JPH09189665A - 欠点検査装置に用いる暗視野照明装置 - Google Patents
欠点検査装置に用いる暗視野照明装置Info
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- JPH09189665A JPH09189665A JP201696A JP201696A JPH09189665A JP H09189665 A JPH09189665 A JP H09189665A JP 201696 A JP201696 A JP 201696A JP 201696 A JP201696 A JP 201696A JP H09189665 A JPH09189665 A JP H09189665A
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 欠点の輝度レベルを高めることができ、画像
信号にガラスの型成分が含まれないようにすることので
きる暗視野照明装置を提供する。 【解決手段】 ２個の細長光源２５ａ，２５ｂと、各細
長光源からの照明光が１次元ラインセンサカメラ２１に
直接入らないように各細長光源の１次元ラインセンサカ
メラ側にそれぞれ設けられ、１次元ラインセンサカメラ
に対してなす角度が所定の角度範囲の照明光を照射する
２個のマスク２４ａ，２４ｂとを備え、マスク２４ａ
は、第１の方向に照明光を照射するように傾斜して配列
された複数の遮光板１５により、マスク２４ｂは、第１
の方向とは反対の第２の方向に照明光を照射するように
傾斜して配列された複数の遮光板１５により構成され
る。
信号にガラスの型成分が含まれないようにすることので
きる暗視野照明装置を提供する。 【解決手段】 ２個の細長光源２５ａ，２５ｂと、各細
長光源からの照明光が１次元ラインセンサカメラ２１に
直接入らないように各細長光源の１次元ラインセンサカ
メラ側にそれぞれ設けられ、１次元ラインセンサカメラ
に対してなす角度が所定の角度範囲の照明光を照射する
２個のマスク２４ａ，２４ｂとを備え、マスク２４ａ
は、第１の方向に照明光を照射するように傾斜して配列
された複数の遮光板１５により、マスク２４ｂは、第１
の方向とは反対の第２の方向に照明光を照射するように
傾斜して配列された複数の遮光板１５により構成され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、１次元ラインセン
サカメラから入力される１次元画像信号を用いて、フロ
ート板ガラス，網入り板ガラス，磨き素板ガラス，型板
ガラスなどの板ガラスの検査を行うのに最適な暗視野照
明装置に関するものである。
サカメラから入力される１次元画像信号を用いて、フロ
ート板ガラス，網入り板ガラス，磨き素板ガラス，型板
ガラスなどの板ガラスの検査を行うのに最適な暗視野照
明装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】板ガラスの欠点検査には、板ガラスを下
側から照明する照明装置と、板ガラスの上側に設けられ
た１次元ラインセンサカメラとが用いられている。照明
装置としては、背景が明るい明視野照明装置あるいは背
景が暗い暗視野照明装置が用いられる。
側から照明する照明装置と、板ガラスの上側に設けられ
た１次元ラインセンサカメラとが用いられている。照明
装置としては、背景が明るい明視野照明装置あるいは背
景が暗い暗視野照明装置が用いられる。
【０００３】明視野照明装置を備える欠点検査装置で
は、欠点により透過光の輝度レベルが低下することを利
用し、暗視野照明装置を備える欠点検査装置では、照明
光の欠点による散乱を利用している。明視野照明装置を
用いるか、あるいは暗視野照明装置を用いるかは、検査
しようとする欠点の種類により決定され、それぞれ単独
で、あるいは組合せて用いられる。
は、欠点により透過光の輝度レベルが低下することを利
用し、暗視野照明装置を備える欠点検査装置では、照明
光の欠点による散乱を利用している。明視野照明装置を
用いるか、あるいは暗視野照明装置を用いるかは、検査
しようとする欠点の種類により決定され、それぞれ単独
で、あるいは組合せて用いられる。
【０００４】図１に、暗視野照明装置を用いた板ガラス
の欠点検査装置を示す。被検査物である板ガラス１３
は、図１の面に垂直な方向に搬送されているものとす
る。板ガラス１３の上側には、１次元ラインセンサカメ
ラ１４が設けられ、板ガラス１３の下側には暗視野照明
装置１０が設けられている。
の欠点検査装置を示す。被検査物である板ガラス１３
は、図１の面に垂直な方向に搬送されているものとす
る。板ガラス１３の上側には、１次元ラインセンサカメ
ラ１４が設けられ、板ガラス１３の下側には暗視野照明
装置１０が設けられている。
【０００５】暗視野照明装置１０は、板ガラス１３の搬
送方向と直角の方向に延びる細長光源１１と、この細長
光源１１上に細長光源の長さ方向に設けられたマスク１
２とから構成されている。細長光源１１は、並列に並べ
られた２本の蛍光灯よりなり、マスク１２は、蛍光灯の
光がカメラ１４に直接入射しないように、蛍光灯の長さ
方向に対して一定の角度で傾斜させて、かつ、一定の間
隔で配列された複数枚の遮光板１５よりなる。
送方向と直角の方向に延びる細長光源１１と、この細長
光源１１上に細長光源の長さ方向に設けられたマスク１
２とから構成されている。細長光源１１は、並列に並べ
られた２本の蛍光灯よりなり、マスク１２は、蛍光灯の
光がカメラ１４に直接入射しないように、蛍光灯の長さ
方向に対して一定の角度で傾斜させて、かつ、一定の間
隔で配列された複数枚の遮光板１５よりなる。
【０００６】暗視野照明装置１０内にある細長光源１１
からの光はマスク１２によって一定方向の照明光になり
（図１では左下から右上に向かう光）、板ガラス１３に
照射され、板ガラスに泡，未溶解成分などの欠点が含ま
れると、照明光が散乱し、カメラ１４に取り込まれる。
すなわち、欠点は暗い背景に輝いて見える。
からの光はマスク１２によって一定方向の照明光になり
（図１では左下から右上に向かう光）、板ガラス１３に
照射され、板ガラスに泡，未溶解成分などの欠点が含ま
れると、照明光が散乱し、カメラ１４に取り込まれる。
すなわち、欠点は暗い背景に輝いて見える。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】暗視野照明装置を用い
た板ガラスの欠点検査の場合は、１次元ラインセンサカ
メラからの１次元画像信号の読みとり周期（走査周期）
が高速なので、欠点の輝度レベルが高いことが要求され
る。しかし、従来の暗視野照明装置は、細長光源からの
照明光の照射方向が一方向かつ一定方向であるため、板
ガラス内部の欠点（泡，未溶解成分など）による光の散
乱方向によっては、欠点検査に必要である充分な輝度レ
ベルが得られないという問題がある。また、被検査物で
ある板ガラスの種類によっては、次のような問題があ
る。すなわち、板ガラスが網入り板ガラスの場合には、
特にマスクの長さ方向と垂直方向の網は高輝度で表れ、
１次元ラインセンサカメラに取り込まれた画像信号に種
々の位置での網による信号が含まれ、また、型板ガラス
の場合には、１次元ラインセンサカメラに取り込まれた
画像信号にガラスの型成分が含まれるという問題があ
る。特に、網入り磨き素板ガラスの場合には、網による
信号と、磨く前のガラスの型成分とが含まれる。
た板ガラスの欠点検査の場合は、１次元ラインセンサカ
メラからの１次元画像信号の読みとり周期（走査周期）
が高速なので、欠点の輝度レベルが高いことが要求され
る。しかし、従来の暗視野照明装置は、細長光源からの
照明光の照射方向が一方向かつ一定方向であるため、板
ガラス内部の欠点（泡，未溶解成分など）による光の散
乱方向によっては、欠点検査に必要である充分な輝度レ
ベルが得られないという問題がある。また、被検査物で
ある板ガラスの種類によっては、次のような問題があ
る。すなわち、板ガラスが網入り板ガラスの場合には、
特にマスクの長さ方向と垂直方向の網は高輝度で表れ、
１次元ラインセンサカメラに取り込まれた画像信号に種
々の位置での網による信号が含まれ、また、型板ガラス
の場合には、１次元ラインセンサカメラに取り込まれた
画像信号にガラスの型成分が含まれるという問題があ
る。特に、網入り磨き素板ガラスの場合には、網による
信号と、磨く前のガラスの型成分とが含まれる。
【０００８】欠点成分だけが充分な輝度レベルで含ま
れ、その他の成分は含まれないと、後の信号処理が簡単
になり、そのような暗視野照明装置が望まれるが、上述
のような従来の暗視野照明装置では、１次元ラインセン
サカメラから得られる信号の中に網や型の成分が高輝度
で含まれていたり、欠点の輝度レベルが低かったりす
る。
れ、その他の成分は含まれないと、後の信号処理が簡単
になり、そのような暗視野照明装置が望まれるが、上述
のような従来の暗視野照明装置では、１次元ラインセン
サカメラから得られる信号の中に網や型の成分が高輝度
で含まれていたり、欠点の輝度レベルが低かったりす
る。
【０００９】網の成分は、１次元ラインセンサカメラで
検出される位置座標が固定されているので、信号処理に
よって容易に網の信号を除去することにより解決でき
る。
検出される位置座標が固定されているので、信号処理に
よって容易に網の信号を除去することにより解決でき
る。
【００１０】しかし、型の成分を含まないようにするこ
と、および欠点の輝度レベルを高めることは、暗視野照
明装置の構造で解決することが要求される。
と、および欠点の輝度レベルを高めることは、暗視野照
明装置の構造で解決することが要求される。
【００１１】そこで、本発明の目的は、欠点の輝度レベ
ルを高めることのできる暗視野照明装置を提供すること
にある。
ルを高めることのできる暗視野照明装置を提供すること
にある。
【００１２】本発明の他の目的は、画像信号にガラスの
型成分が含まれないようにすることのできる暗視野照明
装置を提供することにある。
型成分が含まれないようにすることのできる暗視野照明
装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、１次元ライン
センサカメラから得られる１次元画像信号を用いて板ガ
ラスの検査を行う欠点検査装置に用いる暗視野照明装置
において、１次元ラインセンサカメラに対してなす角度
が所定の角度範囲の照明光を、２方向から板ガラスに照
射することを特徴とする。
センサカメラから得られる１次元画像信号を用いて板ガ
ラスの検査を行う欠点検査装置に用いる暗視野照明装置
において、１次元ラインセンサカメラに対してなす角度
が所定の角度範囲の照明光を、２方向から板ガラスに照
射することを特徴とする。
【００１４】より具体的には、本発明の暗視野照明装置
は、第１および第２の２個の細長光源と、前記各細長光
源からの照明光が１次元ラインセンサカメラに直接入ら
ないように前記各細長光源の１次元ラインセンサカメラ
側にそれぞれ設けられ、１次元ラインセンサカメラに対
してなす角度が所定の角度範囲の照明光を照射する第１
および第２の２個のマスクとを備え、前記第１のマスク
は、第１の方向に照明光を照射するように傾斜して配列
された複数の第１の遮光板により、前記第２のマスク
は、前記第１の方向とは反対の第２の方向に照明光を照
射するように傾斜して配列された複数の第２の遮光板に
より構成される。
は、第１および第２の２個の細長光源と、前記各細長光
源からの照明光が１次元ラインセンサカメラに直接入ら
ないように前記各細長光源の１次元ラインセンサカメラ
側にそれぞれ設けられ、１次元ラインセンサカメラに対
してなす角度が所定の角度範囲の照明光を照射する第１
および第２の２個のマスクとを備え、前記第１のマスク
は、第１の方向に照明光を照射するように傾斜して配列
された複数の第１の遮光板により、前記第２のマスク
は、前記第１の方向とは反対の第２の方向に照明光を照
射するように傾斜して配列された複数の第２の遮光板に
より構成される。
【００１５】
【発明の実施の形態】図２は、本発明の暗視野照明装置
の一実施例の概略図である。暗視野照明装置２６は、板
ガラス２３の下側に設けられ、板ガラス２３の上側に
は、レンズ２２を有する１次元ラインセンサカメラ２１
が設けられている。
の一実施例の概略図である。暗視野照明装置２６は、板
ガラス２３の下側に設けられ、板ガラス２３の上側に
は、レンズ２２を有する１次元ラインセンサカメラ２１
が設けられている。
【００１６】暗視野照明装置２６は、板ガラス２３の搬
送方向（図２の面に垂直の方向）と直角の方向に延びる
２つの細長光源２５ａ，２５ｂと、これら各細長光源上
に細長光源の長さ方向にそれぞれ設けられた２列のマス
ク２４ａ，２４ｂとから構成されている。これらマスク
は、細長光源の光を所望の方向の照明光とするためのも
のである。
送方向（図２の面に垂直の方向）と直角の方向に延びる
２つの細長光源２５ａ，２５ｂと、これら各細長光源上
に細長光源の長さ方向にそれぞれ設けられた２列のマス
ク２４ａ，２４ｂとから構成されている。これらマスク
は、細長光源の光を所望の方向の照明光とするためのも
のである。
【００１７】図３は、図２の暗視野照明装置を横から見
た図である。各細長光源２５ａ，２５ｂは、並列に並べ
られた２本の蛍光灯３２よりなり、各マスク２４ａ，２
４ｂは、各細長光源の長さ方向に配列された複数の矩形
状遮光板１５よりなる。
た図である。各細長光源２５ａ，２５ｂは、並列に並べ
られた２本の蛍光灯３２よりなり、各マスク２４ａ，２
４ｂは、各細長光源の長さ方向に配列された複数の矩形
状遮光板１５よりなる。
【００１８】遮光板１５は、蛍光灯の光が１次元ライン
センサカメラ２１に直接入射しないように、かつ、１次
元ラインセンサカメラに対してなす角度が所定の角度範
囲の照明光を板ガラスに照射するように傾斜して配列さ
れる。なお、遮光板の形状は、矩形状に限る必要はな
く、配列したときにカメラ２１に光が入射しないような
形状であればよい。
センサカメラ２１に直接入射しないように、かつ、１次
元ラインセンサカメラに対してなす角度が所定の角度範
囲の照明光を板ガラスに照射するように傾斜して配列さ
れる。なお、遮光板の形状は、矩形状に限る必要はな
く、配列したときにカメラ２１に光が入射しないような
形状であればよい。
【００１９】図２に示す暗視野照明装置の場合、遮光板
１５は、１次元ラインセンサカメラ２１から見たときの
視線と遮光板のなす角度θが、場所によって異なり、か
つ、一定角度以上になるようになっている。この角度θ
は、板ガラス２３の下の面に型があっても、型による散
乱光が１次元ラインセンサカメラ２１に入射しないよう
に一定角度以上に保たれている。そうすることによっ
て、１次元ラインセンサカメラには板ガラス内部の泡，
未溶解成分などの欠点による散乱光だけが入射される。
１５は、１次元ラインセンサカメラ２１から見たときの
視線と遮光板のなす角度θが、場所によって異なり、か
つ、一定角度以上になるようになっている。この角度θ
は、板ガラス２３の下の面に型があっても、型による散
乱光が１次元ラインセンサカメラ２１に入射しないよう
に一定角度以上に保たれている。そうすることによっ
て、１次元ラインセンサカメラには板ガラス内部の泡，
未溶解成分などの欠点による散乱光だけが入射される。
【００２０】また、マスクは、板ガラス内部の欠点を２
方向から照明できるような構成になっている。図３に示
すように、板ガラス２３の走行方向に対し直角の方向か
ら見た場合、各マスク２４ａ，２４ｂを経て照射される
照明光は、１次元ラインセンサカメラ２１の板ガラス２
３上における走査ライン上でほぼ交わるように傾けられ
ている。さらに各マスク２４ａ，２４ｂの遮光板１５の
傾斜方向は、反対方向とする。図４は、暗視野照明装置
を上から見た図である。
方向から照明できるような構成になっている。図３に示
すように、板ガラス２３の走行方向に対し直角の方向か
ら見た場合、各マスク２４ａ，２４ｂを経て照射される
照明光は、１次元ラインセンサカメラ２１の板ガラス２
３上における走査ライン上でほぼ交わるように傾けられ
ている。さらに各マスク２４ａ，２４ｂの遮光板１５の
傾斜方向は、反対方向とする。図４は、暗視野照明装置
を上から見た図である。
【００２１】マスク２４ａを構成する遮光板１５は、図
２に示すように、右下りに傾斜して配列され、一方、マ
スク２４ｂを構成する遮光板１５は、左下りに傾斜して
配列されている。図４に、マスク２４ａによる照明光の
方向を矢印Ａ（左上り）で、マスク２４ａによる照明光
の方向を矢印Ｂ（右上り）で示している。
２に示すように、右下りに傾斜して配列され、一方、マ
スク２４ｂを構成する遮光板１５は、左下りに傾斜して
配列されている。図４に、マスク２４ａによる照明光の
方向を矢印Ａ（左上り）で、マスク２４ａによる照明光
の方向を矢印Ｂ（右上り）で示している。
【００２２】以上のようなマスク構造とすることによっ
て、板ガラス内部の欠点を２方向から照射することがで
き、従来の１方向からの場合に比べて、種々の方向の欠
点を高輝度で照射することができる。
て、板ガラス内部の欠点を２方向から照射することがで
き、従来の１方向からの場合に比べて、種々の方向の欠
点を高輝度で照射することができる。
【００２３】図５は、本発明の暗視野照明装置の他の実
施例を示している。本実施例では、１次元ラインセンサ
カメラ２１からの視野がカメラ光軸の片側１７度のとき
に、暗視野照明装置５０のマスクの照射角度をそれぞれ
３ゾーン５１，５２，５３に分けて、各ゾーンの照射角
度をそれぞれα，β，γとした場合に、α＝２５度、β
＝３５度、γ＝４５度に設定し、１次元ラインセンサカ
メラ２１の視線と照明光の方向とのなす角度が４０度以
上になるようにしてある。前述したように、各マスクの
照明光の方向は反対方向となるようにする。
施例を示している。本実施例では、１次元ラインセンサ
カメラ２１からの視野がカメラ光軸の片側１７度のとき
に、暗視野照明装置５０のマスクの照射角度をそれぞれ
３ゾーン５１，５２，５３に分けて、各ゾーンの照射角
度をそれぞれα，β，γとした場合に、α＝２５度、β
＝３５度、γ＝４５度に設定し、１次元ラインセンサカ
メラ２１の視線と照明光の方向とのなす角度が４０度以
上になるようにしてある。前述したように、各マスクの
照明光の方向は反対方向となるようにする。
【００２４】このようにして、板ガラスの型の影響を受
けることなく、ガラス内部の欠点成分だけを検出するこ
とができる暗視野照明装置を得ることができた。
けることなく、ガラス内部の欠点成分だけを検出するこ
とができる暗視野照明装置を得ることができた。
【００２５】なお、板ガラスが網入りの場合、マスクの
長さ方向に対し垂直方向の網は高輝度で現れることにな
るが、１次元ラインセンサカメラで検出される位置座標
が固定されているので、信号処理によって容易に網の信
号を除去することができる。
長さ方向に対し垂直方向の網は高輝度で現れることにな
るが、１次元ラインセンサカメラで検出される位置座標
が固定されているので、信号処理によって容易に網の信
号を除去することができる。
【００２６】
【発明の効果】網入り型板ガラス，磨き素板ガラスの検
査に本発明の暗視野照明装置を用いると、特定方向から
照明するために１次元ラインセンサカメラで読みとった
画像信号には、種々の位置でのガラスの型の成分が含ま
れることなく、板ガラス内部の泡，未溶解成分などのガ
ラス中の欠点だけを含んだ信号を得ることができ、その
画像信号を利用して容易に欠点検査を行うことができ
る。
査に本発明の暗視野照明装置を用いると、特定方向から
照明するために１次元ラインセンサカメラで読みとった
画像信号には、種々の位置でのガラスの型の成分が含ま
れることなく、板ガラス内部の泡，未溶解成分などのガ
ラス中の欠点だけを含んだ信号を得ることができ、その
画像信号を利用して容易に欠点検査を行うことができ
る。
【図１】従来の暗視野照明装置を示す図である。
【図２】本発明の暗視野照明装置の概略を示す図であ
る。
る。
【図３】図２の暗視野照明装置を横から見た図である。
【図４】図２の暗視野照明装置を上から見た図である。
【図５】カメラと照明の角度の関係の一例を示す図であ
る。
る。
１１ 細長光源 １２ 遮光板 １３，２３ 被検査物（ガラス板） １４，２１ １次元ラインセンサカメラ １５ 遮光板 ２２ レンズ ２４ａ，２４ｂ マスク ２５ａ，２５ｂ 細長光源 ２６，５０ 暗視野照明装置 ３２ 蛍光灯 ５１，５２，５３ マスクゾーン
Claims (5)
- 【請求項１】１次元ラインセンサカメラから得られる１
次元画像信号を用いて板ガラスの検査を行う欠点検査装
置に用いる暗視野照明装置において、 １次元ラインセンサカメラに対してなす角度が所定の角
度範囲の照明光を、２方向から板ガラスに照射すること
を特徴とする暗視野照明装置。 - 【請求項２】１次元ラインセンサカメラから得られる１
次元画像信号を用いて板ガラスの検査を行う欠点検査装
置に用いる暗視野照明装置において、 第１および第２の２個の細長光源と、 前記各細長光源からの照明光が１次元ラインセンサカメ
ラに直接入らないように前記各細長光源の１次元ライン
センサカメラ側にそれぞれ設けられ、１次元ラインセン
サカメラに対してなす角度が所定の角度範囲の照明光を
照射する第１および第２の２個のマスクとを備え、 前記第１のマスクは、第１の方向に照明光を照射するよ
うに傾斜して配列された複数の第１の遮光板により、前
記第２のマスクは、前記第１の方向とは反対の第２の方
向に照明光を照射するように傾斜して配列された複数の
第２の遮光板により構成される、ことを特徴とする暗視
野照明装置。 - 【請求項３】前記所定の角度範囲は、板ガラスの面に型
がある場合に、型による散乱光が１次元ラインセンサカ
メラに入射しない角度である、請求項２記載の暗視野照
明装置。 - 【請求項４】前記第１および第２のマスクを複数のゾー
ンに分け、各ゾーンにおける前記第１および第２の遮光
板の傾斜角を異ならせる、請求項２または３記載の暗視
野照明装置。 - 【請求項５】前記細長光源は蛍光灯である、請求項２，
３または４記載の暗視野照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP201696A JPH09189665A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | 欠点検査装置に用いる暗視野照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP201696A JPH09189665A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | 欠点検査装置に用いる暗視野照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189665A true JPH09189665A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11517559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP201696A Pending JPH09189665A (ja) | 1996-01-10 | 1996-01-10 | 欠点検査装置に用いる暗視野照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189665A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001141662A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検出方法および検出装置 |
| JP2015506470A (ja) * | 2011-12-31 | 2015-03-02 | サン−ゴバン グラス フランス | 透明基板の欠陥を検出するための照射システム及びこれを備えた検出システム |
| CN104502351A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-04-08 | 广东德豪润达电气股份有限公司 | 一种GaN基外延材料位错缺陷的测定方法 |
| WO2018158824A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 東洋ガラス株式会社 | 容器の検査装置及び容器の検査方法 |
| JP6389977B1 (ja) * | 2018-06-05 | 2018-09-12 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
| CN113686879A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-11-23 | 杭州利珀科技有限公司 | 光学薄膜缺陷视觉检测系统及方法 |
-
1996
- 1996-01-10 JP JP201696A patent/JPH09189665A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001141662A (ja) * | 1999-11-18 | 2001-05-25 | Central Glass Co Ltd | 透明板状体の欠点検出方法および検出装置 |
| JP2015506470A (ja) * | 2011-12-31 | 2015-03-02 | サン−ゴバン グラス フランス | 透明基板の欠陥を検出するための照射システム及びこれを備えた検出システム |
| EP2798337A4 (en) * | 2011-12-31 | 2015-11-04 | Saint Gobain | LIGHTING SYSTEM FOR DETECTING DEFECT IN TRANSPARENT SUBSTRATE AND DETECTION SYSTEM COMPRISING SAME |
| CN104502351A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-04-08 | 广东德豪润达电气股份有限公司 | 一种GaN基外延材料位错缺陷的测定方法 |
| WO2018158824A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 東洋ガラス株式会社 | 容器の検査装置及び容器の検査方法 |
| KR20190117604A (ko) * | 2017-02-28 | 2019-10-16 | 도요 가라스 가부시키가이샤 | 용기 검사장치 및 용기 검사방법 |
| JPWO2018158824A1 (ja) * | 2017-02-28 | 2019-12-26 | 東洋ガラス株式会社 | 容器の検査装置及び容器の検査方法 |
| JP6389977B1 (ja) * | 2018-06-05 | 2018-09-12 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
| JP2019211325A (ja) * | 2018-06-05 | 2019-12-12 | 株式会社ヒューテック | 欠陥検査装置 |
| CN113686879A (zh) * | 2021-09-09 | 2021-11-23 | 杭州利珀科技有限公司 | 光学薄膜缺陷视觉检测系统及方法 |
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