JP7450245B2 - 三次元画像生成装置及び三次元画像生成方法 - Google Patents

三次元画像生成装置及び三次元画像生成方法 Download PDF

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Description

本発明は、カメラを用いた対象物の三次元画像生成装置及び三次元画像生成方法に関する。
半導体チップのパッドと基板のリードとを接続するボンディングワイヤ(以下、ワイヤという)等の対象物の三次元画像を生成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載された方法は、ワイヤをリング状照明器で照明し、焦点深度を浅くした光学系を用いて合焦高さを変化させながらワイヤ画像を撮像し、各ワイヤ画像の中心に現出した暗部を検出することにより、各合焦高さにおけるワイヤの各XY座標を検出し、それらのデータからワイヤ全体の三次元形状を検出し、三次元画像を生成するものである。
特許第3235009号明細書
しかし、特許文献1に記載の方法では、光学系の合焦高さを変化させて複数の画像を撮像することが必要なため、三次元画像の生成に掛かる時間が長くなってしまうという問題があった。
そこで、本発明は、短時間に対象物の三次元画像を生成することを目的とする。
本発明の三次元画像生成装置は、半導体素子の電極と基板の電極、又は、半導体素子の一の電極と半導体素子の他の電極とを接続するワイヤの三次元画像を生成する三次元画像生成装置であって、撮像素子を用いた複数のカメラと、カメラが撮像した各画像を処理する制御部と、を備え、制御部は、ワイヤを含む空間内に複数のボクセルを設定し、照明でワイヤを上方から照明し、複数のカメラで複数の方向から複数のボクセルを撮像し、(a)複数のボクセルの内の一ボクセルに対応する各カメラの各撮像素子の各明度を検出し、(b)各カメラが検出した各明度の内で一番小さいものを一ボクセルの最小明度として特定し、(c)特定した最小明度がワイヤの反射光によることを示す所定の閾値以上の場合に、一ボクセルをワイヤを含む特定ボクセルとして特定し、(a)~(c)の動作を複数のボクセル全てについて繰り返し実行し、(c)で特定した複数の特定ボクセルを接続してワイヤの三次元画像を生成すること、を特徴とする。
本発明の三次元画像生成方法は、半導体素子の電極と基板の電極、又は、半導体素子の一の電極と半導体素子の他の電極とを接続するワイヤの三次元画像を生成する三次元画像生成方法であって、撮像素子を用いた複数のカメラと、ワイヤを上方から照らす照明と、を準備し、ワイヤを含む空間内に複数のボクセルを設定し、照明でワイヤを上方から照明し、複数のカメラで複数の方向から複数のボクセルを撮像し、(a)複数のボクセルの内の一ボクセルに対応する各カメラの各撮像素子の各明度を検出し、(b)各カメラが検出した各明度の内で一番小さいものを一ボクセルの最小明度として特定し、(c)特定した最小明度がワイヤの反射光によることを示す所定の閾値以上の場合に、一ボクセルをワイヤを含む特定ボクセルとして特定し、(a)~(c)の動作を複数のボクセル全てについて繰り返し実行し、(c)で特定した複数の特定ボクセルを接続してワイヤの三次元画像を生成すること、を特徴とする。
このように、複数のカメラで撮影した画像を処理して三次元画像を生成するので、光学系の合焦高さを変化させる等のハードウェアの動作を伴わずに三次元画像を生成することができ、短時間で対象物の三次元画像の生成を行うことができる。
本発明は、短時間に対象物の三次元画像を生成することができる。
実施形態の三次元画像生成方法を実行する三次元画像生成装置の構成を示す系統図である。 図1に示すy=y1の面のボクセルを複数のカメラで撮像した場合の各ボクセル中心と各カメラの撮像素子の位置との関係を示す説明図である。 実施形態の三次元画像生成方法の工程を示すフローチャートである。 図3に示す工程中の対象物を含む特定ボクセルを特定する処理を示すフローチャートである。 各ボクセルの最小明度と特定ボクセルの特定処理を説明する表である。
以下、図面を参照しながら実施形態の三次元画像生成方法を実行する三次元画像生成装置100について説明する。以下の説明では、三次元画像生成装置100は、図1に示すように、半導体素子の電極51と基板の電極52とを接続するワイヤ53の三次元画像を生成することとして説明するが、他の対象物の三次元画像の生成を行うことも可能である。
三次元画像生成装置100は、撮像素子を用いた3つのカメラ10,20,30と、カメラ10,20,30が撮像した画像を処理して対象物であるワイヤ53の三次元画像を生成する制御部40と、ワイヤ53を照明する光源45とを含んでいる。本実施形態では、カメラは3つとして説明するが、複数であれば3つに限らず、2つでも4つ以上でもよい。
光源45はワイヤ53の上方に配置されている。また、カメラ10は、ワイヤ53の上方に配置されており、カメラ20,30は、ワイヤ53の上方で各光軸20a,30aがカメラ10の光軸10aに対して傾斜するようにして配置されている。制御部40は、内部に情報処理を行うCPU41とメモリ42とを含むコンピュータで構成されている。
ワイヤ53を含む空間には、複数のボクセルVが設定されている。ボクセルVはワイヤ53が存在する空間内全てに設定されている。ボクセルVの各中心座標はVc(x,y,h)で表される。図1では、ワイヤ53を含む空間に設定された9つのボクセルV1~V9を示す。9つのボクセルV1~V9は、各中心座標はVc(x,y,h)のy方向の座標がy1の平面内に位置しており、x座標がx1,x2,x3で、それぞれ高さhがh1,h2,h3の位置となっている。また、Vc(x2,y1,h2)に中心があるボクセルV5にはワイヤ53のy=y1の断面が位置している。
次に図2を参照しながら、図1を参照して説明した9つのボクセルV1~V9と、各カメラ10,20,30の各撮像素子11,21,31の各画素の位置との関係の例について説明する。
ボクセルV1は、中心位置Vc(x1,y1,h1)であり、カメラ10の撮像素子11の画素P11、カメラ20の撮像素子21の画素P23、カメラ30の撮像素子31の画素P31に対応する。同様にボクセルV2の中心位置Vc(x2,y1,h1)は、撮像素子11の画素P12に対応し、撮像素子21の画素P24、撮像素子31の画素P32に対応する。また、ボクセルV3の中心位置Vc(x3,y1,h1)は、撮像素子11の画素P13に対応し、撮像素子21の画素P25、撮像素子31の画素P33に対応する。以下、同様に、同様にボクセルV4の中心位置Vc(x1,y1,h2)は画素P11、画素P22、画素P32に対応し、ボクセルV5の中心位置Vc(x2,y1,h2)は画素P12、画素P23、画素P33に対応し、ボクセルV6の中心位置Vc(x3,y1,h2)は画素P13、画素P24、画素P34に対応する。更に、ボクセルV7の中心位置Vc(x1,y1,h3)は画素P11、画素P21、画素P33に対応し、ボクセルV8の中心位置Vc(x2,y1,h3)は画素P12、画素P22、画素P34に対応し、ボクセルV9の中心位置Vc(x3,y1,h3)は画素P13、画素P23、画素P35に対応する。
そして、各カメラ10,20,30でボクセルV1~V9を撮像すると、各ボクセルV1~V9明度は対応する各カメラ10,20,30の各撮像素子11,21,31の各対応する画素の明度として検出される。
次に図3から図5を参照して三次元画像生成装置100の動作について説明する。
三次元画像生成装置100の制御部40のCPU41は、図3のステップS101に示すように、複数のカメラ10,20,30で複数の方向から複数のボクセルVを撮像する。そして、ステップS102で各カメラ10,20,30が撮像した画像分析面をy=0の面に設定し、ステップS103でy=0の面の中で対象物であるワイヤ53を含むボクセルVを特定ボクセルとして特定する。そして、yがボクセルVの存在するyの最大値であるyendとなるまでステップS105でyをΔyずつ増加させてステップS103を繰り返し実行する。そして、ステップS104でYESと判断した場合には、図3のステップS106に進んでステップS103で特定した複数の特定ボクセルを接続して対象物の三次元画像を生成する。
ここで、制御部40のCPU41が実行する図3のステップS103の対象物を含む特定ボクセルを特定する処理の例について、図4、図5を参照しながら説明する。以下の説明では、図1に示すy=y1の平面に中心座標が位置するボクセルV1~V9において対象物であるワイヤ53を含む特定ボクセルを特定する処理について説明する。
図3を参照して説明したように、各カメラ10,20,30でボクセルV1~V9を撮像すると、各ボクセルV1~V9の明度は対応する各カメラ10,20,30の各撮像素子11,21,31の各対応する画素の明度として検出される。ワイヤ53を含むボクセルVはワイヤ53で光が反射されるためワイヤ53を含むボクセルVに対応する画素は明るい明度1を検出する。一方、ワイヤ53を含まないボクセルVは光を反射しないので暗い明度0を検出する。ただし、ボクセルVと画素との光路の間又は光路の延長上にワイヤ53を含む他のボクセルVが存在するとその画素は、他のボクセルVの明るい明度1を検出する。
図4のステップS201に示すように、制御部40のCPU41は、カメラ10,20,30が撮像した画像から、複数のボクセルの内の一ボクセルに対応する各カメラ10,20,30の各撮像素子11,21,31の各明度を検出する。
CPU41がボクセルV1の明度を検出する場合について説明する。図2、図5に示すように、ボクセルV1は、ワイヤ53を含まないボクセルVである。対応するカメラ10,30の各撮像素子11,31の画素P11、P31は、画素P11,P31とボクセルV1との間にワイヤ53が存在しないので、ボクセルV1の暗い明度0を検出する。一方、対応するカメラ20の撮像素子21の画素P23はボクセルV1と画素P23との間にワイヤ53を含むボクセルV5が存在するので、ボクセルV1の暗い明度ではなく、ボクセルV5の明るい明度1を検出する。このため、CPU41は、図5に示すように、ボクセルV1に対応する3つの画素P11,P23,P31の明度を、それぞれ明度0,1,0と検出する。
次にCPU41は、図4のステップS202に進んで、各カメラ10,20,30が検出した各明度の内で一番小さいものをそのボクセルVの最小明度として特定する。ボクセルV1では、検出した明度は、0,1,0であるから、最小明度は0と特定する。
そして、CPU41は、図4のステップS203に進んで、特定した最小明度が所定の閾値よりも大きい場合に、そのボクセルは対象物であるワイヤ53を含む特定ボクセルと特定する。閾値は、0よりも大きい所定の値とすることができ、例えば、1としてもよい。ボクセルV1の場合は、最小明度が0であるから、CPU41は、ボクセルV1を特定ボクセルと特定せずに図4のステップS204に進み、y=y1の面に中心がある全てのボクセルVについてステップS201~S203の処理を行ったかどうか判断し、NOの場合、ステップS201に戻って次のボクセルVについてステップS201~S203の処理を行う。
CPU41は、ボクセルV1の処理を行った後、図4のステップS204でNOと判断して図4のステップS201に戻り、ボクセルV2についてステップS201~S203の処理を行う。
CPU41は、図5に示すように、ボクセルV1と同様に、ボクセルV2に対応する3つの画素P12,P24,P32の明度を検出する。この場合、ボクセルV2と画素P12の間にはワイヤ53を含むボクセルV5が位置しているので、画素P12は明度1を検出する。従って、CPU41は、ボクセルV2に対応する3つの画素P12,P24,P32の明度を1,0,0と検出する。そして、CPU41は、ステップS202でボクセルV2の最小明度を0と特定し、ステップS203でボクセルV2を特定ボクセルと特定せずに図4のステップS204に進み、ボクセルV3の処理をおこなう。
以下、同様にCPU41は、図5に示すように、ボクセルV3~V4について各画素の明度を特定し、最小明度を0と特定し、ボクセルV3~V4を特定ボクセルとしない。
CPU41は、ボクセルV5に対応する各画素P12,P23,P33の各明度を検出する。ボクセルV5はワイヤ53をそれぞれ含むボクセルVであるから、各カメラ10,20,30のいずれの撮像素子11,21,31の対応する画素P12,P23,P33も明るい明度1を検出する。従って、CPU41は、ボクセルV5の最小明度を1と特定し、ボクセルV5を特定ボクセルに特定してボクセルV6の処理に進む。
図5に示すように、CPU41は、ステップS201でボクセルV6に対応する各画素の各明度をそれぞれ、0,0,0と特定する。そして、CPU41はステップS202でボクセルV6の最小明度を0と特定し、ボクセルV6を特定ボクセルとせずにボクセルV7の処理に進む。
ボクセルV7はボクセルV7とカメラ30の対応する画素P33との間の光路の延長線上にワイヤ53が位置している。このため、CPU41は、ボクセルV7に対応する各画素P11,P21,P31をそれぞれ0,0,1と特定する。そして、CPU41は、ボクセルV7の最小明度を0と特定し、ボクセルV7を特定ボクセルとせずにボクセルV8,V9の処理に進む。
ボクセルV7と同様、CPU41は、ボクセルV8,V9の対応する画素の明度をそれぞれ、1,0,0、及び、0,1,0と検出し、各最小明度を0と特定し、ボクセルV8,V9を特定ボクセルとしないで図4のステップS204に進み、ステップS204でYESと判断して図3のステップS103に示す対象物を含む特定するボクセルを特定する処理を終了する。
この処理により、CPU41は、図5に示すようにy=y1の平面に座標中心にある9つのボクセルV1~V9の内でワイヤ53を含むボクセルV5のみを特定ボクセルとして特定する。
CPU41はyをΔyずつ変化させて、ボクセルVが存在する全ての空間で図3のステップS103の処理を実行したら、図3のステップS104でYESと判断して図3のステップS106に進んで各平面における特定ボクセルを接続することにより、ワイヤ53の三次元画像を生成する。
このように、実施形態の三次元画像生成方法は、対象物を含む空間内に複数のボクセルVを設定し、複数のボクセルVを異なる角度から複数のカメラ10,20,30で撮像した場合、対象物を含むボクセルVに対応する各カメラ10,20,30の各画素が検出する明度は対象物による反射により全て明るい明度1となり、そのボクセルVの最小明度は1となる。一方、対象物が存在しないボクセルVに対応する各カメラ10,20,30の各画素が検出する明度の少なくとも1つが暗い明度0となり、そのボクセルVの最小明度は0となる。これにより、最小明度が1となる場合にそのボクセルVを対象物を含む特定ボクセルに特定し、その特定ボクセルを接続して対象物の三次元画像を生成するものである。
以上説明したように、実施形態の三次元画像生成装置100は、複数のカメラ10,20,30で撮影した画像を処理して三次元画像を生成するので、光学系の合焦高さを変化させる等のハードウェアの動作を伴わずに三次元画像を生成することができ、短時間でワイヤ53等の対象物の三次元画像の生成を行うことができる。
10,20,30 カメラ、10a,20a,30a 光軸、11,21,31 撮像素子、40 制御部、41 CPU、42 メモリ、45 光源、51,52 電極、53 ワイヤ、100 三次元画像生成装置。

Claims (2)

  1. 半導体素子の電極と基板の電極、又は、前記半導体素子の一の電極と前記半導体素子の他の電極とを接続するワイヤの三次元画像を生成する三次元画像生成装置であって、
    撮像素子を用いた複数のカメラと、
    前記カメラが撮像した各画像を処理する制御部と、
    前記ワイヤを情報から照らす照明と、を備え、
    前記制御部は、
    前記ワイヤを含む空間内に複数のボクセルを設定し、
    前記照明で前記ワイヤを上方から照明し、複数の前記カメラで複数の方向から複数のボクセルを撮像し、
    (a)複数のボクセルの内の一ボクセルに対応する各前記カメラの各前記撮像素子の各明度を検出し、
    (b)各前記カメラが検出した各明度の内で一番小さいものを前記一ボクセルの最小明度として特定し、
    (c)特定した最小明度が前記ワイヤの反射光によることを示す所定の閾値以上の場合に、前記一ボクセルを前記ワイヤを含む特定ボクセルとして特定し、
    前記(a)~(c)の動作を複数のボクセル全てについて繰り返し実行し、
    (c)で特定した複数の特定ボクセルを接続して前記ワイヤの三次元画像を生成すること、
    を特徴とする三次元画像生成装置。
  2. 半導体素子の電極と基板の電極、又は、前記半導体素子の一の電極と前記半導体素子の他の電極とを接続するワイヤの三次元画像を生成する三次元画像生成方法であって、
    撮像素子を用いた複数のカメラと、前記ワイヤを上方から照らす照明と、を準備し、
    前記ワイヤを含む空間内に複数のボクセルを設定し、
    前記照明で前記ワイヤを上方から照明し、複数の前記カメラで複数の方向から複数のボクセルを撮像し、
    (a)複数のボクセルの内の一ボクセルに対応する各前記カメラの各前記撮像素子の各明度を検出し、
    (b)各前記カメラが検出した各明度の内で一番小さいものを前記一ボクセルの最小明度として特定し、
    (c)特定した最小明度が前記ワイヤの反射光によることを示す所定の閾値以上の場合に、前記一ボクセルを前記ワイヤを含む特定ボクセルとして特定し、
    前記(a)~(c)の動作を複数のボクセル全てについて繰り返し実行し、
    (c)で特定した複数の特定ボクセルを接続して前記ワイヤの三次元画像を生成すること、
    を特徴とする三次元画像生成方法。
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