JP2533383B2 - 半導体装置のリ―ド検査装置 - Google Patents
半導体装置のリ―ド検査装置Info
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- JP2533383B2 JP2533383B2 JP1240770A JP24077089A JP2533383B2 JP 2533383 B2 JP2533383 B2 JP 2533383B2 JP 1240770 A JP1240770 A JP 1240770A JP 24077089 A JP24077089 A JP 24077089A JP 2533383 B2 JP2533383 B2 JP 2533383B2
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- Japan
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- lead
- semiconductor device
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- sample
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置のリード曲がり、リードの浮き
上がり等を検査するリード検査装置に関するものであ
る。
上がり等を検査するリード検査装置に関するものであ
る。
（従来の技術） 従来、半導体装置のリード曲がりを認識する場合、第
３図に示すような検査装置が用いられてきた。この検査
装置は、支持台１の中央部に半導体装置の試料２を載せ
る検査台３が設けられており、また支持台１の両側に、
試料２の側面を写し出す低歪率の画像反射板４及びこれ
を支える保持台５が一体となって係留ピン６で回動自在
に取り付けられ、さらに支持台１の斜め上には、高周波
蛍光灯の光源７及び試料２の方向に光が照射されるよう
にしたカバー８が設けられた構造をしている。
３図に示すような検査装置が用いられてきた。この検査
装置は、支持台１の中央部に半導体装置の試料２を載せ
る検査台３が設けられており、また支持台１の両側に、
試料２の側面を写し出す低歪率の画像反射板４及びこれ
を支える保持台５が一体となって係留ピン６で回動自在
に取り付けられ、さらに支持台１の斜め上には、高周波
蛍光灯の光源７及び試料２の方向に光が照射されるよう
にしたカバー８が設けられた構造をしている。
まず、光源７によって、半導体装置の試料２のリード
10を照明し、その反射光を受ける回動自在な画像反射板
４を調整して試料２の側面の像がCCDカメラ９に写るよ
うにする。このようにしてCCDカメラ９はリード10の上
面及び側面の像を検出する。この検出された像に基づい
てリード10の曲がりや本数の欠けを認識する。
10を照明し、その反射光を受ける回動自在な画像反射板
４を調整して試料２の側面の像がCCDカメラ９に写るよ
うにする。このようにしてCCDカメラ９はリード10の上
面及び側面の像を検出する。この検出された像に基づい
てリード10の曲がりや本数の欠けを認識する。
（発明が解決しようとする課題） このような従来のリード検査装置の構成では、リード
が内側に曲げられている半導体装置に対しては、リード
に照射した光の反射光は、リードの全面で均一でなく、
特に検査台とリードの境界付近で暗くなってしまうた
め、リードが検査台から浮き上がっているのかどうかを
正確に認識することができなかった。
が内側に曲げられている半導体装置に対しては、リード
に照射した光の反射光は、リードの全面で均一でなく、
特に検査台とリードの境界付近で暗くなってしまうた
め、リードが検査台から浮き上がっているのかどうかを
正確に認識することができなかった。
（課題を解決するための手段） 本発明のリード検査装置は、半導体装置を載せる画像
反射台と、半導体装置を照明する照明系と、その反射光
を撮像する撮像装置とを備えた構成となっている。
反射台と、半導体装置を照明する照明系と、その反射光
を撮像する撮像装置とを備えた構成となっている。
（作 用） 本発明のリード検査装置によれば、試料のリードに対
して上面と下面から光を照射し、リードからの反射光と
画像反射板からの反射光を撮像装置によって撮像するの
で、検査台との境界付近が鮮明に写し出され、特に上下
方向の曲がりは約２倍に写し出される。
して上面と下面から光を照射し、リードからの反射光と
画像反射板からの反射光を撮像装置によって撮像するの
で、検査台との境界付近が鮮明に写し出され、特に上下
方向の曲がりは約２倍に写し出される。
（実施例） 本発明のリード検査装置の一実施例を、第１図を参照
して説明する。このリード検査装置は、一方向からの光
は透過し、反対方向からの光は反射するハーフミラーま
たはそれに相当する部材からなる画像反射板11と、半導
体装置を規正しかつ試料２の背景となる黒色に着色され
た規正台12と、試料２のリード部を上側と下側から照明
する照明装置７を有する検査台13と、検査台上に載せら
れた半導体装置の試料２のリード10に対して斜め上方に
配置されたCCDカメラ９とから構成されている。
して説明する。このリード検査装置は、一方向からの光
は透過し、反対方向からの光は反射するハーフミラーま
たはそれに相当する部材からなる画像反射板11と、半導
体装置を規正しかつ試料２の背景となる黒色に着色され
た規正台12と、試料２のリード部を上側と下側から照明
する照明装置７を有する検査台13と、検査台上に載せら
れた半導体装置の試料２のリード10に対して斜め上方に
配置されたCCDカメラ９とから構成されている。
半導体装置の試料２は規正台12の上に置かれて、リー
ド10が照明装置７からの直射光により上下から照明され
るため、CCDカメラ９の方向からは、半導体装置のリー
ド10と画像反射板11に写った半導体装置のリード10は全
面均一な明の画像、他の規正台12と試料２は暗の画像と
して認識される。そこでこの像を水平に近い斜め上方よ
りCCDカメラ９によって撮像する。
ド10が照明装置７からの直射光により上下から照明され
るため、CCDカメラ９の方向からは、半導体装置のリー
ド10と画像反射板11に写った半導体装置のリード10は全
面均一な明の画像、他の規正台12と試料２は暗の画像と
して認識される。そこでこの像を水平に近い斜め上方よ
りCCDカメラ９によって撮像する。
試料２に対して水平に近い斜め上方に位置するCCDカ
メラ９での認識画像の例を第２図に示す。（ａ）は正常
なもの、（ｂ）は横曲がり、（ｃ），（ｄ）は上下方向
の曲がりである。これらのリード10と画像反射板11の境
界付近の明暗の２値化レベルが明確にされた認識画像に
より、リードのピッチ及び浮き上がりが正常な半導体装
置と比べて許容範囲内にあるがどうかを認識判断して検
査を行う。
メラ９での認識画像の例を第２図に示す。（ａ）は正常
なもの、（ｂ）は横曲がり、（ｃ），（ｄ）は上下方向
の曲がりである。これらのリード10と画像反射板11の境
界付近の明暗の２値化レベルが明確にされた認識画像に
より、リードのピッチ及び浮き上がりが正常な半導体装
置と比べて許容範囲内にあるがどうかを認識判断して検
査を行う。
なお、CCDカメラは４台設置してもよいし、１台また
は２台のカメラを４箇所または２箇所移動させて撮像し
てもよい。さらにCCDカメラではなく他の撮像装置であ
ってもよい。
は２台のカメラを４箇所または２箇所移動させて撮像し
てもよい。さらにCCDカメラではなく他の撮像装置であ
ってもよい。
（発明の効果） 本発明の半導体装置のリード検査装置によれば、光を
一方向からは透過し、反対方向からは反射する画像反射
板と規正台とを有する検査台の上に半導体装置の試料を
載せ、上下に配置した光源により試料のリードに光を照
射し、水平に近い斜め上方から撮像装置で撮像するた
め、リードと画像反射板との境界付近の像が正確に認識
でき、判断を誤ることがなくなる。また正規の像と画像
反射板に写った像を同時に撮像しているため、上下方向
の曲がりは約２倍に写り、極めて重要である上下方向の
認識精度が向上し、実用的に極めて有用である。
一方向からは透過し、反対方向からは反射する画像反射
板と規正台とを有する検査台の上に半導体装置の試料を
載せ、上下に配置した光源により試料のリードに光を照
射し、水平に近い斜め上方から撮像装置で撮像するた
め、リードと画像反射板との境界付近の像が正確に認識
でき、判断を誤ることがなくなる。また正規の像と画像
反射板に写った像を同時に撮像しているため、上下方向
の曲がりは約２倍に写り、極めて重要である上下方向の
認識精度が向上し、実用的に極めて有用である。
第１図は、本発明の一実施例の半導体装置のリード検査
装置の構成図、第２図は、同装置で得られる認識画像
図、第３図は、従来例のリード検査装置の構成図であ
る。 ２……半導体装置の試料、７……照明装置、９……CCD
カメラ、10……リード、11……画像反射板、12……規正
台、13……検査台。
装置の構成図、第２図は、同装置で得られる認識画像
図、第３図は、従来例のリード検査装置の構成図であ
る。 ２……半導体装置の試料、７……照明装置、９……CCD
カメラ、10……リード、11……画像反射板、12……規正
台、13……検査台。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体装置を載せ、一方向からの光は透過
し反対方向からの光は反射する画像反射台と、前記半導
体装置のリード部を上下方向より照明する照明系と、前
記リード部に対し斜め上方に配置した撮像装置とからな
ることを特徴とする半導体装置のリード検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1240770A JP2533383B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 半導体装置のリ―ド検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1240770A JP2533383B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 半導体装置のリ―ド検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104255A JPH03104255A (ja) | 1991-05-01 |
| JP2533383B2 true JP2533383B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=17064453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1240770A Expired - Lifetime JP2533383B2 (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 半導体装置のリ―ド検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2533383B2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP1240770A patent/JP2533383B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03104255A (ja) | 1991-05-01 |
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