JPH07260701A - 検査範囲認識方法 - Google Patents
検査範囲認識方法Info
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- JPH07260701A JPH07260701A JP6052208A JP5220894A JPH07260701A JP H07260701 A JPH07260701 A JP H07260701A JP 6052208 A JP6052208 A JP 6052208A JP 5220894 A JP5220894 A JP 5220894A JP H07260701 A JPH07260701 A JP H07260701A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス板３に貼着した検査対象Ｗの検査領域
を決定する。 【構成】 照明部４により検査対象Ｗを照射し、検査対
象Ｗの一部を撮像部５で撮像し、画像データを画像処理
部６が入力する。画像処理部６は、入力する検査対象Ｗ
の中央付近の画像データの平均濃度値を求め、幅を持た
せた基準濃度領域値を設定する。更に、検査対象Ｗの辺
ｌ1の画像データの一部を短冊状エリア８に分割し、短
冊状エリア８の平均濃度値を求め、この平均濃度値と基
準濃度領域値とを比較し、辺ｌ1のエッジ点Ｑを複数求
める。次いで複数のエッジ点Ｑから回帰直線を求め、回
帰直線に囲まれた領域を検査領域Ｗとして認識する。
を決定する。 【構成】 照明部４により検査対象Ｗを照射し、検査対
象Ｗの一部を撮像部５で撮像し、画像データを画像処理
部６が入力する。画像処理部６は、入力する検査対象Ｗ
の中央付近の画像データの平均濃度値を求め、幅を持た
せた基準濃度領域値を設定する。更に、検査対象Ｗの辺
ｌ1の画像データの一部を短冊状エリア８に分割し、短
冊状エリア８の平均濃度値を求め、この平均濃度値と基
準濃度領域値とを比較し、辺ｌ1のエッジ点Ｑを複数求
める。次いで複数のエッジ点Ｑから回帰直線を求め、回
帰直線に囲まれた領域を検査領域Ｗとして認識する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 この発明は、視覚認識機構を備
えた表面検査装置等の検査範囲認識方法に関する。
えた表面検査装置等の検査範囲認識方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来この種の認識方法に関しては検査
対象に位置認識マークを設け行なう方法として特開昭６
３−３００８４３号公報（第１の従来例）のもの、検査
対象であるウエハの座標系と検査装置の座標系とを一致
させる方法として特開平３−１１２１４５号公報（第２
の従来例）のものが知られている。第１の従来例では、
検査対象の一部に設けられた位置認識マークを３つの位
置に移動し夫々の座標を認識することで装置と検査対象
との座標補正を行なう。第２の従来例では、ウエハに設
けられたオリエンティション・フラット上の２点から、
オリエンティション・フラットとエックス軸とが一致す
るようウエハを移動し、同様にウエハ外周エッジの３点
からウエハ中心及び半径を算出し、Ｙ軸を外周に接する
よう位置させることでウエハの位置を特定する。
対象に位置認識マークを設け行なう方法として特開昭６
３−３００８４３号公報（第１の従来例）のもの、検査
対象であるウエハの座標系と検査装置の座標系とを一致
させる方法として特開平３−１１２１４５号公報（第２
の従来例）のものが知られている。第１の従来例では、
検査対象の一部に設けられた位置認識マークを３つの位
置に移動し夫々の座標を認識することで装置と検査対象
との座標補正を行なう。第２の従来例では、ウエハに設
けられたオリエンティション・フラット上の２点から、
オリエンティション・フラットとエックス軸とが一致す
るようウエハを移動し、同様にウエハ外周エッジの３点
からウエハ中心及び半径を算出し、Ｙ軸を外周に接する
よう位置させることでウエハの位置を特定する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 しかし、かかる第１
の従来例では、目印となるマークを付せない検査対象で
は、検査領域の特定が不可能であるという問題点を有し
た。第２の従来例では、表面が鏡面でない検査対象で
は、端部が特定できないという問題点を有した。本発明
は、上記問題点に鑑みてなされたもので、検査対象が多
角形状のように目印になる部位がなくとも、検査範囲を
認識可能な検査範囲認識方法を提供することを目的とす
る。
の従来例では、目印となるマークを付せない検査対象で
は、検査領域の特定が不可能であるという問題点を有し
た。第２の従来例では、表面が鏡面でない検査対象で
は、端部が特定できないという問題点を有した。本発明
は、上記問題点に鑑みてなされたもので、検査対象が多
角形状のように目印になる部位がなくとも、検査範囲を
認識可能な検査範囲認識方法を提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】 そこでこの発明は、基
板とともに検査される検査対象の検査範囲を認識する方
法であって、検査対象を撮像し、得られた撮像画像の中
央部の平均濃度を求める工程と、検査範囲の境界が、そ
の何れかの領域に含まれるように中央部から連続した矩
形領域を設定する工程と、各矩形領域の平均濃度を求
め、中央部に近い矩形領域から順に中央部の平均濃度と
比較する工程と、比較の結果、所定値以上の差がはじめ
て検出された矩形領域を境界領域に決定し、境界領域内
の基準点座標を求める工程と、同様の工程を繰返すこと
により求められた複数の基準点座標に基づいて検査範囲
を認識する工程とからなることを特徴とする検査範囲認
識方法を提供することにより上述の課題を解決する。
板とともに検査される検査対象の検査範囲を認識する方
法であって、検査対象を撮像し、得られた撮像画像の中
央部の平均濃度を求める工程と、検査範囲の境界が、そ
の何れかの領域に含まれるように中央部から連続した矩
形領域を設定する工程と、各矩形領域の平均濃度を求
め、中央部に近い矩形領域から順に中央部の平均濃度と
比較する工程と、比較の結果、所定値以上の差がはじめ
て検出された矩形領域を境界領域に決定し、境界領域内
の基準点座標を求める工程と、同様の工程を繰返すこと
により求められた複数の基準点座標に基づいて検査範囲
を認識する工程とからなることを特徴とする検査範囲認
識方法を提供することにより上述の課題を解決する。
【０００５】
【作用】搬送部により検査対象が移動され、検査対象の
中心付近が撮像される。すると、撮像された画像データ
が画像処理部に入力され、画像データの平均濃度値が算
出され、平均濃度値を中心として許容範囲を持つ基準濃
度領域値が設定される。次いで、検査対象が移動され、
検査対象の一端部付近が撮像され、画像処理部に入力さ
れる。入力された画像データのうち、一部が検査対象の
中心側から端部方向へ連続する複数のエリアに分割さ
れ、エリア内における画像データの平均濃度値が求めら
れる。エリア内の平均濃度値及び設定される基準濃度領
域値が比較され、エリア内の平均濃度値が基準内から基
準外となる場合にはそのエリアの座標が検査対象の一辺
の辺上の点と認識される。一辺の辺上の点が認識される
と、同じ辺の他の端部付近が撮像され、上記操作が繰り
返され、一辺に対し複数の辺上の点が認識される。検査
対象の一辺に対し複数認識される辺上の点から回帰直線
が求められ認識される。同様に、検査対象の全ての辺に
対しても、回帰直線を認識する操作が繰り返され、認識
された全ての回帰直線により囲まれる領域を検査範囲と
認識する。
中心付近が撮像される。すると、撮像された画像データ
が画像処理部に入力され、画像データの平均濃度値が算
出され、平均濃度値を中心として許容範囲を持つ基準濃
度領域値が設定される。次いで、検査対象が移動され、
検査対象の一端部付近が撮像され、画像処理部に入力さ
れる。入力された画像データのうち、一部が検査対象の
中心側から端部方向へ連続する複数のエリアに分割さ
れ、エリア内における画像データの平均濃度値が求めら
れる。エリア内の平均濃度値及び設定される基準濃度領
域値が比較され、エリア内の平均濃度値が基準内から基
準外となる場合にはそのエリアの座標が検査対象の一辺
の辺上の点と認識される。一辺の辺上の点が認識される
と、同じ辺の他の端部付近が撮像され、上記操作が繰り
返され、一辺に対し複数の辺上の点が認識される。検査
対象の一辺に対し複数認識される辺上の点から回帰直線
が求められ認識される。同様に、検査対象の全ての辺に
対しても、回帰直線を認識する操作が繰り返され、認識
された全ての回帰直線により囲まれる領域を検査範囲と
認識する。
【０００６】
【実施例】 以下にこの発明の実施例を図面に基づき説
明する。図１は実施例の概略図である縦断面説明図であ
り、図２は撮像状態を表す説明図であり、図３は端部付
近を撮像した状態を表す説明図であり、図４は図３で表
される画像データの処理を表す説明図であり、図５は撮
像した画像データの濃度変化を表すグラフであり、図６
は撮像した画像データの各エリア毎の平均濃度変化を表
すグラフである。
明する。図１は実施例の概略図である縦断面説明図であ
り、図２は撮像状態を表す説明図であり、図３は端部付
近を撮像した状態を表す説明図であり、図４は図３で表
される画像データの処理を表す説明図であり、図５は撮
像した画像データの濃度変化を表すグラフであり、図６
は撮像した画像データの各エリア毎の平均濃度変化を表
すグラフである。
【０００７】１は表面検査装置である。表面検査装置１
は、図１に表すように、搬送部２、ガラス板３、照明部
４、撮像部５、及び、画像処理部６とからなる。表面検
査装置１は検査対象Ｗの表面状態を撮像し、撮像された
画像を基に検査対象Ｗの表面状態を検査する。搬送部２
は、基板であるガラス板３を載置し、ガラス板３をその
平面方向に移動可能である。更に、搬送部２は移動位置
を制御部３に信号出力する。この実施例では、水平方向
にガラス板３が載置され、図２に表すようにガラス板３
の左上をＸ−Ｙ座標の原点Ｏとし、夫々Ｘ軸及びＹ軸と
する。ガラス板３は、その一方の面に検査対象Ｗが貼着
されており、搬送部２に載置される。この実施例では検
査対象Ｗは、長方形からなる偏光フィルムであり、一般
に反射タイプと呼ばれる一方の面にアルミ泊が接着され
たもので、比較的高反射率であり、予めガラス板３に貼
着し熱処理が施されている。ガラス板３への検査対象Ｗ
の貼着は、検査員等により常に略同位置にされるが、貼
着時に検査対象Ｗとガラス板３との相対位置はずれるこ
ととなる。
は、図１に表すように、搬送部２、ガラス板３、照明部
４、撮像部５、及び、画像処理部６とからなる。表面検
査装置１は検査対象Ｗの表面状態を撮像し、撮像された
画像を基に検査対象Ｗの表面状態を検査する。搬送部２
は、基板であるガラス板３を載置し、ガラス板３をその
平面方向に移動可能である。更に、搬送部２は移動位置
を制御部３に信号出力する。この実施例では、水平方向
にガラス板３が載置され、図２に表すようにガラス板３
の左上をＸ−Ｙ座標の原点Ｏとし、夫々Ｘ軸及びＹ軸と
する。ガラス板３は、その一方の面に検査対象Ｗが貼着
されており、搬送部２に載置される。この実施例では検
査対象Ｗは、長方形からなる偏光フィルムであり、一般
に反射タイプと呼ばれる一方の面にアルミ泊が接着され
たもので、比較的高反射率であり、予めガラス板３に貼
着し熱処理が施されている。ガラス板３への検査対象Ｗ
の貼着は、検査員等により常に略同位置にされるが、貼
着時に検査対象Ｗとガラス板３との相対位置はずれるこ
ととなる。
【０００８】照明部４は、検査対象Ｗを照射する光を発
生する光発生部４１、検査対象Ｗへ照射する照射口４
２、照明光を照射口４２へ導く光ファイバー４３とから
なり、検査対象Ｗを照射する。照射口４２は、検査対象
Ｗ側に出光口を有するドーナツ状であり、検査対象Ｗを
略平均に照射可能である。照射口４２から照射される光
は、ガラス板３を透過し、検査対象Ｗに反射し、再びガ
ラス板３を透過して照射方向へ進む。撮像部５は、照射
口４２から照射され検査対象Ｗに反射した光を撮像し、
濃淡として認識される画像を画像データとして画像処理
部６へ出力する。撮像部５は、照射口４２の中央の空隙
に検査対象Ｗ方向に設置され、図２に表すように検査対
象Ｗの一部を撮像領域ｐ，ｑ1〜ｑ12として図３に表す
ような画像データを撮像可能である。撮像部５の撮像領
域ｐを決定する拡大倍率は、検査対象Ｗの種類等によ
り、検査対象Ｗを確認する為に適した倍率に可変可能で
あると共に、最も能率的な検査倍率に可変可能に構成さ
れる。この実施例では撮像部５はＣＣＤカメラからな
り、撮像領域ｐの各画素の濃淡を画像データとして順次
画像処理部６へ出力する。
生する光発生部４１、検査対象Ｗへ照射する照射口４
２、照明光を照射口４２へ導く光ファイバー４３とから
なり、検査対象Ｗを照射する。照射口４２は、検査対象
Ｗ側に出光口を有するドーナツ状であり、検査対象Ｗを
略平均に照射可能である。照射口４２から照射される光
は、ガラス板３を透過し、検査対象Ｗに反射し、再びガ
ラス板３を透過して照射方向へ進む。撮像部５は、照射
口４２から照射され検査対象Ｗに反射した光を撮像し、
濃淡として認識される画像を画像データとして画像処理
部６へ出力する。撮像部５は、照射口４２の中央の空隙
に検査対象Ｗ方向に設置され、図２に表すように検査対
象Ｗの一部を撮像領域ｐ，ｑ1〜ｑ12として図３に表す
ような画像データを撮像可能である。撮像部５の撮像領
域ｐを決定する拡大倍率は、検査対象Ｗの種類等によ
り、検査対象Ｗを確認する為に適した倍率に可変可能で
あると共に、最も能率的な検査倍率に可変可能に構成さ
れる。この実施例では撮像部５はＣＣＤカメラからな
り、撮像領域ｐの各画素の濃淡を画像データとして順次
画像処理部６へ出力する。
【０００９】画像処理部６は、撮像部５の出力する画像
データを入力する。更に、画像処理部６は、Ｘ−Ｙ平面
での検査対象Ｗの移動量及び位置を、搬送部２からの信
号によりＸ−Ｙ座標として認識し検出する。そして、画
像処理部６は、搬送部２により検査対象Ｗを移動するよ
う信号出力する。従って、画像処理部６の制御により搬
送部２が、指定されたＸ−Ｙ座標の位置に検査対象Ｗを
移動可能である。画像処理部６により予め設定される搬
送部２の移動位置は、ガラス板３に貼着された検査対象
Ｗの略中央に相当する位置ｐと、右辺ｌ1の位置ｑ1〜ｑ
3、左辺ｌ2の位置ｑ4〜ｑ6、上辺ｌ3の位置ｑ7〜ｑ9、
及び、下辺ｌ4の位置ｑ10〜ｑ12の夫々の位置である。
夫々の位置ｑ1〜ｑ12で撮像部５が撮像した各画像デー
タはメモリ（図示せず）に記憶される。そして、中央位
置ｐで撮像された画像データからは各画素の濃淡の平均
濃度を求め、予め設定する濃度幅を持たせ基準濃度領域
値として設定する。図２に表す辺の位置ｑ1からは、図
４に表されるように記憶される辺の位置ｑ1で撮像され
た画像データの一部で、Ｙ＝ｙ１位置を中心とするＸ方
向に連続する帯状領域７の画素を夫々Ｙ方向に区切り短
冊状エリア８に分割する。そして、中央位置ｐ側の短冊
状エリア８１から順次平均濃度値を求め、辺の位置ｐで
求めた基準濃度領域値と比較する。短冊状エリア８の平
均濃度値が基準濃度領域値内から基準濃度領域値外に変
化する短冊状エリア８ｉ中央のＸ−Ｙ座標を検査領域の
右辺ｌ1の辺上の点であるエッジ点として記憶する。同
様に、位置ｑ2、ｑ3についてもＸ−Ｙ座標が検査領域の
右辺ｌ1のエッジ点として設定される。次いで、設定さ
れた複数のエッジ点の座標から統計処理によりＸ−Ｙ座
標上の回帰直線を求め検査領域の右辺ｌ1と設定する。
この実施例では、各エッジ点のＸ−Ｙ座標から最小二乗
法により回帰直線を求める。左辺ｌ2の位置ｑ4〜ｑ 6、
上辺ｌ3の位置ｑ7〜ｑ9、及び、下辺ｌ4の位置ｑ10〜ｑ
12のエッジ点も、右辺ｌ1の位置ｑ1〜ｑ3同様に設定さ
れる。全ての短冊状エリアの平均濃度値が基準濃度領域
値内の場合には、撮像位置を搬送部２により位置ｑ1か
ら中央位置ｐと反対方向へ位置ｑ1に隣合う撮像画面と
なるよう移動し、位置ｑ1と同様の操作を短冊状エリア
の平均濃度値が基準濃度領域値以下となるまで行なう。
全ての短冊状エリア８の平均濃度値が基準濃度領域値外
の場合には、位置ｑ1から中央位置ｐ方向へ搬送部２に
より位置ｑ1に隣合う撮像画面となるよう移動し、位置
ｑ1と同様の操作を短冊状エリア８の平均濃度値が基準
濃度領域値内となるまで繰り返す。
データを入力する。更に、画像処理部６は、Ｘ−Ｙ平面
での検査対象Ｗの移動量及び位置を、搬送部２からの信
号によりＸ−Ｙ座標として認識し検出する。そして、画
像処理部６は、搬送部２により検査対象Ｗを移動するよ
う信号出力する。従って、画像処理部６の制御により搬
送部２が、指定されたＸ−Ｙ座標の位置に検査対象Ｗを
移動可能である。画像処理部６により予め設定される搬
送部２の移動位置は、ガラス板３に貼着された検査対象
Ｗの略中央に相当する位置ｐと、右辺ｌ1の位置ｑ1〜ｑ
3、左辺ｌ2の位置ｑ4〜ｑ6、上辺ｌ3の位置ｑ7〜ｑ9、
及び、下辺ｌ4の位置ｑ10〜ｑ12の夫々の位置である。
夫々の位置ｑ1〜ｑ12で撮像部５が撮像した各画像デー
タはメモリ（図示せず）に記憶される。そして、中央位
置ｐで撮像された画像データからは各画素の濃淡の平均
濃度を求め、予め設定する濃度幅を持たせ基準濃度領域
値として設定する。図２に表す辺の位置ｑ1からは、図
４に表されるように記憶される辺の位置ｑ1で撮像され
た画像データの一部で、Ｙ＝ｙ１位置を中心とするＸ方
向に連続する帯状領域７の画素を夫々Ｙ方向に区切り短
冊状エリア８に分割する。そして、中央位置ｐ側の短冊
状エリア８１から順次平均濃度値を求め、辺の位置ｐで
求めた基準濃度領域値と比較する。短冊状エリア８の平
均濃度値が基準濃度領域値内から基準濃度領域値外に変
化する短冊状エリア８ｉ中央のＸ−Ｙ座標を検査領域の
右辺ｌ1の辺上の点であるエッジ点として記憶する。同
様に、位置ｑ2、ｑ3についてもＸ−Ｙ座標が検査領域の
右辺ｌ1のエッジ点として設定される。次いで、設定さ
れた複数のエッジ点の座標から統計処理によりＸ−Ｙ座
標上の回帰直線を求め検査領域の右辺ｌ1と設定する。
この実施例では、各エッジ点のＸ−Ｙ座標から最小二乗
法により回帰直線を求める。左辺ｌ2の位置ｑ4〜ｑ 6、
上辺ｌ3の位置ｑ7〜ｑ9、及び、下辺ｌ4の位置ｑ10〜ｑ
12のエッジ点も、右辺ｌ1の位置ｑ1〜ｑ3同様に設定さ
れる。全ての短冊状エリアの平均濃度値が基準濃度領域
値内の場合には、撮像位置を搬送部２により位置ｑ1か
ら中央位置ｐと反対方向へ位置ｑ1に隣合う撮像画面と
なるよう移動し、位置ｑ1と同様の操作を短冊状エリア
の平均濃度値が基準濃度領域値以下となるまで行なう。
全ての短冊状エリア８の平均濃度値が基準濃度領域値外
の場合には、位置ｑ1から中央位置ｐ方向へ搬送部２に
より位置ｑ1に隣合う撮像画面となるよう移動し、位置
ｑ1と同様の操作を短冊状エリア８の平均濃度値が基準
濃度領域値内となるまで繰り返す。
【００１０】画像データの一部である帯状領域７の位
置、方向、及び、短冊状エリア８の分割方向は、検査対
象Ｗの各辺毎に画像処理部６に予め設定される。この実
施例では、右辺ｌ1及び左辺ｌ2では画像領域の中央部分
で左右に連続する帯状領域７が、同方向に連続する短辺
が左右方向の複数の短冊状エリア８に分割される。上辺
ｌ3及び下辺ｌ4では画像領域の中央部分で上下に連続す
る帯状領域７が、同方向に連続する短辺が上下方向の複
数の短冊状エリア８に分割される。この実施例では、帯
状領域７の位置は撮像画面の中央部としたが、他の位置
を帯状領域７としてもよい。更に、短冊状エリア８は、
５０画素×１０画素の領域とするが、各辺の画素比率や
短冊状エリア内の画素数は検査対象等により変更可能で
ある。このように表面検査部１が、設定された辺の回帰
直線で囲まれた領域を検査領域として認識することで、
検査対象Ｗの表面状態の検査を効率よく行なう。
置、方向、及び、短冊状エリア８の分割方向は、検査対
象Ｗの各辺毎に画像処理部６に予め設定される。この実
施例では、右辺ｌ1及び左辺ｌ2では画像領域の中央部分
で左右に連続する帯状領域７が、同方向に連続する短辺
が左右方向の複数の短冊状エリア８に分割される。上辺
ｌ3及び下辺ｌ4では画像領域の中央部分で上下に連続す
る帯状領域７が、同方向に連続する短辺が上下方向の複
数の短冊状エリア８に分割される。この実施例では、帯
状領域７の位置は撮像画面の中央部としたが、他の位置
を帯状領域７としてもよい。更に、短冊状エリア８は、
５０画素×１０画素の領域とするが、各辺の画素比率や
短冊状エリア内の画素数は検査対象等により変更可能で
ある。このように表面検査部１が、設定された辺の回帰
直線で囲まれた領域を検査領域として認識することで、
検査対象Ｗの表面状態の検査を効率よく行なう。
【００１１】次に、実施例の動作を説明する。検査員に
より検査対象Ｗが貼着されたガラス板３が搬送部２に載
置される。次いで、搬送部２が、予め設定された位置ｐ
に検査対象Ｗを移動する。検査対象Ｗが位置ｐに移動す
ると、撮像部５が撮像すると共に位置ｐのＸ−Ｙ座標位
置の信号を画像処理部６が受領し、撮像部５が撮像した
位置ｐでの画像データを入力し、その平均濃度を求め基
準濃度領域値を設定する。次いで、搬送部２が検査対象
Ｗを位置ｑ1へ移動し、前記同様に位置ｑ1での画像デー
タを画像処理部６が受領する。この時、縦軸が濃度値、
横軸がＸ座標であり、図３のＹ＝ｙ１での濃度の変化を
表す図５に表すように、貼着された検査対象Ｗからはみ
出た糊１０の影響により、エッジ部付近で濃度値がばら
ついている。
より検査対象Ｗが貼着されたガラス板３が搬送部２に載
置される。次いで、搬送部２が、予め設定された位置ｐ
に検査対象Ｗを移動する。検査対象Ｗが位置ｐに移動す
ると、撮像部５が撮像すると共に位置ｐのＸ−Ｙ座標位
置の信号を画像処理部６が受領し、撮像部５が撮像した
位置ｐでの画像データを入力し、その平均濃度を求め基
準濃度領域値を設定する。次いで、搬送部２が検査対象
Ｗを位置ｑ1へ移動し、前記同様に位置ｑ1での画像デー
タを画像処理部６が受領する。この時、縦軸が濃度値、
横軸がＸ座標であり、図３のＹ＝ｙ１での濃度の変化を
表す図５に表すように、貼着された検査対象Ｗからはみ
出た糊１０の影響により、エッジ部付近で濃度値がばら
ついている。
【００１２】画像処理部６では、位置ｑ1の画像データ
の各画素のうち、帯状領域７のデータの短冊状エリア８
１の平均濃度値を求め、先に設定された基準濃度領域値
と短冊状エリア８１の平均濃度値とを比較する。短冊状
エリア８１の平均濃度値が基準濃度領域値内のときは、
次の短冊状エリア８２の平均濃度値を求め同様に比較
し、短冊状エリアの平均濃度値が基準濃度領域値以下と
なるまで繰り返す。即ち、縦軸が濃度、横軸が短冊状エ
リア８であり、基準濃度領域値はＶであり、短冊状エリ
ア８１乃至８ｎの平均濃度値９１乃至９ｎの変化を表す
図６に示すように、基準濃度領域値未満になった平均濃
度値９ｉの短冊状エリア８ｉ中央位置のＸ−Ｙ座標を右
辺ｌ1のエッジ点Ｑ1と設定する。この時の平均濃度値の
推移を見ると、平均濃度値は図６にあるように、平均濃
度値では、図５に表す各位置での濃度値と異なり、急激
な変化は見られない。同様に位置ｑ2、ｑ3のエッジ点Ｑ
2、Ｑ3を設定する。次いで、設定されたエッジ点Ｑ1乃
至Ｑ3から回帰直線を算出し、右辺ｌ1を設定する。同様
に、検査対象Ｗの左辺ｌ2、上辺ｌ3、下辺ｌ4について
も作業を行ない、夫々求めたエッジ点Ｑ4〜Ｑ6、Ｑ7〜
Ｑ9、Ｑ10〜Ｑ12から回帰直線を算出し、各辺ｌ2〜ｌ4
を設定し、各辺ｌ1〜ｌ4で閉鎖される領域を検査領域と
して認識する。
の各画素のうち、帯状領域７のデータの短冊状エリア８
１の平均濃度値を求め、先に設定された基準濃度領域値
と短冊状エリア８１の平均濃度値とを比較する。短冊状
エリア８１の平均濃度値が基準濃度領域値内のときは、
次の短冊状エリア８２の平均濃度値を求め同様に比較
し、短冊状エリアの平均濃度値が基準濃度領域値以下と
なるまで繰り返す。即ち、縦軸が濃度、横軸が短冊状エ
リア８であり、基準濃度領域値はＶであり、短冊状エリ
ア８１乃至８ｎの平均濃度値９１乃至９ｎの変化を表す
図６に示すように、基準濃度領域値未満になった平均濃
度値９ｉの短冊状エリア８ｉ中央位置のＸ−Ｙ座標を右
辺ｌ1のエッジ点Ｑ1と設定する。この時の平均濃度値の
推移を見ると、平均濃度値は図６にあるように、平均濃
度値では、図５に表す各位置での濃度値と異なり、急激
な変化は見られない。同様に位置ｑ2、ｑ3のエッジ点Ｑ
2、Ｑ3を設定する。次いで、設定されたエッジ点Ｑ1乃
至Ｑ3から回帰直線を算出し、右辺ｌ1を設定する。同様
に、検査対象Ｗの左辺ｌ2、上辺ｌ3、下辺ｌ4について
も作業を行ない、夫々求めたエッジ点Ｑ4〜Ｑ6、Ｑ7〜
Ｑ9、Ｑ10〜Ｑ12から回帰直線を算出し、各辺ｌ2〜ｌ4
を設定し、各辺ｌ1〜ｌ4で閉鎖される領域を検査領域と
して認識する。
【００１３】
【効果】 従って、本発明によれば、ノイズによる悪影
響を避け辺上の点を求めることができ、各辺上の点を求
める際の誤差を打ち消し合い検査対象の辺を精度よく決
定するので、目印となるマークを付せない検査対象でも
検査領域の認識ができ、しかも、鏡面以外の検査対象で
あっても辺上の点の特定ができる。よって、検査領域を
容易に認識できる。
響を避け辺上の点を求めることができ、各辺上の点を求
める際の誤差を打ち消し合い検査対象の辺を精度よく決
定するので、目印となるマークを付せない検査対象でも
検査領域の認識ができ、しかも、鏡面以外の検査対象で
あっても辺上の点の特定ができる。よって、検査領域を
容易に認識できる。
【図１】実施例の概略説明図である縦断面説明図
【図２】撮像状態を表す説明図
【図３】端部付近を撮像した状態を表す説明図
【図４】図３で表される画像データの処理を表す説明図
【図５】撮像した濃淡画像データの濃度変化を表すグラ
フ
フ
【図６】撮像した濃淡画像データの各エリア毎の平均濃
度変化を表すグラフ
度変化を表すグラフ
１ 表面検査部 ２ 搬送部 ３ ガラス板 ４ 照明部 ４１ 光発生部 ４２ 照射口 ４３ 光ファイバー ５ 撮像部 ６ 画像処理部 ７ 帯状領域 ８１〜８ｎ 短冊状エリア ９１〜９ｎ 平均濃度値 １０ 糊 ｌ1,ｌ2,ｌ3,ｌ4 辺 ｐ 中央位置 Ｑ1〜Ｑ12 エッジ点 ｑ1〜ｑ12 辺の位置 Ｗ 検査対象
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｔ 9/20 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ 7630−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 基板とともに検査される検査対象の検査
範囲を認識する方法であって、 検査対象を撮像し、得られた撮像画像の中央部の平均濃
度を求める工程と、 検査範囲の境界が、その何れかの領域に含まれるように
中央部から連続した矩形領域を設定する工程と、 各矩形領域の平均濃度を求め、中央部に近い矩形領域か
ら順に中央部の平均濃度と比較する工程と、 比較の結果、所定値以上の差がはじめて検出された矩形
領域を境界領域に決定し、境界領域内の基準点座標を求
める工程と、 同様の工程を繰返すことにより求められた複数の基準点
座標に基づいて検査範囲を認識する工程とからなること
を特徴とする検査範囲認識方法。
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|---|---|---|---|
| JP05220894A JP3311135B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 検査範囲認識方法 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|
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