くなる。

ところで、被検査物品としては繰返しパターンをもつも
のが多く存在する。上記リードフレームやラベル等の印
刷物は一般に多数の繰返しパターンをもつ形態で製造さ
れることが多い。

この様な繰返しパターンをもつ物品の検査に適する検査
方法として、特開昭59−220883号公報には１つのカメラ
を繰返しパターンの配列ピッチごとに移動させながら複
数のパターンの読取りを行ない基準パターンと比較する
方法が提案されている。これによれば、物品全体の基準
パターンを記憶する必要はなく、最大でも各単位パター
ンの画像情報を記憶すればよいのでメモリとして大容量
のものを用いなくてもよいという利点がある。

しかしながら、この様な検査方法では各繰返し単位パタ
ーンについて順次基準パターンとの比較を行なうため検
査時間がかなりかかるとともに繰返しパターンの配列方
向への移動に高精度が要求されるという問題点がある。

以上の様に、従来技術においては処理速度が遅い、高価
である、異なる作業に対し順応できるフレキシビリティ
ーがない、等の問題点がある。特に、近年においては製
造工程の高速ライン化が実現されており、この速度に十
分対応し得る速度で検査を行なうことが要求されてい
る。

また、繰返し単位パターンの検査規格としては、全体的
に均一な規格でよい物品もあるが、上記リードフレーム
等においては複数の領域（ゾーン）ごとに異なる規格で
検査を行なうことが要求される場合が多い。

そこで、本発明は、上記の様な従来技術の問題点を解決
して、繰返しパターンをもつ物品をゾーンごとに異なる
規格で安価且つ容易に高速にて検査する方法及び装置を
提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本発明によれば、以上の如き目的を達成するものとし
て、特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物品を検査
する方法において、物品を上記特定の方向に関し端部ど
うしが重なりあう様な複数の領域ごとに撮像し、かくし
て得た複数の画像から各単位パターン像を抽出し、これ
らを並行して同一の基準パターン像と比較し各単位パタ
ーン像と基準パターン像との差を複数のゾーンごとに検
出し、これら複数のゾーンについて異なる規格に基づき
判定を行なうことを特徴とする、繰返しパターンを有す
る物品の検査方法、及び、 特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物品を検査する
装置において、上記特定の方向に関し端部どうしが重な
りあう様な複数の領域を撮像範囲とする複数の撮像カメ
ラと、該各カメラからの画像情報信号をそれぞれ記憶す
るための複数のメモリと、上記カメラと物品との位置関
係の情報に基づき上記メモリの画像信号から必要部分を
選択し各単位パターン像を合成する手段と、基準パター
ン像のためのメモリと、該基準パターン像と各単位パタ
ーン像とを比較し且つ複数のゾーンごとにその結果を出
力する手段と、該各ゾーンに関する比較結果の出力に基
づき各単位パターンに関し判定を行なう手段とを有する
ことを特徴とする、繰返しパターンを有する物品の検査
装置、 が提供される。

［実施例］ 以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施例を説明
する。

第１図（ａ）は本発明検査方法の一実施例を示す概略平
面図であり、第１図（ｂ）はその正面図である。

これらの図において、２は被検査物品（たとえばICリー
ドフレーム）であり、本実施例においてはＸ方向に連結
された４つの繰返し単位パターンP1〜P4からなる。該被
検査物品は基台４上に載置されている。該基台の載置面
は水平であり、そのＸ方向及び該方向と直交するＹ方向
に関するそれぞれ片方の端部には突当て部4a,4bが形成
されており、被検査物品２は該突当て部に突当てられて
不図示の手段により位置決め固定されている。尚、基台
４は不図示の手段により駆動されてＹ方向に往復移動す
ることができる。

被検査物品２の右斜め上方には照明光源６が配置されて
おり、該光源から発せられた光が被検査物品２の上面を
照明する様になっている。被検査物品２の左斜め上方に
はＸ方向に所定の間隔にて配置された３台のラインセン
サカメラCA1,CA2,CA3が配置されている。

第２図は各カメラの撮像状態を示す概略光学図である。

図において、８−1,8−2,8−３はそれぞれカメラCA1,CA
2,CA3の対物レンズであり、10−1,10−2,10−３はそれ
ぞれ該カメラCA1,CA2,CA3の受光素子たるラインセンサ
である。図示される様に、各カメラのラインセンサはＸ
方向に画素配列を有する。カメラCA1のラインセンサ10
−１にはK1からK5のライン状領域が撮像され、カメラCA
2のラインセンサ10−２にはK3〜K8のライン状領域が撮
像され、カメラCA3のラインセンサ10−３にはK7〜K11の
ライン状領域が撮像される。カメラCA1の撮像領域とカ
メラCA2の撮像領域とはK3〜K5の領域が重なりあってお
り、同様なカメラCA2の撮像領域とカメラCA3の撮像領域
とはK7〜K8の領域が重なりあっている。また、被検査物
の各単位パターンP1〜P4はそれぞれK1〜K2,K2〜K6,K6〜
K9,K9〜K10のＸ方向長さ（即ちｌ）を有する。尚、K0,K
11は被検査物品２のＸ方向両端よりも外側に位置し、従
って３台のカメラのによるＸ方向に関する撮像範囲には
被検査物品２が完全に納まっている。

第３図は本発明方法に用いられる本発明検査装置の一実
施例を示すブロック図である。

カメラCA1により撮像されたラインセンサ10−１の画像
情報信号は２値化回路部a1に送られる様になっている。
該２値化回路部はタイミング回路a11,A/D変換回路a12,
メモリa13を有している。A/D変換回路a12で２値化され
た画像情報信号はメモリa13に記憶される。

該メモリa13からはカメラ選択回路b1〜b4にそれぞれ記
憶内容が送られる様になっている。該カメラ選択回路部
b1はタイミング回路b11,カウンタ回路b12,カメラ選択ス
イッチb13,ゲートb14,メモリb15を有している。選択ス
イッチb13によりカメラCA1が選択された場合には、上記
２値化回路部a1のメモリa13の記憶内容が該スイッチを
通ってゲートb14に送られる。該ゲートで順次送られて
くる画像情報のうちの所要部分のみを通過させるべく、
通過開始の画素アドレスと通過終了の画素アドレスとが
上記スイッチ選択と同時にカウンタ回路b12において設
定され、該設定に従いゲートb14を通過した画像情報信
号のみがメモリb15に記憶される。

該メモリb15からは比較回路c1に記憶内容が送られる様
になっている。該比較回路部c1はタイミング回路c11と
比較回路c12との組、及びタイミング回路ｃ′11と比較
回路ｃ′12との組を有している。

尚、本実施例においては、単位パターンの検査規格は中
央部のゾーン（Ａゾーンとする）と周辺部のゾーン（Ｂ
ゾーンとする）とで異なる。第４図（ａ）はこの単位パ
ターンのゾーン分けを示す図である。

上記第３図の比較回路c1において、比較回路c12,c′12
では基準パターン像メモリf1から基準パターン像の情報
信号が送られて上記メモリb15からの情報信号と比較さ
れ、各画素アドレスに関しその差が検出され、その値に
より異なる２種類の信号（即ち、基準パターンとの差が
ある場合には２値信号「１」、基準パターンとの差がな
い場合には２値信号「０」）を得る。そして、上記比較
回路c12では比較結果のうちのＡゾーンに関する情報信
号のみをそのまま（Ｂゾーンに関しては無条件に基準パ
ターンとの差なしとされる）出力し且つ上記比較回路
ｃ′12では比較結果のうちＢゾーンに関する情報信号の
みをそのまま（Ａゾーンに関しては無条件に基準パター
ンとの差なしとされる）出力する。この様なゾーンマス
キング処理はマスクパターン像メモリ（Ａ）f2及びマス
クパターン像メモリ（Ｂ）f3のマスクパターン像を用い
て各比較回路にて行なわれる。即ち、マスクパターン像
メモリf2には第４図（ｂ）に示される様にＡゾーンに対
応する画素アドレス部分が２値信号「１」であり且つそ
の他の画素アドレス部分が２値信号「０」であるパター
ン像が記憶されており、マスクパターン像メモリf3には
第４図（ｃ）に示される様にＢゾーンに対応する画素ア
ドレス部分が２値信号「１」であり且つその他の画素ア
ドレス部分が２値信号「０」であるパターン像が記憶さ
れている。そして、上記比較回路c12,c′12にはそれぞ
れマスクパターン像メモリf2,f3の記憶内容が取り込ま
れる様になっている。比較回路c12,c′12はいづれも第
５図に示される様なゲート回路を有しており、上記メモ
リb15の内容がIN1から及び上記基準パターン像メモリf1
の内容がIN2から比較器に入力されて、上記の様にその
差により異なる２値信号が得られ、該２値信号とマスク
パターン像メモリf2またはf3の内容とがANDゲートに入
力され、かくして比較回路c12からはＡゾーンに関する
２値情報信号のみがそのまま出力されＢゾーンに関する
情報はマスクされて全て「０」となり且つ比較回路ｃ′
12からはＢゾーンに関する２値情報信号のみがそのまま
出力されＡゾーンに関する情報はマスクされて全て
「０」となる。

これらの信号は比較回路c12,c′12から比較結果として
判定回路部d1に送られる様になっている。該判定回路部
はタイミング回路d11と判定回路（即ちCPU回路部）d12
との組、及びタイミング回路ｄ′11と判定回路ｄ′12と
の組を有している。そして、上記比較回路c12の出力信
号は判定回路d12に入力され且つ上記比較回路ｃ′12の
出力信号は判定回路ｄ′12に入力される様になってい
る。これら判定回路ではそれぞれのゾーンの各画素アド
レスに関する上記比較結果の信号に基づきそれぞれ独自
の所定の基準で（たとえばＡゾーンに関してはＢゾーン
に関してよりも厳しい規格で）判定が行なわれる。

カメラCA2,CA3によりそれぞれ撮像されたラインセンサ1
0−2,10−３の画像情報信号は、それぞれ２値化回路部a
2,a3に送られる様になっている。これら２値化回路部は
上記２値化回路部a1と実質上同一であり、以後各構成要
素には対応する符号を付して呼ぶこととする。

上記カメラ選択回路部b2〜b4は上記カメラ選択回路部b1
と実質上同一であり、以後各構成要素には対応する符号
を付して呼ぶこととする。上記２値化回路a2,a3のメモ
リa23,a33からはそれぞれ全ての選択回路部b1〜b4の選
択スイッチb13,b23,b33,b43に記憶内容が送られる様に
なっている。従って、各選択回路部では３台のカメラの
いづれの撮像情報信号をも受け入れることができる。

上記選択回路部b2〜b4のメモリb25,b35,b45の記憶内容
はそれぞれ対応する比較回路部c2〜c4に送られる様にな
っている。これら比較回路部は上記比較回路部c1と実質
上同一であり、以後各構成要素には対応する符号を付し
て呼ぶこととする。また、上記基準パターン像メモリf
1、マスクパターン像メモリ（Ａ）f2及びマスクパター
ン像メモリ（Ｂ）f3からも同様に比較回路部c2〜c4へと
基準パターン像及びマスクパターン像の情報信号が送ら
れる様になっている。

上記比較回路部c2〜c4の比較回路c22,c′22,c32,c′32,
c42,c′42からはそれぞれ対応する判定回路部d2〜d4に
比較結果が送られる様になっている。これら判定回路部
は上記判定回路部d1と実質上同一であり、以後各構成要
素には対応する符号を付して呼ぶこととする。

上記各タイミング回路はタイミングコントローラｅによ
り制御される。

尚、本実施例においては、上記選択回路部b1のメモリb1
5の記憶内容を基準パターン像メモリf1へと送ることが
できる様になっている。

本実施例において、上記b1,c1,d1の組は被検査物品２の
第１の単位パターンP1の画像情報を抽出するためのもの
であり。上記b2,c2,d2の組は被検査物品２の第２の単位
パターンP2の画像情報を抽出するためのものであり、上
記b3,c3,d3の組は被検査物品２の第３の単位パターンP3
の画像情報を抽出するためのものであり、上記b4,c4,d4
の組は被検査物品２の第４の単位パターンP4の画像情報
を抽出するためのものである。

第６図（ａ）〜（ｃ）は本実施例装置の動作即ち本発明
方法の一実施例を説明するためのフロー図である。以
下、第１〜５図を参照しながら第６図に基づき動作説明
を行なう。

先ず、被検査物品２を基台４上の所定の位置に載置した
状態にて、動作を開始（START）する。尚、開始時にお
ける基台４のＹ方向位置（初期位置）はカメラCA1〜CA3
により被検査物品２の被検査領域が撮像される１ライン
分手前の位置である。

本実施例においては、被検査物品２の第１の単位パター
ンP1を用いて基準パターン像情報を作成する。

このため、選択スイッチb13で２値化回路部a1を選択す
ると同時にカウンタ回路b12にゲートb14を通過させるべ
く画素情報のスタートアドレスK1とエンドアドレスK2と
をセットする（ステップ41）。尚、画素アドレスは上記
撮像領域の位置に対応するラインセンサの画素を該撮像
領域位置を示す符号で代表させている（以下同様）。

次に、基台４をＹ方向に移動させることにより、被検査
物品２をＹ方向に単位量（即ちカメラのラインセンサの
巾に対応する距離）だけ移動させる（ステップ42）。こ
れにより、被検査領域の最初の情報が２値化されてメモ
リa13に記憶される。該記憶情報は直ちに選択スイッチb
13を介してゲートb14に送られ、画素アドレスが上記K1
からK2までの情報のみが該ゲートを通過してメモリb15
に記憶される（ステップ43）。この記憶情報は直ちに基
準パターン像メモリf1に記憶される（ステップ44）。

次に、カメラCA1での撮像領域がＹ方向に関し検査範囲
終了の領域に到達しているか否かを判定し（ステップ4
5）、到達していない場合には上記ステップ42以降が行
なわれ、到達していた場合には基準パターン像情報のメ
モリf1への記憶が完了したことになる。かくして記憶さ
れた基準パターン像は第７図（ａ）に示される様に第１
の単位パターンP1に対応するものである。

次に、該基準パターン像情報を基準として被検査単位パ
ターンの検査を行なう。

先ず、基台４をＹ方向に反転移動させることにより、被
検査物品２をＹ方向に移動させて上記初期位置へと戻す
（ステップ46）。

次に、選択スイッチb23で２値化回路a1を選択すると同
時にカウンタ回路b22にゲートb24を通過させるべき画素
情報のスタートアドレスK2とエンドアドレスK4とをセッ
トする（ステップ47）。尚、該アドレスK4は第２図に示
されるアドレスK3とK5との間の適宜のアドレスを設定す
ることができる。

次に、基台４をＹ方向に移動させることにより、被検査
物品２をＹ方向に単位量だけ移動させる（ステップ4
8）。これにより、被検査領域の最初の情報が２値化さ
れてメモリa13に記憶された記憶情報は直ちに選択スイ
ッチb23を介してゲートb24に送られ、画素アドレスが上
記K2からK4までの情報のみが該ゲートを通過してメモリ
b25に記憶される（ステップ49）。

次に、選択スイッチb23で２値化回路a2を選択すると同
時にカウンタ回路b22にゲートb24を通過させるべき画素
情報のスタートアドレスK4とエンドアドレスK6とをセッ
トする（ステップ50）。これにより、被検査領域の最初
の情報が２値化されてメモリa23に記憶された記憶情報
は直ちに選択スイッチb23を介してゲートb24に送られ、
画素アドレスが上記K4からK6までの情報のみが該ゲート
を通過してメモリb25に記憶される（ステップ51）。

次に、比較回路c22,c′22において上記メモリb25の記憶
内容と上記基準パターン像メモリf1の記憶内容との対応
する画素アドレスの情報どうしの比較を行なう（ステッ
プ52）。この比較において差がある画素に関しては２値
信号「１」を得、それ以外の画素に対しては２値信号
「０」を得る。そして、これらの比較結果は各比較回路
においてそれぞれ上記マスクパターン像メモリ（Ａ）f
2,マスクパターン像メモリ（Ｂ）f3の記憶内容によりマ
スキング処理され所定のゾーン以外に関しては不一致画
素なしとされて信号が出力される（ステップ53）。この
比較回路c22,c′22の出力は直ちにそれぞれ判定回路d2
2,d′22に送られる。

該判定回路d22,d′22ではそれぞれ上記比較回路c22,c′
22の出力である１ライン分の情報信号を記憶する（ステ
ップ54）。次に、該判定回路d22,d′22での記憶情報が
８ライン分に到達したか否かを判定し（ステップ55）、
到達していない場合には上記ステップ47以降が行なわ
れ、到達していた場合には８ライン分について総合的判
定が行なわれる（ステップ56）。この判定は予め定めら
れたＡゾーン,Bゾーンごとに独自の基準に従い基準パタ
ーンとの不一致画素の連続性や集中度等に基づいて行な
われる。これらの判定基準は判定回路d22,d′22におけ
るプログラムにより適宜設定することができる。尚、８
ライン分の判定時において次回の８ライン分に連続する
不一致画素があった場合には、次回の８ライン分の判定
時にも参酌するために該画素数及び該画素アドレス等が
CPU回路部に記憶される。

次に、カメラCA1,CA2での撮像領域がＹ方向に関し検査
範囲終了の領域に到達しているか否かを判定し（ステッ
プ57）、到達していない場合には上記ステップ47以降が
行なわれ、到達していた場合には単位パターンP2に関す
る検査が終了（END）したことになる。

本実施例においては、単位パターンP2は画素アドレスK2
からK4まではカメラCA1により撮像された画像情報の一
部（第７図（ｂ）に示される）が検査のために用いら
れ、画素アドレスK4からK6まではカメラCA2により撮像
された画像情報の一部（第７図（ｃ）に示される）が検
査のために用いられる。

第６図においては、単位パターンP2の検査に関してのみ
記載されているが、単位パターンP3,P4についても同様
にして同時に並行処理することができる。

上記実施例においては、単位パターンP1が正確であると
して、該パターンに基づき基準パターン像を作成した
が、本発明においては他の基準パターンを撮像すること
により基準パターン像を作成したり、あるいは設計値を
もとに電気的処理により基準パターン像を作成すること
もできる。

また、上記カウンタ回路への設定アドレスは被検査物品
２を基台４上に位置決め載置することにより一義的に定
まるので、この値を入力する。

上記実施例においては判定回路での判定を８ライン分ご
とに行なっているが、それ以外の数のラインごとに判定
を行なってもよいことはもちろんである。

また、続けて同一の繰返し単位パターンをもつ被検査物
品を検査する場合には、該新たな被検査物品を所定の位
置に載置し、上記ステップ46から開始して単位パターン
P1〜P4を全て同時に並行処理することができる。

更に、上記実施例においては各単位パターン像及び基準
パターン像の各画素は２値化により「明」または「暗」
のいずれかとされているが、本発明においては各画素を
多値化して３段階以上の濃淡画素とすることもできる。

尚、被検査物品の大きさが大きい場合にはカメラ台数を
増やして対応する２値化回路部及び各カメラ選択スイッ
チのチャンネルを増やせばよい。また、被検査物品の繰
返し単位パターンの数が多い場合にはそれに対応してカ
メラ選択回路部、比較回路部及び判定回路部を増やせば
よい。更に、被検査物品の繰返し単位パターンの数が多
い場合には、２つ以上の単位パターンを新たに１つの単
位パターンとみなして取扱うこともでき、これによれば
基準パターン像メモリとして２倍以上の容量のものを必
要とするがカメラ選択回路部、比較回路部及び判定回路
部の増設が不要となる。

尚、１つの単位パターンが３つ以上のカメラによりカバ
ーされる場合には、当該単位パターンに関するカメラ選
択回路部において３台のカメラ選択を行なって３つ以上
の画像情報信号部分の合成により当該単位パターンの像
を得ることもできる。

以上の実施例においては、単位パターンが２つのゾーン
に分けられているが、本発明においては３つ以上のゾー
ンに分けた場合にもマスクパターン像メモリ、比較回路
及び判定回路を増設すること対してにより容易に対応し
得る。

以上の実施例においては、カメラとしてラインセンサカ
メラが用いられているが、本発明においては適宜の撮像
領域を有する２次元センサカメラを用いることもでき
る。

もちろん、本発明が上記リードフレームのみでなく、そ
の他の繰返しパターンをもつ物品の検査に適用できるこ
とはいうまでもない。

［発明の効果］ 以上の様な本発明によれば、繰返しパターンをもつ物品
の単位パターンの画像情報のみを基準パターン像として
記憶できる比較的小容量のメモリと単純なゾーンマスキ
ングパターン像を記憶できる比較的小容量のメモリとを
用いて、各単位パターンについて並列処理によりゾーン
ごとに独自の規格にて極めて高速の検査を行なうことが
できる。また、被検査物品の大きさ増加には撮像カメラ
の台数増設で対処することができ、また被検査物品の繰
返しパターン数の増加に対してはカメラ選択回路以降の
ユニットの増設で対処することができ、また単位パター
ンの配列方向長さの変更に対しては各カウンタ回路にセ
ットするアドレスの変更のみで対処することができると
いう様に、極めてフレキシブルである。更に、本発明に
よれば、１つの判定回路でコンピュータソフトを用いて
ゾーンごとに異なる規格で判定する場合に比べて、処理
速度を著しく高くすることが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明検査方法を説明するための概略平
面図であり、第１図（ｂ）はその正面図である。 第２図は各カメラの撮像状態を示す概略光学図である。 第３図は本発明検査装置のブロック図である。 第４図（ａ）は単位パターンのゾーン分けを示す図であ
り、第４図（ｂ），（ｃ）はマスクパターン像を示す図
である。 第５図は比較回路の一部を示す図である。 第６図（ａ）〜（ｃ）は本実施例装置の動作を説明する
ためのフロー図である。 第７図（ａ）〜（ｃ）は抽出された画像情報を示す図で
ある。 2:被検査物品、4:基台、 6:照明光源、 ８−１〜８−3:対物レンズ、 10−１〜10−3:ラインセンサ、 CA1〜CA3:撮像カメラ、 P1〜P4:単位パターン。

フロントページの続き (72)発明者 沼 美穂 東京都文京区小石川４丁目14番12号 共同 印刷株式会社内 (72)発明者 原科 安仁 東京都文京区小石川４丁目14番12号 共同 印刷株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物
   品を検査する方法において、物品を上記特定の方向に関
   し端部どうしが重なりあう様な複数の領域ごとに撮像
   し、かくして得た複数の画像から複数の単位パターン像
   を抽出し、これら複数の単位パターン像を並行して同一
   の基準パターン像と比較し各単位パターン像と基準パタ
   ーン像との差を複数のゾーンごとに検出し、これら複数
   のゾーンについて異なる規格に基づき判定を行なうこと
   を特徴とする、繰返しパターンを有する物品の検査方
   法。
2. 【請求項２】特定の方向に繰返す単位パターンをもつ物
   品を検査する装置において、上記特定の方向に関し端部
   どうしが重なりあう様な複数の領域を撮像範囲とする複
   数の撮像カメラと、該各カメラからの画像情報信号をそ
   れぞれ記憶するための複数のメモリと、上記カメラと物
   品との位置関係の情報に基づき上記メモリの画像信号か
   ら必要部分を選択し単位パターン像を合成する複数の手
   段と、基準パターン像のためのメモリと、該基準パター
   ン像と各単位パターン像とを比較し且つ複数のゾーンご
   とにその結果を出力する手段と、該各ゾーンに関する比
   較結果の出力に基づき各単位パターンに関し判定を行な
   う手段とを有することを特徴とする、繰返しパターンを
   有する物品の検査装置。
3. 【請求項３】各単位パターン像を合成する手段が、画像
   情報信号記憶メモリへの接続を選択する手段、カメラと
   物品との位置関係の情報に基づき各画像情報信号につい
   て通過範囲を設定するためのカウンタ回路及び該カウン
   タ回路に基づき開閉を制御されるゲートを有する、特許
   請求の範囲第２項の検査装置。
4. 【請求項４】単位パターン像を合成する手段のうちの少
   なくとも１つから単位パターン像の情報信号を基準パタ
   ーン像メモリへと入力することができる、特許請求の範
   囲第２項の検査装置。
5. 【請求項５】基準パターン像と各単位パターン像とを比
   較し且つ複数のゾーンごとにその結果を出力する手段
   が、基準パターン像と各単位パターン像との比較結果に
   対し所望ゾーン以外のゾーンをマスクするためのパター
   ンを有している、特許請求の範囲第２項の検査装置。